KR20080051368A

KR20080051368A - 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치

Info

Publication number: KR20080051368A
Application number: KR1020060122307A
Authority: KR
Inventors: 강석철
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2006-12-05
Filing date: 2006-12-05
Publication date: 2008-06-11
Also published as: KR101303737B1

Abstract

본 발명은 다양한 시야각을 가지는 액정패널의 검사를 용이하게 하기 위하여 상부 및 하부에 지그 설치대를 설치한 액정패널의 오토 프로브 장치에 관한 것으로, 액정패널을 검사하기 위한 관측부; 상기 액정패널을 가로 및 세로로 이동시키는 이동수단; 상기 액정패널에 전기적 신호를 인가하기 위한 지그; 상기 관측부의 상부 및 하부에 각각 설치되는 상부지그 설치대 및 하부지그 설치대;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

오토 프로브, 지그, 시야각, 작업자

Description

액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치{Auto probe inspection appratus for inspecting LCD panel}

도 1은 종래기술에 따른 12시 시야각을 가지는 액정패널을 검사하는 오토 프로브 장치

도 2는 종래기술에 따른 6시 시야각을 가지는 액정패널을 검사하는 오토 프로브 장치

도 3은 종래기술에 따른 오토 프로브 장치의 지그의 모식도

도 4은 본 발명의 실시예에 따른 액정패널의 오토 프로브 장치의 간략도

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 지그 설치대의 간략도

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 액정패널의 시야각에 따른 검사자의 위치도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

110 : 지지 프레임 111 : 액정패널

112 : 관측부 115a : 상부지그 설치대

115b : 하부지그 설치대 117 : 카메라

120 : 현미경 130 : 지그

본 발명은 액정패널의 오토 프로브 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 다양한 시야각을 가지는 액정패널의 검사를 용이하게 하기 위하여 상부 및 하부에 지그 설치대를 설치한 액정패널의 오토 프로브 장치에 관한 것이다.

액정패널의 셀을 검사하기 위해, 오토 프로브가 사용되며, 일반적으로 액정패널은 박막 트랜지스터의 공정, 셀 공정, 및 모듈공정으로 나누어진다. 박막 트랜지스터의 공정은 반복하여 유리 기판 상에 박막의 증착 및 식각을 반복하여 다수의 트랜지스터를 배열하여 제작하는 공정으로서, 박막의 증착은 진공장비의 내부에 증착에 필요한 가스를 주입하여 압력과 기판 온도가 설정되면 RF(Radio Frequency)전력을 이용하여 주입된 가스를 플라즈마 상태로 분해하여 기판 위에 증착하는 화학기상증착법(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 과정, RF 전력이나 DC 전력에 의해 형성된 플라즈마 내에서 높은 에너지를 갖고 있는 기체이온이 타겟표면과 충돌하여 증착하고자 하는 타겟 입자들이 튀어나와 기판에 증착되는 스퍼터링(Sputtering) 과정과 박막을 식각하여 패터닝하는 공정은 감광성 화학약품(PR: Photo resist)이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용하여 얻고자 하는 패턴의 마스크를 사용하여 빛을 선택적으로 감광막에에 조사함으로 써 마스크의 패턴과 동일한 패턴을 형성시키는 현상 과정과 기체 플라즈마로부터 만들어진 원자나 자유기(radical)와 같은 반응성 물질과 기판에 증착된 물질이 반응하여 휘발성 물질로 변하는 현상을 이용한 식각 과정으로 이루어진다.

그리고, 셀(Cell) 공정은 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 하부기판과 컬러필터가 형성된 상부기판에 배향막을 형성하는 배향막 도포과정, 배향막에 액정이 잘 정렬할 수 있도록 하는 러빙(rubbing) 과정, 스페이서(spacer)를 산포하는 스페이서 과정, 상판과 하판을 합착한 후에 모세관 현상을 이용하여 액정을 내부에 주입한 후, 주입구를 봉지하는 액정주입과정으로 이루어진다.

모듈(Module) 공정은 최종적으로 사용자에게 전해지는 제품 품질을 결정하는 단계로서, 완성된 패널에 편광판을 부착하고 드라이버 칩를 실장한 후 PCB(Printed Circuit Board)를 조립하여 최종적으로 백라이트 유닛(Backlight unit)과 기구물을 조립하게 된다. 여기서, 상기 셀 공정에서는 액정주입 과정 후에 오토 프로브(auto probe) 검사과정을 추가로 진행하게 되는데, 오토 프로브 검사 과정에서는 일종의 전자현미경인 오토프로브 장치를 이용하여 검사자가 액정주입상태를 관측 검사하게 된다.

이하에서는 도면을 참조하여 종래기술에 따른 오토 프로브 과정을 설명하기로 한다.

도 1은 종래기술에 따른 12시 시야각을 가지는 액정패널을 검사하는 오토 프로브 장치이고, 도 2는 종래기술에 따른 6시 시야각을 가지는 액정패널을 검사하는 오토 프로브 장치이고, 도 3은 종래기술에 따른 오토 프로브 장치의 지그의 모식도이다.

도 1 내지는 도 3을 참조하여 종래기술의 오토 프로브 장치에 대하여 설명하면, 오토 프로브 장치는 검사대상의 액정패널(11)을 지지하는 지지프레임(10)과, 액정패널(11)의 주변부에 설치되어 있는 패드(도시하지 않음)에 구동신호를 인가하기 위한 지그(30)를 설치하는 지그 설치대(15)와, 액정패널(11)의 위치를 감지하여 정상적으로 지그 설치대(15)와 정렬시키기 위한 카메라(17)와, 액정패널(11)의 패드를 접촉시켜 전기적 신호를 인가하기 위한 지그(30)와, 지지프레임(10)에 수직 및 수평으로 이동 가능하게 설치되는 현미경(20)과, 현미경(20)의 위치를 조절하기 위한 위치 콘트롤 수단(도시하지 않음)으로 이루어진다. 지지프레임(10)은 중간부위에 관측부(12)을 형성하는 구조로 이루어져 있으며, 콘트롤 수단은 지지프레임(10)의 좌우단에 장착된 한 쌍의 세로 스크류바(13)와, 세로 스크류바(13)에 각각 볼스크류 방식으로 연결된 한 쌍의 이동 브라켓(도시하지 않음)과, 이동 브라켓에 양단이 회전 가능하게 지지되는 가로 스크류바(16)와, 가로 스크류바(16)에 볼스크류 연결되며 현미경(20)을 지지하게 되는 현미경 장착 브라켓(22)으로 구성되어 있고, 가로 스크류바(16)와 세로 스크류바(13)의 선단에는 각각 조작 핸들(도시하지 않음)이 부착되어 있다. 도 3과 같이, 지그(30)는 액정패널(11)의 패드와 전기적으로 접촉하는 니들(needle)(31)를 포함하여 구성된다.

상기와 같은 오토 프로브 장치를 이용하여, 종래기술에서는 지지 프레임(10) 에 검사대상 액정패널(11)을 관측부(12)에 안착시키고, 카메라(17)를 통하여 지그 설치대(15)와 연결되는 지그(30)에 액정패널(11)의 패드가 접촉될 수 있도록 정렬시키고, 관측부(12)에 설치되어 있는 진공흡입 장치(도시하지 않음)에 의해 고정시킨다. 그리고, 지그 설치대(15)에 액정패널(11)의 패드와 전기적으로 연결시키는 지그(30)를 고정시키고, 액정패널(11)의 패드에 전기적 신호를 인가하여, 검사자가 현미경(20)을 통해 액정패널(11)을 관측하여 검사를 행하게 되며, 현미경(20)의 위치를 이동시키면서 액정패널(11)의 각 부위를 골고루 검사하게 된다.

그리고 액정패널(11)은 여러가지 시야각을 가지고 있으며, 액정패널(11)의 시야각의 종류에 따라 검사자가 관측하는 위치도 변한다. 일반적으로 12시 시야각의 액정패널(11)은 검사자가 정면에서 45도 아래를 보며 관측하고, 6시 시야각의 액정패널(11)은 검사자가 액정패널(11)의 아래서 40 ~ 60도의 대각선 방향으로 관측하게 된다.

그런데, 12시 시야각의 액정패널의 경우, 편한 상태에서 검사가 가능하나, 6시 시야각의 액정패널의 경우는 액정패널의 아래에서 검사자가 구부정한 자세로 검사를 해야 하므로 검사자의 피로가 가중되고, 작업능률이 저하되는 문제가 있었다. 물론 6시 시야각의 액정패널을 검사하는 경우 오토 프로브의 높이를 높이거나, 검사자가 의자에 앉아서 검사를 할 수 있으나, 근본적인 해결책은 되지 않는다.

본 발명은 다양한 시야각을 가지는 액정패널의 검사를 용이하게 하기 위하여 상부 및 하부에 지그 설치대를 설치한 액정패널의 오토 프로브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

특히, 액정패널의 패드에 전기적 신호를 인가하는 지그 설치대를 상부 및 하부에 설치하여 작업자가 12시 시야각 또는 6시 시야각의 액정패널의 검사를 용이하게 하여 피로를 경감시키고 작업능률을 개선한 액정패널의 오토 프로브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 액정패널의 오토 프로브 장치는, 액정패널을 검사하기 위한 관측부; 상기 액정패널을 가로 및 세로로 이동시키는 이동수단; 상기 액정패널에 전기적 신호를 인가하기 위한 지그; 상기 관측부의 상부 및 하부에 각각 설치되는 상부지그 설치대 및 하부지그 설치대;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치에 있어서, 6시 시야각의 상기 액정패널을 검사하기 위해, 상기 상부지그 설치대에 상기 지그를 고정시키는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치에 있어서, 12시 시야각의 상기 액정패널을 검사하기 위해, 상기 하부지그 설치대에 상기 지그를 고정 시키는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치에 있어서, 상기 관측부에 상기 액정패널을 정렬시키기 위한 카메라와, 상기 액정패널을 검사하기 위한 현미경을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 4은 본 발명의 실시예에 따른 액정패널의 오토 프로브 장치의 간략도이고, 도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 지그 설치대의 간략도이고, 도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 액정패널의 시야각에 따른 검사자의 위치도이다.

도 4 내지는 도 6b를 참조하여 본 발명에 따른 오토 프로브 장치에 대하여 설명하면 다음과 같다, 도 4는 6시 시야각의 액정패널을 검사하기 위해, 상부지그 설치대(115a)에 지그(130)을 설치한 오토 프로브 장치고, 오토 프로브 장치는 검사대상의 액정패널(111)을 지지하는 지지프레임(110)과, 액정패널(111)의 주변부에 설치되어 있는 패드(도시하지 않음)에 구동신호를 인가하기 위한 설치되며, 6시 시야각의 액정패널에 사용되는 상부지그 설치대(115a)와 12시 시야각의 액정패널에 사용되는 하부지그 설치대(115b)와, 액정패널(111)의 패드와 접촉하여 정상적으로 전기적 신호를 인가하기 위해 상부지그 설치대(115a) 및 하부지그 설치대(115b)에 장착되는 지그(130)와, 액정패널(111)을 상부지그 설치대(115a) 및 하부지그 설치 대(115b)와 정렬시키기 위한 카메라(117)와, 지지프레임(110)에 수직 및 수평으로 이동 가능하게 설치되는 현미경(120)과, 현미경(120)의 위치를 조절하기 위한 위치 콘트롤 수단(도시하지 않음)으로 이루어진다. 지지프레임(110)은 중간 부위에 관측부(112)을 형성하는 구조로 이루어져 있으며, 콘트롤 수단은 지지프레임(110)의 좌우단에 장착된 한 쌍의 세로 스크류바(113)와, 세로 스크류바(113)에 각각 볼스크류 방식으로 연결된 한 쌍의 이동 브라켓(도시하지 않음)과, 이동 브라켓에 양단이 회전 가능하게 지지되는 가로 스크류바(116)와, 가로 스크류바(116)에 볼스크류 연결되며 현미경(120)을 지지하게 되는 현미경 장착 브라켓(122)으로 구성되어 있고, 가로 스크류바(116)과 세로 스크류바(113)의 선단에는 각각 조작 핸들(도시하지 않음)이 부착되어 있다. 상기와 같은 오토 프로브 장치를 이용하여, 종래기술에서는 지지 프레임(110)에 검사대상 액정패널(111)을 안착시킨 다음, 검사자가 현미경(120)을 통해 액정패널(111)을 관측하여 검사를 행하게 되며, 현미경(120)의 위치를 이동시키면서 액정패널(111)의 각 부위를 골고루 검사하게 된다.

그리고, 도 5a와 같이, 12시 시야각의 액정패널(111)을 검사하기 위해서, 검사대상의 액정패널(111)을 지지 프레임(110)의 관측부(112)에 안착시키고, 카메라(117)를 통하여 하부지그 지지대(115b)와 정렬되도록 이동시키고, 관측부(112)에 설치되어 있는 진공흡입장치(도시되지 않음)에 의해 고정시키고, 지그(130)의 니들(도시하지 않음)을 액정패널(111)의 패드와 접속되도록 지그(130)를 하부지그 지지대(115b)에 고정시켜 액정패널(111)의 패드에 검사를 위하여 전기적 신호를 인가 한다. 도 6a와 같이, 12시 시야각의 액정패널(111)은 검사자가 정면에서 45도 아래를 보면서 관측하므로, 검사자가 편한 상태에서 검사가 가능하다.

그러나, 6시 시야각의 액정패널(111)은 검사자가 액정패널(111)의 아래서40 ~ 60도의 대각선 방향으로 관측하게 되므로, 매우 불편한 자세에서 검사를 실행하게 되어 검사자의 피로가 가중되고 작업능률이 저하되는 문제가 있어, 6시 시야각의 액정패널(111)을 검사하기 위하여, 오토 프로브의 상부에 상부지그 설치대(115a)를 설치하였다.

도 5b와 같이, 6시 시야각의 액정패널(111)을 검사하기 위해서, 12시 시야각의 액정패널(111)을 검사할 때와 비교하여, 6시 시야각의 액정패널(111)은 수평으로 180도 회전시켜, 액정패널(111)의 패드를 상부지그 설치대(115a)의 방향으로 정렬시켜, 관측부(112)에 위치시키고, 카메라(117)를 통하여 상부지그 지지대(115a)와 정렬되도록 이동시키고, 관측부(112)에 설치되어 있는 진공흡입장치(도시되지 않음)에 의해 고정시키고, 지그(130)의 니들을 액정패널(111)의 패드와 접속되도록 지그(130)를 상부지그 지지대(115a)에 고정시켜 액정패널(111)의 패드에 검사를 위하여 전기적 신호를 인가한다.

도 6b와 같이, 6시 시야각의 액정패널(111)은 12시 시야각의 액정패널(111)과 같이 검사자가 정면에서 45도 아래를 보면서 관측하므로, 검사자가 편한 상태에서 검사가 가능하다. 다시 말하면, 6시 시야각의 액정패널(111)을 수평으로 180도 회전시켜 액정패널(111)의 패드를 상부지그 설치대(115a)와 정렬시켜 지그(130)의 패드 접촉부와 연결시키는 것에 의해 전기적 신호를 인가할 수 있어 종래와 같이 검사자가 액정패널(11)의 아래서 40 ~ 60도의 대각선 방향으로 관측하게 된다.

그리고 액정패널(11)은 여러가지 시야각을 가지고 있으며, 액정패널(11)의 시야각의 종류에 따라 검사자가 관측하는 위치도 변한다. 일반적으로 12시 시야각의 액정패널(11)은 검사자가 정면에서 45도 아래를 보며 관측하고, 6시 시야각의 액정패널(11)은 검사자가 액정패널(11)의 아래서 40 ~ 60도의 대각선 방향으로 관측하게 되어, 검사자가 구부정한 자세로 검사를 해야 하므로 검사자의 피로가 가중되고, 작업능률이 저하는 문제를 해결하였다.

본 발명의 실시예에 따른 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치는 다음과 같은 효과가 있다.

여러가지 시야각을 가진 액정패널, 특히 12시 및 6시 시야각을 가진 액정패널에 대하여, 작업자가 편한 자세에서 검사할 수 있다. 다시 말하면, 12시 시야각의 액정패널은. 액정패널의 패드와 연결되는 지그를 액정패널의 하부에 설치하여 검사자가 정면에서 45도 아래를 보며 관측하므로,편한 자세에서 검사할 수 있고, 6시 시야각의 액정패널은, 12시 시야각의 액정패널과 비교하여 수평으로 180도 회전하고 액정패널의 패드와 연결되는 지그를 액정패널의 상부에 설치하여 전기적 신호 를 인가하는 것에 의해, 작업자가 12시 시야각의 액정패널과 유사하게 정면에서40 ~ 60도 아래를 보면서 관측하므로, 편한 자세에서 검사할 수 있다. 따라서, 검사자의 피로가 경감하여, 작업능률을 향상시켜 생산성을 개선하는 효과가 있다.

Claims

액정패널을 검사하기 위한 관측부;

상기 액정패널을 가로 및 세로로 이동시키는 이동수단;

상기 액정패널에 전기적 신호를 인가하기 위한 지그;

상기 관측부의 상부 및 하부에 각각 설치되는 상부지그 설치대 및 하부지그 설치대;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치.
제 1 항에 있어서,

6시 시야각의 상기 액정패널을 검사하기 위해, 상기 상부지그 설치대에 상기 지그를 고정시키는 것을 특징으로 하는 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치.
제 1 항에 있어서,

12시 시야각의 상기 액정패널을 검사하기 위해, 상기 하부지그 설치대에 상기 지그를 고정시키는 것을 특징으로 하는 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 관측부에 상기 액정패널을 정렬시키기 위한 카메라와, 상기 액정패널을 검사하기 위한 현미경을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치.