KR20080000937A - 액정기판 검사장치 및 검사방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 액정기판의 결함을 검사하는 장치로서,상기 액정기판이 안착되는 스테이지와;상기 스테이지의 일측에서 광을 방사하는 백라이트와;상기 백라이트와 상기 스테이지 사이에 위치하며, 상기 광을 편광시키는 제1 편광부와;상기 스테이지의 타측에 위치하며, 상기 제1 편광부를 투과한 상기 광을 편광시키는 제2 편광부를 포함하되,상기 백라이트와 상기 제2 편광부 사이에는 소정 크기의 개구부를 제외한 영역에서 상기 광을 차단하는 차광부가 개재되는 것을 특징으로 하는 액정기판 검사장치.
- 제1항에 있어서,상기 백라이트는 상기 개구부의 크기에 상응하는 크기를 가지고, 상기 액정기판의 면내방향으로 이동 가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 액정기판 검사장치.
- 제1항에 있어서,상기 제1 편광부는 상기 백라이트의 크기에 상응하는 크기를 가지고, 상기 액정기판의 면내방향으로 이동 가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 액정기판 검사장치.
- 제1항에 있어서,상기 액정기판은 복수의 단위기판으로 절단되어 사용되며,상기 개구부는 상기 단위기판의 크기에 상응하는 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정기판 검사장치.
- 제1항에 있어서,상기 차광부는 이동 가능한 복수의 차광막이 결합되어 형성되며, 상기 개구부의 위치는 상기 복수의 차광막을 이동시킴으로써 변경되는 것을 특징으로 하는 액정기판 검사장치
- 제5항에 있어서,상기 차광막은, 직사각형의 개구부를 형성하도록 상기 개구부의 각 변에 상 응하는 위치에 배치되고 서로 대향하며 상호 간의 거리조절이 가능한 2 쌍의 단위 차광막을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정기판 검사장치.
- 제5항에 있어서,상기 제2 편광부를 투과한 상기 광을 수신하는 광수신부를 더 포함하되, 상기 광수신부는 상기 개구부의 위치에 상응하여 상기 액정기판의 면내방향으로 이동 가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 액정기판 검사장치.
- 복수의 단위기판으로 절단되어 사용되는 액정기판에, 상기 복수의 단위기판 각각의 위치에 대응하는 복수의 검사영역 중 어느 하나가 선택적으로 개방되도록 작동하는 차광막을 적용하여, 상기 액정기판의 결함을 검사하는 방법으로서,(a) 상기 액정기판을 로딩하는 단계;(b) 상기 복수의 검사영역 중 어느 하나가 개방되도록 상기 차광막을 작동하는 단계;(c) 상기 액정기판의 일측에서 편광된 광을 방사하고, 상기 액정기판을 투과한 광을 다시 편광시켜 수신하는 단계; 및(d) 상기 단계 (c)에서 수신된 광에 상응하는 이미지 데이터를 생성하고, 상기 이미지 데이터를 분석하여 상기 액정기판의 결함을 검출하는 단계를 포함하는 액정기판 검사방법.
- 제8항에 있어서,상기 단계 (b) 내지 상기 단계 (d)는 상기 복수의 검사영역 각각에 대해 수행되는 것을 특징으로 하는 액정기판 검사방법.
- 제8항에 있어서,상기 단계 (d) 이후에, 상기 액정기판이 상기 복수의 단위기판으로 절단되도록 상기 액정기판을 언로딩하는 단계를 더 포함하는 액정기판 검사방법.
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