JPH05256792A - 液晶ディスプレイ基板の検査装置 - Google Patents

液晶ディスプレイ基板の検査装置

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JPH05256792A
JPH05256792A JP4241042A JP24104292A JPH05256792A JP H05256792 A JPH05256792 A JP H05256792A JP 4241042 A JP4241042 A JP 4241042A JP 24104292 A JP24104292 A JP 24104292A JP H05256792 A JPH05256792 A JP H05256792A
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crystal display
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electro
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JP4241042A
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J Henry Francois
ジェイ・ヘンリィ フランソア
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Photon Dynamics Inc
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IHI Corp
Photon Dynamics Inc
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    • G—PHYSICS
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    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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    • G02F1/1309—Repairing; Testing
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 本発明は、検査対象の液晶ディスプレイ基板
１に対向配置される電気光学素子１０と、それらの間に
電圧を印加するための電源と、電気光学素子に対して光
を照射するための光源と、電気光学素子からの反射光を
受光する受光器と、検査対象の液晶基板を定位値に固定
するための固定装置２０を備える。その固定装置は、基
台２１の表面２１aを高精度に平坦となしてそこに溝２
２を形成し、その溝内から排気手段２５により排気を行
うことによって、液晶基板を基台の表面に対して真空吸
着する。 【効果】 液晶ディスプレイ基板の製造工程においてそ
れ自体の欠陥を検査することが可能となり、液晶表示パ
ネルの歩留まりの向上、低価格化を実現できる。また、
固定装置により液晶基板を確実にかつ極めて容易に固定
できるとともに、液晶基板に反りやうねりが生じていて
も、高精度に平坦とされた基台表面に真空吸着されるこ
とによってその反りやうねりが解消される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネル等に用
いられる液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査するための
検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶テレビ等に用いられる高画素数の液
晶表示パネルとして、アクティブマトリックス方式とい
われるものが実用化されている。これは、画素のそれぞ
れに薄膜トランジスタによるスイッチ回路を設けた構造
のもので、画素数が２５〜５０万個に及ぶものから１０
０万個以上のものも登場している。
【０００３】従来、そのようなアクティブマトリックス
方式の液晶表示パネルを製造するには、まず、ガラス等
の基板上に、各画素に対応する画素電極を行列状に配置
するとともに、それら各画素電極に共通するゲート配線
およびソース配線と、各画素電極に対応する薄膜トラン
ジスタとを形成することでアクティブマトリックス液晶
ディスプレイ基板(以下では液晶基板と略称する)を製造
し、次いで、その液晶基板上にスペーサを介して透明基
板を対向配置し、それら液晶基板と透明基板との間に形
成された空隙に液晶を封入する、という手法が採用され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な、多数の画素電極とそれに対応した配線および薄膜ト
ランジスタが形成される液晶基板は、ダストを極度に少
なく調整したクリーンルームにおいて種々の成膜プロセ
スを経て製造されるのであるが、高画素数の液晶基板に
おいては各画素の大きさや配線の幅が極端に小さいもの
であるので、製造雰囲気中に含まれるわずかなマイクロ
ダストの存在が画素電極やゲート配線やソース配線など
の断線欠陥や短絡欠陥に直結してしまうものである。そ
して、それらの欠陥は一つの液晶基板に対して数個〜１
０個程度までは許容されるが、現状の製造技術では特に
高画素数の液晶基板を製造する場合にあっては欠陥数を
許容限度以下に少なくすることが極めて困難であって、
不良率が著しく高いことが実状である。
【０００５】しかも、上記のような液晶基板を製造する
場合、製造された液晶基板の良否を検査することが必要
であるが、従来においては液晶基板の製造工程において
その液晶基板自体の良否を検査する有効な手段がなく、
このため、液晶表示パネルとして完成させた後にはじめ
てその液晶表示パネルに通電して目視により各画素が実
際に作動するかどうかを検査するようにしている。しか
しながら、そのようなことでは、検査により欠陥が発見
されても液晶基板に対して補修等を行うことは困難であ
って製品を廃棄処分する他なく、このことがアクティブ
マトリックス方式の液晶表示パネルの歩留り向上と製造
コスト低減を阻む一因となっている。
【０００６】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、液晶表示パネル等に用いられる液晶基板の欠陥をそ
れ自体で検査し得る有効な装置を提供することを目的と
している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、液晶ディスプ
レイ基板の表面側に、電場を印加すると光学的性質が変
化する電気光学素子を微小間隔をおいて対向配置し、そ
の電気光学素子と前記液晶ディスプレイ基板の各画素電
極との間に電源により電圧を印加するとともに、前記電
気光学素子の背面に対して光源から光を照射してその反
射光を受光器により受光して観察するように構成され、
かつ、検査に際して前記液晶ディスプレイ基板を固定す
るための固定装置を具備し、その固定装置は、平坦な表
面を有していてその表面に前記液晶ディスプレイ基板が
密着する状態で配置される基台と、その基台の表面に形
成された溝と、その溝内から排気を行って溝内を負圧と
することにより前記液晶ディスプレイ基板を前記基台の
表面に対して真空吸着するための排気手段とを有してな
ることを特徴としている。
【０００８】
【作用】電気光学素子は電場を印加すると光学的性質が
変化するものであって、この電気光学素子を検査対象の
液晶基板に対して微小距離おいて対向配置してその液晶
基板上の画素電極と電気光学素子との間に電源により通
電すると、液晶基板における欠陥の有無や状況に応じて
各画素電極が発生させる電場が変化し、それに伴って電
気光学素子の光学的性質が種々に変化することになる。
そして、電気光学素子に対して光源より光を照射してそ
の反射光を受光器により受光し、その反射光の状態を観
察することによって電気光学素子の光学的性質の変化の
状態を検知することができ、それによって、液晶基板の
欠陥の有無や状況を知り得る。
【０００９】そして、本発明の検査装置においては、基
台の表面に形成した溝内を負圧とすることによって検査
対象の液晶基板を基台表面に対して真空吸着して固定す
るものであり、したがって、基台表面を十分に平坦に仕
上げておくことにより、液晶基板に反りやうねりが生じ
ていた場合であっても、その液晶基板が基台表面に真空
吸着されることで反りやうねりが解消する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明に係る検査装置の実施例を図面
を参照しながら説明する。図１および図２はこの実施例
の検査装置における固定装置の一例を示す図、図３〜図
５は固定装置の他の例を示す図、図６はこの検査装置の
基本構成と動作原理を説明するための図、図７は検査対
象の液晶基板の一構成例を示す図である。
【００１１】まず、図７に示す検査対象の液晶基板につ
いて説明する。この液晶基板１は液晶表示パネル等に使
用される公知のもので、たとえばガラス等の基板２の表
面に、データ信号を流すための多数のソース配線３と走
査信号を流すための多数のゲート配線４とが整列状態で
形成されているとともに、それらソース配線３とゲート
配線４の間に画素電極５が形成され、かつ、それら画素
電極５がスイッチング素子である薄膜トランジスタ６を
介してソース配線３とゲート配線４とに接続された構成
とされている。また、符号７はソース配線３に接続され
たショーティングバー、８はゲート配線４に接続された
ショーティングバーである。これらのショーティングバ
ー７,８は、薄膜トランジスタ６に悪影響を及ぼす静電
気を防止するためのものであるとともに、後述するよう
に、検査に際して各ソース配線３およびゲート配線４を
介して画素電極５に電圧を印加するために用いられるも
のであるが、これらショーティングバー７,８は液晶基
板１が完成した時点で切断除去されるものである。
【００１２】本実施例の検査装置は、上記のような液晶
基板１における欠陥すなわちソース配線３やゲート配線
４や画素電極５の断線や短絡等を検査するためのもので
あり、まず、その基本構成と動作原理を図６により説明
する。図６において符号１０は液晶基板１の表面側に数
十μm程度の微小間隔をおいて対向配置される電気光学
素子、１１はその電気光学素子１０と液晶基板１の画素
電極５との間に電圧を印加するための電源、１２は電気
光学素子１０の背面(図６において上面)に対して光を照
射する光源、１３は電子光学素子１０からの反射光を受
光する受光器、１４は受光器１３による撮影画像を観察
するためのモニタである。
【００１３】上記の電気光学素子１０は、電場が印加さ
れると光学的性能に変化をきたす液晶シートあるいはポ
ッケルス結晶板などを用いたもので、図６に示すもの
は、透明ケースの内部に液晶が封入されてなる液晶シー
ト１０aの底面に、金蒸着膜などのような光反射体１０b
を形成あるいは貼設し、かつ、上面に薄膜透明電極１０
cを形成してなるものである。上記の液晶シート１０a
は、具体的には、ＮＣＡＰ(Ｎematic Ｃurvilinear
Ａligned Ｐhase)などのように、液晶シート１０a内に
造られる電界の大きさにより光の透過率が変化するもの
である。この場合、液晶シート１０a内に封入する液晶
としては、水滴状の液晶を高分子、例えばポリマー中に
分散させた液晶を内包する高分子の球形(ドロップレッ
ト)の大きさを調節し、電場のオン・オフで高分子と液
晶の屈折率の一致、不一致によって透明・不透明を出現
させる形式の液晶などが好適である。なお、電気光学素
子１０の他の例として、作用する電界の大きさによって
反射光の偏光量が変化するポッケルス結晶を用いること
もできるし、電場を印加すると光の透過率や反射光の偏
光量などのような光学的性質が一定の割合で変化するも
のであれば、前記のものに限らず、さらに他の電気光学
素子を用いることもできる。
【００１４】また、上記の電源１１は、電気光学素子１
０の薄膜透明電極１０cと液晶基板１のショーティング
バー７,８に対して電気的に接続され、液晶基板１上の
全画素電極５にソース配線３およびゲート配線４を通じ
て電圧を印加できるようになっている。なお、電源１１
としては、ソース配線３とゲート配線４のそれぞれに別
個にパルス電圧を印加できるとともに、そのパルス電
圧、パルス幅、周期を自由に変化させることができるも
のが好ましい。また、上記の光源１２としてはたとえば
ハロゲンランプを用いることが良いが、各種レーザ光等
を用いても良い。さらに、上記の受光器１３としてはＣ
ＣＤカメラ等を用いると良い。
【００１５】上記の検査装置においては、電源１１によ
り液晶基板１と電気光学素子１０との間に通電すると、
液晶基板１における欠陥の有無や状況に応じて各画素電
極５が発生させる電場が変化し、それに伴って電気光学
素子１０の光学的性質が種々に変化することになる。し
たがって、電気光学素子１０に対して光源１２より照射
された光の反射光を受光器１３により受光して、その反
射光の状態をモニタ１４により観察し、かつ、その画像
データを画像処理の手法により解析することによって、
電気光学素子１０の光学的性質の変化の状態を検知する
ことができ、それに基づき、液晶基板１自体の欠陥の有
無や状況を知り得るものである。
【００１６】すなわち、たとえば、液晶基板１上の画素
電極５とソース配線３とゲート配線４あるいはその他の
部分に断線が生じていると、電源１１により通電しても
画素電極５の一部が作動せず、その結果、作動しない画
素電極５上の電気光学素子１０には光学的変化が生じる
ことがないから、このことで断線が生じていることが検
知されるのである。また、短絡欠陥がある場合には、例
えばソース配線３あるいはゲート配線４のいずれかに通
電するだけで電気光学素子１０が作動するというような
異常現象が生じ、このことで短絡欠陥が生じていること
が検知されるのである。
【００１７】ところで、上記のような検査を行う場合に
は、液晶基板１を定位値に固定する必要があるので、上
記の検査装置にはそのための固定装置が備えられてい
る。以下、図１および図２を参照してその固定装置２０
について説明する。
【００１８】上記の固定装置２０はいわゆる真空チャッ
ク機構によるものであって、平面視略正方形とされてい
るとともに検査対象の液晶基板１の面積よりやや大きな
ものとされた基台２１の表面２１aを高精度に平坦とな
して、その基台２１の表面２１aに複数の溝２２を形成
し、それら溝２２に連通するように基台２１に形成され
た貫通孔２３およびそれら貫通孔２３に接続された排気
管２４を通じて、真空ポンプ(排気手段)２５により溝２
２内を負圧とするように構成されたものである。そし
て、基台２１上に検査対象の液晶基板１をセットして真
空ポンプ２５を作動させることにより、溝２２内が負圧
となって液晶基板１が基台２１の表面２１aに真空吸着
されてその裏面(下面)が基台２１の表面２１aに密着し
た状態で固定されるようになっている。
【００１９】なお、基台２１の材質は適宜で良いが、十
分な強度を有しているとともに錆び難いものであること
が必要であるので、たとえばステンレス鋼を用いること
が好ましい。また、基台２１の表面２１aの平坦度は０.
１μm程度とすることが望ましく、そのような平坦度を
得るためには表面２１aに対してラビング加工を施すこ
とが良い。また、図１および図２における符号２６は液
晶基板１の位置決めを行うために基台２１の外周部に形
成された案内部材であるが、これは不要であれば省略し
ても良い。さらに、この検査装置はクリーンルーム内に
おいて使用されることになるが、クリーンルーム内の清
浄度を維持するために上記の真空ポンプ２５はクリーン
ルーム外に設置する必要がある。
【００２０】また、本実施例の検査装置では、電気光学
素子１０をホルダ３０の下面に装着し、液晶基板１を基
台２１上にセットした後にそのホルダ３０を基台２１上
面に対向配置することで、液晶基板１と電気光学素子１
０とを対向させるようにしている。そして、液晶基板１
と電気光学素子１０の間のギャップをギャップセンサ３
１により検出するとともに、ホルダ３０の外周部に取り
付けられているセッティングボルト３２の繰り出し量を
調節することでギャップを最適値(たとえば３０μm程
度)に設定するようになっている。
【００２１】上記のような固定装置２０を採用したこと
によって、この検査装置では、検査に際して液晶基板１
を基台２１に対して真空吸着することで容易にかつ確実
に固定できることは勿論のこと、基台２１の表面２１a
が高精度に平坦とされているので、液晶基板１に反りや
うねりが生じていたとしてもそれが基台２１に真空吸着
されることで反りやうねりが解消させられ、これによっ
て、検査に際しては液晶基板１を基台２１の表面２１a
と同等程度の高精度の平坦度となすことができ、これに
よって、十分な検査精度を得ることができる。
【００２２】なお、基台２１の表面２１aに形成する溝
２２の数やその形状は、検査対象の液晶基板１の大きさ
や形状に対応させて適宜変更して良く、たとえば、図３
に示すように上記の基台２１に形成した溝２２どうしを
連絡する他の溝２２aを形成したり、図４に示すように
円形の溝２２bを同心円状に形成したり、図５に示すよ
うに半円弧状の溝２２cを互い違いに形成しても良い。
勿論、溝の断面形状としては矩形や三角形や半円弧状等
の任意の形状が採用し得るし、断面寸法も適宜設定すれ
ば良い。
【００２３】また、本発明の検査装置は、アクティブマ
トリックス方式の液晶ディスプレイ基板に対してのみな
らず、単純マトリックス方式の液晶ディスプレイ基板に
対しても同様に適用することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明の検査装
置は、電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学
素子を用い、その電気光学素子からの反射光を観察する
ように構成したので、液晶基板の製造工程においてその
液晶基板自体の欠陥を検査することが可能であり、それ
によって液晶表示パネルの歩留まりの向上、低価格化を
実現できることは勿論のこと、基台表面に形成した溝内
を負圧にすることで検査対象の液晶基板を真空吸着する
構成の固定装置を備えたので、検査に際して液晶基板を
基台に対して容易にかつ確実に固定できるとともに、基
台の表面を十分に平坦としておくことにより、液晶基板
に反りやうねりが生じていてもそれを真空吸着すること
で反りやうねりを解消させることができ、したがって十
分な検査精度を得ることができる、という効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である検査装置における固定
装置の概略構成を示す側面図である。
【図２】同固定装置の基台の平面図である。
【図３】基台の他の例を示す平面図である。
【図４】基台の他の例を示す平面図である。
【図５】基台の他の例を示す平面図である。
【図６】本発明の検査装置の基本構成とその動作原理を
説明するための図である。
【図７】検査対象の液晶基板の一例を示す図である。
【符号の説明】
１ 液晶ディスプレイ基板 ２ 基板 ３ ソース配線 ４ ゲート配線 ５ 画素電極 ６ 薄膜トランジスタ １０ 電気光学素子 １１ 電源 １２ 光源 １３ 受光器 １４ モニタ ２０ 固定装置 ２１ 基台 ２１a 基台の表面 ２２ 溝 ２２a 溝 ２２b 溝 ２２c 溝 ２３ 貫通孔 ２４ 排気管 ２５ 真空ポンプ(排気手段) ２６ 案内部材 ３０ ホルダ ３１ ギャップセンサ ３２ セッティングボルト。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 液晶ディスプレイ基板の欠陥を検査する
    ための装置であって、前記液晶ディスプレイ基板の表面
    側に、電場を印加すると光学的性質が変化する電気光学
    素子を微小間隔をおいて対向配置し、その電気光学素子
    と前記液晶ディスプレイ基板の各画素電極との間に電源
    により電圧を印加するとともに、前記電気光学素子の背
    面に対して光源から光を照射してその反射光を受光器に
    より受光して観察するように構成され、かつ、検査に際
    して前記液晶ディスプレイ基板を固定するための固定装
    置を具備し、その固定装置は、平坦な表面を有していて
    その表面に前記液晶ディスプレイ基板が密着する状態で
    配置される基台と、その基台の表面に形成された溝と、
    その溝内から排気を行って溝内を負圧とすることにより
    前記液晶ディスプレイ基板を前記基台の表面に対して真
    空吸着するための排気手段とを有してなることを特徴と
    する液晶ディスプレイ基板の検査装置。
JP4241042A 1991-09-10 1992-09-09 液晶ディスプレイ基板の検査装置 Pending JPH05256792A (ja)

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US07/757,458 US5459409A (en) 1991-09-10 1991-09-10 Testing device for liquid crystal display base plate
US757,458 1991-09-10

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08304852A (ja) * 1995-04-28 1996-11-22 Nec Corp 液晶ディスプレイ基板の検査方法および装置
JPH0950248A (ja) * 1995-08-09 1997-02-18 Nippon Maikuronikusu:Kk 表示パネルの吸着テーブル
KR101066481B1 (ko) * 2004-06-29 2011-09-21 엘지디스플레이 주식회사 합착 검사기

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6559818B1 (en) * 1995-01-24 2003-05-06 Micron Technology, Inc. Method of testing addressable emissive cathodes
US5694053A (en) * 1995-06-07 1997-12-02 Xerox Corporation Display matrix tester
US5754305A (en) * 1996-12-03 1998-05-19 Eastman Kodak Company Method and apparatus for correcting light non-uniformity in an LCD photographic printer
US5870205A (en) * 1996-12-03 1999-02-09 Eastman Kodak Company Method and apparatus for correcting light non-uniformity in an LCD photographic printer
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US20020135395A1 (en) * 2001-02-08 2002-09-26 Pete Smith System and method for testing a display device
JP3468755B2 (ja) * 2001-03-05 2003-11-17 石川島播磨重工業株式会社 液晶駆動基板の検査装置
US20040145381A1 (en) * 2001-12-28 2004-07-29 Jun Su Test fixture for die-level testing of planar lightwave circuits
US6765203B1 (en) * 2003-01-31 2004-07-20 Shimadzu Corporation Pallet assembly for substrate inspection device and substrate inspection device
US7343080B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-11 Idc, Llc System and method of testing humidity in a sealed MEMS device
US7453579B2 (en) * 2004-09-27 2008-11-18 Idc, Llc Measurement of the dynamic characteristics of interferometric modulators
US7417735B2 (en) 2004-09-27 2008-08-26 Idc, Llc Systems and methods for measuring color and contrast in specular reflective devices
US20060176487A1 (en) 2004-09-27 2006-08-10 William Cummings Process control monitors for interferometric modulators
US7299681B2 (en) 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc Method and system for detecting leak in electronic devices
US7289256B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Electrical characterization of interferometric modulators
US7359066B2 (en) 2004-09-27 2008-04-15 Idc, Llc Electro-optical measurement of hysteresis in interferometric modulators
US7415186B2 (en) 2004-09-27 2008-08-19 Idc, Llc Methods for visually inspecting interferometric modulators for defects
CN100516906C (zh) * 2004-12-28 2009-07-22 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 阵列基板检测装置和检测方法
CN101078666B (zh) * 2006-05-26 2010-09-01 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 反射式显示设备检测装置及方法
US7388704B2 (en) 2006-06-30 2008-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Determination of interferometric modulator mirror curvature and airgap variation using digital photographs
JP5474291B2 (ja) * 2007-11-05 2014-04-16 株式会社アルバック アッシング装置
US9035673B2 (en) 2010-01-25 2015-05-19 Palo Alto Research Center Incorporated Method of in-process intralayer yield detection, interlayer shunt detection and correction
KR20120136186A (ko) * 2011-06-08 2012-12-18 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
CN104978916A (zh) * 2014-04-03 2015-10-14 四川虹视显示技术有限公司 Oled面板显示缺陷修复方法
CN105093574B (zh) * 2015-06-05 2018-06-08 京东方科技集团股份有限公司 显示面板检测台
CN108180830B (zh) * 2017-12-28 2019-12-31 武汉华星光电技术有限公司 用于基板检测的气管接头及量测系统
US11474144B2 (en) 2018-12-21 2022-10-18 Industrial Technology Research Institute Method for inspecting light-emitting diodes and inspection apparatus
TWI759866B (zh) * 2020-06-19 2022-04-01 財團法人工業技術研究院 發光二極體的檢測裝置及其檢測方法

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2127391A5 (ja) * 1971-03-05 1972-10-13 Constr Telephoniques
US3780271A (en) * 1972-09-29 1973-12-18 Sigma Systems Error checking code and apparatus for an optical reader
DE2311903A1 (de) * 1973-03-09 1974-09-12 Siemens Ag Verfahren und einrichtung zur ortung von kurzschluessen in mehrlagenverdrahtungen
US3949363A (en) * 1974-06-28 1976-04-06 Recognition Equipment, Incorporated Bar-Code/MICR/OCR merge
US4242635A (en) * 1979-01-26 1980-12-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Apparatus and method for integrated circuit test analysis
US4368523A (en) * 1979-12-20 1983-01-11 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device having redundant pairs of address buses
NL181528C (nl) * 1980-01-12 1987-09-01 Sumitomo Electric Industries Inrichting voor het meten van een spanning of van een elektrisch veld met gebruikmaking van licht.
US4355278A (en) * 1980-08-06 1982-10-19 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Method for testing and analyzing surface acoustic wave interdigital transducers
US4444801A (en) * 1981-01-14 1984-04-24 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for correcting transparent defects on a photomask
DE3111393A1 (de) * 1981-03-23 1982-09-30 WEE Elektronik Entwicklungs-Gesellschaft mbH, 6980 Wertheim Verfahren und einrichtung zum orten von kurzschluessen in leiterplatten, verdrahtungen, leitungen, kabeln oder dergleichen
JPS586127A (ja) * 1981-07-03 1983-01-13 Hitachi Ltd フオトマスク欠陥修正方法とその装置
JPS58109859A (ja) * 1981-12-24 1983-06-30 Sumitomo Electric Ind Ltd 光による電圧・電界測定器
US4507605A (en) * 1982-05-17 1985-03-26 Testamatic, Incorporated Method and apparatus for electrical and optical inspection and testing of unpopulated printed circuit boards and other like items
JPS58203443A (ja) * 1982-05-24 1983-11-26 Hitachi Ltd ホトマスクの白点欠陥修正用組成物
JPS59111197A (ja) * 1982-12-17 1984-06-27 シチズン時計株式会社 マトリクス型表示装置の駆動回路
US4542333A (en) * 1983-05-05 1985-09-17 Ppg Industries, Inc. Method and apparatus utilizing magnetic field sensing for detecting discontinuities in a conductor member associated with a glass sheet
US4523847A (en) * 1983-07-07 1985-06-18 International Business Machines Corporation Frequency modulation-polarization spectroscopy method and device for detecting spectral features
JP2721497B2 (ja) * 1984-03-19 1998-03-04 ケント・ステート・ユニバーシティ 光変調性物質の製造方法
US4618819A (en) * 1984-03-27 1986-10-21 The University Of Rochester Measurement of electrical signals with subpicosecond resolution
ATE80955T1 (de) * 1984-06-20 1992-10-15 Gould Inc Laserverfahren zur photomaskenreparatur.
JPS6124473A (ja) * 1984-07-12 1986-02-03 Tokyo Electric Co Ltd バ−コ−ド情報入力確認方法
US4631576A (en) * 1984-11-13 1986-12-23 Hazeltine Corporation Nonuniformity correction system for color CRT display
US4776022A (en) * 1985-04-09 1988-10-04 Aoi Systems, Inc. System for printed circuit board defect detection
US4636403A (en) * 1985-04-29 1987-01-13 At&T Technologies, Inc. Method of repairing a defective photomask
US4825201A (en) * 1985-10-01 1989-04-25 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Display device with panels compared to form correction signals
US4718064A (en) * 1986-02-28 1988-01-05 Western Digital Corporation Automatic test system
US4758092A (en) * 1986-03-04 1988-07-19 Stanford University Method and means for optical detection of charge density modulation in a semiconductor
US4760330A (en) * 1986-06-06 1988-07-26 Northern Telecom Limited Test system with shared test instruments
EP0264482B1 (en) * 1986-10-23 1991-12-18 International Business Machines Corporation Method for contactless testing of integrated circuit packaging boards under atmospheric conditions
US4819038A (en) * 1986-12-22 1989-04-04 Ibm Corporation TFT array for liquid crystal displays allowing in-process testing
US4939353A (en) * 1987-01-22 1990-07-03 Kabushiki Kaisha Toshiba Processing system for enabling data communication with a self-diagnose device
US4910458A (en) * 1987-03-24 1990-03-20 Princeton Applied Research Corp. Electro-optic sampling system with dedicated electro-optic crystal and removable sample carrier
JPS63308572A (ja) * 1987-06-10 1988-12-15 Hamamatsu Photonics Kk 電圧検出装置
EP0299432B1 (en) * 1987-07-13 1994-06-08 Hamamatsu Photonics K.K. A voltage detecting device
KR960006869B1 (ko) * 1987-09-02 1996-05-23 도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤 프로우브 장치에 의한 전기특성 검사방법
US4944576A (en) * 1988-03-21 1990-07-31 Hughes Aircraft Company Film with partial pre-alignment of polymer dispersed liquid crystals for electro-optical devices, and method of forming the same
US4862075A (en) * 1988-09-01 1989-08-29 Photon Dynamics, Inc. High frequency test head using electro-optics
US4875006A (en) * 1988-09-01 1989-10-17 Photon Dynamics, Inc. Ultra-high-speed digital test system using electro-optic signal sampling
US5037683A (en) * 1988-09-26 1991-08-06 W. R. Grace & Co.-Conn. High strength laminated film for chub packaging
US5017755A (en) * 1988-10-26 1991-05-21 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of repairing liquid crystal display and apparatus using the method
JP2567952B2 (ja) * 1989-09-05 1996-12-25 株式会社日立製作所 Ｌｓｉ補修配線方法
DE68910322T2 (de) * 1989-11-28 1994-05-05 Ibm Verfahren zur Inspektion von Durchkontakt-Stiften in integrierten Schaltungspackungen mittels Photoemission.
US4983911A (en) * 1990-02-15 1991-01-08 Photon Dynamics, Inc. Voltage imaging system using electro-optics
US5140145A (en) * 1990-08-28 1992-08-18 Bianco James S Bar code reader test and tampering indication system
US5243602A (en) * 1990-12-14 1993-09-07 Intermec Corporation Method and apparatus for testing bar code decoder routines

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08304852A (ja) * 1995-04-28 1996-11-22 Nec Corp 液晶ディスプレイ基板の検査方法および装置
JPH0950248A (ja) * 1995-08-09 1997-02-18 Nippon Maikuronikusu:Kk 表示パネルの吸着テーブル
KR101066481B1 (ko) * 2004-06-29 2011-09-21 엘지디스플레이 주식회사 합착 검사기

Also Published As

Publication number Publication date
US5459409A (en) 1995-10-17

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