KR960006869B1

KR960006869B1 - 프로우브 장치에 의한 전기특성 검사방법

Info

Publication number: KR960006869B1
Application number: KR1019880010828A
Authority: KR
Inventors: 슈우지 아키야마
Original assignee: 도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤; 이노우에 아키라
Priority date: 1987-09-02
Filing date: 1988-08-25
Publication date: 1996-05-23
Also published as: KR890005530A; US4899105A

Abstract

내용없음

Description

프로우브 장치에 의한 전기특성 검사방법

제1도의 (a)는, 본 발명 방법을 실시하기 위하여 사용한 프로우브 장치의 평면도,

제1도의 (b)는, 본 발명의 방법을 실시하기 위하여 사용한 프로우브 장치의 측면도,

제2도의 (a)는, 본 발명에서 광파이버 케이블을 구비한 처크의 평면도,

제2도의 (b)는, 본 발명에서 광파이버 케이블을 구비한 처크의 측면도,

제3도는, 본 발명에서 방출 파이버 프로우브의 개략적인 설명도,

제4도는, 본 발명에서 입사 파이버 프로우브의 개략적인 설명도,

제5도는, 본 발명에서 파이버 수납복스의 조립상태를 나타낸 설명도,

제6도는, 본 발명 방법의 공정의 흐름을 나타낸 설명도,

제7도는, 본 발명에서 처크의 이동 및 광파이버를 끌어 이동하는 상태를 나타낸 평면도,

제8도의 (a)는, 본 발명에서 여러개의 광 파이버 케이블을 구비한 처크의 평면도,

제8도의 (b)는, 본 발명에서 여러개의 광 파이버 케이블을 구비한 최초의 측면도,

제9도는, 본 발명에서 파이버 수납복스에 X-Y 슬라이드 기구를 착설한 것을 나타낸 설명도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 로우더부 2 : 검사부

3 : 파이버 수납복스(Box) 4 : 광원부

5 : 키 보오드 6 : 스코우프(Scope)

7 : 개구부 10 : 처크

10a : 파이버 착설구멍 10b : 광 방출구멍

12 : 파이버 착설판 20 : 방출 파이버 프로우브

21 : 튜우브 22 : 방출 브레키트

22a : 구멍부 23 : 보강 튜우브

24 : 죠인트 코넥터 25 : 플러그

25a : 원반구 25b : 구멍

25c : 보올트부 30 : 입사파이버 프로우브

31 : 플렉시블 튜우브(Flexible Tube) 32 : 폴리에틸렌 튜우브

33 : 죠인트 코넥터 24 : 캡너트(Cap nut)

34a : 너트 35 : 광원측 브래키트

36 : 시일드 스폰지 41 : 케이스체

42 : 제1의 절결부 43 : 제2의 절결부

44,45 : 고정 블록 46 : 나사

47 : 보강플레이트 48 : 커버.

본 발명은, 프로우브 장치에 의한 전기 특성검사 방법에 관한 것이다. 근년에, TV 수상기 화면등을 구성하는 대형 액정판(이하, LCD(Liquid charged Device)라 칭함)의 제조기술이 완성되고 있는 중이다.

또한, 이 LCD의 대량 생산 기술의 개발이 급속도로 진전되고 있다.

그러나, 특성의 검사에 대하여서는, 대량생산에 대응한 프로우브 장치의 개발이 요구되고 있다. LCD의 전기특성 검사는 통상 프로우브 카아드나 데스터를 사용하여 행하여 진다. 또한, LCD의 전기특성 검사는, LCD에 외부로 부터의 빛을 조사하여, 빛에 의한 나쁜 환경하에서 행하여야 한다는 요구가 있다.

즉, LCD 는, 조사하는 빛의 상태에 따라 화면에 표시된 화상의 보이는 상태가 대폭적으로 변화한다. 즉, LCD 에 빛을 조사하지 않으면, LCD의 좋고 나쁨을 판정할 수가 없다.

그러나, 종래에 있어, LCD에 빛을 조사하면서 전기 특성의 검사를 행하는 기능을 가진 프로우브 장치에 의한 전기 특성 검사방법은 전혀 없었다. 이로 인하여, 빛에 의한 나쁜 영향하에서, LCD의 전기 특성 검사를 행하기 위하여서는, 우선, 지그(gig)에 LCD 를 설치하여 통전을 실시한다.

그리고, 외부로 부터 LCD 에 빛을 조사한다.

또한, 눈으로 보므로써 LCD의 좋고 나쁨을 판정한다. 이와 같은 수단밖에는 없었다. 즉 프로우브 장치의 검사부에 광원을 배치하면, 빛에 의한 나쁜 영향하에서, LCD의 전기특성 검사가 가능하게 된다.

그러나, 이 경우에, 광원부가 열을 받게 된다.

그리고, 검사부 내부의 온도 환경을 흐트러 뜨린다. 또한, 검사부내에 광원의 설치공간에 대응하는 공간이 필요하다. 또한, 실용화에 있어서, 여러종류의 장해를 초래하는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, 피검사체를 외부로 부터의 빛에 의한 나쁜 영향하에서 검사하는 것이 가능하고, 또한, 검사부내에 광원설치 공간을 필요로 하지 않음과 동시에, 검사부내의 온도 환경을 흐트러뜨리지 않는 프로우브 장치에 의한 전기 특성검사방법을 제공함에 있다. 즉, 본 발명은, 프로우브 장치의 얹어놓는데 위에 피검사체를 얹어 놓는 공정과, 상기 피검사체의 검사부에 광 공급수단으 광방출 끝단을 대향시키는 공정과 상기 광 공급수단의 광 입사 끝단에 검사부 외부의 광원부에서의 빛을 도입하는 공정과, 상기 광 방출끝단으로부터 상기 검사부에 빛을 공급하면서 전기특성을 검사하는 공정과, 를 구비하는 프로우브 장치에 의한 전기특성검사 방법이다. 여기에서, 본 발명의 대상으로 하는 피검사체는, 예를들면 액정표시 장치이다.

또한, 광공급수단으로서는, 예를들면 광파이버 케이블을 사용한다. 또한, 광 공급수단의 광 방출끝단은, 얹어놓는대의 얹어놓는면에 대향 시켜서, 얹어놓는대의 내부에서 지지하는 것이 바람직하다.

또한, 검사부와 광원부와의 사이에, 광 공급수단의 입사 끝단축을 휘어진 상태에서 수납배치하고, 광 공급수단의 휘어짐에 의하여 얹어 놓는대의 이동에 대응하여 광 공급수단을 추종하여 이동시키는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 광원부에서 방출된 빛은, 광공급수단의 입사 끝단에서 입사하고, 광 공급수단을 따라서 전달된다.

그리하여, 빛은, 검사부내에 배치된 방출끝단측에서 방출시켜 얹어 놓는대위의 액정표시 장치를 조사한다.

따라서, 광 공급수단으로부터의 빛을 이용함으로써, 액정 표시장치에 외부로부터의 빛을 조사한 경우와같은 나쁜 환경을 만들수가 있다. 이때의 화상을 눈으로 보는 등에 의하여, 외부로 부터의 빛 조건하에서 액정표시장치의 특성시험을 행할수가 있다. 특히, 본 발명에서는, 액정표시장치에 빛을 조사하기 위하여, 검사부 외부의 광원부에서 광공급수단에 의하여 검사부내에 빛을 도입하고 있다. 이로 인하여, 검사부내에 광원부를 배치하기 위한 공간을 필요로 하지 않는다. 또한, 검사부내의 온도 환경을 흐트러뜨리는 일이없이, 피검사체의 전기특성 검사를 용이하게 실시할수가 있는 것이다.

다음에, 본 발명방법을, 액정표시장치로서의 LCD(Liquid Charged Device)의 특성검사에 적용한 실시예에 대하여 첨부한 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다. 제1도의(a)는, 본 발명 방법을 실시하기 위하여 사용한 프로우브 장치의 평면도 이고, 제1도의(b)는, 본 발명 방법을 실시하기 위하여 사용한 프로우브장치의 측면도 이다. 이 프로우브 장치는, 로우더부(1), 검사부(2), 파이버 수납복스(3), 및 광원부(4)로 구성되어 있다. 로우더부(1)는, 카세트에서 LCD 를 꺼낸다.

그리고, LCD 를 자유롭게 배열(Free alignament)하면서 검사부(2)이 주고 받는다. 다음에, 검사후의 LCD 를 카세트에 되돌리도록 되어 있다. 카세트에는, 예를들면 5 인치의 바깥지름을 가지는 LCD의 여러매가, 소정의 간격으로서 적층하여 수용되어 있다. 로우더부(1)의 윗면에는, 키보오드(5)가 배치되어 있다. 키보오드(5)는, 이 프로우브장치를 이동하기 위하여, 소정의 정보를 입력하는 것이다. 검사부(2)에서는, 로우더부(1)로 부터 반송되어 온 LCD 를 처크위에 얹어놓아 고정한다. 다음에, 처크를 X,Y 방향 및 O 방향으로 구동제어하여, LCD의 배열을 행한다. 이어서, 프로우브 카아드 및 센서에 의하여, LCD의 전기특성을 검사하도록 되어 있다. 검사부(2)의 방향에는, 스코우프(6)가 배치되어 있다. 스코우프(6)는, LCD의 위치결정 상태등을 눈으로 보아 관찰하기 위한 것이다. 검사부(2)에 대하여, 제2도의(A),(B)를 참조하여 보다 상세히 설명한다. 도면중(10)은, LCD 를 얹어놓고 고정하는 얹어놓는대의 일예의 처크이다. 처크(10)에는, 파이버 착설구멍(10a)이, 그의 측면에서 중심을 향하여 뚫려져 있다. 처크(10)의 중심에는, 광 방출구멍(10b)이 형성되어 있다. 광 방출구멍(10b)과 파이버 착설구멍(10a)은, 연이어 통하고 있다.

또한, 검사부(2)에는, 방출 파이버 프로우브(20)가 형성되어 있다. 방출 파이버 프로부브(20)의 한쪽 끝단은, 파이버 착설구멍(10a)을 통하여 광 방출구멍(10b)에 마주대하고 있다. 방출 파이버 프로우브(20)의 다른쪽 끝단은, 파이버 착설판(12)에 고정부착되어 있다. 방출 파이버 프로우브(20)는, 제3도에 나타낸 바와같이,여러개의 파이버를 결속하여 튜우브(21)내에 수용되어 있다. 튜우브(21)의 한쪽끝단부에는, 방출 브래키트(22)가 착설되어 있다. 방출 브래키트(22)는, 구멍부(22a)가 뚫려져 있다. 구멍부(22a)가 뚫린 위치는, 파이버착설구멍(10a)에 방출 파이버 프로우브(20)를 삽입하였을 때에, 광방출구멍(10b)과 대향하는 위치이다. 튜우브(21)의 파이버 착설구멍(l0a)의 출구부근에 상당하는 부분에, 보강튜우브(23)가 형성되어 있다. 튜우브(21)의 다른쪽 끝단부에는, 죠인트 코넥터(24)를 개제하여 플러크(25)가 형성되어 있다. 플러그(25)의 원반부(25a)에, 구멍(25b)이 뚫려져 있다. 방출 파이버 프로우브(20)는, 구멍(25b)을 통하여 파이버 착설판(12)에 나사멈춤 고정된다. 플러그(25)의 원통부 바깥둘레면에는 보올트 부(25c)가 형성되어 있다. 플러그(25)에는 입사 파이버 프로우브(30)가 연결되도록 되어 있다. 입사 파이버 프로우브(30)와 방출 파이버 프로우브(20)에 의하여, 광파이버 케이블이 구성되어 있다. 입사 파이버 프로우브(30)는, 제4도에 나타낸 구조를 가지고있다. 즉, 여러개의 파이버를 결속하고, 그의 주위를 플랙시블 튜우브(31)로 덮고 있다. 플랙시블 튜우브(31)는, 예를들면 폴리에틸렌 튜우브(32)로서 덮여 있다. 입사 파이버 프로우브(30)의 길이는, 파이버 착설판(12)에서 광원부(4)에 도달하기 까지의 거리로 설정되어 있다. 입사 파이버 프로우브(30)의 방출파이버 프로우브(20)와의 연결끝단측에는, 죠인트 코넥터(33)가 형성되어 있다. 안쪽면 윈통부에 너트(34a)를 형성한 캡너트(Cap nut)(34)가 죠인트 코넥터(33)에 착설되어 있다. 너트(34a)는, 플러그(25)의 보울트부(925c)에 나사맞춤 하도록 되어 있다. 이 나사맞춤에 의하여, 입사파이버 프로우브(30)와 방출 파이버 프로우브(20)가 결합된다. 또한, 입사파이버 프로우브(30)의 광원부측에는, 광원측 브레키트(35)가 형성되어 있다. 다음에, 파이버 수납 복스(3)에 대하여 제5도를 참조하여 설명한다. 파이버 수납복스(3)는, 입사파이버 프로우브(30)를 U 자 형상으로 휘어서 수납하고, 또한, 이것을 광원부(4)에 인도한다. 입사 파이버 프로우브(30)는, 개구부(7)를 통하여 프로우브 장치 본체 외부로 인도되어 있다. 개구부(7)는, 예를들면 프로우브 장치 본체의 뒷면에 형성되어 있다. 입사 파이버 프로우브(30)는, 휘어진 상태로서 케이스체(41)에 수납된다. 케이스체(41)는,개구부(7)와 대향하는 위치에 제1의 절결부(42)를 구비하고 있다. 제1의 절결부(42)를 통하여, 입사파이버프로우브(30)가 케이스체(41)내에 도입된다. 입사 파이버(30)는 제2의 절결부(43)를 통하여 광원부(4)에 도입된다. 제2의 절결부(43)는, 제1의 절결부(42)를 형성한 면과 동일면의 모서리부측에 형성되어 있다. 제2의 절결부(43)의 안쪽에는, 고정 블록(44),(45)이 고정되도록 되어 있다. 입사 파이버 프로우브(30)는, 고정블록(44),(45)의 사이에 두어서 지지된다. 입사 파이버 프로우브(30)의 지지는, 시일드 스폰지(36)를 붙인 부분을 나사(46)에 의하여 고정블록(44),(45)사이에 두어지지함으로써 행하여 진다. 케이스체(41)는, 보강 플레이트(47)를 개재하여 프로우브 장치 본체의 뒷면쪽에 나사멈춤 고정되어 있다. 케이스체(41)의 윗면은, 커버(48)에 의하여 밀폐하도록 되어 있다. 다음에, 광원부(4)에 대하여 설명한다. 광원부(4)의 내부구조는, 도시를 생략하고 있다. 입사 파이버 프로우브(30)의 광원측 브래키트(3)는, 죠인트가 가능하게 되어 있다. 이 입사파이버 프로우브(30)와 대향하여, 광원이 형성되어 있다. 광원은, 예를들면 색선별 거울(Dichroic mirror)이 부착된 할로겐 램프로서 구성되어 있다. 이 할로겐 램프의 조광은, 예를들면 PWM 방식에 의하여 0 내지 100%의 가변이 가능하다., 할로겐 램프의 온,오프는, 예를들면 메가니컬 셔터(Mecanical shutter)를 개폐함으로서 행하여 진다. 예를들면, 광원에 2 조의 필터를 착설함으로써, 최대로 25 단계의 조정이 가능하다. 또한, 이 경우에,1 조의 필터를 5 종류의 필터요소로서 구성하고 있다.

또한, 할로겐램프의 발열을 억제하기 위하여, 예를들면 펜(Fan)에 의하여 강제적으로 공냉이 가능하다. 광원부(4)의 구동은, 자동, 수동의 어느쪽이어도 좋다. 자동적인 구동의 경우에, 프로우브 장치본체에서 송신되는 데이타에 의하여, 셔터의 개폐 및 필터의 전환을 행한다. 수동 조작의 경우에, 광원부(4)에 있는 광원 제어기의 판넬스위치의 조작에 의하여, 셔터의 개폐 및 필터의 전환을 행한다. 다음에, 이와같이 구성된 프로우브 장치를 사용하여, 본 발명에 의한 LCD의 특성 검사의 방법에 대하여 설명한다. 우선, 본 발명 방법의 공정의 흐름을 제6도를 참조하여 설명한다. 먼저, 카세트로부터 LCD 를 꺼낸다(제6도의(A)참조). 다음에, LCD의 센터맞춤을 행한다.(자유로운 배역)(제6도의(B)참조). 그 다음에, 검사부 즉, 테스트 스테이지(Test stage)위에서의 LCD 이의 배열을 행한다(제6도의(D)참조). 이 배열에서는, 우선, 하이트센서에 의하여, X-Y 테이블을 회전기구로서, 측정하는 LCD의 평행, 직행방향이 위치 맞춤을 행한다. 다음에, 죠이스틱(Joy stick)에 의하여 기준 칩에 프로우브 침을 맞춘다. 테스트의 순서의 티칭(Teaching)조작을 실행한다. 다음에, LCD의 프로우빙을 개시한다(제6도의(E)참조). 즉, LCD의 여러개의 적극 리이드에 프로우브침의 배열을 접촉 시킨다(제6도의(F)참조). 접촉(Contact)공정 에서는, 프로우브 카아드에 여러개가 배열된 프로우브침과 LCD의 전극과를 접촉시킨다. 이 상태에서 미리 프로그램된 측정신호를 전환인가하여 광파이버에 의한 조명을 행한다. 그리고, 다음의 측정 공정으로 옮긴다(제6도의(G)참조). 이후에, 프로우빙의 유무를 확인한다(제6도의(H)참조), 그리고, 측정을 종료하고(제6도의(I)참조)LCD 를 카세트에로 되돌린다(제6도의(J)참조). 그 다음에, 상기에서 설명한 바와같은 장치를 사용한 본 발명방법의 흐름을 구체적으로 설명한다. 로우더부(1)에서, 카세트에서 1 매의 LCD 를 꺼내어 반송하고, 이것을 자유롭게 배열한 후에 검사부(2)에서 주고 받는다. 검사부(2)에서는, 이 LCD 를 처크(10)위에 예를들면 진공 흡착에 의하여 얹어놓아 고정하고, X-Y 테이블 기구 및 회전기구에 의하여 LCD의 배열을 실행하여, 프로우브 카아드에 여러개가 배열고정된 프로우브침과 LCD의 전극과를 접촉시켜, 전류를 통하게 함으로써 이 LCD의 전기적 특성을 검사하게 된다. 다음에, 광원부(4)내의 할로겐 램프를 점등하여, 메카니컬 셔터를 개구시킨다. 이 할로겐 램프로부터 발사된 빛은, 입사 파이버 프로우브(30)의 한쪽끝단에서 입사한다. 입사파이버 프로우브(30)는, 파이버수납복스(3)를 통하여 장치본체 내부에 도입된다. 입사파이버 프로우브(30)는, 처크(10)에 고정부착된 파이버 착설판(12)의 위치에서 방출파이버 프로우브(20)의 플러그(5)와 접속되어 있다. 이 입사 파이버 프로우브(30)에서 방출파이버 프로우브(20)에 빛이 전달된다. 또한, 방출 파이버 프로우브(20)의 방출끝단측은, 처크(10)의 파이버 착설구멍(10a)에 삽입되어 지지되고 있다. 이 파이버 프로우브(20)의 광방출부인 구멍(22a)이, 처크(10)의 중심에 위치한 광 방출구멍(10b)과 대향 하도록 배치되어 있다. 할로겐 램프에서 방출된 빛은, 광방출 구멍(10b)을 통하여, LCD의 뒷면을 조사한다. 그리고, 이와 같이 하여 방출된 빛의 조도는, 50000 LX 정도를 확보할수가 있고, 광원부(4)의 구성 또는 파이버의 결속 지름의 변경에 의하여, 그 이상의 조도도 가능하다. 여기에서, 통상, LCD 는, 투명도를 가진다. 따라서, 뒷면에서 조사한 빛에 의하여, 마치 LCD 표면에서 직접 외부로부터의 빛이 입사하는 경우와 같은 나쁜 환경을 만들수가 있다.

따라서, 이와같이 LCD의 뒷면에서 빛을 조사한 상태에서, 예를들면 LCD 화면에 표시한 소정의 패턴이 어떤형태로 눈으로 볼수 있는가를 관찰할수가 있다. 그 결과, 외부로부터 빛의 조사조건하에서의 특성시험을 용이하게 실시할수가 있다. 그런데, LCD의 검사는, 처크(10)의 이동에 의하여, 프로우브침을 접촉시키는 위치를 변경하여 행할수가 있다. 이 경우에, 처크(10)에 고정된 광 파이버를 이와같은 이동과 추종시켜서 움직이게 할필요가 있다. 이 처크(10)의 2 차원면위에서의 이동은, 제7도의 처크 중심 위치(a)를 중심으로하여, 예를들면 제7도의 실선 및 쇄선으로 나타낸 각각의 위치에 설정되는 것으로 된다. 그리하여, 본 실시예의 프로우브장치에서는 파이버 수납복스(3)를 형성하고 있다. 이 파이버 수납복스(3)내에서는, 입사파이버 프로우브(30)가 U 자 형상으로 휘어진 상태로서 배치되어 있다. 그리고, 제7도의(A)에 나타낸 바와같이, 처크(10)가 가장 멀리 이동하였을 경우에, 파이버 수납복스(3)내의 파이버 프로우브(30)의 휘어짐은 최소로 된다. 또한, 제7도의(B),(C)에 나타낸 바와같이, 처크(10)가 가장 가깝게 이동하였을 경우에, 휘어짐을 최대로하도록, 파이버 수납복스(3)내의 휘어짐을 설정하고 있다. 여기에서, 광파이버 자체는 소정의 강도를 갖는다. 따라서, 처크(10)의 이동에 따라서 파이버수납 복스(3)내를 파이버가 미끄러져서 이동한다. 그리고, 휘어지는 량을 변경하여, 예를들면 최소의 구부러짐 반경 40 내지 50 mm, 최대의 구부러짐 반경 120 내지 140mm 로 변화된다. 이로써, 처크(10)의 임의의 이동 위치에도 대응하여, 광파이버를 추종하여 이동시킬수가 있다.

또한, 상기에서 설명한 파이버 수납복스(3)내에서의 광파이버의 미그러짐을 확실하게 하기 위하여, 상기케이스체(41)의 내부 바닥면에 마찰저항을 적게하는 시이트(예를들면 상품명 소니탁크)등을 붙일수도 있다. 상기 실시예에서는, 검사부(2)내에 광 파이버 케이블을 지지하는 수단으로서, 처크(10)에 이것을 고정하고, 피검사체의 뒷면에서 빛을 조사하는 구성으로 하였지만, 이미것에 한정되는 것만은 아니다. 처크(10)에 광파이버 케이블을 지지함으로서, 이 처크(10)가 어느곳에 설정되더라도 항상 피검사체를 조사할수가 있는 점에서 상기 실시예는 우수한 것이다. 그러나, 예를들면 피검사체의 윗쪽에 광파이버의 광 방출끝단을 고정하도록 하여도, 마찬가지로 외부로부터의 빛의 조사와 동일한 환경을 조성할수가 있다. 또한, 광 파이버테이블을 1 개만 검사부(2)내에 배치하는 것에 한정되지 않고, 여러개의 광 파이버 케이블을 피검사체의 아래면 또는 윗쪽에 배치하여도 좋다.

제8도의(A),(B)는, 처크(10)에 여러개 예를 들면 5개의 광 파이버를 장착한 실시예를 나타내고 있다. 이경우에, 처크(10)의 중심이외에 그의 둘레부에도 빛을 방출할수 있도록 구성하고 있다.

또한, 광 파이버의 형상, 파이버 수납복스(3)의 내부구조등은 1예에 한정되지 않고, 기타 여러종류의 형상, 구조로 바꾸어 실시 하여도 좋다.

또한, 제9도에 나타낸 바와같이, X-Y 슬라이드 기구를, 파이버 수납복스 내에 착설하여 X-Y 스테이지와 파이버 수납복스가 연이어 동작하도록 하여도 좋다. 이 경우에, 구동수단으로서는, X-Y 스테이지(검사부)의 작동으로 잡아당겨져서, X-Y 슬라이드 기구가 자유럽게 작동하는 것으로 하여도 좋다.

또는, X-Y 스테이지(검사부)의 작동에 추종하여, X-Y 슬라이드 기구를 모우터로서 구동시키는 것으로 하여도 좋다.

Claims

프로우브장치의 얹어놓는대 위에 피검사체를 얹어 놓는 공정과, 상기 피검사체의 검사부(2)에 광공급수단의 광 방출끝단을 대향시키는 공정과, 상기 광공급수단의 광입사 끝단에 검사부(2)외부의 광원부(4)에서 빛을 도입하는 공정과, 상기 광방출끝단에서 상기 검사부(2)에 빛을 공급하면서, 전기 특성을 검사하는공정을 구비하는 프로우브 장치에 의한 전기특성 검사방법.
제1항에 있어서, 상기 광공급수단이, 광 파이버 케이블인 프로우브 장치에 의한 전기특성 검사방법.
제1항에 있어서, 상기 광공급수단의 광 방출끝단은, 얹어 놓는대의 얹어놓는 면에 대향하여 얹어놓는대의 내부에 지지되어 있는 프로우브 장치에 의한 전기특성 검사방법.
제1항에 있어서, 상기 검사부(2)와 광원부(4)와의 사이에, 광 공급 수단의 입사 끝단축을 휘어진 상태로서 수납배치하고, 이 광공급수단의 휘어짐의 의하여, 얹어놓는대의 이동에 대응하여 광공급 수단이 추종하여 이동하는 것인 프로우브 장치에 의한 전기 특성 검사방법.
제1항에 있어서, 상기 피검사체가 액정표시장치인 프로우브 장치에 의한 전기특성 검사방법.