JPH06331945A - 薄型表示機器の検査装置及び欠陥修正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 歩留りの向上を図るために、パネル２の欠陥
箇所を拡大観察し、欠陥箇所に修正を施す欠陥修正装置
である。欠陥観察修正部８には、５０倍の対物レンズを
備えたレーザ照射用顕微鏡システム１３と、低倍率で広
い視野を有すると共に、視野の所定部位に、レーザ照射
用顕微鏡システム１３の５０倍の対物レンズの視野を有
する追い込み用ＣＣＤカメラ１６とが、パネル２を挟ん
で対向して設けられている。そして、パネル２とレーザ
照射用顕微鏡システム１３との間には、パネル２に点灯
不良箇所の検出に必要な光を照射する透過照明１５が配
設されている。 【効果】 レーザ照射用顕微鏡システム１３の視野内に
欠陥箇所を位置させるまでの作業が容易になり、ひいて
は、歩留り向上によるコスト削減を効率良く行うことが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、薄型表示機器である例
えば液晶表示パネルの製造工程で発生する表示不良品の
検査及び修正を効率的に行う、薄型表示機器の検査装置
及び欠陥修正装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの製造工程は、従来、い
くつかの工程に分割されており、その各工程において
は、光学的検査装置や電気的検査装置等の検査装置を用
いて、製造途中の液晶表示パネルにおけるできあがり品
質状態が検査されるようになっている。各工程において
製造途中の液晶表示パネルが所定基準の品質状態を満た
していない場合は、その工程において不合格となり、不
合格となった液晶表示パネルは、その不合格の工程の前
工程における品質状態にまで修復が可能ならば、その修
復を行った上で、再度、不合格となった工程から製造し
直すということが行われている。

【０００３】しかしながら、近年、液晶表示パネルの大
型化や高精度化、細密化が要求され、液晶表示パネル内
の絵素数が飛躍的に増加しており、これに伴い、各種欠
陥が液晶表示パネル内に発生する確率も高くなってい
る。そのため、従来の製造プロセスを踏襲していただけ
では、全く欠陥の無い液晶表示パネルを高い歩留りで生
産することは極めて難しい状況となっている。

【０００４】そこで、液晶表示パネルの製造歩留りをよ
り一層向上させるために、液晶表示パネルを半完成品に
組み立てた時点で、検査用駆動信号を液晶表示パネルに
供給して点灯状態の検査を行い、この検査工程において
不合格品として選別された液晶表示パネルのうち、修正
可能と判断されたものの欠陥を修正したり、また、修正
しないまでも欠陥の解析を行い、不良原因を前工程にフ
ィードバックすることで、工程の歩留りを向上させるこ
とが行われている。

【０００５】このような原因の解析や、欠陥箇所の修正
作業は、液晶表示パネルの点灯不良等を引き起こす原因
となる配線パターンのショート等が、０．５μｍから５
０μｍ程度と非常に小さいため、例えば顕微鏡等を使用
した拡大視野内での作業となっており、通常は、５０倍
の対物レンズを用いた約１８０μｍの視野内にて作業さ
れている。

【０００６】図１６及び図１７に基づいて、欠陥箇所の
検査・修正を行う従来の欠陥修正装置の一例を説明する
と、装置本体１上には、検査すべき液晶表示パネル（以
下、単にパネルと略記する）２を支持すると共に、所定
位置に固定させるパネル固定部３が設けられている。こ
のパネル固定部３は、装置本体１の水平面における所定
の直交方向に移動可能な、Ｘ−Ｙステージ４上に設けら
れており、欠陥観察修正部８’におけるレーザ照射用顕
微鏡システム１３の下方を、パネル２のサイズ分だけ自
由に動けるようになっている。Ｘ−Ｙステージ４には、
ジョイスティック２５からの信号が入力されるステージ
制御部２４が備えられており、作業者はジョイスティッ
ク２５を操作することで、Ｘ−Ｙステージ４をＸＹ方向
に操作できるようになっている。このようなＸ−Ｙステ
ージ４、ジョイスティック２５、ステージ制御部２４等
にて移動手段が構成されている。

【０００７】上記パネル固定部３における、パネル２の
端部側に形成されている図示しない接続端子部に対応す
る箇所には、駆動信号供給手段である点灯駆動信号発生
部６から、パネル２を点灯させる駆動信号が入力される
電極端子群５が設けられており、これに、パネル２の接
続端子部が接触し、パネル２が点灯するようになってい
る。

【０００８】一方、パネル固定部３の上方には、一対の
アライメント用カメラ９を有したアライメント機構部７
が設けられており、このアライメント機構部７には、ア
ライメント画像処理部１１とアライメント機構制御部１
２とが備えられている。パネル２は、これら処理部１１
と制御部１２とに接続されたメインコントローラ１０の
制御にて、接続端子部と上記電極端子群５とが正確に接
触された所定状態にアライメントされるようになってい
る。

【０００９】前述の欠陥観察修正部８’は、パネル固定
部３に固定されたパネル２の上方側に、主観察手段及び
欠陥修正手段としてのレーザ照射用顕微鏡システム１３
を有すると共に、下方側に、パネル２に点灯不良箇所の
検出に必要な光を照射する光源手段である透過照明４１
を有している。

【００１０】上記レーザ照射用顕微鏡システム１３は、
反射照明１３ｂ、例えば２．５倍及び５０倍の対物レン
ズ１３ｇ・１３ｃ、これら対物レンズ１３ｇ・１３ｃの
視野を映すＣＣＤカメラ１３ａを有しており、対物レン
ズ１３ｇ・１３ｃにて拡大された視野画像は、このＣＣ
Ｄカメラ１３ａを通し、装置本体１の上に設けられた画
像モニタ１７に表示されるようになっている。

【００１１】また、上記レーザ照射用顕微鏡システム１
３は、欠陥部分にレーザ光を照射して修正を行うレーザ
１３ｄを備えており、レーザ光の照射は、レーザコント
ローラ２３にて制御されるようになっている。

【００１２】このような装置において、検査・修正を行
う際、作業者は、まず、パネル２を点灯させると共に透
過照明４１を点灯させ、パネル２を目視して点灯不良箇
所を検出し、この検出箇所をサインペン等にてマーキン
グする。次いで、マーキングを目印に、点灯不良箇所
を、ジョイスティック２５を使い、勘に頼り、試行錯誤
に周囲を模索しながら、対物レンズ１３ｇの視野（約φ
１ｍｍ）内に追い込む。このようにして、低倍率の視野
内に追い込んだならば、５０倍（視野φ１８０μｍ）の
対物レンズ１３ｃの視野位置に対応する中央部に移動さ
せた後、レンズレボルバを回転させて対物レンズ１３ｇ
から対物レンズ１３ｃに切り換える。そして、点灯不良
を引き起こしている原因である配線パターンのショート
等の欠陥箇所を観察し、不良原因の解析や、レーザを用
いた修正を行う。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、その場合、
レーザ照射用顕微鏡システム１３の対物レンズ１３ｃの
５０倍の視野内に欠陥箇所を位置させるという、欠陥箇
所の解析や修正を行う以前の段階で非常に手間取ってお
り、この結果、このような検査修正工程を設けることで
歩留りは向上するものの、人件費等の関係から反対にコ
ストが高騰する等の問題が生じている。

【００１４】即ち、従来の検査修正装置においては、パ
ネル２を観察する手段として、レーザ照射用顕微鏡シス
テム１３の顕微鏡しか備えられていなかった。そのた
め、上述したように、５０倍の視野内で欠陥箇所を観察
したい場合、低倍率の対物レンズ１３ｇを用いて点灯不
良箇所を対物レンズ１３ｃの視野内に追い込む作業が必
要である。ところが、低倍率の対物レンズ１３ｇを用い
ても、その視野はφ１ｍｍと甚だ狭く、小さいもので３
０ｍｍ×４０ｍｍ、大きいもので２００ｍｍ×３００ｍ
ｍもあり、今後さらに大型化が予想されるパネル２か
ら、僅か０．１ｍｍ×０．３ｍｍ程度の点灯不良箇所を
この視野内に追い込む作業は、非常に困難を来たし、そ
のため、上記した問題が生ずることとなる。

【００１５】また、従来の装置によれば、点灯不良箇所
をマーキングしないことには、レーザ照射用顕微鏡シス
テム１３の対物レンズ１３ｇの視野内に入れることが難
しく、そのため、サインペン等を用いてマーキングする
ようになっているが、パネル２にマーキングすること
は、その後消す工程が必要となるため、これによっても
作業工程数が増加し、コスト上昇が招来されている。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
薄型表示機器の検査装置は、上記課題を解決するため
に、薄型表示機器を支持すると共に移動させる移動手段
と、上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供
給する駆動信号供給手段と、駆動信号が供給されている
上記薄型表示機器における点灯不良箇所の検出に必要な
光を上記薄型表示機器に照射する光源手段と、上記薄型
表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯不良を引
き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用される主観察
手段とを備えた薄型表示機器の検査装置において、上記
主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広い視
野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の視野
が設定された副観察手段が設けられていることを特徴と
している。

【００１７】請求項２記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項１記載の薄
型表示機器の検査装置において、上記主観察手段と副観
察手段とが、薄型表示機器を挟んで対向して配設されて
いることを特徴としている。

【００１８】請求項３記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項１又は２記
載の薄型表示機器の検査装置において、上記光源手段
が、カードエッジライトに偏光板を貼着したものからな
ることを特徴としている。

【００１９】請求項４記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項１又は２記
載の薄型表示機器の検査装置において、上記光源手段
が、平行に並べられた複数の細蛍光管に、偏光板を貼着
したものからなることを特徴としている。

【００２０】請求項５記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項１又は２記
載の薄型表示機器の検査装置において、上記光源手段
が、薄い網状ファイバに拡散板と偏光板とを貼着したも
のからなることを特徴としている。

【００２１】請求項６記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項２記載の薄
型表示機器の検査装置において、上記主観察手段が顕微
鏡からなり、上記光源手段が顕微鏡における対物レンズ
切り換え用のレボルバに取り付けられた、発光体と拡散
板と偏光板とを備えた第１照明部からなることを特徴と
している。

【００２２】請求項７記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項２記載の薄
型表示機器の検査装置において、上記主観察手段が顕微
鏡からなり、上記光源手段が、顕微鏡における対物レン
ズ切り換え用のレボルバに取り付けられた、反射板と拡
散板と偏光板とを備えた第２照明部と、反射板に光を照
射する発光体とからなることを特徴としている。

【００２３】請求項８記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項２記載の薄
型表示機器の検査装置において、上記主観察手段が顕微
鏡からなり、上記光源手段が、顕微鏡の対物レンズの回
りに設けられたリング状照明と、各々移動可能に設けら
れた乱反射防止板と偏光板とからなることを特徴として
いる。

【００２４】請求項９記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項２記載の薄
型表示機器の検査装置において、上記光源手段が、主観
察手段と薄型表示機器との間に配されたペリクルミラー
と偏光板、及び、副観察手段と同じ側に設けられた反射
板と発光体とからなることを特徴としている。

【００２５】請求項１０記載の薄型表示機器の検査装置
は、上記課題を解決するために、上記請求項１，２，
３，４，５，６，７，８又は９記載の薄型表示機器の検
査装置において、上記副観察手段の視野内に入った画像
から、点灯不良箇所を検出する画像処理部と、上記画像
処理部にて検出された点灯不良箇所が、副観察手段の視
野内における主観察手段の視野が設定されている位置に
入るように、移動手段の駆動を制御する移動制御手段と
が備えられていることを特徴としている。

【００２６】請求項１１記載の薄型表示機器の欠陥修正
装置は、上記課題を解決するために、上記請求項１，
２，３，４，５，６，７，８，９又は１０記載の薄型表
示機器の検査装置が備えられると共に、さらに、上記検
査装置にて検出された欠陥箇所を修正するための欠陥修
正手段が備えられていることを特徴としている。

【００２７】

【作用】上記請求項１の構成により、点灯状態にある薄
型表示機器である例えば液晶表示パネルに光を照射し、
その透過光から点灯不良箇所を検出し、この部分を主観
察手段にて拡大し、点灯不良を引き起こす原因となって
いる配線パターンの欠陥箇所を観察する場合、まず、作
業者は、主観察手段とは別に設けられた副観察手段の視
野を観察しながら移動手段を駆動して、点灯不良箇所を
探す。そして、副観察手段の視野内に点灯不良箇所が入
ったならば、視野内の所定位置、即ち、主観察手段の視
野が設定されている位置に点灯不良箇所が位置するよう
に、移動手段を駆動する。点灯不良箇所が視野内の所定
位置に位置したならば、観察している視野を副観察手段
から主観察手段に切り換える。

【００２８】即ち、上記の構成によれば、主観察手段と
副観察手段とが、各々別体にて構成されているので、主
観察手段を例えば５０倍程度の対物レンズを備えた顕微
鏡等から構成し、副観察手段を上記主観察手段よりも低
倍率で広い視野を有する例えばＣＣＤ（Charge Coupled
Device)カメラ等から構成することができる。したがっ
て、従来の主観察手段としての顕微鏡しか備えられてお
らず、対物レンズの倍率を低から高へと切り換えること
で点灯不良箇所を５０倍に拡大して、欠陥箇所を観察す
るようになっていた場合とくらべ、主観察手段の視野内
に欠陥箇所を位置させるまでの作業が容易になる。この
結果、歩留り向上によるコスト削減が効率よく得られ
る。

【００２９】また、副観察手段であるＣＣＤカメラの視
野は充分広いので、予めサインペン等を用いて、点灯不
良箇所をマーキングしておかずとも、移動手段を適当に
駆動することで、容易に視野内に点灯不良箇所を取り入
れることができる。この結果、作業工程数が減少し、こ
れによってもコスト削減が図れる。

【００３０】また、請求項２の構成によれば、主観察手
段と副観察手段とが、薄型表示機器を挟んで対向して配
設されている。この場合、光源手段を、例えば請求項
３，４，５，６，７，８又は９の構成とすることで、例
えば主観察手段を５０倍の対物レンズを備えた顕微鏡か
ら構成し、これと薄型表示機器との間に光源手段を配設
する構成も可能である。そして、このような構成とする
ことで、従来の装置では発見できなかったような薄型表
示機器の表側の点灯状態が検査できるようになる。即
ち、液晶表示パネルを上記のような検査装置を使用して
観察する場合、主観察手段にて観察するのは、配線パタ
ーン等の欠陥箇所が観察できる、液晶表示パネルとして
完成された際に裏面となる面であり、そのため、従来の
主観察手段しか設けられていなかった装置では、裏側か
らの観察であった。しかしながら、上記構成によれば、
副観察手段が、主観察手段とは型表示機器を挟んで対向
して配設されているので、この副観察手段にて、表側、
即ち液晶ディスプレイとしてユーザが液晶表示パネルを
見る面と同じ面からの観察が可能で、上記したように、
薄型表示機器の表側の点灯状態が検査できることとな
る。

【００３１】また、請求項１０の構成によれば、画像処
理部が、副観察手段の視野内に入った画像から点灯不良
箇所を検出し、移動制御手段が、上記画像処理部にて検
出された点灯不良箇所が副観察手段の視野内における主
観察手段の視野位置に入るように移動手段の駆動を制御
するので、主観察手段の視野内に欠陥箇所を位置させる
までの作業がほぼ自動的になされるようになる。この結
果、検査装置の操作性が向上される。

【００３２】また、請求項１１の構成によれば、上記の
検査装置に、さらに、欠陥修正手段を設けて、欠陥修正
装置として構成したため、欠陥修正装置においても、欠
陥を修正する際の欠陥箇所を主観察手段の視野内に入れ
る作業が上記と同様に行い易くなる。

【００３３】

【実施例】

〔実施例１〕本発明の一実施例を図１ないし図１３に基
づいて説明すれば、以下の通りである。

【００３４】本発明にかかる薄型表示機器の欠陥修正装
置は、例えば、スイッチング素子として薄膜トランジス
タを備えたアクティブマトリクス基板と、表示媒体とし
て液晶とを組み合わせた液晶表示パネルの検査及び修正
に使用される。

【００３５】上記欠陥修正装置は、図２に示すように、
箱型の装置本体１上に、検査すべき液晶表示パネル（以
下、単にパネルと略記する）２の周端部側を支持すると
共に、パネル２を後述する所定位置に固定させるパネル
固定部３が設けられている。このパネル固定部３は、Ｘ
−Ｙステージ４上に設けられており、後述する欠陥観察
修正部８のレーザ照射用顕微鏡システム１３の下を、パ
ネル２のサイズ分だけ自由に動けるようになっている。

【００３６】上記Ｘ−Ｙステージ４は、中央部が開口さ
れた中抜き状態に形成されており、上記装置本体１の水
平面における所定の直交方向に移動可能で、このような
移動は、図１に示すステージ制御部２４にて駆動が制御
されている。このステージ制御部２４には、ジョイステ
ィック２５からの信号が入力されており、作業者はこの
ジョイスティック２５を操作して、Ｘ−Ｙステージ４を
縦横無人に操作できるようになっている。即ち、ＸーＹ
ステージ４、ジョイスティック２５、ステージ制御部２
４にて、移動手段が構成されている。

【００３７】上記パネル固定部３における、支持される
パネル２の周端部に形成されている図示しない接続端子
部に対応する箇所には、電極端子群５が設けられてい
る。この電極端子群５には、図１に示す駆動信号供給手
段である点灯駆動信号発生部６から、パネル２を点灯さ
せる駆動信号が入力されており、これにより、パネル２
は点灯状態となる。

【００３８】パネル固定部３の上方には、一対のアライ
メント用カメラ９を有したアライメント機構部７が設け
られている。アライメント用カメラ９にて得られた画像
は、図１に示すアライメント画像処理部１１にて処理さ
れた後メインコントローラ１０に送られる。メインコン
トローラ１０は、このアライメント画像処理部１１から
のデータに基づいて、パネル２が所定の状態、即ち、パ
ネル２の接続端子部と上記電極端子群５とが正確に接触
された状態となるように、アライメント機構処理部１２
を介してアライメント機構部７を駆動し、パネル２の位
置を合わせるようになっている。この位置合わせを経た
後、パネル２はパネル固定部３にて固定される。

【００３９】上記アライメント機構部７には、併設して
欠陥観察修正部８が設けられている。この欠陥観察処理
部８は、図３に示すように、パネル固定部３に固定され
たパネル２の上方側に、主観察手段としてのレーザ照射
用顕微鏡システム１３と、光源手段としての透過照明１
５とを有し、パネル２の下方側に、副観察手段としての
追い込み用ＣＣＤカメラ１６を有している。

【００４０】上記レーザ照射用顕微鏡システム１３は、
反射照明１３ｂと、５０倍の対物レンズ１３ｃと、この
対物レンズ１３ｃが捕らえた視野を映すＣＣＤカメラ１
３ａとを有しており、対物レンス１３ｃにて拡大された
視野画像は、このＣＣＤカメラ１３ａを通し、図１及び
図２に示す装置本体１の上に設けられた画像モニタ１７
に表示されるようになっている。尚、ＣＣＤカメラ１３
ａと、画像モニタ１７との間には、図１に示すビデオ信
号切換器２２が介されており、後述する追い込み用ＣＣ
Ｄカメラ１６からの画像と、本ＣＣＤカメラ１３ａから
の画像とを、作業者が選択的に切り換えられるようにな
っている。

【００４１】また、上記レーザ照射用顕微鏡システム１
３は、欠陥修正手段としてのレーザ１３ｄも備えてお
り、欠陥箇所にレーザ光を照射して後述のように修正を
行うようになっている。このようなレーザ光の照射は、
図１に示すレーザコントローラ２３にて制御されてい
る。

【００４２】透過照明１５は、対物レンズ１３ｃとパネ
ル２との間に配されており、下向きに光を照射するよう
になっており、シリンダ駆動部１８にて、必要に応じて
上記レーザ照射用顕微鏡システム１３の対物レンズ１３
ｃの下方から移動されるようになっている。

【００４３】ここで、この透過照明１５について、図４
（ａ)(ｂ) に基づいて、詳細に説明すると、透過照明１
５は、表面が面状に光線を反射するように加工されたア
クリル等の樹脂１９のエッジ部に、φ２．５ｍｍから４
ｍｍ程度の蛍光管２０・２０を２本配置することで構成
されたカードエッジライトに、偏光板２１が貼着された
構成である。その厚みは、通常５０倍の対物レンズ１３
ｃのレンズ先端から観察試料までのワークディスタンス
が、６ｍｍ〜１７ｍｍ程度であり、パネル２を固定する
パネル固定部３の構成を考慮してワークディスタンス１
７ｍｍの対物レンズを使用したとしても、レンズ先端か
ら６ｍｍ以内に移動可能に取り付けるには、厚くとも４
ｍｍ程度に形成することが必要で、そのように設定され
ている。

【００４４】尚、上記透過照明１５の下面に偏光板２１
を貼着するのは、本実施例の欠陥修正装置においては、
偏光板を貼着される前のパネル２を検査するようになっ
ているためである。

【００４５】追い込み用ＣＣＤカメラ１６は、５ｍｍ角
〜２０ｍｍ角程度を撮像することができるもので、上記
透過照明１５にて照らされたパネル２を走査するように
なっている。この追い込み用ＣＣＤカメラ１６にて読み
取られた画像は、ビデオ信号切換器２２を介して、上記
の画像モニタ１７に表示される。尚、上記の透過照明１
５と同様の理由にて、追い込み用カメラ１６の上部に
も、偏光板２１が配されている（図４参照）。

【００４６】このような欠陥修正装置を用いて、パネル
２の検査および修正を行う場合、作業者は、まず、検査
および修正を行う対象であるパネル２を、パネル固定部
３にセットする。この場合、レーザ照射用顕微鏡システ
ム１３にて観察される面は、ユーザがパネル２を見る際
の表側とは異なる裏面となる。これは、例えばＴＦＴタ
イプの液晶表示パネルにおいては、ＴＦＴ配線パターン
の上部カラーフィルター側にマスクパターンがあるた
め、配線パターンの観察や修正は、液晶表示パネルの裏
側からでなければできないためである。

【００４７】パネル２をセットしたならば、アライメン
ト機構部７を用いて所定の位置に位置合わせした後、パ
ネル固定部３にて固定する。これにより、パネル２の接
続端子部と電極端子群５とが接触した状態で固定され、
パネル２は点灯状態となる。

【００４８】次いで、透過照明１５を点灯させた後、追
い込み用ＣＣＤカメラ１６で得られた画像が表示されて
いる画像モニタ１７の画面を見ながら、ジョイスティッ
ク２５を用いてパネル２を移動させ、図５に示すような
パターンの欠陥箇所にて生じる点灯不良箇所、即ち欠陥
絵素２６を捜し出す。

【００４９】欠陥絵素２６がモニタ画像１７内に映し出
されたならば、そのままジョイスティック２５を用い
て、レーザ照射用顕微鏡システム１３の対物レンズ１３
ｃの視野内である追い込み中心位置２７に位置させる
（図６（ａ)(ｂ）参照）。尚、複数個の欠陥絵素２６が
確認された場合は、順に行う。

【００５０】追い込み中心位置２７に位置させたなら
ば、透過照明１５を移動させて対物レンズ１３ｃの下側
から外すと共に、反射照明１３ｂを点灯し、ビデオ信号
切換器２２を切り換えて、画像モニタ１７に、対物レン
ズ１３ｃにて見える視野を映す（図７参照）。

【００５１】そして、画像モニタ１７を見て配線パター
ンを観察し、点灯不良を生じる原因を解析し、欠陥箇所
２８が修正可能か否かを判断する。修正可能であれば、
レーザ１３ｄを駆動して、修正する。ショートからくる
欠陥の場合は、ショート箇所にレーザ光を照射して切断
して修正し、また、パネル２のセル内に、異物が存在し
ている場合は、異物にレーザを照射して粉砕することに
より修正する。

【００５２】以上のように、本実施例の欠陥修正装置の
欠陥観察修正部８には、レーザ照射用顕微鏡システム１
３と共に、低倍率で視野範囲の大きな追い込み用ＣＣＤ
カメラ１６が備えられているので、作業者は、視野の大
きな追い込み用ＣＣＤカメラ１６のモニタした画像を画
像モニタ１７で見ながら、ジョイスティック２５を用い
てパネル２を移動させ、点灯不良を生じている欠陥絵素
２６を捜し、発見したならば、そのままジョイスティッ
ク２５を用いてパネル２を移動させることで、短時間
で、欠陥絵素２６を追い込み中心位置２７に追い込むこ
とができる。また、従来のように点灯不良箇所を、サイ
ンペン等を用いてパネル２にマーキングする必要もなく
なる。これらの結果、検査・修正の際の作業効率が向上
し、欠陥修正装置を用いて歩留りを向上させ、コスト削
減を図るという効果が効率良く得られる。

【００５３】また、従来装置においては、レーザ照射用
顕微鏡システム１３しか設けられていなかったため、配
線パターンが形成されている、液晶表示パネルの裏側か
らの点灯状態の観察しかできなかったが、本装置におい
ては、レーザ照射用顕微鏡システム１３と追い込み用Ｃ
ＣＤカメラ１６とが、パネル２を挟んで対向して設けら
れているので、追い込み用ＣＣＤカメラ１６にて、ユー
ザが見る側となる表側からの点灯状態の観察が可能とな
り、従来の裏側からの観察では発見できなかったような
欠陥を発見できることなる。

【００５４】尚、本実施例においては、欠陥修正装置を
例示して説明したが、レーザ等の修正手段を具備しな
い、欠陥絵素２６を拡大して欠陥箇所２８の解析のみを
行う、検査装置にも適用できることは言うまでもない。
同様に、欠陥修正手段として、本実施例においては、レ
ーザ１３ｄを採用しているが、その他、例えばポンチを
使ったような衝撃力を応用した機械的な修正方法を採用
することも可能である。

【００５５】また、レーザ照射用顕微鏡システム１３
と、追い込み用ＣＣＤカメラ１６との位置関係は、本実
施例に限定されるものではなく、パネル２を挟んで対向
しておれば、上下が逆でも、水平でも、ユーザが見る側
となる表側からの観察が可能である。

【００５６】さらに、本実施例の欠陥修正装置において
は、透過照明１５を、表面が面状に光線を反射するよう
に加工されたアクリル等の樹脂１９のエッジ部に、蛍光
管２０を２本配置することで構成されたカードエッジラ
イトからなる構成としてが、これに限定されるものでは
なく、以下に示すような構成も採用可能である。

【００５７】例えば、図８（ａ)(ｂ) に示すように、上
記蛍光管（細蛍光管）２０を数本併設し、パネル２と対
向する面に、偏光板２１を貼着することにより構成され
た透過照明１５ａでもよい。これによれば、より一層高
輝度な光源が得られる。

【００５８】また、例えば、図９（ａ)(ｂ) に示すよう
に、細いガラスやプラスティック等でできているファイ
バを編んだファイバ体（網状ファイバ）３２にファイバ
光源３６を設けると共に、パネル２と対向する面に、拡
散板３３と偏光板２１とを順にを貼着して構成された透
過照明１５ｂでもよい。これによれば、自身が発光する
ものではないため、長寿命であるという利点を有する。

【００５９】また、例えば、図１０に示すように、レー
ザ照射用顕微鏡システム１３の対物レンズ１３ｃを切り
換えるための図示しないレンズレボルバに、レンズの代
わりに、光源ランプ（発光体）３４と拡散板３３と偏光
板２１とからなる照明部（第１照明部）４０を設けて構
成された透過照明１５ｃでもよい。これによれば、上記
のようなシリンダ駆動部１８を別途設ける必要がないと
共に、厚さの制限も無くなり、作製し易いという利点を
有する。

【００６０】また、例えば、図１１に示すように、図１
０（ａ) の照明部４０の光源ランプ３４の代わりに、ミ
ラー（反射板）３７と、ファイバ光源（発光体）３６を
備えた照明部（第２照明部）４１を設けた構成の透過照
明１５ｄでもよい。

【００６１】また、例えば、図１２（ａ)(ｂ) に示すよ
うに、対物レンズ１３ｃの外周に配設されたリング状照
明体（リング状照明）３８と、移動可能に設けられた乱
反射防止板３９と偏光板２１とからなる透過照明１５ｅ
でもよい。この場合、乱反射防止板３９は、パネル２表
面と対物レンズ１３ｃが鏡面で、追い込み用ＣＣＤカメ
ラ１６に対物レンズ１３ｃの像が映ることを阻止するた
めに、必要に応じて挿入されるよう設けられている。こ
れによれば、上記のように、対物レンズ１３ｃと、照明
部４０・４１との間で、レンズレボルバを回転させて切
り換える作業が必要なくなり、操作性がより向上され
る。

【００６２】また、例えば、図１３に示すように、対物
レンズ１３ｃの下に配されたペリクルミラー４０と偏光
板２１、及び追い込み用ＣＣＤカメラ１６近傍に配され
た光源ランプ３４とミラー３７から構成された透過照明
１５ｆでもよい。光源ランプ（発光体）３４から照射さ
れた光がミラー（反射板）３４にて屈折され、パネル２
を通過した後ペリクルミラー４０にて反射されるように
し、この反射光が再度、パネル２を通過するようになっ
ている。これによれば、ペリクルミラー４０を使用し、
対物レンズ１３ｃによる観察は支障なく行えるので、普
段は、機械的に移動させる必要がなく、移動機構を全く
必要としない、光源手段となる。

【００６３】〔実施例２〕本発明の他の実施例を図１４
及び図１５に基づいて説明すれば、以下の通りである。
尚、説明の便宜上、前記の実施例の図面に示した部材と
同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、そ
の説明を省略する。

【００６４】本実施例の欠陥修正装置は、追い込み中心
位置２７への欠陥絵素２６の追い込み動作を作業者の手
作業ではなく、画像処理によって自動的に行うようにな
っており、そのため、図１４に示すように、メインコン
トローラ１０は、移動制御手段としての機能も備えてお
り、アライメント画像処理部１１から得た信号に基づい
て、アライメント機構制御部１２を駆動させるだけでな
く、追い込み用ＣＣＤカメラ１６の画像処理部２９から
の信号や、ジョイスティックからの操作を伝える信号が
入力されると共に、レーザコントローラ２３や点灯駆動
信号発生部６、ステージ制御部２４等の駆動を制御する
ようになっている。また、ＣＣＤカメラ１３ａからのビ
デオ信号も、メインコントローラ１０を介して、画像モ
ニタ１７に伝達されるようになっている。

【００６５】上記画像処理部２９は、追い込み用ＣＣＤ
カメラ１６からのビデオ信号に基づいて、従来からある
パターンマッチング法や画像重心算出法等の方法にて、
欠陥絵素２６の検出を行うようになっており、これによ
り、メインコントローラ１０が、画像処理部２９にて検
出された欠陥絵素位置を、予め記憶しているレーザ照射
用顕微鏡システム１３の５０倍の対物レンズ１３ｃの直
下の位置、即ち追い込み中心位置２７との差だけ、Ｘ−
Ｙステージ４を移動させるべく、ステージ制御部２４を
駆動することで、自動的に追い込みを行うことができ
る。

【００６６】これにより、作業者は、ジョイスティック
２５を用いて、欠陥絵素２６を追い込み用ＣＣＤカメラ
１６に映る位置にまで移動させるだけで、欠陥絵素２６
を拡大して、欠陥箇所２８の観察ができるようになる。

【００６７】また、さらに発展させて、図１５にも示す
ように、パネル２の欠陥部分を作業者が指で示すことが
できるような透明タッチパネル３０を設けることも考え
られる。さすれば、このタッチパネル３０からの信号を
受けて、メインコントローラ１０が、ステージ制御部２
４を駆動することで、欠陥絵素２５を追い込み用ＣＣＤ
カメラ１６に映る位置にまで移動することができるの
で、欠陥部分をさし示す作業の他は、自動的に行われる
ようになる。この場合、タッチパネル３０による入力の
位置精度は、充分追い込み用ＣＣＤカメラ１６の視野範
囲に入る余裕を有している。

【００６８】また、タッチパネル３０ではなく、別装置
の全面検査装置等からの信号を、外部通信部３１から入
力させることでも、完全に自動化させることができる。

【００６９】

【発明の効果】本発明の請求項１記載の薄型表示機器の
検査装置は、以上のように、主観察手段とは別に、主観
察手段よりも低倍率で広い視野を有すると共に視野内の
所定位置に主観察手段の視野が設定された副観察手段が
設けられている構成である。

【００７０】このように、主観察手段と副観察手段と
が、各々別体にて構成されているので、主観察手段を例
えば５０倍程度の対物レンズを備えた顕微鏡等から構成
し、副観察手段を上記主観察手段よりも低倍率で広い視
野を有する例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device)カメ
ラ等から構成することができる。したがって、従来の主
観察手段としての顕微鏡しか備えられておらず、対物レ
ンズの倍率を低から高へと切り換えることで点灯不良箇
所を５０倍に拡大して、欠陥箇所を観察するようになっ
ていた場合とくらべ、主観察手段の視野内に欠陥箇所を
位置させるまでの作業が容易になる。この結果、歩留り
向上によるコスト削減が効率よく得られるという効果を
奏する。

【００７１】また、副観察手段であるＣＣＤカメラの視
野は充分広いので、予めサインペン等を用いて、点灯不
良箇所をマーキングしておかずとも、移動手段を適当に
駆動することで、容易に視野内に点灯不良箇所を取り入
れることができる。この結果、作業工程数が減少し、こ
れによってもコスト削減が図れるという効果を奏する。

【００７２】請求項２記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項１記載の薄型表示機器の
検査装置において、上記主観察手段と副観察手段とが、
薄型表示機器を挟んで対向して配設されている構成であ
る。

【００７３】請求項３記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項１又は２記載の薄型表示
機器の検査装置において、上記光源手段が、カードエッ
ジライトに偏光板を貼着したものからなる構成である。

【００７４】請求項４記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項１又は２記載の薄型表示
機器の検査装置において、上記光源手段が、平行に並べ
られた複数の細蛍光管に、偏光板を貼着したものからな
る構成である。

【００７５】請求項５記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項１又は２記載の薄型表示
機器の検査装置において、上記光源手段が、薄い網状フ
ァイバに拡散板と偏光板とを貼着したものからなる構成
である。

【００７６】請求項６記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項２記載の薄型表示機器の
検査装置において、上記主観察手段が顕微鏡からなり、
上記光源手段が顕微鏡における対物レンズ切り換え用の
レボルバに取り付けられた、発光体と拡散板と偏光板と
を備えた第１照明部からなる構成である。

【００７７】請求項７記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項２記載の薄型表示機器の
検査装置において、上記主観察手段が顕微鏡からなり、
上記光源手段が、顕微鏡における対物レンズ切り換え用
のレボルバに取り付けられた、反射板と拡散板と偏光板
とを備えた第２照明部と、反射板に光を照射する発光体
とからなる構成である。

【００７８】請求項８記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項２記載の薄型表示機器の
検査装置において、上記主観察手段が顕微鏡からなり、
上記光源手段が、顕微鏡の対物レンズの回りに設けられ
たリング状照明と、各々移動可能に設けられた乱反射防
止板と偏光板とからなる構成である。

【００７９】請求項９記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項２記載の薄型表示機器の
検査装置において、上記光源手段が、主観察手段と薄型
表示機器との間に配されたペリクルミラーと偏光板、及
び、副観察手段と同じ側に設けられた反射板と発光体と
からなる構成である。

【００８０】このような構成とすることで、副観察手段
を使用して、表側、即ち液晶ディスプレイとしてユーザ
が液晶表示パネルを見る面と同じ面からの観察が可能と
なる。この結果、上記請求項１と同様の効果と共に、従
来の装置では発見できなかったような薄型表示機器の表
側の点灯状態が検査できるようになるという効果を奏す
る。

【００８１】請求項１０記載の薄型表示機器の検査装置
は、以上のように、上記請求項１，２，３，４，５，
６，７，８又は９記載の薄型表示機器の検査装置におい
て、上記副観察手段の視野内に入った画像から、点灯不
良箇所を検出する画像処理部と、上記画像処理部にて検
出された点灯不良箇所が、副観察手段の視野内における
主観察手段の視野が設定されている位置に入るように、
移動手段の駆動を制御する移動制御手段とが備えられて
いる構成である。

【００８２】これにより、主観察手段の視野内に欠陥箇
所を位置させるまでの作業がほぼ自動的になされるよう
になるので、この結果、上記請求項１又は２と同様の効
果と共に、検査装置の操作性をより一層向上できるとい
う効果を奏する。

【００８３】請求項１１記載の薄型表示機器の欠陥修正
装置は、以上のように、上記請求項１，２，３，４，
５，６，７，８，９又は１０記載の薄型表示機器の検査
装置が備えられると共に、さらに、上記検査装置にて検
出された欠陥箇所を修正するための欠陥修正手段が備え
られている構成である。

【００８４】このように、上記の検査装置に、さらに、
欠陥修正手段を設けて、欠陥修正装置として構成したた
め、欠陥修正装置においても、上記請求項１，２，又は
３記載と同様の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における欠陥修正装置の要部
を模式的に示す正面図である。

【図２】上記欠陥修正装置の斜視図である。

【図３】上記欠陥修正装置に備えられた欠陥観察修正部
の斜視図である。

【図４】上記欠陥観察修正部の要部を示すもので、
（ａ）は透過照明の斜視図、（ｂ）は透過照明の配設状
態を示す欠陥観察修正部の断面図である。

【図５】パネルの点灯不良箇所を示すパネルの平面図で
ある。

【図６】（ａ)(ｂ）とも、上記欠陥修正装置に備えられ
た画像モニタに映し出された、追い込み用ＣＣＤカメラ
の視野内の映像を示す説明図である。

【図７】上記画像モニタに映し出された、レーザ照射用
顕微鏡システムの対物レンズの視野内の映像を示す説明
図である。

【図８】他の欠陥観察修正部の要部を示すもので、
（ａ）は透過照明の斜視図、（ｂ）は透過照明の配設状
態を示す欠陥観察修正部の断面図である。

【図９】他の欠陥観察修正部の要部を示すもので、
（ａ）は透過照明の斜視図、（ｂ）は透過照明の配設状
態を示す欠陥観察修正部の断面図である。

【図１０】他の欠陥観察修正部の断面図である。

【図１１】他の欠陥観察修正部の断面図である。

【図１２】他の欠陥観察修正部の要部を示すもので、
（ａ）は透過照明の斜視図、（ｂ）は透過照明の配設状
態を示す欠陥観察修正部の断面図である。

【図１３】他の欠陥観察修正部の断面図である。

【図１４】本発明の他の実施例における欠陥修正装置の
要部を模式的に示す正面図である。

【図１５】図１４に示す欠陥修正装置の斜視図である。

【図１６】従来の欠陥修正装置の斜視図である。

【図１７】従来の欠陥修正装置の要部を模式的に示す正
面図である。

【符号の説明】

１ 装置本体 ２ パネル（薄型表示機器） ３ パネル固定部 ４ ＸーＹステージ（移動手段） １０ メインコントローラ（移動制御手段） １３ レーザ照射用顕微鏡システム（主観察手段、欠
陥修正手段） １５ 透過照明（光源手段） １５ａ 透過照明（光源手段） １５ｂ 透過照明（光源手段） １５ｃ 透過照明（光源手段） １５ｄ 透過照明（光源手段） １５ｅ 透過照明（光源手段） １５ｆ 透過照明（光源手段） １６ 追い込み用ＣＣＤカメラ（副観察手段） １７ 画像モニタ ２４ ステージ制御部（移動手段） ２５ ジョイスティック（移動手段） ２６ 欠陥絵素（点灯不良箇所） ２８ 欠陥箇所 ２９ 画像処理部

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】薄型表示機器を支持すると共に移動させる
   移動手段と、 上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給す
   る駆動信号供給手段と、 駆動信号が供給されている上記薄型表示機器における点
   灯不良箇所の検出に必要な光を上記薄型表示機器に照射
   する光源手段と、 上記薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯
   不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用され
   る主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置におい
   て、 上記主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広
   い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の
   視野が設定された副観察手段が設けられていることを特
   徴とする薄型表示機器の検査装置。
2. 【請求項２】上記主観察手段と副観察手段とが、薄型表
   示機器を挟んで対向して配設されていることを特徴とす
   る請求項１記載の薄型表示機器の検査装置。
3. 【請求項３】上記光源手段が、カードエッジライトに偏
   光板を貼着したものからなることを特徴とする上記請求
   項１又は２記載の薄型表示機器の検査装置。
4. 【請求項４】上記光源手段が、平行に並べられた複数の
   細蛍光管に、偏光板を貼着したものからなることを特徴
   とする上記請求項１又は２記載の薄型表示機器の検査装
   置。
5. 【請求項５】上記光源手段が、薄い網状ファイバに拡散
   板と偏光板とを貼着したものからなることを特徴とする
   上記請求項１又は２記載の薄型表示機器の検査装置。
6. 【請求項６】上記主観察手段が顕微鏡からなり、上記光
   源手段が顕微鏡における対物レンズ切り換え用のレボル
   バに取り付けられた、発光体と拡散板と偏光板とを備え
   た第１照明部からなることを特徴とする上記請求項２記
   載の薄型表示機器の検査装置。
7. 【請求項７】上記主観察手段が顕微鏡からなり、上記光
   源手段が、顕微鏡における対物レンズ切り換え用のレボ
   ルバに取り付けられた第２照明部と、反射板に光を照射
   する発光体とからなることを特徴とする上記請求項２記
   載の薄型表示機器の検査装置。
8. 【請求項８】上記主観察手段が顕微鏡からなり、上記光
   源手段が、顕微鏡の対物レンズの外周に設けられたリン
   グ状照明と、各々移動可能に設けられた乱反射防止板と
   偏光板とからなることを特徴とする上記請求項２記載の
   薄型表示機器の検査装置。
9. 【請求項９】上記光源手段が、主観察手段と薄型表示機
   器との間に配されたペリクルミラーと偏光板、及び、副
   観察手段と同じ側に設けられた反射板と発光体とからな
   ることを特徴とする請求項２記載の薄型表示機器の検査
   装置。
10. 【請求項１０】上記副観察手段の視野内に入った画像か
    ら、点灯不良箇所を検出する画像処理部と、 上記画像処理部にて検出された点灯不良箇所が、副観察
    手段の視野内における主観察手段の視野が設定されてい
    る位置に入るように、移動手段の駆動を制御する移動制
    御手段とが備えられていることを特徴とする上記請求項
    １，２，３，４，５，６，７，８又は９記載の薄型表示
    機器の検査装置。
11. 【請求項１１】上記請求項１，２，３，４，５，６，
    ７，８，９又は１０記載の薄型表示機器の検査装置が備
    えられると共に、さらに、上記検査装置にて検出された
    欠陥箇所を修正するための欠陥修正手段が備えられてい
    ることを特徴とする薄型表示機器の欠陥修正装置。