JP2001340984A

JP2001340984A - レーザリペア装置

Info

Publication number: JP2001340984A
Application number: JP2000163577A
Authority: JP
Inventors: Takafumi Nakamura; 貴文中村
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2000-05-31
Filing date: 2000-05-31
Publication date: 2001-12-11

Abstract

(57)【要約】【目的】タクトタイムを低減可能で単位時間当たりの
製造枚数を向上可能なレーザリペア装置を提供する。【解決手段】この発明のレーザリペア装置は、顕微鏡
４の落射光により液晶表示装置Ｏのマーカーとが位置あ
わせされる第１の粗合わせに続く、第２粗合わせの際
に、位置座標を制御コンピュータ２１に登録し、詳細位
置合わせ時に、その登録された位置を読み出すことで、
第２粗合わせと詳細合わせを連続して行うことを可能と
し、対物レンズの交換や、フォーカス調整、また、ステ
ージカバーを開閉するために要求される時間を省略し
て、全工程にかかる時間を低減することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示装置や
ＰＤＰ装置等のガラス基板の内側の冗長回路を動作させ
ることで、表示画素欠陥が生じた画素を正常化するレー
ザリペア装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザリペア装置は、液晶表示装置やＰ
ＤＰ装置等のガラス基板の内側の冗長回路を動作させる
ことで、パネルを救済することができる。

【０００３】液晶表示装置は、高画質、薄型軽量、なら
びに低消費電力という大きな利点を持ち、ノート型コン
ピュータ、携帯用機器等への市場展開が進んでおり、性
能の向上や製造技術の向上が望まれている。

【０００４】液晶表示装置では、補助容量電極間に、製
造プロセス中に異物が混入する等により、容量絶縁膜の
絶縁性が不十分となると、補助容量給電線の電圧が画素
電極に書き込まれるため、表示画素欠陥が生じ、製造歩
留まりが低下する問題が発生する。

【０００５】このような補助容量電極の絶縁不良問題を
救済するために、ＹＡＧレーザ等のレーザビームを、補
助容量電極と画素電極の間の配線に照射して配線の抵抗
値を高めることで、補助容量給電線の電圧の書き込みを
防止し、表示画素欠陥を正常化するというレーザリペア
法が知られている。

【０００６】なお、表示画素欠陥すなわち不良は、通
常、アレイテスタ検査時ならびにセル工程の検査時に判
定可能である。なお、アレイテスタで表示画素欠陥が判
明した場合には、通常、リペア装置が表示画素欠陥の座
標情報を取得することが可能である。このため、リペア
装置側が座標情報に対応できれば、容易に対象の画素に
移動することができる。

【０００７】しかし、セル工程の検査時で不良が判明し
た場合には、リペア装置が表示画素欠陥の座標を取得で
きないことから、対象パネルにレーザリペアすべき表示
画素欠陥が多数存在する場合に、リペア（加工）作業
に、多くの時間がかかる問題がある。なお、セル工程の
検査工程で、表示画素欠陥の座標をレーザリペア装置が
取得できない場合とは、一般に、ローコストのレーザリ
ペア装置を用いる場合や製品出荷開始または生産ライン
の立ち上げ時、あるいは工程でトラブルが生じた場合で
ある。

【０００８】図４を用いて、周知のレーザリペア装置を
説明する。

【０００９】図示しないレーザ源を有するＹＡＧレーザ
装置１０２から発振された波長５３２ｎｍのレーザビー
ム１０３は、無限系の顕微鏡１０４を透過し、５０倍の
対物レンズを透過してレーザリペア対象である液晶表示
装置Ｏに照射される。なお、顕微鏡１０４には、所定の
拡大率（例えば２０倍）の対物レンズも取り付けられて
いる。

【００１０】レーザリペア加工は、例えば液晶表示装置
Ｏの画素の容量電極ショート不良が生じている場合、シ
ョートした容量電極にＹＡＧレーザ装置１０２からのレ
ーザビーム１０３を液晶表示装置Ｏのガラス基板を透過
させて照射し、レーザ加工することで、表示画素欠陥
を、液晶容量のみで駆動する状態を実現して輝点不良を
改善するものである。

【００１１】液晶表示装置Ｏには、通常、画素欠陥不良
がｎ個存在する場合が多く、このため、液晶表示装置Ｏ
は、制御コンピュータ１２１によりＸ−Ｙの２軸方向に
移動されるステージ１１１に固定されて、個々の画素欠
陥不良に対し、逐次、移動される。なお、制御コンピュ
ータ１２１は、図示しない制御パネルに設けられた図示
しないＪＯＹスティックにより、Ｘ軸方向およびＹ軸方
向のそれぞれの任意の位置（座標）に、ステージ１１１
を移動させることができる。

【００１２】顕微鏡１０４には、レーザビーム１０３を
透過し、可視光を所定の方向、例えば水平方向に反射す
る図示しないダイクロイックミラーが配置されており、
ＣＣＤ１０５に、例えば液晶表示装置Ｏ上の容量ショー
ト不良画素Ａを投影する。

【００１３】ＣＣＤ１０５に取り込まれた画像は、図示
しない映像ケーブルを経由してモニタ１０６に、映像１
０７として表示される。

【００１４】ステージ１１１の移動精度は、０．５μｍ
ピッチであり、画素ピッチ２００μｍ×２００μｍの画
素を６４０×４００ドットピッチのモニタ１０６に表示
することで、マーキングと実際の液晶表示装置の位置
を、１μｍの精度で、合わせることができる。

【００１５】図３に示したリペア装置において、レーザ
リペア工程の主要フローは、以下の通りである。

【００１６】１）ステージカバーを開けるＡ２）対象基板のステージヘの配置Ｂ３）セル基板点灯Ｂ１４）表示画素欠陥への顕微鏡の粗合わせ（第１粗合わせ）Ｄ５）ステージカバーを閉じるＣ６）ステージを、２０倍対物レンズ視野へ移動Ｅ７）ステージを、２０倍対物レンズ視野中心へ移動（第２粗合わせ）Ｆ８）対物レンズを２０倍から５０倍に交換Ｈ９）フォーカス調整Ｈ１１０）ステージを、５０倍対物レンズ視野中心へ移動（詳細合わせ）Ｊ１１）レーザ加工Ｋ１２）対物レンズを５０倍→２０倍に交換Ｈ２１３）フォーカス調整Ｈ３１４）１），４）〜１３）を表示画素欠陥の数だけ繰り返す（Ａ，ＤＣＥＦＨＨ１ＪＫＨ２Ｈ３） ×ｎ回Ｎ１５）対象基板のステージから取り出しＬ１６）終了なお、上述したフローにおける文字列は作業を示し、数
値を代入するとタクトタイムを表すものである。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】従来のレーザリペア工
程では、ステージカバーを開ける、ステージカバーを閉
めるという体の移動と動作という、時間と体力的な負担
のかかる動作が、１つのレーザリペアポイント毎に必要
である。

【００１８】また、次のレーザリペアポイントを探す作
業は、２０倍レンズ下では自分の位置を見失うために困
難であり、５０倍レンズ下では不可能で、目視でなけれ
ば難しい。このために、１つのレーザリペアポイント毎
に、目視で大体の位置を合わせる、２０倍レンズで詳細
にあわせる、５０倍レンズでさらに詳細に合わせる、レ
ーザリペアという作業が必要であり、１つのレーザリペ
アポイント毎に、対物レンズの切り替え、フォーカス調
整という時間のかかる作業が発生している。

【００１９】これらの問題を解決するべく、検査工程で
欠陥の位置情報を正確に記録する方法が考えられるが、
１つの欠陥あたり、位置情報を記録するのに数十秒かか
ることから、現実的には、欠陥の正確な位置情報を取得
した後に、レーザリペアする方法は不可能である。

【００２０】この発明の目的は、上記課題に対してなさ
れたものであり、タクトタイムを低減し、単位時間あた
りの製造枚数を増加させるレーザリペア装置を提供する
ことにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】この発明は、上述した問
題点に基づきなされたもので、所定波長のレーザビーム
を発振するレーザ装置と、前記レーザビームと略垂直に
配置され、面方向に移動可能なステージと、前記ステー
ジ上に配置される対象物を前記レーザビームにより加工
する収束光学系と、前記対象物を観察できる観察系とを
備えたレーザリペア装置において、前記観察系は、第１
の倍率で前記対象物を観測する第１の観察系と、前記第
１の倍率より高倍率の第２の倍率で前記対象物を観察
し、かつ前記レーザビームの加工作業を観察する第２の
観察系とを備え、前記第１の観察系において、観察され
た前記対象物の複数箇所の対象位置座標を登録する位置
座標登録手段と、前記第２の観察系において、前記対象
位置座標を読み出す手段と、を、備えたことを特徴とす
るレーザリペア装置である。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態を詳細に説明する。

【００２３】図１は、この発明の実施の形態が適用され
るレーザリペア装置を説明する概略図である。

【００２４】図１に示すように、レーザリペア装置１
は、図示しないＹＡＧレーザ源を有するＹＡＧレーザ装
置２から発振されたＹＡＧレーザビーム３を、ステージ
１１上に固定されたレーザリペア対象の液晶表示装置Ｏ
の所定の位置に照射する魚眼系顕微鏡４を有している。

【００２５】ステージ１１は、ＹＡＧレーザビーム３と
相互に直交するＸ軸方向とＹ軸方向の互いに直交する２
軸方向に、例えば０．５μｍピッチで移動可能であり、
制御コンピュータ２１によって、移動が制御される。な
お、制御コンピュータ２１に対する移動指示すなわち移
動情報の入力に、図示しないＪＯＹスティックを利用し
てもよい。このとき、ＪＯＹスティックは、現在のステ
ージ１１の位置を、予め決められているステージ１１の
原点を基準としてステージ１１の位置を制御コンピュー
タに指示する。

【００２６】制御コンピュータ２１は、図示しない操作
パネルあるいは図示しないＪＯＹスティックからの入力
に応じて、図示しないメモリ内の座標ファイル上の任意
の座標にステージ１１を移動させることのできる図示し
ないテーブル制御機構を有している。

【００２７】また、ＪＯＹスティックには、ステージ１
１が移動されている任意の位置の座標値を、図示しない
座標ファイル内に記録させるための操作ボタン（欠陥位
置入力キー）が設けられている。なお、操作ボタンは、
ＪＯＹスティックに設けられなければならない必要はな
く、例えば制御コンピュータ２１の図示しない操作パネ
ルや、ＪＯＹスティックが設けられる図示しない操作卓
に設けられてもよい。

【００２８】ステージ１１および顕微鏡４は、例えばス
テンレス製の筐体１２に覆われている。

【００２９】筐体１２には、ステージ１１に固定される
液晶表示装置等であるサンプルＯを出し入れするカバー
１３およびサンプルＯの表面を観察可能とする窓１４が
配置されている。この窓１４と筐体内１２に設けられる
図示しない照明装置により、サンプルＯ上に予め位置さ
れているマーキングの位置が確認可能である。

【００３０】窓１４は、例えば５ｍｍ厚の塩化ビニル板
であり、ＹＡＧレーザ装置２から発振されるＹＡＧレー
ザビーム３の波長である５３２ｎｍの光の光強度を、１
／２０以下の強度に減衰することのできる図示しないフ
ィルム（フィルタ）が一体に設けられている。これによ
り、筐体１２内の液晶表示装置Ｏに照射されたＹＡＧレ
ーザビーム３が液晶表示装置Ｏで反射された場合に、筐
体１２および窓１４を通じて外部へ漏れることが防止さ
れている。従って、ＹＡＧレーザビーム３が筐体内のサ
ンプルＯに照射されている動作状態においても、作業者
（観測者）をクラス１レベルで保護できる。

【００３１】顕微鏡４には、図示しない落射照明系が設
けられていて、その照明光がサンプルＯに照射される位
置とマーキングの位置を、窓１４を通じて確認する。ま
た、顕微鏡４は、切り替えまたは交換により、例えば２
０倍および５０倍の２段階の拡大倍率を提供可能であ
る。すなわち、顕微鏡４には、第１の倍率である２０倍
の拡大が可能な第１の拡大レンズ４ａ、同第２の倍率で
ある５０倍の拡大が可能な第２の拡大レンズ４ｂが設け
られている。なお、それぞれのレンズは、任意に選択さ
れる。

【００３２】カバー１３には、インターロックが設けら
れていて、カバー１３が開いた状態では、ステージ１１
が動作したりレーザ装置２からＹＡＧレーザビーム３が
発振されることが抑止されている。

【００３３】顕微鏡４には、ＹＡＧレーザビーム３を透
過し、筐体１２に設けられている照明装置からの光によ
り照明されたサンプル（液晶表示装置）Ｏからの反射光
である可視光を所定方向に反射する図示しないダイクロ
イックミラーが設けられている。

【００３４】ダイックロイックミラーで反射された可視
光が到達する位置には、筐体１２内のステージ１１に載
置されているサンプルＯからの反射光を受光して、サン
プルＯに対応する画像を出力するＣＣＤセンサ５が設け
られている。従って、例えば液晶表示装置Ｏ上に、容量
ショート不良画素Ａが存在する場合には、その画像Ａ
が、顕微鏡４を介して所定の倍率で拡大されてＣＣＤセ
ンサ５に案内され、画像信号に変換される。

【００３５】この画像信号は、図示しない映像ケーブル
によりモニタ６に供給され、映像７として表示される。
なお、モニタ６の表示部には、顕微鏡４がサンプルＯの
任意の位置の画像を取り込む際の画像エリアの概ね中心
を示すマーカー６ａが設けられている。なお、ステージ
精度は、０．５μｍピッチであり、画素ピッチ２００μ
ｍ×２００μｍの画素を、６４０×４００ドットピッチ
のモニタ６に表示することで、１μｍの詳細な精度でマ
ーカー６ａとサンプルＯのマーキングの位置の位置あわ
せを実現できる。

【００３６】次に、図１に示したレーザリペア装置を用
いた液晶表示装置の表示画素欠陥のレーザリペアについ
て説明する。

【００３７】ステージ１１の所定の位置に液晶表示装置
すなわちサンプルＯを固定し、ステージ１１をＪＯＹス
ティックからの指示により制御コンピュータ２１で所定
の方向に所定量移動させ、顕微鏡４に設けられている図
示しない落射照明系からの落射光により、液晶表示装置
Ｏの所定の位置に予めマーキングされているマーカーを
照明して液晶表示装置Ｏと顕微鏡４との位置を大まかに
合わせる。すなわち、落射照明系から液晶表示装置Ｏに
照射された落射照明光の位置と予め液晶表示装置に設け
られているマーキングの位置とを、窓１４越しに確認す
ることで、粗合わせが可能になる。

【００３８】また、引き続く第２の粗合わせにおいて
は、例えば２０倍の拡大率の第１の拡大レンズ４ａが用
いられる。すなわち、先の液晶表示装置Ｏのマーカーと
顕微鏡４の落射照明の位置あわせによりマーカーとレン
ズの略中心とを粗合わせした後に、第２の粗合わせを行
うことができる。なお、第２の粗合わせにおいて、その
位置を、ＪＯＹスティックにより制御コンピュータ２１
に入力することで、以下の工程であるレーザリペア対象
位置への移動を短時間で可能とする。

【００３９】次に、制御コンピュータ２１の制御によ
り、先の第２の粗合わせにおいて特定した表示画素欠陥
の位置へステージ１１を移動させ、顕微鏡４の倍率の高
い５０倍（第２）の対物レンズ４ｂを介して詳細な位置
あわせをした後、ＹＡＧレーザ装置１からの波長５３２
ｎｍのレーザビームを、液晶表示装置Ｏのレーザリペア
対象位置に照射する。なお、モニタ６は、画素ピッチ２
００μｍＸ２００μｍの画素を、６４０ｘ４００ドット
ピッチで表示でき、１μｍの精度を有することから、マ
ーカーと液晶表示装置とを、±２００μｍの精度で位置
合わせすることができる。

【００４０】なお、窓１４は、波長５３２ｎｍのＹＡＧ
レーザビーム３の光強度を概ね１／２０に減衰できるこ
とから、ＹＡＧレーザビーム３の光強度を充分な強度に
維持した状態で、レーザビーム３の反射光が筐体１２の
外側へ漏れることを防いでいる。これらの構造により、
ＹＡＧレーザ装置１によりＹＡＧレーザビーム３が発振
されている動作状態でも、作業者を、クラス１の安全レ
ベルで保護できる。

【００４１】次に、上述したレーザリペア装置を用いた
サンプルすなわち液晶表示装置Ｏの表示画素欠陥のリペ
アについて、工程を追って、説明する。図２に示すよう
に、レーザリペアにおいて、まず、ステージ１１のカバ
ー１３を開け、以下、順に、１）ステージカバーを１３を開けるＡ２）対象基板Ｏをステージ１１にセットＢ３）セル基板Ｏを点灯Ｂ１４）ステージカバー１３を閉めるＣ５）リペア装置の窓１４越しにＪＯＹスティックによりステージ１１を動作させ、表示画素欠陥への粗合わせ（第１粗合わせ）Ｄ６）顕微鏡４を２０倍の対物レンズとし、ＪＯＹスティックによりステージ１１を動作させ、表示画素欠陥を、２０倍レンズの視野へ移動Ｅ７）ＪＯＹスティックによりステージ１１を動作させ、基板Ｏを、顕微鏡４の２０倍対物レンズ視野中心に移動（第２粗合わせ）Ｆ８）ＪＯＹスティックの操作ボタンを押して、表示画素欠陥の位置座標を制御コンピュータ２１の内部または外部メモリに登録Ｇ９）５）〜８）を、表示画素欠陥の個数ｎだけ繰り返す（ＤＥＦＧ×ｎ回）続いて、１０）顕微鏡４の対物レンズを２０倍→５０倍に変換Ｈフォーカス調整Ｈ１１１）８）で登録した表示画素欠陥の座標を読み出すＩ１２）ＪＯＹスティックによりステージ１１を動作させ、基板Ｏを、５０倍レンズの視野中心へ移動（詳細合わせ）Ｊ１３）レーザビーム３により表示画素欠陥をレーザリペアＫ１４）１１）〜１３）を、表示画素欠陥の個数ｎだけ繰り返す（ＩＪＫ×ｎ回）１５）対象基板Ｏをステージ１１から取り出すＯからなる各ステップにより構成される。

【００４２】図３に、パネル１枚あたり５カ所のレーザ
加工を行った場合の各ステップを示す。

【００４３】ここで、文字例をタクトタイムと仮定する
と、従来（図３（ｂ））は、Ａ＋Ｂ＋Ｂ１＋（Ｄ＋Ｃ＋Ｅ＋Ｆ＋Ｇ＋Ｈ＋Ｈ１＋Ｊ＋Ｈ２＋Ｈ３）ｎ＋Ｌ・・・（１）と表すことができる。

【００４４】これに対して、図１および図２を用いて説
明したこの発明の実施の形態によれば、図３（ａ）に示
すとおり、Ａ＋Ｂ＋Ｂ１＋Ｃ＋（Ｄ＋Ｅ＋Ｆ＋Ｇ）ｎ＋Ｈ＋Ｈ１＋（Ｉ＋Ｊ＋Ｋ）ｎ＋Ｌ・・・（２）で表すことができる。

【００４５】ここで、（１）−（２）により改善タクト
タイムを求めると、（Ａ＋Ｃ）（ｎ−１）＋（Ｈ＋Ｈ１）（ｎ−１）＋（Ｈ２＋Ｈ３） −（Ｇ＋Ｉ）ｎ・・・（３）となる。

【００４６】（３）式において、第１項はカバーの開
閉、第２，３項はフォーカス調整、あるいは対物レンズ
の交換という時間のかかる動作であるに対レて、第４項
は、ＪＯＹスティックの操作ボタンを押すという簡略な
作業である。

【００４７】つまり、カバー開閉作業、フォーカス調整
作業、対物レンズ交換作業を省略することができ、１枚
の対象基板にかかるリペアの作業効率が向上する。

【００４８】ここで、実際に数値を代入すると、１パネ
ル当たり５ヶ所レーザ加工を行うと仮定して、タクトタ
イムを、概ね５分程度改善できることが確認されてい
る。

【００４９】なお、フィルタつきの塩化ビニル製の窓を
用いること、座標登録機能を有することおよび第２の粗
合わせを行う観察系を有することの３つの項目を同じ装
置で利用できることが重要である。例えば、座標登録機
能のみを有するリペア装置がある場合に、ステージのカ
バーを、レーザリペアの対象ごとに開閉していては、効
率は、さほど上がらない。また、フィルタつきの塩化ビ
ニル窓を用いるリペア装置がある場合に、座標登録機能
がなければ、レーザリペアの対象ごとに、対物レンズを
切り替える必要があり、同様に、効率は、さほど上昇し
ない。

【００５０】すなわち、レーザリペアの対象である液晶
表示装置を、ＹＡＧレーザビームの光強度を概ね１／２
０に低減する塩化ビニル窓を通して、顕微鏡からの落射
光を用いて液晶表示装置の表面のマーカーと顕微鏡との
粗含わせを行い、次に、第２粗合わせを行って表示画素
欠陥の位置座標をステージの移動を制御するコンピュー
タに登録することで、レーザリペア装置において時間の
かかる動作のほとんどを省略することが可能になる。

【００５１】なお、フィルタつきの窓は、ＣＣＤカメラ
を用いて液晶表示装置の表面を観察するものであっても
よい。また、表示画素欠陥の位置座標登録機能は、基板
位置あわせ用のアライメントマークの位置あわせソフト
を改造して容易にえることができ、装置のコストを増大
することはない。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、液晶表示装置のパネルの不具合を、レーザビームの
照射によってリペアするレーザリペア工程において、第
２粗合わせの時の位置座標を制御コンピュータに登録
し、詳細位置合わせ時に、その登録された位置を読み出
すことで、第２粗合わせと詳細合わせを、それぞれ欠陥
個数分連続して行うことを可能とし、対物レンズの交換
や、フォーカス調整、また、ステージカバーを開閉する
ために要求される時間を省略して、全工程にかかる時間
を低減することができ、パネル１枚当たりの加工タクト
タイムを５分程度縮めることが可能になり、作業効率を
約２倍にでき、単位時間当たりの製造枚数を倍増するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態であるレーザリペア装置
の一例を説明する概略図。

【図２】図１に示したレーザリペア装置における各工程
を説明するフローチャート。

【図３】５個のリペアを行う場合のステップを示す図
で、図３（ａ）は、図１に示したこの発明のレーザリペ
ア装置を適用した実施例であり、図３（ｂ）は、図４に
示した従来のレーザリペア装置による実施例を説明する
概略図。

【図４】周知のレーザリペア装置を説明する概略図。

【符号の説明】

１・・・レーザリペア装置、２・・・ＹＡＧレーザ装置、３・・・ＹＡＧレーザビーム、４・・・顕微鏡、４ａ・・・第１の拡大レンズ（２０倍）、４ｂ・・・第２の拡大レンズ（５０倍）、５・・・ＣＣＤセンサ、６・・・モニタ、６ａ・・・マーカー、１１・・・ステージ、１２・・・筐体、１３・・・カバー、１４・・・窓。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考） // Ｂ２３Ｋ 101:36 Ｂ２３Ｋ 101:36 Ｆターム(参考） 2H088 FA10 FA15 FA16 FA18 FA23 FA24 FA30 MA16 2H092 JB71 JB77 MA47 MA52 MA57 NA25 NA27 NA29 PA06 4E068 CA14 CA17 CB08 CC02 DA09 5G435 AA17 BB06 BB12 EE33 HH12 KK05 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定波長のレーザビームを発振するレーザ
装置と、前記レーザビームと略垂直に配置され、面方向
に移動可能なステージと、前記ステージ上に配置される
対象物を前記レーザビームにより加工する収束光学系
と、前記対象物を観察できる観察系とを備えたレーザリ
ペア装置において、前記観察系は、第１の倍率で前記対象物を観測する第１の観察系と、前記第１の倍率より高倍率の第２の倍率で前記対象物を
観察し、かつ前記レーザビームの加工作業を観察する第
２の観察系とを備え、前記第１の観察系において、観察された前記対象物の複
数箇所の対象位置座標を登録する位置座標登録手段と、前記第２の観察系において、前記対象位置座標を読み出
す手段と、を、備えたことを特徴とするレーザリペア装
置。
【請求項２】前記観察系は、前記第１の倍率よりも低倍
率の第３の倍率で前記対象物を観察する第３の観察系を
有することを特徴とする請求項１記載のレーザリペア装
置。
【請求項３】前記第３の観察系は、レーザリペア装置に
設置された窓部により目視する系であることを特徴とす
る請求項２記載のレーザリペア装置。
【請求項４】前記窓部には、前記所定波長を減衰するフ
ィルタが一体的に設けられていることを特徴とする請求
項３記載のレーザリペア装置。
【請求項５】前記第３の観察系は、前記対象物をＣＣＤ
カメラにより撮像した映像をモニタ表示するものである
ことを特徴とする請求項２記載のレーザリペア装置。