CN101101857B - 缺陷修复装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种可以减轻操作者的负荷、并可高效地修复缺陷的缺陷修复装置。在进行缺陷修复之前，载物台(2)根据主控制部(65)的指示，使基板(1)进行二维移动而移动到使缺陷进入物镜(14)的视野区域的位置。照相机(5)生成基于射入光的图像信号，输出给控制装置(6)。图像处理部(62)根据回顾检查图像信号生成缩略图像数据，输出给主控制部(65)。主控制部(65)将回顾检查图像的缩略图像数据与缺陷数据关联起来存储在存储部(66)中。在输出了修复开始指示时，主控制部(65)从存储部(66)读出所有回顾检查对象缺陷的缩略图像数据，输出给显示器(7)。显示器(7)根据所输入的缩略图像数据，将各个缺陷的回顾检查图像显示为缩小的缩略图像。向由确认了回顾检查图像的显示的操作者所选择的缺陷照射激光。

Description

缺陷修复装置
技术领域
本发明涉及一种通过向基板上的缺陷照射激光来修复缺陷的缺陷修复装置。本申请以在2006年7月3日在日本提出申请的日本特愿2006-183111号为基础主张优先权，并在此援引其内容。
背景技术
在制造液晶显示装置等平板显示器(FPD)和半导体晶片的光刻制造工序中，一般使用利用激光来修复产生于大型玻璃基板和半导体基板等基板上的缺陷的缺陷修复装置(例如参照日本特开2001-91919号公报)。在以往的缺陷修复装置中，对于在制造工序中制造的基板，利用检查装置对缺陷部的图像数据进行图像处理，自动判断基板上的缺陷是不会给后面制造工序带来影响的疑似缺陷、还是需要修复的真正缺陷，根据该判断结果来修复缺陷。但是，缺陷检查装置根据缺陷的类型、大小、位置等判断基准的设定条件，不能避免错误判定，缺陷分类的判定精度有限。因此，操作者使用显微镜等微观检查装置对通过宏观检查检测出的缺陷进行仔细观察(回顾检查(review))，从在宏观检查时检测出的缺陷中选择要修复的缺陷来进行。
以往，操作者回顾检查所有的缺陷来判断是否要修复该缺陷，在要修复时，操作缺陷修复装置向缺陷部位照射激光来修复缺陷。在回顾检查各个缺陷时，使放置有基板的载物台沿XY方向移动，使作为是否要修复的判断对象的所有缺陷移动到显微镜的观察位置来进行观察。操作者始终在缺陷修复装置前面进行作业，必须用心进行缺陷修复装置的操作及缺陷观察，所以操作者的负荷大。并且，缺陷修复装置的作业节拍时间依赖于要处理的缺陷数量，按顺序地重复进行回顾检查、有无修复必要性的判断及缺陷修复，这很没有效率。
发明内容
本发明就是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种可以减轻操作者的负荷、并可以高效地修复缺陷的缺陷修复装置。
本发明就是为了解决上述问题而提出的，提供一种修复基板上的缺陷的缺陷修复装置，其特征在于，该缺陷修复装置具有：摄像部，其根据在修复工序前面的检查工序中检查出的所述基板的检查数据的缺陷位置信息，拍摄作为回顾检查对象的缺陷；显示部，其将通过所述摄像部拍摄到的各缺陷回顾检查图像缩小并一览显示；缺陷选择部，其从通过所述显示部一览显示的所述回顾检查图像中选择要修复的缺陷；缺陷修复部，其修复通过所述缺陷选择部选择的所述缺陷；以及控制部，其控制所述摄像部、所述显示部和所述缺陷修复部。
并且，本发明的缺陷修复装置中，其特征在于，所述控制部进行如下控制：使摄像部根据所述检查数据的缺陷位置信息，在所述缺陷修复部修复缺陷之前，拍摄作为回顾检查对象的所有缺陷，使图像处理部将该回顾检查图像生成为缩小图像，使该缩小图像与所述缺陷数据关联起来存储在存储部中，根据修复开始指令，从所述存储部中读出回顾检查图像的缩小图像，使所述显示部进行一览显示。
并且，本发明的缺陷修复装置中，其特征在于，所述控制部进行如下控制：使所述摄像部拍摄通过所述缺陷修复部修复的所述缺陷的修复后的图像，并且使所述显示部将通过所述摄像部拍摄到的修复后的图像缩小，与所述回顾检查缺陷图像关联起来进行显示。
并且，本发明的缺陷修复装置中，其特征在于，所述控制部进行如下控制：使所述摄像部拍摄通过所述缺陷修复部修复的所述缺陷的修复前后的图像，并且使所述显示部将修复前和修复后的图像缩小，与所述回顾检查缺陷图像关联起来进行显示。
并且，本发明的缺陷修复装置中，其特征在于，所述控制部从外部装置获取在检查工序中检查出的所述基板的检查数据，根据该检查数据选择作为需要修复的回顾检查对象的缺陷，使所述摄像部根据该选择的回顾检查对象缺陷的位置信息来拍摄被选择为回顾检查对象的各个缺陷。
并且，本发明的缺陷修复装置中，其特征在于，所述控制部使摄像部根据所述检查数据的缺陷位置信息，在所述缺陷修复部修复缺陷之前拍摄作为回顾检查对象的所有缺陷，使该回顾检查图像和缩小的缩小回顾检查图像存储在存储部中，通过对在所述显示部上缩小而一览显示的回顾检查图像进行放大指定，从而从所述存储部中读出所述缩小处理前的回顾检查图像并放大显示。
根据本发明，可以获得减轻操作者的负荷、并可高效地修复缺陷的效果。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式涉及的缺陷修复装置的结构的方框图。
图2是表示本发明的缺陷修复装置的动作的流程图。
图3是表示显示于本发明的缺陷修复装置的画面上的显示例的参考图。
具体实施方式
以下，参照附图说明用于实施本发明的优选方式。图1是表示本发明的一个实施方式涉及的缺陷修复装置的结构的方框图。基板1是作为修复对象的FPD用玻璃基板或半导体晶片基板等。载物台2支持基板1，并具有使基板1沿相互垂直的X方向和Y方向移动的二维移动机构。照明光源3是缺陷观察用的光源。来自照明光源3的光透射过透镜12，被光束分离器13反射，通过物镜14照射到基板1上。利用这些照明光源3、透镜12、光束分离器13、物镜14中的至少照明光源3和物镜14，构成放大观察缺陷的回顾检查部。
激光光源4输出用于修复缺陷的激光。来自激光光源4的激光被反射镜8反射，透过透镜9和光束分离器11、13，通过物镜14照射到基板1上的缺陷。利用这些激光光源4、反射镜8、光束分离器11、13、物镜14中的至少激光光源4和物镜14，构成缺陷修复部。照相机5例如是具有CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)等摄像元件的摄像装置，生成基于被摄体(基板1)的光像的图像信号。在基板1的表面反射的来自照明光源3的光，通过物镜14、光束分离器13、11、和透镜10，入射到照相机5的受光面上。
控制装置6具有控制缺陷修复装置整体的功能，具有激光控制部61、图像处理部62、载物台控制部63、操作部64、主控制部65和存储部66。并且，虽然没有图示，控制装置6具有用于和外部装置(例如管理表示在修复工序前面的上游侧的检查工序中检查出的检查结果的检查数据的检查数据服务器)进行通信的通信接口等结构。
在控制装置6中，激光控制部61通过控制施加给激光光源4的电压等，进行激光光源4的接通/断开的控制、在接通时输出的激光的能量控制等。图像处理部62通过间隔提取从照相机5输出的缺陷图像信号等，生成缩小的缩略图像数据。载物台控制部63控制载物台2的驱动。
操作部64具有由操作者操作的键盘和鼠标等，生成基于操作结果的信号。主控制部65进行用于控制包括上述结构的控制装置6整体的运算和数据的输入输出控制等。存储部66是存储各缺陷的检查数据和缩略图像数据等的半导体存储器或硬盘驱动器等。显示器7是显示缩略图像和缺陷数据等的CRT(Cathode Ray Tube，阴极射线管)显示器或液晶显示器等显示装置。
下面，说明本实施方式的缺陷修复装置的动作。图2是表示缺陷修复装置的动作的流程图。缺陷修复装置的控制装置6通过未图示的通信线路，从检查数据服务器获取在修复工序的上游侧的检查工序中检查出的基板整体的检查数据(缺陷列表、缺陷数据)，存储在存储部66中(步骤S201)。该检查数据中包括表示缺陷的位置的座标(位置信息)、表示缺陷的大小和缺陷的类型的数据。当操作者操作操作部64指示了回顾检查时，操作部64向主控制部65输出基于操作者的指示的信号。当主控制部65检测出该信号时，向控制装置6的各部输出动作指示。
主控制部65从存储部66读出基板1的检查数据，根据缺陷的大小和位置等数据，分类为不需要修复的疑似缺陷和需要修复的真正缺陷，从由检查数据表示的缺陷中选择作为需要修复的回顾检查对象的缺陷。主控制部65将所选择的缺陷中的一个缺陷的座标通知给载物台控制部63，并且指示载物台2的移动。接收到指示的载物台控制部63驱动载物台2，根据通知的缺陷座标来控制移动量。载物台2把基板1移动到使所选择的缺陷进入物镜14的视野区域的位置上(步骤S202)。
来自照明光源3的光被基板1反射，按照前面所述入射到照相机5的受光面上。照相机5拍摄通过物镜14放大为预定倍率的缺陷，生成其回顾检查图像信号，输出给控制装置6。输入到控制装置6中的回顾检查图像信号被输入到图像处理部62。图像处理部62根据回顾检查图像信号生成缩略图像数据，输出给主控制部65。主控制部65将回顾检查图像的缩略图像数据与缺陷数据关联起来存储在存储部66中(步骤S203)。
然后，主控制部65判定是否存在尚未进行上述图像保存的回顾检查对象的缺陷(步骤S204)。在还存在回顾检查对象的缺陷时，处理返回到步骤S202，重复上述处理。另一方面，在被选择为回顾检查对象的所有缺陷的缩略图像数据已保存在存储部66中时，结束回顾检查动作，处理转入到后面的步骤S205。如上所述，自动地进行根据在前面检查工序中检测出的回顾检查对象缺陷的位置信息来拍摄所有缺陷并保存回顾检查图像的回顾检查动作。
在输出了修复开始指示的情况下，主控制部65从存储部66中读出所有回顾检查对象缺陷的缩略图像数据(或者也可以是一部分缩略图像数据)，输出给显示器7。显示器7根据所输入的缩略图像数据，把各缺陷的回顾检查图像308作为缩小的缩略图像，例如按照图3所示以一览形式显示(步骤S205)。操作者通过目视确认一览显示的回顾检查图像的缩略图像，一面操作操作部64的鼠标，一面使光标300移动到显示有作为修复对象的缺陷的回顾检查图像上并选择。此时，操作者可以从一览显示的回顾检查图像中选择需要修复的多个缺陷。从操作部64向主控制部65输出基于操作者的操作的信号。主控制部65根据该信号选择修复对象的缺陷(步骤S206)。
然后，主控制部65将所选择的缺陷中的一个缺陷的座标通知给载物台控制部63，并且指示载物台2的移动。接收到指示的载物台控制部63驱动载物台2，根据通知的缺陷座标来控制移动量。载物台2把基板1移动到使所选择的缺陷进入物镜14的视野区域的位置上(步骤S207)。然后，主控制部65将对缺陷的激光照射位置、激光照射形状指示给激光控制部61。接收到指示的激光控制部61控制激光光源4的激光输出。来自激光光源4的激光照射到基板1上的缺陷，进行所期望的缺陷修复(步骤S208)。
然后，主控制部65判定是否存在尚未进行上述缺陷修复的修复对象的缺陷(步骤S209)。在还存在修复对象的缺陷时，处理返回到步骤S207，重复上述处理。另一方面，在对被选择为修复对象的所有缺陷的激光照射结束时，结束一系列的动作。
如前面所述，以往利用显微镜逐个地观察各个缺陷，每次都要进行缺陷修复的必要性的判断，所以操作者始终在缺陷修复装置前面进行作业，操作者的负荷大。与此相对，根据本实施方式，根据通过上游侧的检查装置检测出的各个缺陷的座标数据，自动进行各个缺陷的回顾检查动作，在该回顾检查动作中所拍摄的缺陷的缩略图像一览显示在显示器7上，根据该显示，操作者一次选择修复对象的缺陷，所以能够减轻操作者的操作负担。
并且，在缺陷修复装置根据在前面检查工序中检测出的缺陷座标数据来自动地回顾检查缺陷并进行拍摄的期间，操作者不需要在缺陷修复装置的前面，所以能够在回顾检查动作期间操作其他装置等，可以高效率地进行作业。当然，也可以由一个操作者操作多台缺陷修复装置，所以能够高效率地进行缺陷修复。
并且，通过将在回顾检查时所拍摄的各个缺陷的缩略图像一览显示在显示器7上，操作者可以从视觉上掌握缺陷数量和缺陷的状态、趋势等。在制造工序中，期望缺陷修复所需要的时间(修复处理时间)为较短的时间，但如上面所述，通过能够掌握缺陷数量和缺陷的状态、趋势等，操作者可以考虑修复处理时间高效率地选择修复对象的缺陷。例如，在必须使修复处理时间为最短的情况下，操作者可以只选择必要的最低限度的、在后面的制造工序中会成为问题的重要缺陷，并且在时间有富余时，可以还选择重要缺陷之外的缺陷。
另外，在步骤S208，也可以生成利用照相机5拍摄照射激光来修复缺陷前后的基板1所得到的修复前图像和修复后图像的缩略图像。该情况时，激光控制部61将激光光源4的激光输出关闭。照相机5拍摄激光照射前后的基板1的表面而生成图像信号，输出给控制装置6。控制装置6的图像处理部62根据图像信号生成缺陷修复前后的缩略图像数据，输出给主控制部65。主控制部65将该缩略图像数据作为与激光照射前的缩略图像数据相关联的激光照射后的缩略图像数据，存储在存储部66中。
主控制部65例如在对修复对象的所有缺陷照射激光后，从存储部66读出激光照射后的缩略图像数据，输出给显示器7。显示器7根据该缩略图像数据，按照图3所示以一览形式显示修复后图像的缩略图像310和修复前图像的缩略图像312。由此，操作者可以目视观察修复后图像来确认是否已正确地进行了修复。在存在需要再次修复的缺陷时，再次将该缺陷登记为修复对象的缺陷，并再次重复前述处理即可。
下面，说明显示于显示器7上的画面的示例。图3表示显示画面的一例。修复开始按钮301是用于输入对所选择的缺陷的激光修复的开始的按钮。当操作者例如操作鼠标使光标300对准修复开始按钮301并点击了鼠标时，开始图2中的步骤S206以后的处理。修复中断按钮302是用于输入激光修复的中断的按钮。当操作者按照上面所述使光标300对准修复中断按钮302并点击了鼠标时，激光的照射中断。
追加按钮303是用于将修复对象的缺陷登记(追加)到缺陷修复装置中的按钮。选择删除按钮304是用于从作为修复对象的缺陷而登记在缺陷修复装置中的缺陷中解除任意缺陷的登记的按钮。全部删除按钮305具有与选择删除按钮304相同的功能，是用于解除作为修复对象的缺陷而登记在缺陷修复装置中的全部缺陷的登记的按钮。结束按钮306是用于结束全部动作的按钮。
回顾检查图像栏307是显示在回顾检查动作时由照相机5拍摄处理对象的缺陷所得到的回顾检查图像的区域。在图3中，一览显示着将回顾检查图像缩小后的缩略图像308a～308e。当操作者操作作为缺陷选择部的鼠标，使光标300对准缩略图像308a～308e中的任一方并点击鼠标，再使光标300对准追加按钮303并点击鼠标时，将在所指定的回顾检查图像308c中显示的修复对象的缺陷登记到缺陷修复装置中，所登记的缩略图像的框利用颜色或粗线等强调显示。在图3中，框利用粗线强调显示的缩略图像308a、308c和308d被登记为修复对象的缺陷。
在修复开始按钮301被点击时，对在回顾检查图像栏307中显示于所选择的缩略图像中的缺陷进行缺陷修复。在选择回顾检查图像308a～308e时，操作者也可以使光标300对准在显示器7上一览显示的回顾检查图像的缩略图像并点击，由此选择一个回顾检查图像，操作者也可以拖拉鼠标来选择多个回顾检查图像。
修复前图像栏309是将在向被登记为修复对象的缺陷照射激光之前由照相机5所拍摄的缺陷修复前的缩略图像与回顾检查图像308对应起来显示的区域。在图3中，显示有与缩略图像308a、308c和308d对应的缩略图像310a、310c、310d。修复后图像栏311是将被登记为修复对象的缺陷的修复后(激光照射后)的缩略图像与回顾检查图像或修复前图像对应起来显示的区域。在图3中，显示有与缩略图像310a、310c、310d对应的修复后的缩略图像312a、312c、312d。
缺陷列表栏313是显示与在回顾检查图像栏307上显示的各个缩略图像对应的缺陷数据(座标和大小等)的区域。与被登记为修复对象的缩略图像对应的缺陷数据，例如被利用和与未登记的缩略图像对应的缺陷数据不同的颜色来显示。
另外，在缩略图像中的缺陷小不易观察的情况下，当操作者通过使光标300对准回顾检查图像栏307上的任意缩略图像并双击等而进行放大指定时，也可以从存储部66读出与该缩略图像对应的缩小处理前的回顾检查图像来放大显示。或者，当操作者使光标300对准回顾检查图像栏307上的缩略图像并双击时，也可以由照相机5再次拍摄显示于该缩略图像中的缺陷，显示缺陷的回顾检查图像。
在再次显示缺陷的图像时，主控制部65检测从操作部64输出的信号，根据该信号判断哪个缺陷被选择为再次的拍摄对象。主控制部65根据存储在存储部66中的检查数据，识别该缺陷的座标，将该座标通知给载物台控制部63，并且指示载物台2的移动。接收到指示的载物台控制部63驱动载物台2，根据通知的缺陷座标来控制移动量。载物台2把基板1移动到使所选择的缺陷进入物镜14的视野区域的位置上。
照相机5拍摄基板1的表面而生成图像信号，输出给控制装置6。控制装置6的图像处理部62将基于图像信号的图像数据输出给主控制部65。主控制部65将该图像数据输出给显示器7。显示器7根据该图像数据显示基板1的表面图像。由此，操作者可以再次确认重新拍摄的回顾检查图像内的缺陷。
以上参照附图具体说明了本发明的实施方式，但具体结构不限于这些实施方式，也包括不脱离本发明宗旨的范围内的设计变更等。例如，在上述实施方式中，支持基板1的载物台2移动，但也可以使包括物镜14的光学系统在基板1上进行XY移动，还可以使包括载物台2和物镜14的检查头分别沿X方向和Y方向在一轴方向上相对移动。并且，物镜14在观察基板1时和照射激光时可以是相同的倍率，也可以是不同的倍率。另外，也可以将通过照相机5拍摄的缩小前的原图像数据与缩略图像数据一起记录。

Claims (11)

1.一种对基板上的缺陷进行修复的缺陷修复装置，其特征在于，该缺陷修复装置具有：
摄像部，其根据在修复工序前面的检查工序中检查出的所述基板的检查数据的缺陷位置信息，拍摄作为回顾检查对象的缺陷；
图像处理部，其缩小通过所述摄像部拍摄到的缺陷回顾检查图像而生成缩略图像；
存储部，其将所述缺陷回顾检查图像与所述缩略图像相关联地进行保存；
显示部，其一览显示所述缩略图像；
缺陷选择部，其在通过所述显示部一览显示的所述缩略图像上，选择要修复的缺陷；
缺陷修复部，其修复通过所述缺陷选择部选择的所述缺陷；以及
控制部，其控制所述摄像部、所述显示部和所述缺陷修复部。
2.根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部根据所述检查数据的缺陷位置信息来选择需要修复的真正缺陷作为回顾检查对象，使所述摄像部拍摄所选择的成为回顾检查对象的所有缺陷，将该回顾检查图像保存在所述存储部中。
3.根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部根据所述检查数据的缺陷的大小或位置来分类成不需要修复的疑似缺陷和需要修复的真正缺陷，选择成为需要修复的回顾检查对象的缺陷。
4.根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部在存储部中相关联地存储所述缺陷回顾检查图像和将所述回顾检查图像缩小后的缩略图像，从所述存储部中读取所述缩略图像而一览显示在所述显示部上。
5.根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部针对显示在所述显示部上的所述缩略图像，强调显示通过缺陷选择部利用光标指定的所述缩略图像的框。
6.根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部根据所述检查数据的缺陷位置信息，使摄像部拍摄在所述缺陷修复部的缺陷修复前作为回顾检查对象的所有缺陷，使该回顾检查图像和缩小后的缩小回顾检查图像存储在存储部中，通过对所述显示部上以缩小的方式一览显示的回顾检查图像进行放大指定，由此从所述存储部读出所述缩小处理前的回顾检查图像，在所述显示部上进行扩大显示。
7.根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部在存储部中相关联地存储所述缺陷回顾检查图像、将所述回顾检查图像缩小后的缩略图像、和缺陷数据，从所述存储部中读出所述缩略图像和缺陷数据，在所述显示部上一览显示所述缩略图像，并且在所述显示部上显示与所述缩略图像对应的所述缺陷数据。
8.根据权利要求7所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部将通过所述缺陷选择部移动光标而指定的缺陷的所述缺陷数据改变成不同的颜色来显示。
9.根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部使所述摄像部拍摄通过所述缺陷修复部修复的所述缺陷的修复后的图像，并且在所述显示部上与修复前的缩略图像相关联地显示对所述摄像部拍摄的修复后的图像进行缩小后的修复后缩略图像。
10.根据权利要求1所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部使所述摄像部拍摄通过所述缺陷修复部修复的所述缺陷的修复后的图像，并且在所述显示部上与所述缺陷回顾检查图像相关联地显示对所述摄像部拍摄的修复后的图像进行缩小后的修复后缩略图像。
11.根据权利要求9或10所述的缺陷修复装置，其特征在于，所述控制部在所述显示部上显示所述修复后缩略图像，将在所述修复后缩略图像上通过所述缺陷选择部移动光标而指定的缺陷再登记为需要再次修复的缺陷。
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