KR20080003718A - 결함 수정 장치 - Google Patents

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KR20080003718A
KR20080003718A KR1020070065520A KR20070065520A KR20080003718A KR 20080003718 A KR20080003718 A KR 20080003718A KR 1020070065520 A KR1020070065520 A KR 1020070065520A KR 20070065520 A KR20070065520 A KR 20070065520A KR 20080003718 A KR20080003718 A KR 20080003718A
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다카유키 아카하네
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올림푸스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 오퍼레이터의 부하를 경감하고, 결함을 효율적으로 수정할 수 있는 결함 수정 장치에 관한 것이다. 결함의 수정이 행해지기 이전에, 스테이지(2)는, 주제어부(65)에 의한 지시에 따라, 결함이 대물 렌즈(14)의 시야 영역에 들어가는 위치에 기판(1)을 이차원 이동시킨다. 카메라(5)는, 입사광에 근거한 화상 신호를 생성하고, 제어 장치(6)에 출력한다. 화상 처리부(62)는, 리뷰 검사 화상 신호에 따라 썸네일 화상 데이터를 생성하고, 주제어부(65)에 출력한다. 주제어부(65)는 리뷰 검사 화상의 썸네일 화상 데이터를 결함 데이터와 관련시켜 기억부(66)에 저장한다. 수정 개시의 지시가 나왔을 경우, 주제어부(65)는 기억부(66)로부터 모든 리뷰 대상 결함의 썸네일 화상 데이터를 판독하여, 디스플레이(7)에 출력한다. 디스플레이(7)는, 입력된 썸네일 화상 데이터에 따라, 각 결함의 리뷰 검사 화상을 축소한 썸네일 화상으로서 표시한다. 리뷰 검사 화상의 표시를 확인한 오퍼레이터에 의해 선택된 결함에 레이저가 조사된다.
오퍼레이터, 화상 데이터, 검사 화상, 기억부, 제어부, 결함, 수정

Description

결함 수정 장치{SEMICONDUCTOR SUBSTRATE DEFECTS CORRECTION DEVICE}
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 결함 수정 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 2는 본 발명의 결함 수정 장치의 동작을 나타낸 플로차트이다.
도 3은 본 발명의 결함 수정 장치의 화면에 표시되는 표시예를 나타낸 참고 도이다.
본 발명은, 기판상의 결함에 대해서 레이저를 조사함으로써, 결함을 수정하는 결함 수정 장치에 관한 것이다. 본 명세서는 2007년 7월 3일에 일본에 출원된, 일본 특원 2006-183111호에 근거해 우선권을 주장하고, 일본 특허출원의 전체 내용이 참고로 본 명세서에 포함된다.
액정 표시 장치 등 플랫 패널 디스플레이(FPD)나 반도체 웨이퍼를 제조하는 포토리소그래피의 제조 공정에 있어서, 대형 유리 기판이나 반도체 기판 등의 기판 상에 발생한 결함을, 레이저 광에 의해 수정하는 결함 수정 장치가 일반적으로 이용되고 있다(예: 일본국 특개 2001-91919호 공보 참조). 종래의 결함 수정 장치에 있어서, 제조 공정에서 제조된 기판을 검사 장치에 의해 결함부의 화상 데이터를 화상 처리하고, 기판상의 결함이 다음 제조 공정에 영향을 주지 않는 유사 결함인가, 수정이 필요한 진정한 결함인지를 자동적으로 판단하고, 이 판단 결과에 따라 결함을 수정한다. 그러나, 결함 검사 장치는, 결함의 종류, 크기, 위치 등의 판정 기준의 설정 조건에 의해 오판정을 피할 수 없고, 결함 분류의 판정 정밀도에 한계가 있었다. 그래서, 오퍼레이터가 매크로 검사에 의해 검출된 결함을 현미경 등의 미크로(micro) 검사 장치를 사용하여 상세한 관찰(리뷰)을 하고, 매크로 검사시에 검출된 결함 중에서, 수정할 결함을 선택하고 있다.
종래에 있어서, 오퍼레이터는 모든 결함을 리뷰하고, 그 결함을 수정 여부를 판단하고, 수정할 경우에는, 결함 수정 장치를 조작하여 결함 부분에 레이저 광을 조사하고, 결함을 수정하고 있다. 각 결함의 리뷰시에는, 기판이 탑재된 스테이지를 XY 방향으로 이동시키고, 수정 여부의 판단의 대상이 되는 모든 결함을 현미경의 관찰 위치로 이동시켜 관찰하고 있다. 오퍼레이터는 항상 결함 수정 장치의 앞에서 작업을 행하고, 결함 수정 장치의 조작과 결함 관찰에 신경을 쓰지 않으면 되지 않으므로, 오퍼레이터의 부하가 크다. 또, 결함 수정 장치의 택트 타임(tact time)은, 처리할 결함의 수에 의존하고, 리뷰와 수정 필요성 유무의 판단과 결함의 수정을 이 순서로 반복하는 것은 비효율적이다.
본 발명은, 전술한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 오퍼레이터의 부하를 경감하고, 결함을 효율적으로 수정할 수 있는 결함 수정 장치를 제공하는 것 을 목적으로 한다.
본 발명은, 상기의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 기판상의 결함을 수정하는 결함 수정 장치에 있어서, 수정 공정보다도 이전의 검사공정에서 검사된 상기 기판의 검사 데이터의 결함 위치 정보에 따라, 리뷰 대상이 되는 결함을 촬상하는 촬상부와, 상기 촬상부에 의해 촬상된 각 결함 리뷰 검사 화상을 축소해 일람 표시하는 표시부와, 상기 표시부에 의해 일람 표시된 상기 리뷰 검사 화상으로부터 수정될 결함을 선택하는 결함 선택부와, 상기 결함 선택부에 의해 선택된 상기 결함을 수정하는 결함 수정부와, 상기 촬상부와 상기 표시부와 상기 결함 수정부를 제어하는 제어부를 구비한 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 결함 수정 장치에 있어서, 상기 제어부는, 상기 검사 데이터의 결함 위치 정보에 따라, 상기 결함 수정부의 결함 수정전에 리뷰 대상이 되는 모든 결함을 촬상부에서 촬상시키고, 이 리뷰 검사 화상을 화상 처리부에서 축소 화상으로 생성하고, 상기 축소 화상을 상기 결함 데이터에 관련시켜 기억부에 저장시키고, 수정 개시의 명령에 따라 상기 기억부로부터 리뷰 검사 화상의 축소 화상을 판독하여 상기 표시부에 일람 표시하도록 하는 제어를 행하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 결함 수정 장치에 있어서, 상기 제어부는, 상기 촬상부에 대해서 상기 결함 수정부에 의해 수정되는 상기 결함의 수정 후의 화상을 촬상시키고, 상기 표시부에 대해서 상기 촬상부에서 촬상된 수정 후의 화상을 축소해 상기 리뷰 결함 화상에 관련시켜 표시하게 하는 제어를 행하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 결함 수정 장치에 있어서, 상기 제어부는, 상기 촬상부에 대해서 상기 결함 수정부에 의해 수정되는 상기 결함의 수정 전후의 화상을 촬상시키고, 상기 표시부에 대해서 수정전과 수정 후의 화상을 축소해 상기 리뷰 결함 화상에 관련시켜 표시하게 하는 제어를 행하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 결함 수정 장치에 있어서, 상기 제어부는, 검사공정에서 검사된 상기 기판의 검사 데이터를 외부 장치로부터 취득하고, 상기 검사 데이터에 따라 수정이 필요한 리뷰 대상이 되는 결함을 선택하고, 상기 선택된 리뷰 대상 결함의 위치 정보에 따라 상기 촬상부에 의해 리뷰 대상으로 선택된 각 결함을 촬상시키는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 결함 수정 장치에 있어서, 상기 제어부는, 상기 검사 데이터의 결함 위치 정보에 따라, 상기 결함 수정부의 결함 수정전에 리뷰 대상이 되는 모든 결함을 촬상부에서 촬상시키고, 이 리뷰 검사 화상과 축소된 축소 리뷰 검사 화상을 기억부에 저장시키고, 상기 표시부에 축소해 일람 표시된 리뷰 검사 화상을 확대 지정함으로써 상기 축소 처리전의 리뷰 검사 화상이 상기 기억부로부터 판독되어 확대 표시되는 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 실시예에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 결함 수정 장치의 구성을 나타낸 블록도이다. 기판(1)은, 수정의 대상이 되는 FPD용 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 기판 등이다. 스테이지(2)는, 기판(1)을 지지하며, 서로 직교하는 X 방향 및 Y 방향 으로 기판(1)을 이동시키는 이차원 이동 기구를 구비하고 있다. 조명광원(3)은 결함 관찰용 광원이다. 조명광원(3)으로부터의 광은, 렌즈(12)를 투과하고, 빔스플리터(beam splitter)(13)에 의해 반사되어, 대물 렌즈(14)를 통하여 기판(1)에 조사된다. 이들 조명광원(3), 렌즈(12), 빔스플리터(13), 대물 렌즈(14) 중 적어도 조명광원(3)과 대물 렌즈(14)에 의해 결함을 확대 표시하는 리뷰 검사부가 구성되어 있다.
레이저 광원(4)은 결함을 수정하기 위한 레이저 광을 출력한다. 레이저 광원(4)로부터의 레이저 광은, 미러(8)에 의해 반사되어, 렌즈(9) 및 빔스플리터(11, 13)을 투과하고, 대물 렌즈(14)를 통하여 기판(1)상의 결함에 조사된다. 이들 레이저 광원(4), 미러(8), 빔스플리터(11, 13), 대물 렌즈(14) 중 적어도 레이저 광원(4)과 대물 렌즈(14)에 의해, 결함 수정부가 구성된다. 카메라(5)는, 예를 들면 CCD(Charge Coupled Device) 등의 촬상 소자를 구비한 촬상 장치이며, 피사체(기판(1))의 광상(光像)에 근거한 화상 신호를 생성한다. 기판(1)의 표면에서 반사된 조명광원(3)으로부터의 광은, 대물 렌즈(14), 빔스플리터(13, 11), 및 렌즈(10)를 통하여 카메라(5)의 수광면에 입사된다.
제어 장치(6)는, 결함 수정 장치 전체를 제어하는 기능을 가지고 있고, 레이저 제어부(61), 화상 처리부(62), 스테이지 제어부(63), 조작부(64), 주제어부(65), 및 기억부(66)를 구비하고 있다. 또, 제어 장치(6)는, 도시하지 않지만, 외부 장치(예를 들면 수정 공정보다도 이전의 상류원측의 검사공정에서 검사된 검사 결과를 나타낸 검사 데이터를 관리하는 검사 데이터 서버)와 통신을 행하기 위 한 통신 인터페이스(interface) 등의 구성을 구비하고 있다.
제어 장치(6)에 있어서, 레이저 제어부(61)는, 레이저 광원(4)에 인가되는 전압을 제어하는 등에 의해, 레이저 광원(4)의 온(on)·오프(off)의 제어나, 온 시에 출력되는 레이저 광의 에너지의 제어 등을 행한다. 화상 처리부(62)는, 카메라(5)로부터 출력된 결함 화상 신호를 솎아냄 등에 의해, 축소된 썸네일(thumbnail) 화상 데이터를 생성한다. 스테이지 제어부(63)는 스테이지(2)의 구동을 제어한다.
조작부(64)는, 오퍼레이터에 의해 조작되는 키보드나 마우스 등을 구비하고 있고, 조작 결과에 근거한 신호를 생성한다. 주제어부(65)는, 상기의 구성을 포함하는 제어 장치(6)의 전체를 제어하기 위한 연산이나 데이터의 입출력 제어 등을 행한다. 기억부(66)는 각 결함의 검사 데이터나 썸네일 화상 데이터 등이 저장되는 반도체 메모리 또는 하드 디스크 드라이브 등이다. 디스플레이(7)는 썸네일 화상이나 결함 데이터 등을 표시하는 CRT(Cathode Ray Tube) 디스플레이 또는 액정 표시 디스플레이 등의 표시 수단이다.
다음에, 본 실시예에 의한 결함 수정 장치의 동작을 설명한다. 도 2는 결함 수정 장치의 동작을 나타낸 플로차트이다. 결함 수정 장치의 제어 장치(6)는, 도시하지 않은 통신 회선을 통하여, 검사 데이터 서버로부터 수정 공정보다 상류측의 검사공정에서 검사된 기판 전체의 검사 데이터(결함 리스트, 결함 데이터)를 취득하고, 기억부(66)에 저장한다(단계 S201). 상기 검사 데이터에는, 결함의 위치를 나타내는 좌표(위치 정보), 결함의 크기, 및 결함의 종류를 나타내는 데이터가 포 함되어 있다. 오퍼레이터가 조작부(64)를 조작하여 리뷰 검사를 지시하면, 조작부(64)는, 오퍼레이터에 의한 지시에 근거한 신호를 주제어부(65)에 출력한다. 주제어부(65)는, 상기 신호를 검출하면, 제어 장치(6)의 각 구성요소에 대해서 동작의 지시를 출력한다.
주제어부(65)는 기억부(66)로부터 기판(1)의 검사 데이터를 판독하고, 결함의 크기나 위치 등의 데이터에 따라 수정이 불필요한 유사 결함과 수정이 필요한 진정한 결함으로 분류하고, 검사 데이터에 의해 표시되는 결함 중, 수정이 필요한 리뷰 대상이 되는 결함을 선택한다. 주제어부(65)는, 선택한 결함 중 1개의 결함의 좌표를 스테이지 제어부(63)에 통지하고, 스테이지(2)의 이동을 지시한다. 지시를 받은 스테이지 제어부(63)는 스테이지(2)를 구동하고, 통지된 결함 좌표에 기초하여, 이동량을 제어한다. 스테이지(2)는, 선택된 결함이 대물 렌즈(14)의 시야 영역에 들어가는 위치에 기판(1)을 이동한다(단계 S202).
조명광원(3)으로부터의 광은 기판(1)에 의해 반사되고, 전술한 바와 같이 카메라(5)의 수광면에 입사된다. 카메라(5)는, 대물 렌즈(14)에 의해 소정의 배율로 확대된 결함을 촬상하고, 리뷰 검사 화상 신호를 생성하고, 제어 장치(6)에 출력한다. 제어 장치(6)에 입력된 리뷰 검사 화상 신호는 화상 처리부(62)에 입력된다. 화상 처리부(62)는, 리뷰 검사 화상 신호에 따라 썸네일 화상 데이터를 생성하고, 주제어부(65)에 출력한다. 주제어부(65)는 리뷰 검사 화상의 썸네일 화상 데이터를 결함 데이터와 관련시켜 기억부(66)에 저장한다(단계 S203).
이어서, 주제어부(65)는, 상기의 화상 보존을 아직 행하지 않는 리뷰 대상의 결함 유무를 판정한다(단계 S204). 리뷰 대상의 결함이 아직 남아 있는 경우에는, 처리는 단계 S202로 복귀되고, 상기의 처리가 반복된다. 한편, 리뷰 대상으로 선택된 모든 결함의 썸네일 화상 데이터가 기억부(66)에 보존되었을 경우에는, 리뷰 동작을 종료하고, 처리는 다음의 단계 S205로 진행된다. 전술한 바와 같이, 이전 검사공정에서 검출된 리뷰 대상 결함의 위치 정보에 따라 모든 결함을 촬상하여 리뷰 검사 화상을 보존하는 리뷰 동작이 자동으로 행해진다.
수정 개시의 지시가 나왔을 경우, 주제어부(65)는 기억부(66)로부터 모든 리뷰 대상 결함의 썸네일 화상 데이터(또는 일부의 썸네일 화상 데이터라도 된다)를 판독하여, 디스플레이(7)에 출력한다. 디스플레이(7)는, 입력된 썸네일 화상 데이터에 따라, 각 결함의 리뷰 검사 화상(308)을, 축소한 썸네일 화상으로서, 예를 들면 도 3에 나타낸 바와 같이 일람 형식으로 표시한다(단계 S205). 오퍼레이터는, 일람 표시된 리뷰 검사 화상의 썸네일 화상을 육안 관찰에 의해 확인하고, 조작부(64)의 마우스를 조작하면서, 수정 대상이 되는 결함이 표시된 리뷰 검사 화상에 커서(300)를 이동시켜 선택한다. 이 때, 오퍼레이터는 일람 표시된 리뷰 검사 화상으로부터 수정을 필요로 하는 복수개의 결함을 선택하는 것이 가능하다. 조작부(64)에서는, 오퍼레이터에 의한 조작에 근거한 신호가 주제어부(65)에 출력된다. 주제어부(65)는, 그 신호에 따라, 수정 대상의 결함을 선택한다(단계 S206).
이어서, 주제어부(65)는, 선택한 결함 중 1개의 결함의 좌표를 스테이지 제어부(63)에 통지하는 동시에, 스테이지(2)의 이동을 지시한다. 지시를 받은 스테이지 제어부(63)는 스테이지(2)를 구동하고, 통지된 결함 좌표에 기초하여, 이동량 을 제어한다. 스테이지(2)는, 선택된 결함이 대물 렌즈(14)의 시야 영역에 들어가는 위치에 기판(1)을 이동한다(단계 S207). 이어서, 주제어부(65)는, 결함에 대한 레이저의 조사 위치, 형상을 레이저 제어부(61)에 지시한다. 지시를 받은 레이저 제어부(61)는, 레이저 광원(4)에 의한 레이저 출력을 제어한다. 레이저 광원(4)으로부터의 레이저가 기판(1) 상의 결함에 조사되고, 원하는 결함 수정을 한다(단계 S208).
이어서, 주제어부(65)는, 상기의 결함 수정을 아직 행하지 않은 수정 대상의 결함의 유무를 판정한다(단계 S209). 수정 대상의 결함이 아직 남아 있는 경우에는, 처리는 단계 S207로 복귀되고, 상기의 처리가 반복된다. 한편, 수정 대상으로 선택된 모든 결함에 대한 레이저 광의 조사가 종료되었을 경우에는, 일련의 동작이 종료된다.
전술한 바와 같이, 종래에는, 개개의 결함을 하나 하나 현미경으로 리뷰하고, 그 때마다, 결함 수정의 필요성의 판단을 행하고 있었기 때문에, 오퍼레이터는 항상 결함 수정 장치의 앞에서 작업을 행하고, 오퍼레이터의 부하가 컸다. 이에 대하여, 본 실시예에 의하면, 상류측의 검사 장치에서 검출된 각 결함의 좌표 데이터에 따라, 각 결함의 리뷰 동작이 자동으로 행해져, 상기 리뷰 동작으로 촬상된 결함의 썸네일 화상이 디스플레이(7) 상에 일람 표시되고, 상기 표시에 따라서, 오퍼레이터가 수정 대상의 결함을 한번에 선택하도록 했으므로, 오퍼레이터에 의한 조작의 부담을 경감시킬 수 있다.
또, 결함 수정 장치가 이전 검사공정에서 검출된 결함 좌표 데이터에 따라 결함을 자동적으로 리뷰하여 촬상을 행하고 있는 사이에는, 오퍼레이터는 결함 수정 장치의 앞에 있을 필요가 없으므로, 리뷰 동작의 사이에 다른 장치를 조작하는 것 등이 가능하도록 되어, 작업을 효율적으로 행할 수 있다. 당연히, 1명의 오퍼레이터가 복수대의 결함 수정 장치를 조작하는 일도 가능해지므로, 결함 수정을 효율적으로 행할 수 있다.
또, 리뷰로 촬상된 각 결함의 썸네일 화상을 디스플레이(7) 상에 일람 표시함으로써, 오퍼레이터는 결함수나 결함의 모습·경향 등을 시각적으로 파악할 수 있다. 제조 공정에 있어서는, 결함 수정에 필요한 시간(수정 처리 시간)을 단시간으로 하는 것이 요구되지만, 상기와 같이, 결함수나 결함의 모습·경향 등의 파악을 가능하게 함으로써, 오퍼레이터가 수정 처리 시간을 고려하여 수정 대상의 결함을 효율적으로 선택할 수 있다. 예를 들면, 수정 처리 시간을 최단으로 해야하는 경우에는, 오퍼레이터는 필요 최저한으로, 이후의 제조 공정에서 문제로 되는 중요한 결함만을 선택하면 되고, 또, 시간에 여유가 있는 경우에는, 중요한 결함 이외의 결함도 선택하면 된다.
그리고, 단계 S208에 있어서, 레이저 광을 조사하여 결함을 수정하는 전후의 기판(1)을 카메라(5)로 촬상한 수정전 화상과 수정후 화상의 썸네일 화상을 생성하여도 된다. 이 경우, 레이저 제어부(61)는 레이저 광원(4)의 레이저 출력을 오프 상태로 한다. 카메라(5)는 레이저 조사 전후의 기판(1)의 표면을 촬상하여 화상 신호를 생성하고, 제어 장치(6)에 출력한다. 제어 장치(6)의 화상 처리부(62)는, 화상 신호에 따라 결함 수정 전후의 썸네일 화상 데이터를 생성하고, 주제어부(65) 에 출력한다. 주제어부(65)는 상기 썸네일 화상 데이터를, 레이저 조사 전의 썸네일 화상 데이터와 관련지은 레이저 조사 후의 썸네일 화상 데이터로서 기억부(66)에 저장한다.
주제어부(65)는, 예를 들면 수정 대상의 모든 결함에 대한 레이저 광의 조사 후, 기억부(66)로부터 레이저 조사 후의 썸네일 화상 데이터를 판독하여 디스플레이(7)에 출력한다. 디스플레이(7)는, 상기 썸네일 화상 데이터에 따라, 수정 후 화상의 썸네일 화상(310)을, 도 3에 나타낸 바와 같이 일람 형식으로 수정전 화상의 썸네일 화상(312)과 함께 표시한다. 이로써, 오퍼레이터는, 수정 후 화상을 육안관찰하고, 수정이 정확하게 행해졌는지 여부를 확인할 수 있다. 재차 수정이 필요한 결함이 있는 경우에는, 그 결함을 수정 대상의 결함으로서 재등록하고, 전술한 처리를 재차 반복하면 된다.
다음에, 디스플레이(7)에 표시되는 화면의 예를 설명한다. 도 3은 표시 화면의 일례를 나타내고 있다. 리페어(repair) 개시 버튼(301)은, 선택한 결함에 대한 레이저 수정의 개시를 입력하기 위한 버튼이다. 오퍼레이터가, 예를 들면 마우스를 조작하여 커서(300)를 리페어 개시 버튼(301)에 맞추고, 마우스를 클릭하면, 도 2의 단계 S206이후의 처리가 개시된다. 리페어 중단 버튼(302)은, 레이저 수정의 중단을 입력하기 위한 버튼이다. 오퍼레이터가 상기와 마찬가지로 커서(300)를 리페어 중단 버튼(302)에 맞추고, 마우스를 클릭하면, 레이저 광의 조사가 중단된다.
추가 버튼(303)은, 수정 대상의 결함을 결함 수정 장치에 등록(추가)하기 위 한 버튼이다. 선택 삭제 버튼(304)은, 수정 대상의 결함으로서 결함 수정 장치에 등록된 결함 중에서 임의의 결함의 등록을 해제하기 위한 버튼이다. 전체 삭제 버튼(305)은, 선택 삭제 버튼(304)과 마찬가지의 기능을 가지고, 수정 대상의 결함으로서 결함 수정 장치에 등록된 모든 결함의 등록을 해제하기 위한 버튼이다. 종료 버튼(306)은, 전체 동작을 종료하기 위한 버튼이다.
리뷰 검사 화상란(307)은, 리뷰 동작시에 카메라(5)에 의해, 처리 대상의 결함을 촬상한 리뷰 검사 화상을 표시하는 영역이다. 도 3에 있어서는, 리뷰 검사 화상을 축소한 썸네일 화상(308a~308e)가 일람 표시되어 있다. 오퍼레이터가 결함 선택부인 마우스를 조작하여 커서(300)를 썸네일 화상(308a~308e) 중 어느 하나에 맞추어 마우스를 클릭하고, 또한 커서(300)를 추가 버튼(303)에 맞추어 마우스를 클릭하면, 지정한 리뷰 검사 화상(308c)에 표시된 수정 대상의 결함이 결함 수정 장치에 등록되고, 등록된 썸네일 화상의 프레임이 색이나 굵은 선 등으로 강조 표시된다. 도 3에 있어서는, 프레임이 굵은 선으로 강조 표시된 썸네일 화상(308a, 308c, 308d)가 수정 대상의 결함으로서 등록되어 있다.
리페어 개시 버튼(301)이 클릭되었을 경우에는, 리뷰 검사 화상란(307)에서 선택된 썸네일 화상에 표시되어 있는 결함에 대해서, 결함 수정을 행한다. 리뷰 검사 화상(308a~308e)의 선택시에는, 오퍼레이터가 디스플레이(7)상에 일람 표시된 리뷰 검사 화상의 썸네일 화상에 커서(300)를 맞추어 클릭함으로써 1개의 리뷰 검사 화상을 선택해도 되고, 오퍼레이터가 마우스를 드래그(drag)하여 복수개의 리뷰 검사 화상을 선택해도 된다.
수정전 화상란(309)은, 수정 대상으로 등록된 결함에 레이저 광을 조사하기 전에 카메라(5)로 촬상한 결함 수정전의 썸네일 화상을 리뷰 검사 화상(308)에 대응시켜 표시하는 영역이다. 도 3에 있어서는, 썸네일(308a, 308c, 308d)에 대응한 썸네일(310a, 310c, 310d)가 표시되어 있다. 수정 후 화상란(311)은, 수정 대상으로 등록된 결함의 수정 후(레이저 조사 후)의 썸네일 화상을 리뷰 검사 화상 또는 수정전 화상에 대응시켜 표시하는 영역이다. 도 3에 있어서는, 썸네일(310a, 310c, 310d)에 대응한 수정 후의 썸네일(312a, 312c, 312d)이 표시되어 있다.
결함 리스트 란(313)은, 리뷰 검사 화상란(307)에 표시되어 있는 각 썸네일에 대응한 결함 데이터(좌표나 크기 등)를 표시하는 영역이다. 수정 대상으로 등록된 썸네일에 대응한 결함 데이터는, 예를 들면 미등록의 썸네일에 대응한 결함 데이터는 상이한 색으로 표시된다.
그리고, 썸네일 화상 중의 결함이 작아 보기 곤란한 경우에는, 오퍼레이터가 커서(300)를 리뷰 검사 화상란(307) 상의 임의의 썸네일 화상에 맞추어 더블 클릭하는 등 확대 지정하면, 그 썸네일에 대응하는 축소 처리전의 리뷰 검사 화상이 기억부(66)로부터 판독되어 확대 표시되도록 해도 된다. 또는, 오퍼레이터가 커서(300)를 리뷰 검사 화상란(307) 상의 썸네일에 맞추어 더블 클릭하면, 그 썸네일 화상에 표시된 결함이 카메라(5)에 의해 재차 촬상되고, 결함의 리뷰 검사 화상이 표시되도록 해도 된다.
결함의 화상이 재차 표시되는 경우에는, 주제어부(65)는, 조작부(64)로부터 출력된 신호를 검출하고, 그 신호에 따라, 어느 결함이 재차 촬상 대상으로 선택된 것인지를 판단한다. 주제어부(65)는, 기억부(66)에 저장되어 있는 검사 데이터에 따라, 그 결함의 좌표를 식별하고, 그 좌표를 스테이지 제어부(63)에 통지하는 동시에, 스테이지(2)의 이동을 지시한다. 지시를 받은 스테이지 제어부(63)는 스테이지(2)를 구동하고, 통지된 결함 좌표에 기초하여, 이동량을 제어한다. 스테이지(2)는, 선택된 결함이 대물 렌즈(14)의 시야 영역에 들어가는 위치에 기판(1)을 이동한다.
카메라(5)는 기판(1)의 표면을 촬상하여 화상 신호를 생성하고, 제어 장치(6)에 출력한다. 제어 장치(6)의 화상 처리부(62)는, 화상 신호에 근거한 화상 데이터를 주제어부(65)에 출력한다. 주제어부(65)는 상기 화상 데이터를 디스플레이(7)에 출력한다. 디스플레이(7)는, 상기 화상 데이터에 따라, 기판(1)의 표면 화상을 표시한다. 이로써, 오퍼레이터는, 새롭게 촬상된 리뷰 검사 화상 내의 결함을 재차 확인할 수 있다.
이상, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명했지만, 구체적인 구성은 이들 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위의 설계 변경 등도 포함된다. 예를 들면, 전술한 실시예에 있어서는, 기판(1)을 지지하는 스테이지(2)가 이동하였지만, 대물 렌즈(14)를 포함하는 광학계가 기판(1) 상을 XY 방향으로 이동해도 되고, 스테이지(2)와 대물 렌즈(14)를 포함하는 검사 헤드가 X 방향과 Y 방향으로 각각 1축 방향으로 상대 이동해도 된다. 또, 대물 렌즈(14)는, 기판(1)의 관찰용과 레이저 조사 용으로 동일한 배율로 해도 되고, 상이한 배율로 해도 된다. 또, 카메라(5)에 의해 촬상된 축소전의 원화상 데이터 를 썸네일 화상 데이터와 함께 기록해도 된다.
본 발명에 의하면, 오퍼레이터의 부하를 경감하고, 결함을 효율적으로 수정할 수 있다는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (6)

  1. 기판상의 결함을 수정하는 결함 수정 장치에 있어서,
    수정 공정보다도 이전의 검사공정에서 검사된 상기 기판의 검사 데이터의 결함 위치 정보에 따라, 리뷰 대상이 되는 결함을 촬상하는 촬상부;
    상기 촬상부에 의해 촬상된 각 결함 리뷰 검사 화상을 축소해 일람 표시하는 표시부;
    상기 표시부에 의해 일람 표시된 상기 리뷰 검사 화상으로부터 수정할 결함을 선택하는 결함 선택부;
    상기 결함 선택부에 의해 선택된 상기 결함을 수정하는 결함 수정부; 및
    상기 촬상부와 상기 표시부와 상기 결함 수정부를 제어하는 제어부;
    를 구비한 것을 특징으로 하는 결함 수정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 검사 데이터의 결함 위치 정보에 따라, 상기 결함 수정부의 결함 수정전에 리뷰 대상이 되는 모든 결함을 촬상부에서 촬상시키고, 상기 리뷰 검사 화상을 화상 처리부에서 축소 화상으로 생성하고, 상기 축소 화상을 상기 결함 데이터와 관련시켜 기억부에 저장시키고, 수정 개시의 명령에 따라 상기 기억부로부터 리뷰 검사 화상의 축소 화상을 판독하여 상기 표시부에 일람 표시하도록 하는 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 결함 수정 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 촬상부에 대해서 상기 결함 수정부에 의해 수정되는 상기 결함의 수정 후의 화상을 촬상시키며, 상기 표시부에 대해서 상기 촬상부에서 촬상된 수정 후의 화상을 축소해 상기 리뷰 결함 화상에 관련시켜 표시하도록 하는 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 결함 수정 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 촬상부에 대해서 상기 결함 수정부에 의해 수정되는 상기 결함의 수정 전후의 화상을 촬상시키며, 상기 표시부에 대해서 수정전과 수정 후의 화상을 축소해 상기 리뷰 결함 화상에 관련시켜 표시하도록 하는 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 결함 수정 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는, 검사공정에서 검사된 상기 기판의 검사 데이터를 외부 장치로부터 취득하고, 상기 검사 데이터에 따라 수정이 필요한 리뷰 대상이 되는 결함을 선택하고, 상기 선택된 리뷰 대상 결함의 위치 정보에 따라 상기 촬상부에 의해 리뷰 대상으로 선택된 각 결함을 촬상시키는 것을 특징으로 하는 결함 수정 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 검사 데이터의 결함 위치 정보에 따라, 상기 결함 수정부의 결함 수정전에 리뷰 대상이 되는 모든 결함을 촬상부에서 촬상시키고, 상기 리뷰 검사 화상과 축소된 축소 리뷰 검사 화상을 기억부에 저장시키고, 상기 표시부에 축소해 일람 표시된 리뷰 검사 화상을 확대 지정함으로써 상기 축소 처리전의 리뷰 검사 화상이 상기 기억부로부터 판독되어 확대 표시되는 것을 특징으로 하는 결함 수정 장치.
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