JP2008175764A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】目視観察状態に近い状態で撮像された欠陥の画像を表示することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板2は、被検査基板2を揺動可能に支持する揺動ステージ3上に載置されている。デジタルカメラ7は、実体顕微鏡5に固着された状態では、被検査基板2上の微小な結果を撮像して実体顕微鏡画像を生成し、実体顕微鏡5から取り外された状態では、検査者の目視位置で被検査基板2上の欠陥を撮像してマクロ画像を生成する。実体顕微鏡画像およびマクロ画像は検査制御装置1に取り込まれ、欠陥情報と関連付けて表示される。
【選択図】図4
【解決手段】被検査基板2は、被検査基板2を揺動可能に支持する揺動ステージ3上に載置されている。デジタルカメラ7は、実体顕微鏡5に固着された状態では、被検査基板2上の微小な結果を撮像して実体顕微鏡画像を生成し、実体顕微鏡5から取り外された状態では、検査者の目視位置で被検査基板2上の欠陥を撮像してマクロ画像を生成する。実体顕微鏡画像およびマクロ画像は検査制御装置1に取り込まれ、欠陥情報と関連付けて表示される。
【選択図】図4
Description
本発明は、被検査基板の外観を目視で検査して欠陥を検出するための外観検査装置に関する。
従来、半導体ウェハや液晶ディスプレイ用のガラス基板等の基板を用いた製造工程において、基板に塗布されたレジスト等の膜むらや、異物、汚れ、傷等の欠陥の検査が、外観検査装置を用いて行われていた。この外観検査装置として例えば特許文献1には、基板を揺動ステージ上に載置した状態で基板の全面に均一な照明光を照射し、揺動ステージの上方に固定配置されたTVカメラによって基板を撮像するものが開示されている。この外観検査装置では、クリーンルーム外の離れた場所で検査作業を行うことを目的としているため、TVカメラが配置されている。
また、大型の液晶ディスプレイ用のガラス基板全体のマクロ画像と基板上の微小な欠陥のミクロ画像を取り込む方法として、例えば特許文献2に記載されているように、基板上方から基板に対してライン照明光を照射してマクロ検査カメラとミクロ検査カメラによって基板上を走査する方法があった。
特開平8−285783号公報
特開2000−275183号公報
一般に外観検査装置においては、検査者(観察者)が欠陥を直接目視して欠陥の種類等を判断する目視観察を行っているため、基板が載置された揺動ステージが検査者に対して自由な角度で揺動する構造となっている。検査者は、様々な角度から基板を観察することによって、基板上の欠陥を発見している。
上記のようにして発見された欠陥に対して、レーザポインタを用いた座標登録が行われる。あるいは、付属の実体顕微鏡による再検査時に実体顕微鏡で検出される座標が欠陥座標として登録される。しかし、この場合、実際に検査者が欠陥を目視判断した状態、すなわち検査者と同じ視点で捉えた欠陥の外観画像を保存することはできないため、後から検査結果を確認する場合に、検査者に欠陥がどのように見えていたのかを判断することができないという問題があった。
本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであって、目視観察状態に近い状態で撮像された欠陥の画像を表示することができる外観検査装置を提供することを目的とする。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、被検査基板を揺動可能に支持する揺動ステージを備え、検査者による前記被検査基板の目視観察が行われる外観検査装置において、前記被検査基板上の微小な欠陥を撮像して、ミクロ画像を生成すると共に、前記検査者の目視位置で前記被検査基板上の欠陥を撮像して、マクロ画像を生成する画像生成手段と、前記ミクロ画像および前記マクロ画像を欠陥情報と関連付けて表示する表示手段とを備えたことを特徴とする外観検査装置である。
本発明によれば、目視観察状態に近い状態で撮像された欠陥の画像を表示することができるという効果が得られる。
以下、図面を参照し、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、以下の全ての実施形態において、画像とは、モニタ等の画面に表示されて、人間によって認識可能な画面上での画像と、その画像を画面に表示させるための画素のデータからなる画像データとの両方の意味で使用されるものとする。図1は、本発明の第1の実施形態による外観検査装置が備える検査制御装置1の構成を示すブロック図である。
X方向移動制御ユニット101は図3の実体顕微鏡ガイドY軸6bおよびレーザポインタガイドY軸13bのX方向の移動制御を行うと共に、それらのX座標を読み取る。Y方向移動制御ユニット102は、実体顕微鏡5およびレーザポインタ14のY方向の移動制御を行うと共に、それらのY座標を読み取る。
操作ユニット103は、図2に示されるマクロ照明4による照明の明るさや照明光の角度、揺動ステージ3の姿勢の角度を設定するために、オペレータ(検査者)によって操作されるスイッチ等を有する操作盤を備えると共に、実体顕微鏡5およびレーザポインタ14の移動を制御するために、オペレータによって操作されるジョイスティック等、および表示手段108によって表示された検査情報等に応じて情報を入力するために、オペレータによって操作されるマウスやキーボード等を備えている。操作ユニット103は、オペレータによる操作結果を示す信号を査制御ユニット100へ出力し、検査制御ユニット100は、その信号に基づいて、外観検査装置の各部を制御する。揺動ステージ制御ユニット104は揺動ステージ3の姿勢を制御する。
マクロ照明制御ユニット105は、図2に示されるマクロ照明4による揺動ステージ3上の被検査基板2への照明の照射を制御する。画像取得ユニット106は被検査基板2上の微細な欠陥の画像(後述する実体顕微鏡画像)や基板全体の画像(後述するマクロ画像)を取得するユニットである。画像取得ユニット106は図3のデジタルカメラ7(画像生成手段)および画像転送ケーブル9を備えている。画像格納手段107は、画像取得ユニット106によって取得された画像等を記憶(保存)するハードディスクドライブや半導体メモリ等の記録媒体を備えている。表示手段108は、画像取得ユニット106によって取得された画像や、欠陥座標および検査結果等を表示する液晶表示モニタ等を備えている。
図2は、外観検査装置の揺動ステージ3周辺の構成を示している。揺動ステージ3上には、例えばLCD等のフラットパネルディスプレイを多面取りするマザーガラス基板やカラーフィルタ等の被検査基板2が載置される。揺動ステージ3は、その端部3aを中心にして回動可能に構成されている。揺動ステージ3の上方にはマクロ照明4が配置されている。このマクロ照明4は揺動ステージ3上の被検査基板2を照明する。マクロ照明4によって照射された照明光は被検査基板2上で反射され、検査者60の目に届く。
検査者60は、図1の操作ユニット103を操作することによって、目視観察を行うのに適した傾斜角度となるように揺動ステージ3を回動させ、マクロ照明下にて、被検査基板2の表面に存在する欠陥を目視で観察する。実体顕微鏡5は被検査基板2の表面(主面)に平行に移動可能に構成されている。欠陥を拡大して観察したい場合には、検査者60は、図1の操作ユニット103を操作することによって、目視で観察した被検査基板2上の欠陥位置に実体顕微鏡5を移動させ、欠陥を拡大して観察する。
図3は、揺動ステージ3周辺の詳細な構成を示している。実体顕微鏡5は、リニアモータ等の駆動手段によって、実体顕微鏡ガイドY軸6b上を図3中のY方向に移動可能である。実体顕微鏡ガイドY軸6bは、リニアモータ等の駆動手段によって、ガイドX軸6a,13a上を図3中のX方向に移動可能である。実体顕微鏡5は、ガイドX軸6a,13aおよび実体顕微鏡ガイドY軸6bによって、被検査基板2の主面に沿って平行に二次元移動することができる。検査者が操作ユニット103のジョイスティックを操作して、実体顕微鏡ガイドY軸6bと実体顕微鏡5を被検査基板2の主面に平行な面内で移動させ、実体顕微鏡5を所望の欠陥に合わせて、座標登録を指示すると、X方向移動制御ユニット101によってX座標が読み取られ、Y方向移動制御ユニット102によってY座標が読み取られ、検査制御ユニット100に各座標が通知される。
実体顕微鏡5にはデジタルカメラ固定ユニット10が設けられており、このデジタルカメラ固定ユニット10によって、デジタルカメラ7が、その撮像レンズを被検査基板2の表面に向けた状態で実体顕微鏡5の接眼レンズ上に固定(固着)される。上記のガイドX軸6a,13a、実体顕微鏡ガイドY軸6b、およびデジタルカメラ固定ユニット10によって、実体顕微鏡5およびデジタルカメラ7の移動手段が構成されている。
デジタルカメラ7は、実体顕微鏡5によって所定の倍率で拡大された欠陥を撮像し、実体顕微鏡画像(ミクロ画像)を生成する。デジタルカメラ7は、デジタルカメラ固定ユニット10に対して着脱可能である。デジタルカメラ7がデジタルカメラ固定ユニット10から取り外された状態では、検査者が目視で観察した欠陥を、その目視で観察した角度からデジタルカメラ7で撮影することが可能である。検査者は、実体顕微鏡5では観察できない、実体顕微鏡5の視野よりも大きな膜ムラ等のマクロ欠陥の情報をマクロ画像として記録するため、目視で発見した欠陥を含むように被検査基板2の全体あるいは一部をデジタルカメラ7により目視観察時の視点で撮影する。デジタルカメラ7は、この撮影によって、マクロ画像を生成する。
デジタルカメラ7は、実体顕微鏡画像およびマクロ画像を外部へ出力するためのデータ転送コネクタ8を有している。デジタルカメラ7は、デジタルカメラ固定ユニット10に装着されている状態でデータ転送コネクタ8へ画像を出力する。画像は、キャタピラY11bおよびキャタピラX11aに配設された画像転送ケーブル9を通って、図1の検査制御ユニット100へ出力され、検査制御ユニット100によって、画像格納手段107に格納される。
レーザポインタ14は、マクロ照明下にて目視で観察された欠陥の座標を登録する場合に用いられる。レーザポインタ14は、リニアモータ等の駆動手段によって、レーザポインタガイドY軸13b上を図3中のY方向に移動可能である。レーザポインタガイドY軸13bは、リニアモータ等の駆動手段によって、ガイドX軸6a,13a上を図3中のX方向に移動可能である。検査者が操作ユニット103のジョイスティックを操作して、レーザポインタガイドY軸13bとレーザポインタ14を被検査基板2の主面に平行な面内で移動させ、レーザポインタ14から照射されるレーザのスポットを所望の欠陥に合わせて座標登録を指示すると、X方向移動制御ユニット101によってX座標が読み取られ、Y方向移動制御ユニット102によってY座標が読み取られ、検査制御ユニット100に座標が通知される。このように、欠陥座標の登録は、実体顕微鏡5およびレーザポインタ14のいずれの操作によっても行うことができる。
図4に示されるように、デジタルカメラ7が、デジタルカメラ固定ユニット10によって実体顕微鏡5に取り付けられた状態で撮像した欠陥の拡大画像は、実体顕微鏡画像201(ミクロ画像)として検査制御装置1へ出力される。また、デジタルカメラ7が、デジタルカメラ固定ユニット10から取り外された状態で、検査者の目視観察時の視点で撮像された画像は、マクロ画像202として検査制御装置1へ出力される。実体顕微鏡画像201およびマクロ画像202は、検査制御装置1の検査制御ユニット100によって画像格納手段107に保存されると共に、表示手段108へ出力され、表示手段108によって表示される。検査者(オペレータ)は、これらの画像の解析を行う。
次に、本実施形態における外観検査の手順を説明する。図5は、外観検査の手順を示すフローチャートである。例えば、図示せぬローダ/アンローダとの通信によって、外観検査装置内に被検査基板2が搬入される(ステップS501)。被検査基板2が搬入された後、検査制御ユニット100は、レシピ(基板の処理方法を定義するファイル)に定義された検査条件に基づいて、あるいは操作ユニット103を介して検査者によって入力された検査条件に基づいて、各部のハードウェア条件を変更する(ステップS502)。例えば、検査制御ユニット100が、マクロ照明制御ユニット105に対して照明条件の設定を指示すると、マクロ照明制御ユニット105はマクロ照明4の照明光の明るさや照射角度等を設定する。また、検査制御ユニット100が、揺動ステージ制御ユニット104に対して揺動条件の設定を指示すると、揺動ステージ制御ユニット104は揺動ステージ3の角度等を設定する。
設定が完了すると、検査者(観察者)による被検査基板2の目視検査が行われる(ステップS503)。この目視検査により欠陥を検出し、この欠陥を実体顕微鏡5で詳細に観察する必要があると検査者が判断した場合にミクロ観察に移行する。ステップS503に続いて、被検査基板2の目視検査(観察)を終了するか否かが検査者によって判断される(ステップS504)。すなわち、検査を終了する場合には、操作ユニット103を介して、検査者による検査の終了指示を示す信号が検査制御ユニット100に入力され、検査制御ユニット100によって、ステップS506の処理がなされるように制御される。一方、検査を終了しない場合には、操作ユニット103を介して、検査者による検査の続行指示を示す信号が検査制御ユニット100に入力される。
続いて、観察条件を変更するか否かが検査者によって判断される(ステップS505)。すなわち、観察条件を変更する場合には、ステップS502に戻る。一方、観察条件を変更しない場合には、ステップS503に戻る。
ステップS506においては、ステップS503で生成された画像が、欠陥座標等の欠陥情報と関連付けられる。この関連付けによって、画像と欠陥とを対応させて管理することができ、検査終了後に所望の欠陥に関する画像を検索して表示することができる。ステップS506に続いて、例えば、図示せぬローダ/アンローダとの通信によって、外観検査装置外に被検査基板2が搬出され(ステップS507)、検査が終了する。
図6は、図5のステップS503における観察の手順を示すフローチャートである。まず、検査者(観察者)によって、被検査基板2上に欠陥があるか否か目視で検査(マクロ検査)される(ステップS5031)。続いて、目視によるマクロ検査によって観察された欠陥に対して実体顕微鏡5を使用してミクロ観察するか否かが検査者によって判断される(ステップS5032)。実体顕微鏡5によるミクロ観察を行わないと判断された場合には、ステップS5034へ進む。一方、実体顕微鏡5によるミクロ観察を行うと判断された場合には、目視で観察された欠陥位置に実体顕微鏡5を移動させてミクロ観察が行われ、欠陥位置(欠陥座標)の登録や実体顕微鏡画像の撮像および保存が行われる(ステップS5033)。
ステップS5033におけるミクロ観察は以下のように行われる。検査者が操作ユニット103のジョイスティックを操作すると、その操作に基づいた信号が検査制御ユニット100へ出力される。検査制御ユニット100は、その信号に基づいて、X方向移動制御ユニット101およびY方向移動制御ユニット102を制御する。X方向移動制御ユニット101およびY方向移動制御ユニット102は、検査制御ユニット100からの指示に基づいて、実体顕微鏡ガイドY軸6bと実体顕微鏡5をそれぞれ移動させ、目視で観察された欠陥上に実体顕微鏡5の光軸を一致させる。
続いて、デジタルカメラ7は、実体顕微鏡5によって所定の倍率に拡大された欠陥像を撮像し実体顕微鏡画像を生成する。この実体顕微鏡画像が表示手段108によって表示され、検査者によって真の欠陥と判断された実体顕微鏡画像が、前述した処理によって画像格納手段107に格納される。また、検査者によって欠陥が登録されると、検査制御ユニット100は、X方向移動制御ユニット101およびY方向移動制御ユニット102に対して座標の読み取りを指示する。指示を受けたX方向移動制御ユニット101およびY方向移動制御ユニット102は、実体顕微鏡5のそれぞれX座標およびY座標を読み取って、検査制御ユニット100に通知する。検査制御ユニット100は、欠陥の座標と、予め設定されたパネル(1枚の大型ガラス基板から面取りされた複数の基板)の座標とに基づいて、欠陥がどのパネル上に存在するのか判断し、実体顕微鏡画像をパネルに関連付ける。なお、欠陥の座標を登録するのと同時に、検査者が操作ユニット103を操作して、欠陥の種類を入力するようにしてもよい。
ステップS5033に続いて、被検査基板2に対してデジタルカメラ7によるマクロ撮像を行うか否かが検査者によって判断される(ステップS5034)。マクロ撮像を行わないと判断された場合には、ステップS5036へ進む。一方、マクロ撮像を行うと判断された場合には、揺動ステージ3上に保持された被検査基板2を検査者がデジタルカメラ7により目視観察時の視点で撮像し、マクロ画像の生成および保存を行う(ステップS5035)。マクロ撮像時の手順は後述する。続いて、被検査基板2の観察を終了するか否かが検査者によって判断される(ステップS5036)。観察を終了しないと判断された場合には、ステップS5031に戻る。一方、観察を終了すると判断された場合には、図5のステップS504へ進む。
図7は、図5のステップS506における画像関連付けの手順を示すフローチャートである。画像関連付けとは、図6のステップS5035で撮像保存が行われた全てのマクロ画像を被検査基板2に関連付ける作業、およびマクロ画像毎に座標や複数に面取りされたパネルに関連付ける作業のことである。まず、検査制御ユニット100はマクロ画像があるか否かを判断する(ステップS5061)。マクロ画像がない場合には、ステップS5068へ進み、画像関連付けを終了する。一方、マクロ画像があった場合には、検査制御ユニット100は全てのマクロ画像を一旦、被検査基板2(ロットIDおよび基板ID)に関連付ける(ステップS5062)。
続いて、検査制御ユニット100は全てのマクロ画像に対して関連付けを行ったか否かを判断する(ステップS5063)。関連付けを行っていないマクロ画像がある場合には、ステップS5062に戻る。一方、全てのマクロ画像を被検査基板2に関連付けた場合には、検査制御ユニット100は、登録欠陥座標に関連付けられていないマクロ画像があるか否かを判断すること等によって、マクロ画像を欠陥座標に関連付けるか否かを判断する(ステップS5064)。ここで、実体顕微鏡画像に対しては、図6のステップS5033で欠陥位置が登録された時点で欠陥座標の関連付けが行われているため、このステップS5064では、登録された実体顕微鏡画像に対する欠陥座標の関連付けは行われない。
ステップS5064で関連付けを行うと判断された場合、検査制御ユニット100はマクロ画像に欠陥座標を関連付ける(ステップS5065)。関連付けを行った後は、ステップS5064に戻る。ここで、全てのマクロ画像に対する登録欠陥座標の関連付けが終了した場合には、ステップS5066へ進む。続いて、検査制御ユニット100は、操作ユニット103から出力される信号によって示される検査者の指示に基づいて、マクロ画像をパネルに関連付けるか否かを判断する(ステップS5066)。関連付けを行わない場合には、ステップS5068へ進む。一方、関連付けを行う場合には、検査制御ユニット100は、検査者の指示に基づいてマクロ画像をパネルに関連付ける(ステップS5067)。関連付けを行った後は、ステップS5066に戻り、全てのマクロ画像に対してパネルの関連付けが終了した場合にはステップS5068へ進む。ここで、実体顕微鏡画像に対しては、図6のステップS5033で欠陥位置が登録された時点でパネルの関連付けが行われているため、このステップS5067では、登録された実体顕微鏡画像に対するパネルの関連付けは行われない。
ステップS5068においては、検査制御ユニット100は関連付けを終了するか否かを判断する。関連付けを終了しない場合には、ステップS5064に戻り、関連付けを終了する場合には、図5のステップS507へ進む。
次に、表示手段108によって表示される外観検査装置のアプリケーションソフト(検査アプリケーション)の画面例を、図8を用いて説明する。このアプリケーション画面801は、欠陥の観察や画像関連付け等を行う場合の画面である。検査者は、操作ユニット103のマウス等により、図示される各種のボタンを操作する。
マップ画面802は、被検査基板2の面取り状態を示す画面である。図8においては、パネル803を6枚取れる6面取りのマザーガラス基板が示されている。各パネルには、識別用のパネル番号804が付与される。登録欠陥805は、実体顕微鏡観察時に登録された欠陥や、レーザポインタ14によって登録された欠陥の位置を示している。欠陥の登録時には、実体顕微鏡5やレーザポインタ14が被検査基板2上を走査するが、その際の登録位置座標806(図8では2本の直線の交点として示されている)がリアルタイムに表示される。
基板情報807は、外観検査装置内に搬入された被検査基板2の情報を示しており、図8においては、ロットID、基板ID、およびレシピ番号が示されている。次基板ボタン808は、次の検査対象の基板の検査を行う場合に押下されるボタンである。検査者が操作ユニット103のマウス等を操作し、次基板ボタン808を押下すると、検査が終了し、外観検査装置外に基板が搬出される。欠陥情報リスト809は、パネルごとに登録された登録欠陥のリストであり、基板上のX座標、Y座標、および欠陥名称(欠陥の種類)を示している。
実体顕微鏡ボタン811は、実体顕微鏡観察を行う場合に押下されるボタンである。検査者が操作ユニット103のマウス等を操作し、実体顕微鏡ボタン811を押下すると、外観検査装置は以下のように動作する。実体顕微鏡制御機構とレーザポインタ制御機構とが干渉する場合には、検査制御ユニット100の指示によって、レーザポインタ制御機構が自動的に干渉外位置に待避させられる。
実体顕微鏡5の被検査基板2上での位置は、XYカーソルの交点である登録位置座標806によって示され、そのとき実体顕微鏡5で観察しているライブ画像が画像表示画面819に表示される。画像表示画面819に表示されている実体顕微鏡画像は、縮小ボタン816あるいは拡大ボタン817の押下によって、縮小表示あるいは拡大表示される。画像表示画面819には、ライブ画像の他、登録済みの画像を表示することもできる。サムネイル表示された基板登録画像820やパネル登録画像822が検査者によって選択された場合、それらの画像が画像表示画面819に表示される。なお、基板登録画像820は、図7のステップS5066において被検査基板2に関連付けられたマクロ画像のサムネイルである。また、パネル登録画像822は、図6のステップS5033においてパネルに関連付けられた実体顕微鏡画像のサムネイルである。
ライブ画像切替ボタン818は、画像表示画面819に基板登録画像820またはパネル登録画像822が表示されている場合に、実体顕微鏡5のライブ画像に表示を切り替える場合に押下されるボタンである。実体顕微鏡観察時に欠陥登録ボタン813が押下されると、そのときの実体顕微鏡5の座標が欠陥座標として登録される。また、欠陥情報リスト809に情報が追加され、マップ画面802上に登録欠陥が追加される。また、実体顕微鏡5の座標に基づいて、その欠陥がどのパネル上の欠陥であるのかが判断され、その判断結果に基づいて、実体顕微鏡画像がパネルに関連付けられ、パネル登録画像822として表示される。
画像表示画面819にパネル登録画像822を表示する場合、以下のいずれの方法でもよい。例えば、上述したように、パネル登録画像822を直接選択して表示する方法がある。また、例えば検査者がパネル選択ドロップダウンリストボックス821からパネル番号を選択すると、対応したパネルに登録済みのパネル登録画像822が表示される。検査者がパネル登録画像822を選択すると、選択された画像が例えば赤枠で強調表示され、画像表示画面819にパネル登録画像822が表示される。さらに、その画像が関連付けられているマップ画面802上のパネルも赤枠で強調表示され、パネル登録画像822に対応した登録欠陥815も赤枠で表示される。また、マップ画面802の欠陥座標や欠陥情報リスト809から登録欠陥が選択された場合にも、上記と同様に画像表示画面819にパネル登録画像822が表示されるようにしてもよい。
基板登録画像820を特定のパネルに関連付ける場合、検査者が基板登録画像820を選択し、上記のように画像表示画面819に画像が表示された後、登録変更ボタン823を押下すると、図9に示されるパネル選択画面901が表示される。検査者が、基板登録画像820を関連付けたい選択パネル902を選択すると、選択された選択パネル902が例えば赤枠で強調表示される。選択後、検査者がOKボタン903を押下すると、基板登録画像820がパネル(この例ではパネル番号4のパネル)に関連付けられて登録される。
キャンセルボタン904は、処理を中止する場合に押下されるボタンである。上記の例では、パネル番号4のみが選択されているが、複数選択して、登録することも可能である。特定のパネルに登録済みの画像を画像表示画面819に表示している場合、検査者によって不要と判断された画像は、画像削除ボタン824の押下によって、削除される。
ポインタ操作ボタン812は、レーザポインタ14を操作して、欠陥登録を行う場合に押下されるボタンである。検査者が操作ユニット103のマウス等を操作し、ポインタ操作ボタン812を押下すると、外観検査装置は以下のように動作する。レーザポインタ制御機構と実体顕微鏡制御機構とが干渉する場合には、検査制御ユニット100の指示によって、実体顕微鏡制御機構が自動的に干渉外位置に待避させられる。検査者によって操作ユニット103が操作され、レーザポインタ14が欠陥上に移動する。欠陥登録ボタン813が押下されると、そのときのレーザポインタ14の座標が欠陥座標として登録される。また、欠陥情報リスト809に情報が追加され、マップ画面802上に登録欠陥が追加される。
外観撮像ボタン814は、デジタルカメラ7を実体顕微鏡5から取り外して、被検査基板2の全体または一部を撮像する場合に押下されるボタンである。外観撮像ボタン814が押下されると、レーザポインタ制御機構が待避させられ、実体顕微鏡制御機構が、デジタルカメラ7の取り外しが可能な位置に移動する。検査者(観察者)は実体顕微鏡5からデジタルカメラ7を取り外して撮像を行う。撮像終了後には、デジタルカメラ7は再び実体顕微鏡5に取り付けられる。
デジタルカメラ7が実体顕微鏡5に取り付けられると、データ転送コネクタ8が画像転送ケーブル9に接続され、画像転送ケーブル9およびデータ転送コネクタ8を介した通信によって、検査制御ユニット100との接続が確認される。接続確認の後、デジタルカメラ7に保存されたマクロ画像のコピーが検査制御ユニット100へ出力される。なお、デジタルカメラ7と検査制御ユニット100との接続は、両者を常時ケーブルで接続したり、無線通信等によって行ったりしてもよい。また、デジタルカメラ7と検査制御ユニット100が上記のように接続された状態で撮像を行うことができる場合には、撮像時にマクロ画像を検査制御ユニット100へ転送してもよい。
次に、デジタルカメラ7によって撮像されたマクロ画像の処理の手順を、図10のフローチャートを用いて説明する。なお、以下の説明では、前述した説明と重複する部分があるが、以下では、マクロ画像の処理のみを抜き出して説明する。まず、検査者(観察者)によってデジタルカメラ7が実体顕微鏡5から取り外され(ステップS1001)、撮像が行われて画像が生成され、デジタルカメラ7内に保存される(ステップS1002)。続いて、検査者によって撮像を終了するか否かが判断され(ステップS1003)、撮像を続ける場合には、ステップS1002に戻る。
撮像を終了する場合、デジタルカメラ7が、デジタルカメラ固定ユニット10によって実体顕微鏡5に固着される(ステップS1004)。デジタルカメラ7が実体顕微鏡5に固着されると、データ転送コネクタ8が画像転送ケーブル9に接続され、検査制御ユニット100によって接続が確認される。接続確認の後、検査制御ユニット100は、デジタルカメラ7に保存されたマクロ画像を認識する(ステップS1005)。続いて、検査制御ユニット100は、デジタルカメラ7に対して画像の出力要求を出力し、デジタルカメラ7は、出力要求に基づいてマクロ画像を検査制御ユニット100へ出力する(ステップS1006)。
検査制御ユニット100は、デジタルカメラ7から取得したマクロ画像を被検査基板2に関連付けて画像格納手段107に格納すると共に、そのサムネイルを生成し、表示手段108へ出力する。表示手段108においては、前述した基板登録画像820として画像が表示される(ステップS1007)。続いて、検査制御ユニット100は、デジタルカメラ7と通信を行って、全てのマクロ画像を取得したか否かを判断する(ステップS1008)。まだ取得していないマクロ画像がある場合には、ステップS1006に戻る。一方、全てのマクロ画像を取得した場合には、処理を終了する。
図11は、撮像時においても、検査制御ユニット100がデジタルカメラ7との接続を認識することができる場合のマクロ画像の処理の手順を示している。まず、検査者(観察者)によってデジタルカメラ7が実体顕微鏡5から取り外され(ステップS1101)、撮像が行われて画像が生成され、デジタルカメラ7内に保存される(ステップS1102)。検査制御ユニット100はデジタルカメラ7内の画像ファイルの監視を行い、新たな画像ファイルが生成されたことを認識すると、デジタルカメラ7からマクロ画像を取得する(ステップS1103)。
検査制御ユニット100は、デジタルカメラ7から取得したマクロ画像を被検査基板2に関連付けて画像格納手段107に格納すると共に、そのサムネイルを生成し、表示手段108へ出力する。表示手段108においては、前述した基板登録画像820として画像が表示される(ステップS1104)。続いて、検査者によって撮像を終了するか否かが判断され(ステップS1105)、撮像を続ける場合には、ステップS1102に戻る。撮像を終了する場合、デジタルカメラ7が、デジタルカメラ固定ユニット10によって実体顕微鏡5に固着される(ステップS1106)。
上述したように、本実施形態による外観検査装置は、被検査基板上の微小な欠陥を撮像して実体顕微鏡画像(ミクロ画像)を生成すると共に、実体顕微鏡観察では捉えきれないような比較的大面積にわたる膜ムラ等の欠陥を検査者の目視位置で撮像してマクロ画像を生成し、両方の画像を欠陥座標等の欠陥情報と関連付けて表示する。これによって、検査者がマクロ照明下にて目視で欠陥を検出したときの目視観察状態に近い状態で欠陥のマクロ画像をデジタルカメラ7により撮像して登録し、表示することができる。したがって、検査者と同じ視線で見た欠陥のマクロ画像を検査後に表示手段108に表示させて再現することができる。
また、デジタルカメラ7を実体顕微鏡5に着脱可能としたことによって、微小な欠陥の撮像と比較的大きな欠陥の撮像とを1台の撮像装置で行えるので、コストの増加を抑えることができる。さらに、デジタルカメラ7が実体顕微鏡5から取り外された状態では、自由な方向から撮像を行うことができる。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図12は、本実施形態による外観検査装置が備える、撮像に係る構成を示す概略構成図である。CCDカメラ15(第1の画像生成手段)は実体顕微鏡5と共に実体顕微鏡ガイドY軸6bに移動可能に設けられており、実体顕微鏡5を介して、被検査基板2上の微小な欠陥を撮像する。自在アーム16(保持手段)は、複数の関節と、各関節を結合するアームとを有する多関節ロボットであり、揺動ステージ3とは離間して設置されている。自在アーム16の各関節にはモータが内蔵されており、検査制御ユニット100によって、アーム間の角度が制御される。検査制御ユニット100は、検査者によって操作される操作ユニット103から出力される信号に基づいて、自在アーム16の動作を制御する。
自在アーム16の先端にはデジタルカメラ17(第2の画像生成手段)が固着されている。デジタルカメラ17は図示せぬケーブルあるいは無線通信ユニット等によって、検査制御ユニット100と接続されている。被検査基板2のマクロ画像を撮像する場合には、検査者の操作に基づいて、自在アーム16がデジタルカメラ17を検査者の視線の位置に移動させる。検査者の指示に基づいて、デジタルカメラ17は撮像を行ってマクロ画像を生成し、検査制御ユニット100へ出力する。検査制御ユニット100はデジタルカメラ7で撮像されたマクロ画像を画像格納手段107に格納する。自在アーム16の自在な動きによって、検査者が目視で見ることができない位置にデジタルカメラ7を自由に移動させて自由な角度で被検査基板2の撮像を行うことができると共に、デジタルカメラ7を被検査基板2に近接させて欠陥のマクロ画像を撮像することができるため、マクロ検査の精度を高めることができ、かつ遠隔操作を行うことができる。
また、検査制御ユニット100は、撮像タイミングや撮像倍率等の検査条件をデジタルカメラ17から取得する。検査制御ユニット100は、撮像時の自在アーム16の状態(アーム間の角度等)の情報と、例えばデジタルカメラ17の撮像倍率とに基づいて、基板全体が撮像されたのか、特定のパネルが拡大されて撮像されたのかを判断することができる。この場合、撮像画像は図8の基板登録画像820およびパネル登録画像822のいずれかに自動的に割り振られる。
また、検査制御ユニット100は、撮像時の自在アーム16の状態あるいは撮像時のデジタルカメラ17の位置や、デジタルカメラ17の撮像条件、揺動ステージ3の状態(揺動ステージ3の角度等)、マクロ照明4の状態(照明光の明るさや角度等)を示す情報をマクロ画像と関連付けて、画像格納手段107(記憶手段)に格納する。これによって、デジタルカメラ17で再度画像を取得して確認する必要が生じた場合に、上記の情報に基づいて、再現性よく撮像を行うことができる。
微小な欠陥の画像を取得する手段は、上記のCCDカメラに限定されるわけではなく、デジタルカメラやその他の画像取得手段でもよい。同様に、自在アーム16に取り付けられたデジタルカメラ17に代えて、CCDカメラやその他の画像取得手段を用いてもよい。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。図13は、検査終了後にデータを確認する場合に、表示手段108によって表示される検査結果表示用の画面例を示している。図13に示されるアプリケーション画面1301は、図8に示されるアプリケーション画面801を表示する検査アプリケーションを検査結果表示にも運用することによって表示される画面である。
アプリケーション画面1301からアプリケーション画面801への切替は、アプリケーション切替ボタン1306の押下によって行われる。ただし、アプリケーション画面801にも同様のアプリケーション切替ボタンが設けられており、その押下によって、アプリケーション画面801からアプリケーション画面1301へ切り替わるものとする。アプリケーション画面1301をアプリケーション画面801と比較すると、一部の操作ボタンが異なるのみで、同様の位置に設けられた同一名称の部分は同一の機能を有している。
アプリケーション画面1301が表示されている状態で、過去の検査において生成された画像を表示する場合、検査者によってアプリケーション切替ボタンが押下された後、検査データが保存された画像格納手段107等のデータ記憶手段や、通信によって接続可能な外部装置(データベースサーバ等)のデータ記憶手段から検査データの選択および取得が行われる。データ選択ボタン1302は、検査データの選択時に押下されるボタンである。
データ選択ボタン1302が押下されると、対象となるデータ保存先からデータを取得するための選択画面1401(図14参照)が表示される。データの選択は以下のように行われる。まず、検査者は検索条件1402の検索期間1403を設定する。デフォルト表示は、例えば現在の日時から24時間前までの期間とする。ロットIDに含まれる文字列を設定して検索する場合、検査者は、ロットIDを指定するチェックボックス1404にチェックを入れ、文字列を入力ボックス1405に設定する。
指定の基板IDを含むロットを選択したい場合には、検査者は基板IDを指定する指定チェックボックス1406にチェックを入れ、検索したい基板IDを入力ボックス1407に設定する。入力が終了したら、検査者は検索開始ボタン1408を押下し、検索を開始する。すると、例えば検査制御ユニット100はデータ記憶手段から順次ロットIDを読み出して参照し、検索期間1403および入力ボックス1405に設定された検索条件に合致するか否かを判断する。検索が終了すると、設定した条件に一致したロットIDがロットIDリスト1409に表示される。
ロットIDに対応したロットに含まれる基板の基板IDを確認したい場合、検査者がロットIDリスト1409のロットIDの中から、特定のロットID(選択ロットID1410)を選択すると、ロットID1410の基板IDが基板IDリスト1413が表示される。検査者は基板IDリスト1413の基板IDの中から、特定の基板ID(選択基板ID1412)を選択する。選択基板ID1412として、デフォルトでは、ロット内で最初に検査された基板の基板IDが選択されているが、他の基板を選択してもよい。
検査者が選択ボタン1411を押下すると、例えば検査制御ユニット100は、選択された基板IDの検査データをデータ記憶手段から読み出して表示手段108に表示させる処理を行う。その結果、選択された基板IDの検査データが図13のアプリケーション画面1301に表示される。選択表示を中止する場合には、キャンセルボタン1414を押下すればよい。
図13の基板IDドロップダウンリスト1303には、選択されたロットIDに含まれる基板IDが表示される。このリストから別の基板IDを選択すれば、その基板IDの検査データが表示される。また、1つ前に表示された検査データを再表示する場合には、戻るボタン1304が押下され、1つ後に表示された検査データを再表示する場合には、進むボタン1305が押下される。
これらの操作によって選択表示された画像等の状態は、アプリケーション切替ボタン1306が押下されて、アプリケーション画面の切替が行われた場合でも、記憶される。図8のアプリケーション画面801において、検査者が再度アプリケーション切替ボタンを押下して、アプリケーション画面1301が表示された場合、再度選択操作を行わなくても、記憶された条件の画像等が表示される。これは例えば、検査中に過去の検査時に撮像された画像を参照画像として用いる場合に有効な機能である。
上述した検査結果表示用のアプリケーションは、検査制御ユニット100によって起動されるが、表示アプリケーションのみとして使用したい場合には、設定を変更することによって、検査機能を無効とし、クリーンルーム外のコンピュータ等の他の装置上で運用してもよい。検査機能を無効とするには、例えばアプリケーション切替ボタン1306が押下されてもアプリケーション画面801が表示されないようにする等を行えばよい。
上述したように、本実施形態によれば、検査中に過去の検査データを参照したい場合に、検査者による外観検査の指示に係る入力を受け付ける画面と、外観検査の結果を表示する画面とを切り替え可能としたことにより、迅速に過去の検査データを参照することができる。また、両画面の大半の構成および機能を同一としたことにより、検査者が外観検査の結果表示用の操作を容易に覚えて、データの検索および表示を行うことができる。
以上、図面を参照して本発明の実施形態について詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
1・・・検査制御装置、2・・・被検査基板、3・・・揺動ステージ、4・・・マクロ照明、5・・・実体顕微鏡、6a,13a・・・ガイドX軸、6b・・・実体顕微鏡ガイドY軸、7,17・・・デジタルカメラ、8・・・データ転送コネクタ、9・・・画像転送ケーブル、10・・・デジタルカメラ固定ユニット、11a・・・キャタピラX、11b・・・キャタピラY、13b・・・レーザポインタガイドY軸、14・・・レーザポインタ、15・・・CCDカメラ、16・・・自在アーム、100・・・検査制御ユニット、101・・・X方向移動制御ユニット、102・・・Y方向移動制御ユニット、103・・・操作ユニット、104・・・揺動ステージ制御ユニット、105・・・マクロ照明制御ユニット、106・・・画像取得ユニット、107・・・画像格納手段、108・・・表示手段
Claims (5)
- 被検査基板を揺動可能に支持する揺動ステージを備え、検査者による前記被検査基板の目視観察が行われる外観検査装置において、
前記被検査基板上の微小な欠陥を撮像して、ミクロ画像を生成すると共に、前記検査者の目視位置で前記被検査基板上の欠陥を撮像して、マクロ画像を生成する画像生成手段と、
前記ミクロ画像および前記マクロ画像を欠陥情報と関連付けて表示する表示手段と、
を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 前記画像生成手段を保持して、前記被検査基板の主面に平行に移動させる移動手段をさらに備え、
前記画像生成手段は、前記移動手段に対して着脱可能であり、前記移動手段に固着された状態で前記ミクロ画像を生成すると共に、前記移動手段から取り外された状態で前記マクロ画像を生成する
ことを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。 - 被検査基板を揺動可能に支持する揺動ステージを備え、検査者による前記被検査基板の目視観察が行われる外観検査装置において、
前記被検査基板上の微小な欠陥を撮像して、ミクロ画像を生成する第1の画像生成手段と、
前記検査者の目視位置で前記被検査基板上の欠陥を撮像して、マクロ画像を生成する第2の画像生成手段と、
前記ミクロ画像および前記マクロ画像を欠陥情報と関連付けて表示する表示手段と、
を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 前記第2の画像生成手段を前記目視位置に保持する保持手段と、
前記第2の画像生成手段によって撮像が行われた時の前記目視位置および前記揺動ステージの状態を前記マクロ画像と関連付けて記憶する記憶手段と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項3に記載の外観検査装置。 - 前記表示手段は、前記被検査基板の外観検査時に、検査者による外観検査の指示に係る入力を受け付ける画面と、前記外観検査の結果を表示する画面とを、前記検査者による指示に応じて、切り替えて表示することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかの項に記載の外観検査装置。
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2007
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