JP2011145470A - 顕微鏡 - Google Patents

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Abstract

【課題】画面の移動に合わせてXYステージを適切に移動させることにより、使い勝手の良い、画像回転機能を備えた撮影機能付き顕微鏡を提供すること。
【解決手段】試料を保持する試料保持部と、対物レンズおよび結像レンズを介して前記試料の像を結ぶ結像光学系と、前記結像光学系の光軸に直行するXY平面内で前記試料保持部を任意のXY方向に移動させるXYステージ部と、前記結像光学系により結像された試料画像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置により撮像された前記試料画像を表示する表示部と、前記光軸を中心にして前記XYステージ部もしくは前記撮像装置を回転させ、または前記表示部の画面に直交する軸を中心にして前記表示部を回転させる回転部と、前記表示部に表示される前記試料画像が画面内で回転するように、前記XYステージ部および前記回転部を制御する制御部とを備える。
【選択図】図2

Description

本発明は、試料を観察するための撮影装置付き顕微鏡に関し、特に、撮影した試料画像を任意の角度に回転させて観察することが可能な回転機構を備えた顕微鏡に関する。
従来、微細な試料を拡大観察し、写真やビデオに撮影および記録できる顕微鏡は、工業分野をはじめ生物分野の研究や検査工程などで幅広く利用されている。このような分野の中では顕微鏡をより簡単に使用したいという要求が高まっており、それに応じた制御ソフトウェアが多く開発されている。
例えば、ミクロ観察時のフレーミング操作を簡易化するため、マクロ画像上にミクロ観察用のフレーミング枠を表示し、枠の大きさをミクロ観察時の画面サイズに見立てて枠の大きさを指定することでミクロ観察用倍率を指定したり、枠の中心位置をミクロ観察時の画面中心に見立てて枠の位置を指定することでミクロ観察用のステージ位置を指定したりする技術が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。
さらに、方向性を持つ試料を撮影対象とする場合には、複数の試料の撮影結果同士を目視で比較するため、試料画像を回転させて表示させたいという要望がある。これに対し、一般にはカメラまたは試料(または試料を保持するホルダ)を撮影光軸に対する垂直平面上で回転可能とするようなハードウェアの機構が従来から提供されている。
特開平5−40230号公報
しかしながら、上述のような技術に関して、画像を回転させた際に、以下のような問題が発生する場合があった。
すなわち、画像を回転させる際に、画面上のXY軸方向とXYステージのXY軸方向の不一致が生じる構造の場合、XYステージの移動方向と画面上での移動方向が一致しなくなってしまう。その結果、フレーミング枠の位置が誤認識され、ミクロ観察時に狙い通りの場所へXYステージを移動させられない、という問題点があった。
本発明は、上述のような実状に鑑みたものであり、画面の移動に合わせてXYステージを適切に移動させることにより、使い勝手の良い、画像回転機能を備えた撮影機能付き顕微鏡を提供することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決するため、下記のような構成を採用した。
すなわち、本発明の一態様によれば、本発明の顕微鏡は、試料を保持する試料保持部と、対物レンズおよび結像レンズを介して前記試料の像を結ぶ結像光学系と、前記結像光学系の光軸に直行するXY平面内で前記試料保持部を任意のXY方向に移動させるXYステージ部と、前記結像光学系により結像された試料画像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置により撮像された前記試料画像を表示する表示部と、前記光軸を中心にして前記XYステージ部もしくは前記撮像装置を回転させ、または前記表示部の画面に直交する軸を中心にして前記表示部を回転させる回転部と、前記表示部に表示される前記試料画像が画面内で回転するように、前記XYステージ部および前記回転部を制御する制御部とを備えることを特徴とする。
また、本発明の顕微鏡は、前記画面内で前記試料画像が回転するための回転角度を入力する回転角度入力手段をさらに備え、前記制御手段が、前記回転角度入力手段によって入力された回転角度に基づいて、前記XYステージ部によって移動させる前記試料保持部の移動方向を算出し、算出された前記移動方向に従って前記XYステージ部を移動させることが望ましい。
また、本発明の顕微鏡は、前記回転角度入力手段が、オペレータが指示する角度データを回転角度として入力することが望ましい。
また、本発明の顕微鏡は、前記回転部が前記XYステージ部、前記撮像装置または前記表示部を回転させる回転角度を検出する回転角度検出手段をさらに備え、前記回転角度入力手段が、前記回転角度検出手段によって検出された回転角度を入力とすることが望ましい。
また、本発明の顕微鏡は、前記表示部に表示されている表示画像の回転角度を算出する表示画像回転角度算出手段をさらに備え、前記回転角度入力手段が、前記表示画像回転角度算出手段によって算出された回転角度を入力とすることが望ましい。
また、本発明の顕微鏡は、前記表示画像回転角度算出手段が、コンピュータマウスのドラッグ操作に応じて前記表示部の中央を中心とした回転角度を算出することが望ましい。
また、本発明の顕微鏡は、前記表示画像回転角度算出手段が、前記表示画面の中央を起点として表示された線状マークのコンピュータマウスによるドラッグ操作に応じて、前記起点を中心とした前記線状マークの回転角度を算出することが望ましい。
本発明は、画像回転時に画面上のXY軸方向とXYステージのXY軸方向の不一致が起こる構造の場合であっても、使い勝手を損なうことのない画像回転機能を備えた撮影機能付き顕微鏡を提供することができる、という効果を奏する。
本発明を適用した顕微鏡の概略を示す図である。 第1の実施の形態における顕微鏡の機能を示す図である。 制御部102において実行される回転制御処理プログラムの流れを示すフローチャートである。 表示部109に表示されるGUIの例を示す図である。 補正の例を説明するための図である。 第2の実施の形態における顕微鏡の機能を示す図である。 第3の実施の形態における顕微鏡の機能を示す図である。 第4の実施の形態における顕微鏡の機能を示す図である。 ライブ画像上のドラッグアンドドロップで回転角度を決定する方法を示す図である。 指標となる線状マークを用いてドラッグアンドドロップで回転角度を決定する方法を示す図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明を適用した顕微鏡の概略を示す図である。
図1において、顕微鏡100は、XYステージ部103、ホルダ部104、結像光学系106、回転部107およびカメラ部108を備え、試料105を撮像することが可能である。
結像光学系106は、観察対象である試料105に対して光を照射し、試料105からの光を対物レンズおよび結像レンズを介して受光し、前記試料105の像を結ぶ。カメラ部108は、例えばCCDカメラ等であり、前記結像光学系106により結像された試料画像を撮像する。
ホルダ部104は、試料105を保持し、XYステージ部103は、前記結像光学系106の光軸に直行するXY平面内で前記ホルダ部104を任意のX方向またはY方向に移動させる。
回転部107は、前記結像光学系106の光軸を中心にして、前記カメラ部108を回転させる。
図2は、第1の実施の形態における顕微鏡の機能を示す図である。
図2において、顕微鏡100Aは、図1を用いて説明した顕微鏡100が備える各構成に加え、入力部101、制御部102および表示部109を備える。
入力部101は、顕微鏡100Aに対する様々なデータ、情報または指示を入力する。制御部102は、入力部101と接続され、入力部101によって入力された情報または指示に基づいて、顕微鏡100Aの各部および全体を統括的に制御する。
表示部109は、例えば液晶表示装置であり、前記カメラ部108により撮像された前記試料画像を表示する。また、制御部102は、前記表示部109に表示されている前記試料画像が画面内で回転するように指示された場合、前記XYステージ部103および前記回転部107を制御する。そして、その回転の後に前記表示部109に表示されている領域を移動させたような場合、制御部102は、後述する回転制御処理プログラムを実行することにより、前記XYステージ部103を制御する。
このような場合の指示は、前記入力部101を用いる。例えば、前記入力部101は、前記表示部109の画面内で前記試料画像が回転するための回転角度を入力することが可能である。入力部101によって前記表示部109の画面内で前記試料画像が回転するための回転角度が入力されると、制御部102は、入力された回転角度と前記表示部109での移動量とに基づいて、前記XYステージ部103によって移動させるホルダ部104の移動方向を算出する。そして、制御部102は、算出された前記移動方向に従って前記XYステージ部103を移動させる。
図3は、制御部102において実行される回転制御処理プログラムの流れを示すフローチャートである。
まず、ステップS301において、例えば、表示部109に表示されたエディットボックスに対して、オペレータが角度データを指示または入力することにより、回転角度を入力する。この入力された回転角度に応じて、回転部107が前記カメラ部108を回転させる。
次に、その回転の後に前記表示部109に表示されている領域を移動させたような場合、ステップS302において、その移動量を検出する。そして、ステップS303において、入力された回転角度と前記表示部109での移動量とに基づいて、前記XYステージ部103によって移動させるホルダ部104の移動方向を算出する。具体的には、前記表示部109での移動前後の位置を表示座標軸からステージ座標軸へ座標軸変換する。
そして、ステップS304において、算出された前記移動方向に従って前記XYステージ部103を移動させる。
図4は、表示部109に表示されるGUIの例を示す図である。
図4において、表示部109は、ライブ表示部201、XY移動指示部202、回転指示部203、及び撮像指示部204で構成されている。
ライブ表示部201は、試料105のライブ画像を表示する。XY移動指示部202は、試料109をライブ表示部201に対して上下左右方向へ移動させるための指示を入力する。回転指示部203は、ライブ表示部201の中央を中心にして試料画像を回転させるための指示を、オペレータの操作により入力する。図4に示した例では、5度回転させる。撮像指示部204は、カメラ部108による撮像を指示する。
いま、図4に示したような試料105のライブ画像が画像表示部201に表示されているとする。このとき、オペレータがXYステージ部103の移動を指示した場合、指示通りの方向へ観察ポイントを移動させるためには、カメラ部108の回転量を踏まえた上で適切に前記XYステージ103の位置を補正しなければならない。この補正は、例えば以下のように行う。
まず、オペレータが前記回転指示部203からθ度の回転を指示したとする。すると、その指示は入力部101、制御部102を介して回転部107Aへと伝えられることにより、回転部107Aが前記カメラ部108をθ度分回転させる。そして、その結果、ライブ画像がライブ表示部201の中央を中心にしてθ度回転して表示される。なお、説明の都合上、角度θはXYステージ部103の測定ポイント移動方向と画像上の測定ポイント移動方向が一致する時の角度を0度と考える。
次に、オペレータがXYステージ部103の移動を指示したとする。この時、ライブ表示部201で指示した方向へ観察ポイントが移動するためには、その時点での回転角に応じて移動先座標を変換する必要がある。変換は以下のように行う。
図5に示したように、回転角をθ、ライブ画像上の移動先のX座標をXa、ライブ画像上の移動先のY座標をYaとする。この時、変換後の移動先のX座標X´a、及び変換後の移動先のY座標Y´aは、下記の式(1)のように表わされる。
X´a=(Xa2+Ya21/2×cos(atan(Ya/Xa)−θ),
Y´a=(Xa2+Ya21/2×sin(atan(Ya/Xa)−θ) ・・・(1)
したがって、ライブ画像上でXa、Yaの地点への移動が指示された場合は、実際には上記式(1)によって変換されたX´a、Y´aへXYステージ部103を移動させることにより、ライブ画面上で指示した通りの地点のライブ画像を表示することができる。
例えば、θ=30°、Xa=1、Ya=31/2の場合、
X´a=2×cos(atan(31/2/1)−30°)=2×cos(30°)=2×31/2/2=31/2
Y´a=2×sin(atan(31/2/1)−30°)=2×sin(30°)=2×1/2=1
と変換される。
以上説明したように、本実施の形態によれば、画像を回転させる際に画面上のXY軸方向とXYステージのXY軸方向の不一致が生じる構造の場合でも、ライブ画像を回転させた状態でXYステージ103の移動を指示した時も、回転させていない状態と同じように狙い通りの地点へ移動させることが出来る。
(第2の実施の形態)
次に、本発明を適用した第2の実施の形態について説明する。
図6は、第2の実施の形態における顕微鏡の機能を示す図である。
図6において、顕微鏡100Bは、図1および図2を用いて説明した回転部107Aの代わりに回転部107Bを備える。カメラ部108を回転させる回転部107Aに対して、回転部107BはXYステージ部103を回転させる。
この構成により、回転中心と視野中心との位置関係を常に維持したままで試料105を回転させることができる。
(第3の実施の形態)
次に、本発明を適用した第3の実施の形態について説明する。
図7は、第3の実施の形態における顕微鏡の機能を示す図である。
図7において、顕微鏡100Cは、図1および図2を用いて説明した回転部107Aの代わりに回転部107Cを備える。カメラ部108を回転させる回転部107Aに対して、回転部107Cは表示部109を回転させる。
この構成により、カメラ部808で撮影された画像に回転処理を施してから表示部809に表示させることができる。
(第4の実施の形態)
次に、本発明を適用した第4の実施の形態について説明する。
図8は、第4の実施の形態における顕微鏡の機能を示す図である。
図8において、顕微鏡800は、図1および図2を用いて説明した第1の実施の形態における顕微鏡100が備える各構成に加え、角度検出部810を備える。
上述の第1の実施の形態では、オペレータの操作により回転指示部203で指示された回転角度が、入力部101によって入力される。本第4の実施の形態においては、オペレータの手動でメカ的または電気的操作により回転部107Aがカメラ部108の回転を指示した場合も、角度検出部810がその回転角度を検出することができる。
例えば、図8において、回転部107Aと接続された角度検出部810は、ロータリーエンコーダ等のハードウェアを用いて角度を検出したり、XYステージ部103を移動させた際の移動前後の画像から移動方向を算出して角度を検出したりすることができる。これにより、オペレータが手動で回転部107Aがカメラ部108の回転を指示した場合も直ちにその回転角度(回転量)を把握することができる。
(第5の実施の形態)
次に本発明を適用した第5の実施の形態について説明する。
図4を用いて説明した第1の実施の形態における回転角度の指示は、オペレータが数値を直接入力したり、一定量間隔でステップ移動させる方法で回転を指示したりすることが可能である。しかしながら、数値から実際の回転結果をイメージし難いため、オペレータにとって使いやすいGUIとは言い切れない。そこで、次のようなGUIを用いることもできる。
図9は、ライブ画像上のドラッグアンドドロップで回転角度を決定する方法を示す図である。
図9に示した例は、コンピュータマウスのドラッグ操作を用いる例である。
オペレータが地点901でマウスクリックして矢印方向にドラッグすると、それに追従して試料画像がライブ画面の中心を軸に回転する。オペレータは画面を見ながら望ましい角度まで回転したところでドロップする。すると、制御部102が、コンピュータマウスのドラッグ操作に応じて、すなわち、ドラッグ開始前の角度とドロップした地点902の角度との差分から回転角度θの値を求め、その値を元に上述したような回転処理を施す。
図9に示した例は、ライブ画面の中心を軸に描いた円の内側の画像だけを回転させた例である。ドラッグ時に回転させる部位は画面全体であっても良いし、処理速度向上のために図9の例のように一部分だけを回転させてもよい。
図10は、指標となる線状マークを用いてドラッグアンドドロップで回転角度を決定する方法を示す図である。
また、図10に示したように、画面上にライブ画面中心を起点とする線状マーク1001を描画し、画像の代わりにその線状マーク1001をドラッグして回転させてもよい。図10の方法によれば、ライブ画像と無関係に且つ直感的に回転角を決定することができる。
以上本発明を適用した各実施の形態を説明してきたが、本発明は、以上に述べた各実施の形態等に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の構成または形状を取ることができる。
100、100A、100B、100C 顕微鏡
103 XYステージ部
104 ホルダ部
106 結像光学系
107、107A、107B、107C 回転部
108 カメラ部
105 試料
101 入力部
102 制御部
109 表示部
201 ライブ表示部
202 XY移動指示部
203 回転指示部
204 撮像指示部
800 顕微鏡
810 角度検出部
901、902 地点
1001 線状マーク

Claims (7)

  1. 試料を保持する試料保持部と、
    対物レンズおよび結像レンズを介して前記試料の像を結ぶ結像光学系と、
    前記結像光学系の光軸に直行するXY平面内で前記試料保持部を任意のXY方向に移動させるXYステージ部と、
    前記結像光学系により結像された試料画像を撮像する撮像装置と、
    前記撮像装置により撮像された前記試料画像を表示する表示部と、
    前記光軸を中心にして前記XYステージ部もしくは前記撮像装置を回転させ、または前記表示部の画面に直交する軸を中心にして前記表示部を回転させる回転部と、
    前記表示部に表示される前記試料画像が画面内で回転するように、前記XYステージ部および前記回転部を制御する制御部と、
    を備えることを特徴とする顕微鏡。
  2. 前記画面内で前記試料画像が回転するための回転角度を入力する回転角度入力手段、
    をさらに備え、
    前記制御手段は、前記回転角度入力手段によって入力された回転角度に基づいて、前記XYステージ部によって移動させる前記試料保持部の移動方向を算出し、算出された前記移動方向に従って前記XYステージ部を移動させる、
    ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。
  3. 前記回転角度入力手段は、オペレータが指示する角度データを回転角度として入力する、ことを特徴とする請求項1または2に記載の顕微鏡。
  4. 前記回転部が前記XYステージ部、前記撮像装置または前記表示部を回転させる回転角度を検出する回転角度検出手段、
    をさらに備え、
    前記回転角度入力手段は、前記回転角度検出手段によって検出された回転角度を入力とする、ことを特徴とする請求項1または2に記載の顕微鏡。
  5. 前記表示部に表示されている表示画像の回転角度を算出する表示画像回転角度算出手段、
    をさらに備え、
    前記回転角度入力手段は、前記表示画像回転角度算出手段によって算出された回転角度を入力とする、ことを特徴とする請求項1または2に記載の顕微鏡。
  6. 前記表示画像回転角度算出手段は、コンピュータマウスのドラッグ操作に応じて前記表示部の中央を中心とした回転角度を算出する、ことを特徴とする請求項5に記載の顕微鏡。
  7. 前記表示画像回転角度算出手段は、前記表示画面の中央を起点として表示された線状マークのコンピュータマウスによるドラッグ操作に応じて、前記起点を中心とした前記線状マークの回転角度を算出する、ことを特徴とする請求項5に記載の顕微鏡。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013083743A (ja) * 2011-10-07 2013-05-09 Keyence Corp 拡大観察装置
JP2014074933A (ja) * 2014-01-27 2014-04-24 Olympus Corp 顕微鏡
JP2016110039A (ja) * 2014-12-10 2016-06-20 キヤノン株式会社 顕微鏡システムのためのアダプタ、及び当該アダプタを有する顕微鏡システム
JP2016110041A (ja) * 2014-12-10 2016-06-20 キヤノン株式会社 顕微鏡システムおよびその制御方法、及びプログラム
JP2016110043A (ja) * 2014-12-10 2016-06-20 キヤノン株式会社 顕微鏡システムおよびその制御方法
JP2016110038A (ja) * 2014-12-10 2016-06-20 キヤノン株式会社 顕微鏡システム
JP2019219612A (ja) * 2018-06-22 2019-12-26 オリンパス株式会社 拡大観察装置
JP2022062236A (ja) * 2017-02-10 2022-04-19 ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッド 顕微鏡検査において大面積の撮像を容易にするためのカメラと検体の整列

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07248453A (ja) * 1994-03-10 1995-09-26 Olympus Optical Co Ltd 観察画像の位置調整装置
JPH08223563A (ja) * 1995-02-15 1996-08-30 Meitec Corp 観察装置の試料台制御方式
JP2007024927A (ja) * 2005-07-12 2007-02-01 Olympus Corp 顕微鏡画像撮影装置
JP2007333491A (ja) * 2006-06-13 2007-12-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 板状部材の外観検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07248453A (ja) * 1994-03-10 1995-09-26 Olympus Optical Co Ltd 観察画像の位置調整装置
JPH08223563A (ja) * 1995-02-15 1996-08-30 Meitec Corp 観察装置の試料台制御方式
JP2007024927A (ja) * 2005-07-12 2007-02-01 Olympus Corp 顕微鏡画像撮影装置
JP2007333491A (ja) * 2006-06-13 2007-12-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 板状部材の外観検査装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013083743A (ja) * 2011-10-07 2013-05-09 Keyence Corp 拡大観察装置
JP2014074933A (ja) * 2014-01-27 2014-04-24 Olympus Corp 顕微鏡
JP2016110039A (ja) * 2014-12-10 2016-06-20 キヤノン株式会社 顕微鏡システムのためのアダプタ、及び当該アダプタを有する顕微鏡システム
JP2016110041A (ja) * 2014-12-10 2016-06-20 キヤノン株式会社 顕微鏡システムおよびその制御方法、及びプログラム
JP2016110043A (ja) * 2014-12-10 2016-06-20 キヤノン株式会社 顕微鏡システムおよびその制御方法
JP2016110038A (ja) * 2014-12-10 2016-06-20 キヤノン株式会社 顕微鏡システム
US10725309B2 (en) 2014-12-10 2020-07-28 Canon Kabushiki Kaisha Microscope system
US10732397B2 (en) 2014-12-10 2020-08-04 Canon Kabushiki Kaisha Microscope system, control method thereof, and program
JP2022062236A (ja) * 2017-02-10 2022-04-19 ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッド 顕微鏡検査において大面積の撮像を容易にするためのカメラと検体の整列
JP7428406B2 (ja) 2017-02-10 2024-02-06 ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッド 顕微鏡検査において大面積の撮像を容易にするためのカメラと検体の整列
JP2019219612A (ja) * 2018-06-22 2019-12-26 オリンパス株式会社 拡大観察装置
JP7061518B2 (ja) 2018-06-22 2022-04-28 オリンパス株式会社 拡大観察装置

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