JP2013083743A - 拡大観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ21の載置面21a上に観察対象物Sが載置される。撮像装置10によって観察対象物Sが撮像されることにより撮像領域の画像データが取得される。撮像装置10により取得される画像データに基づいて観察対象物Sの画像が観察画像として表示部により表示される。ステージ21は、xt軸およびyt軸に沿って撮像装置10に関して相対的に移動される。この場合、回転角度検出部により検出される回転角度に基づいてxt軸およびyt軸に沿った移動量が制御される。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の一実施の形態に係る拡大観察装置の構成を示すブロック図である。図1に示すように、拡大観察装置300は、顕微鏡100および画像処理装置200を備える。
ユーザまたは外部装置から画像処理装置200(図1)の入力装置250にステージ21の移動指示またはステージ21の回転指示が与えられると、CPU220がステージ駆動部22に移動指令信号または回転指令信号を与える。ステージ駆動部22は、CPU220からの移動指令信号に基づいてステージ21をxt軸およびyt軸に沿って移動させ、CPU220からの回転指令信号に基づいてステージ21を回転軸R3の周りで回転させる。
以下、ステージ装置20の動作と表示部260に表示される観察画像との関係について説明する。図7は、ステージ21の載置面21aに載置される観察対象物Sの一例を示す平面図である。図8〜図10は、ステージ装置20の動作と表示部260に表示される観察画像との関係を示す図である。図8〜図10の(a)には、ステージ21と撮像領域との位置関係が示され、図8〜図10の(b)には、表示部260に表示される観察画像が示される。また、図8〜10の(a)には、X軸およびY軸、ステージ21のxt軸およびyt軸、ならびに撮像領域のxr軸およびyr軸が示され、図8〜図10の(b)には、表示部260のxd軸およびyd軸、ならびに観察画像のxi軸およびyi軸が示される。
図8および図9の例では、撮像領域IRのxr軸およびyr軸がX軸およびY軸とそれぞれ一致しているため、X軸およびY軸に対するステージ21の移動方向と表示部260のxd軸およびyd軸に対する観察画像IMの移動方向とが一致する。実際には、組み付け誤差等により撮像領域IRのxr軸およびyr軸がX軸およびY軸に対してずれる場合がある。また、撮像装置10が支持部7に着脱可能に設けられる場合には、撮像領域IRのxr軸およびyr軸がX軸およびY軸に対してずれた状態で撮像装置10が支持部7に取り付けられることがある。撮像領域IRのxr軸およびyr軸がX軸およびY軸に対してずれている場合には、次のような問題が生じる。
本実施の形態では、表示部160がステージ21における撮像領域IRの位置を示す位置特定画像を表示することができる。図16は、位置特定画像の一例を示す図である。図16の位置特定画像NIは、ステージ21における現在の撮像領域IRよりも広い領域を表す広域画像BDおよび撮像領域IRに対応する撮像領域対応画像CIを含む。
上記実施の形態では、回転角度センサ30によりステージ30の回転角度が検出されるが、これに限らず、他の方法でステージ30の回転角度が検出されてもよい。例えば、ステージ30の載置面30aに、X軸またはY軸の少なくとも一方を表す線が付され、この線が撮像装置10により撮像されてもよい。この場合、観察画像IMにおける線の傾きに基づいて、ステージ30の回転角度を検出することができる。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
11 カラーCCD
12 ハーフミラー
13 対物レンズ
15 A/D変換器
16 照明用光源
17 レンズ駆動部
20 ステージ装置
21 ステージ
22 ステージ駆動部
23 ステージ支持部
30 回転角度センサ
100 顕微鏡
210 インタフェース
220 CPU
230 ROM
240 記憶装置
250 入力装置
260 表示部
270 作業用メモリ
300 拡大観察装置
BD 広域画像
CI 撮像領域対応画像
IM 観察画像
IR 撮像領域
NI 位置特定画像
S 観察対象物
Claims (11)
- 観察対象物を撮像することにより撮像領域の画像データを取得する撮像部と、
前記撮像部により取得される画像データに基づいて観察対象物の画像を観察画像として表示する表示部と、
前記観察対象物が載置される載置面を有し、前記載置面に対して略垂直な回転軸の周りで前記撮像部に関して相対的に回転可能でかつ前記載置面に略平行な面内で互いに交差する第1および第2の軸に沿って移動可能に設けられたステージと、
前記ステージの回転角度を検出する回転角度検出部と、
前記第1および第2の軸に沿って前記ステージを前記撮像部に関して相対的に移動させるステージ駆動部と、
前記ステージの移動方向の指示を受け付ける指示受付部と、
前記ステージ駆動部に前記第1および第2の軸に沿った前記ステージの移動量を与えることにより前記ステージの移動を制御する制御部とを備え、
前記ステージの前記第1および第2の軸は、前記ステージと一体的に前記回転軸の周りで回転し、
前記制御部は、前記回転角度検出部により検出された回転角度に基づいて、前記撮像部の撮像領域における観察対象物の移動方向が前記指示受付部により受け付けられた方向に一致するように前記ステージ駆動部に与える前記第1および第2の軸に沿った移動量を制御するように構成された、拡大観察装置。 - 前記撮像部の前記撮像領域には、互いに交差する第3および第4の軸が設定され、
前記制御部は、所定の校正時に、前記ステージの前記第1および第2の軸と前記撮像領域の前記第3および第4の軸との角度差を検出し、通常時に、検出された角度差に基づいて前記ステージ駆動部に与える前記ステージの前記第1および第2の軸に沿った移動量を補正するように構成された、請求項1記載の拡大観察装置。 - 前記制御部は、前記ステージ駆動部により前記ステージが移動された場合の前記観察画像の移動方向に基づいて前記ステージの前記第1および第2の軸と前記撮像領域の前記第3および第4の軸との角度差を検出するように構成された、請求項2記載の拡大観察装置。
- 前記ステージに前記第1および第2の軸の方向を特定するための方向特定部が設けられ、
前記制御部は、前記観察画像に含まれる前記方向特定部の画像に基づいて前記ステージの前記第1および第2の軸と前記撮像領域の前記第3および第4の軸との角度差を検出するように構成された、請求項2記載の拡大観察装置。 - 前記表示部は、前記ステージにおける前記撮像領域の位置を示す位置特定画像を表示する、請求項1〜4のいずれかに記載の拡大観察装置。
- 前記位置特定画像は、前記ステージにおける前記撮像領域よりも広い領域を表す第1の画像および前記撮像領域に対応する第2の画像とを含み、
前記制御部は、前記回転角度検出部により検出された回転角度に基づいて前記第1の画像を前記第2の画像に対して相対的に回転させる、請求項5記載の拡大観察装置。 - 前記撮像部は、前記撮像領域よりも広い領域を撮像可能に構成され、
前記表示部は、前記撮像部により前記広い領域の撮像時に得られる画像データに基づいて前記第1の画像を表示する、請求項6記載の拡大観察装置。 - 前記第1の画像は、前記ステージにおける前記撮像領域よりも広い領域を特定するための図形を示す、請求項6記載の拡大観察装置。
- 前記第1の画像は、前記ステージにおける撮像領域の相対的な移動可能範囲に対応する、請求項6〜8のいずれかに記載の拡大観察装置。
- 前記指示受付部は、前記位置特定画像における任意の位置の指定を受け付け可能に構成され、
前記制御部は、前記ステージにおいて前記指示受付部により指定された位置に対応する位置に前記撮像領域が移動するように前記ステージ駆動部による前記ステージの移動を制御する、請求項5〜9のいずれかに記載の拡大観察装置。 - 前記制御部は、前記ステージが移動された場合の前記観察画像の移動量を検出し、検出された移動量に基づいて前記観察画像の移動量と前記ステージの移動量との関係を算出し、算出された前記関係に基づいて前記ステージ駆動部に与える移動量を補正するように構成された、請求項1〜10のいずれかに記載の拡大観察装置。
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JP2011222575A JP5841398B2 (ja) | 2011-10-07 | 2011-10-07 | 拡大観察装置 |
US13/559,799 US8994810B2 (en) | 2011-10-07 | 2012-07-27 | Magnification observation device |
DE102012217281.5A DE102012217281B4 (de) | 2011-10-07 | 2012-09-25 | Vergrösserungsbeobachtungsvorrichtung |
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---|---|---|---|
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015127778A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置及びこれを用いた観察方法 |
JP2015219524A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-07 | ライカ マイクロシステムズ リミテッド シャンハイLeica Microsystems Ltd. Shanghai | 顕微鏡の照明コンポーネントのための調整装置、顕微鏡照明装置及び顕微鏡 |
JP2016538581A (ja) * | 2013-11-04 | 2016-12-08 | カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy Gmbh | 旋回スタンドを備えたデジタル顕微鏡、そのようなデジタル顕微鏡のための較正方法ならびに焦点および画像中心の自動追跡方法 |
JP2017049150A (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | アズビル株式会社 | 蛍光粒子の計測方法 |
US9690089B2 (en) | 2013-12-27 | 2017-06-27 | Keyence Corporation | Magnifying observation apparatus, magnified image observing method and computer-readable recording medium |
US9690088B2 (en) | 2013-12-27 | 2017-06-27 | Keyence Corporation | Magnifying observation apparatus, magnified image observing method and computer-readable recording medium |
US9726873B2 (en) | 2013-12-27 | 2017-08-08 | Keyence Corporation | Microscope and magnifying observation method using the same |
JP2018066967A (ja) * | 2016-10-21 | 2018-04-26 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置および拡大観察装置の制御方法 |
KR20190112108A (ko) * | 2017-02-10 | 2019-10-02 | 나노트로닉스 이미징, 인코포레이티드 | 현미경 검사에서 대 영역 이미징을 용이하게 하는 카메라 및 표본 정렬 |
JP2019219612A (ja) * | 2018-06-22 | 2019-12-26 | オリンパス株式会社 | 拡大観察装置 |
JP2021039010A (ja) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | 日本分光株式会社 | 自動位置合わせ機能を有する偏光測定装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6427332B2 (ja) * | 2014-04-08 | 2018-11-21 | 株式会社ミツトヨ | 画像測定機 |
EP3006980B1 (de) * | 2014-10-06 | 2020-10-28 | Leica Microsystems (Schweiz) AG | Euzentrisches digitales mikroskop mit einer schwenkbar gelagerten schwenkeinheit |
CN104570315B (zh) * | 2014-12-30 | 2017-06-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种基于结构照明的彩色三维层析显微成像系统及方法 |
DE202017106224U1 (de) * | 2016-10-13 | 2018-02-22 | Life Technologies Holdings Pte Limited | Systeme und Vorrichtung zum Optimieren eines Sichtbereichs |
JP7092619B2 (ja) * | 2018-08-30 | 2022-06-28 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
JP7092618B2 (ja) * | 2018-08-30 | 2022-06-28 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
EP4343404A1 (en) * | 2022-09-20 | 2024-03-27 | Leica Microsystems CMS GmbH | Controller for an imaging system, system and corresponding method |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS643560A (en) * | 1987-05-29 | 1989-01-09 | Zeiss Carl Fa | Microinjection into cell or suction from individual cell or method and working station sucking all cells from cell incubation |
JP2007024927A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Olympus Corp | 顕微鏡画像撮影装置 |
JP2010266750A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Olympus Corp | 観察装置および観察システム |
US20110009983A1 (en) * | 2008-03-13 | 2011-01-13 | Marksman Cellject Inc | Method and Apparatus for Microscopy |
JP2011048013A (ja) * | 2009-08-25 | 2011-03-10 | Nikon Corp | 制御装置、およびその制御装置を用いた顕微鏡システム |
US20110169936A1 (en) * | 2010-01-14 | 2011-07-14 | Olympus Corporation | Microscope |
JP2011145470A (ja) * | 2010-01-14 | 2011-07-28 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5734930A (en) * | 1992-09-04 | 1998-03-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical apparatus having a visual axis detector |
DE69428327T2 (de) * | 1993-10-29 | 2002-07-04 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Verfahren und System zur Detektion einer Winkelabweichung unter Verwendung eines periodischen Musters |
JPH08194162A (ja) | 1995-01-17 | 1996-07-30 | Nikon Corp | ステージの駆動装置 |
JP4473992B2 (ja) | 1999-06-15 | 2010-06-02 | 株式会社キーエンス | 拡大観察用のスタンド装置および拡大観察方法 |
JP2004153462A (ja) | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Keyence Corp | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2006164861A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査干渉電子顕微鏡 |
JP4831998B2 (ja) | 2005-05-31 | 2011-12-07 | 株式会社キーエンス | 拡大観察用のスタンド装置およびそれを備えた顕微鏡 |
JP4436278B2 (ja) | 2005-05-31 | 2010-03-24 | 株式会社キーエンス | 拡大観察用のスタンド装置およびそれを備えた顕微鏡 |
JP2008175893A (ja) | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Keyence Corp | マイクロスコープカメラ支持スタンド |
JP4860551B2 (ja) | 2007-06-01 | 2012-01-25 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置、高階調画像ファイル作成方法、高階調画像ファイル作成方法、高階調画像ファイル作成プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP5188101B2 (ja) | 2007-06-01 | 2013-04-24 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置、拡大画像撮影方法、拡大画像撮影プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP5154392B2 (ja) | 2008-12-12 | 2013-02-27 | 株式会社キーエンス | 撮像装置 |
JP5096303B2 (ja) | 2008-12-12 | 2012-12-12 | 株式会社キーエンス | 撮像装置 |
JP5096302B2 (ja) | 2008-12-12 | 2012-12-12 | 株式会社キーエンス | 撮像装置 |
JP5479950B2 (ja) * | 2010-03-03 | 2014-04-23 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置及び観察位置再現方法 |
JP5690086B2 (ja) * | 2010-07-02 | 2015-03-25 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
JP5517790B2 (ja) * | 2010-07-02 | 2014-06-11 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
JP5732353B2 (ja) * | 2011-08-31 | 2015-06-10 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置、拡大観察方法および拡大観察プログラム |
JP5865666B2 (ja) * | 2011-10-19 | 2016-02-17 | 株式会社キーエンス | 画像処理装置および画像処理プログラム |
-
2011
- 2011-10-07 JP JP2011222575A patent/JP5841398B2/ja active Active
-
2012
- 2012-07-27 US US13/559,799 patent/US8994810B2/en active Active
- 2012-09-25 DE DE102012217281.5A patent/DE102012217281B4/de active Active
- 2012-10-08 CN CN201210377716.4A patent/CN103105671B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS643560A (en) * | 1987-05-29 | 1989-01-09 | Zeiss Carl Fa | Microinjection into cell or suction from individual cell or method and working station sucking all cells from cell incubation |
US4907158A (en) * | 1987-05-29 | 1990-03-06 | Carl-Zeiss-Stiftung | Method for performing work on cells of a cell culture and apparatus therefor |
JP2007024927A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Olympus Corp | 顕微鏡画像撮影装置 |
US20110009983A1 (en) * | 2008-03-13 | 2011-01-13 | Marksman Cellject Inc | Method and Apparatus for Microscopy |
JP2010266750A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Olympus Corp | 観察装置および観察システム |
JP2011048013A (ja) * | 2009-08-25 | 2011-03-10 | Nikon Corp | 制御装置、およびその制御装置を用いた顕微鏡システム |
US20110169936A1 (en) * | 2010-01-14 | 2011-07-14 | Olympus Corporation | Microscope |
JP2011145470A (ja) * | 2010-01-14 | 2011-07-28 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016538581A (ja) * | 2013-11-04 | 2016-12-08 | カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy Gmbh | 旋回スタンドを備えたデジタル顕微鏡、そのようなデジタル顕微鏡のための較正方法ならびに焦点および画像中心の自動追跡方法 |
JP2015127778A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置及びこれを用いた観察方法 |
US9690089B2 (en) | 2013-12-27 | 2017-06-27 | Keyence Corporation | Magnifying observation apparatus, magnified image observing method and computer-readable recording medium |
US9690088B2 (en) | 2013-12-27 | 2017-06-27 | Keyence Corporation | Magnifying observation apparatus, magnified image observing method and computer-readable recording medium |
US9726873B2 (en) | 2013-12-27 | 2017-08-08 | Keyence Corporation | Microscope and magnifying observation method using the same |
JP2015219524A (ja) * | 2014-05-13 | 2015-12-07 | ライカ マイクロシステムズ リミテッド シャンハイLeica Microsystems Ltd. Shanghai | 顕微鏡の照明コンポーネントのための調整装置、顕微鏡照明装置及び顕微鏡 |
JP2017049150A (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | アズビル株式会社 | 蛍光粒子の計測方法 |
JP2018066967A (ja) * | 2016-10-21 | 2018-04-26 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置および拡大観察装置の制御方法 |
KR20190112108A (ko) * | 2017-02-10 | 2019-10-02 | 나노트로닉스 이미징, 인코포레이티드 | 현미경 검사에서 대 영역 이미징을 용이하게 하는 카메라 및 표본 정렬 |
JP2020507813A (ja) * | 2017-02-10 | 2020-03-12 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッドNanotronics Imaging,Inc. | 顕微鏡検査において大面積の撮像を容易にするためのカメラと検体の整列 |
JP7029821B2 (ja) | 2017-02-10 | 2022-03-04 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッド | 顕微鏡検査において大面積の撮像を容易にするためのカメラと検体の整列 |
JP2022062236A (ja) * | 2017-02-10 | 2022-04-19 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッド | 顕微鏡検査において大面積の撮像を容易にするためのカメラと検体の整列 |
KR102414312B1 (ko) * | 2017-02-10 | 2022-06-28 | 나노트로닉스 이미징, 인코포레이티드 | 현미경 검사에서 대 영역 이미징을 용이하게 하는 카메라 및 표본 정렬 |
KR20220093274A (ko) * | 2017-02-10 | 2022-07-05 | 나노트로닉스 이미징, 인코포레이티드 | 현미경 검사에서 대 영역 이미징을 용이하게 하는 카메라 및 표본 정렬 |
JP7428406B2 (ja) | 2017-02-10 | 2024-02-06 | ナノトロニクス イメージング インコーポレイテッド | 顕微鏡検査において大面積の撮像を容易にするためのカメラと検体の整列 |
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