JP2006164861A - 走査干渉電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
(1)設定及び調節が複雑で困難。
(2)位相像と振幅像を同時に表示できない。
(3)電子線の検出効率が低い。
という問題があった。
【解決手段】走査干渉電子顕微鏡において、電子線干渉縞の検出効率を上げ、ユーザが簡単に最良の条件で、試料の微小領域の電気的及び磁気的情報を高S/N比の走査像として観察できる走査干渉電子顕微鏡を実現する。
【選択図】 図1
Description
(1)STEM型干渉電子顕微鏡法では、オンラインかつリアルタイムでの位相画像表示が可能であること
(2)走査電子線照射により発生する特性X線等の検出など、分析画像と干渉画像の同時表示が可能であること。
(3)収束電子線のスポット径で空間分解能が決まるため、空間分解能の制御性が良いこと、等の利点がある。
(1)設定及び調節が複雑で困難である。
(2)位相像と振幅像を同時に表示できない。
(3)電子線の検出効率が低い。
本発明は、設定、調節が容易、かつ高感度な走査干渉電子顕微鏡を提供することを目的とする。
また、本発明では該検出器を外部より制御可能な回転台に載せることにより、干渉縞の拡大率、検出器の回転方向を自動的に調整し、最も効率の高い条件で干渉縞の検出をおこなうことができる。
結像系41及び検出系42は、二次電子検出器12、電子線整形器19、一段もしくは多段の結像系レンズ20、検出器23、回転台24、回転台移動機構37等により構成される。二次電子検出器12に加えて、反射電子検出器を備えていても良い、
また、制御系は、CPU25、メモリ26,表示装置27、D/A変換器28、29,信号演算器32等により構成される。D/A変換器28は、電子光学系及び結像系の各構成要素へ、信号伝送線により接続されており、CPU25からの制御信号は、当該信号伝送線を経由して、各構成要素へ伝達される。また、図示されてはいないが、表示装置27には、キーボード、マウスなどの情報入力手段が備わっており、装置ユーザは、当該情報入力手段を入力インタフェースとして、所望の情報を装置へ入力する。CPU25、D/A変換器28、信号演算器32は、制御用コンピュータとして一つの筐体内に収められる場合もある。30および31は回転台24に装着され、それぞれ回転台24の回転駆動装置と回転角度検出装置である。また、37は本発明において用いられる検出器23および回転台24を移動させ、他の検出器と入れ替えるための回転台移動機構である。
15は試料ステージであり、矢印で示されるステージ駆動手段により、X,Y面内及びZ方向に移動することができる。
まず、ステップ300で、試料を試料ステージ15に載置し、真空容器内に搬入する。次に、ステップ301で、加速電極4に所定電圧を印加し、電子源1で発生した電子線を加速する。ステップ302では第一引き出し電極2および第二引き出し電極3に適当な電圧を印加することにより電界放出電流を引き出す。
ステップ310では入力した干渉縞画像を演算器32により1次元フーリエ変換し、その結果からCPU25は現在の回転台24の回転角度とピーク位置、すなわちピークを与える空間周波数とピーク強度とを記憶装置26に記憶する。回転台24の回転角度は回転台24に装備された回転検出器31の出力をA/D変換器29によりCPU25に入力することによって得られる。
図4は、図1のSTEMの結像系と制御系要部を示す図であり、図3に示した動作フローは、図4に示した構成要素によって実行される。
図4において、引出番号63が結像レンズ系62を通過して回転台66へ到達した電子線の干渉縞である。回転台66上には、1対の非対称的2次元多画素積分検出器64および65が載置されている。ここで「非対称的2次元多画素積分検出器」とは、2次元の多画素より成る検出器であって、その片方の次元における画素数と他の片方の次元における画素数との比が2以上であって、かつその画素数の少ない次元に沿って積分した値を画素数の多い次元に沿った画素ごとの値として出力することを特長とする検出器である。この機能はハードウェアで実現してもよいし、あるいはソフトウェアで実現してもよい。
ここで、電子線の干渉縞の方向及び検出器の方向は以下のように定義する。すなわち、電子線の干渉縞は電子線の強度の大小がある特定の1次元方向に正弦波状に繰り返されるパターンであるが、該1次元方向を干渉縞の方向と定義する。また、非対称的2次元多画素積分検出器の方向とはその長軸方向と定義する。このように定義された干渉縞の方向と検出器の方向は以下のような手順でおこなうことで、精密におこなうことができる。この手順を、同じく図4を用いて説明する。
CPU70は、信号変換器69からの入力される位相信号をA/D変換器72からの角度信号と同期させて表示手段76へ表示する。これにより、表示手段76には、グラフ78に示すような、スペクトルのピーク強度の回転台の回転角依存性を示すデータが表示される。検出器を回転しながらピークの高さを観察すると、最も良く方向が一致した場合にピーク強度が最大となり、ピーク強度が最大となる角度を積分検出器64,65の最適配置角度と決定する。最適配置角度の決定に際しては、装置ユーザが選択しても良いし、装置が最適なピークを自動的に選択するように制御しても構わない。
なお、図1に示したSTEMの構成では、以上で記述した記憶装置、加算装置86、演算器89は、各々記憶装置26、CPU25、及び信号演算器32に対応する。
Claims (8)
- 試料ステージと、
該試料ステージに載置される試料に対して電子線を照射するための電子光学系と、前記走査により試料から発生する電子を検出するための結像系とを備え、
前記電子光学系は、
電子銃と、
該電子銃で発生した電子線を2つの光路に分離する手段と、
該光路が分離された電子線の一方を前記試料上で走査する手段とを備え、
前記結像系は、該電子線走査により試料を透過した電子線と、他の光軸を通過した電子線との干渉縞を検出する非対称的2次元検出器を備えることを特徴とする走査干渉顕微鏡。 - 試料ステージと、
該試料ステージに載置される試料に対して電子線を走査させる手段と、
該試料の透過電子に対して干渉縞を発生させる手段と、
該干渉縞を検出するための非対称的2次元検出器を備えることを特徴とする走査干渉顕微鏡。 - 請求項1または2に記載の走査干渉顕微鏡において、
前記非対称的2次元検出器は、複数の電子線検出素子からなり、前記干渉縞に平行な方向に積分した値を各素子の値として出力することを特徴とする走査干渉電子顕微鏡。 - 請求項1または2に記載の走査干渉顕微鏡において、
試料ステージの駆動手段と、該ステージ駆動手段の制御手段とを備え、
該制御手段は、前記試料上を走査される電子線とは異なるもう一方の電子線の光路が、試料を透過しない位置を通過するように前記試料ステージ駆動手段を制御することを特徴とする走査干渉電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の走査干渉顕微鏡において、
上記2つに分離した電子線が双方共に真空領域を通過する1次元干渉縞画像を保持する手段と、試料領域の1次元干渉縞画像を保持する手段、およびこれら両者を各画素ごとに積算した1次元干渉縞画像を保持する手段を有し、
さらに該積算した1次元干渉縞画像の全画素にわたって積分した値を電子線の走査に対応した2次元画像の各画素における振幅信号として出力し、別の片方の1次元干渉縞画像に関しては、真空領域の1次元干渉縞画像を保持する手段と試料領域の1次元干渉縞画像を保持する手段、およびこれら両者を各画素ごとに積算した1次元干渉縞画像を保持する手段を有し、該積算した1次元干渉縞画像の各画素ごとに一定のしきい値以上の値を有する画素のみの値を保持し、他はゼロとする演算をおこなう手段を有し、さらに該演算をおこなった1次元干渉縞画像の全画素にわたって積分した値を電子線の走査に対応した2次元画像の各画素における位相の余弦値に対応する信号或いは位相値に変換した信号として出力することを特徴とする走査干渉電子顕微鏡。 - 上記請求項1に記載された非対称的2次元多画素積分検出器が2次元平面内において回転可能であることを特徴とし、該検出器上で干渉縞を形成する条件を自動的に調整することができる手段を有する走査干渉電子顕微鏡。
- 電子線プリズムに印加する電圧と電子線走査コイルに印加する電圧を像倍率に応じて連動させることを特徴とする走査干渉電子顕微鏡。
- 上記手段によって検出した位相の余弦値に対応する信号或いは位相値に変換した信号の最小値から最大値にHLSカラーモデルのHue値の0から1を対応させ、振幅信号の最小値から最大値にはHLSカラーモデルのLightness値の0から1を対応させて表示することによって通常の電子顕微鏡画像に対応する振幅情報に位相情報を同時に重ねて表示することを可能にする表示方法及び装置。
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---|---|---|---|
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010133739A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 観察試料作製方法及び観察試料作製装置 |
JP2010153315A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Hitachi Ltd | 電子線装置および電子線装置における浮遊磁場測定方法 |
JP2010160909A (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-22 | Hitachi Ltd | 電子線バイプリズムを用いた電子線装置および電子線バイプリズムを用いた電子線装置における浮遊磁場測定方法 |
WO2011149001A1 (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 透過型干渉顕微鏡 |
EP2667400A2 (en) | 2012-05-24 | 2013-11-27 | Riken | Interference electron microscope |
US8772715B2 (en) | 2012-04-26 | 2014-07-08 | Hitachi, Ltd. | Electron beam device including a first electron biprism to split an electron beam into two beams and a second electron biprism in the image forming lens system to superpose the two beams |
WO2017170554A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 | 位相差走査透過電子顕微鏡装置 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4993849B2 (ja) * | 2004-05-31 | 2012-08-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 不良検査装置及び荷電粒子線装置 |
JP5405937B2 (ja) * | 2009-08-07 | 2014-02-05 | 株式会社日立製作所 | 透過型電子顕微鏡およびそれを用いた試料像の観察方法 |
EP2365514B1 (en) * | 2010-03-10 | 2015-08-26 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Twin beam charged particle column and method of operating thereof |
JP5736461B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2015-06-17 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡および試料観察方法 |
JP5841398B2 (ja) * | 2011-10-07 | 2016-01-13 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
US9418819B2 (en) | 2013-09-06 | 2016-08-16 | Kla-Tencor Corporation | Asymmetrical detector design and methodology |
WO2016125281A1 (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-11 | 株式会社ニコン | 構造化照明顕微鏡、観察方法、及び制御プログラム |
US10170274B2 (en) * | 2015-03-18 | 2019-01-01 | Battelle Memorial Institute | TEM phase contrast imaging with image plane phase grating |
US10224175B2 (en) | 2015-03-18 | 2019-03-05 | Battelle Memorial Institute | Compressive transmission microscopy |
US10989661B2 (en) * | 2015-05-01 | 2021-04-27 | The Board Of Regents Of The University Of Texas System | Uniform and scalable light-sheets generated by extended focusing |
NL2016367B1 (en) * | 2016-03-04 | 2017-09-19 | Phenom-World Holding B V | Scanning electron microscope |
US11024481B2 (en) * | 2016-03-04 | 2021-06-01 | Fei Company | Scanning electron microscope |
US10876970B2 (en) | 2016-04-12 | 2020-12-29 | The Board Of Regents Of The University Of Texas System | Light-sheet microscope with parallelized 3D image acquisition |
US10580614B2 (en) | 2016-04-29 | 2020-03-03 | Battelle Memorial Institute | Compressive scanning spectroscopy |
JP6702807B2 (ja) * | 2016-06-14 | 2020-06-03 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡および画像取得方法 |
US10295677B2 (en) | 2017-05-08 | 2019-05-21 | Battelle Memorial Institute | Systems and methods for data storage and retrieval |
FR3073956B1 (fr) * | 2017-11-22 | 2019-12-27 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Methode d'acquisition d'hologrammes par holographie electronique hors axe optique en mode precession |
JP7065503B2 (ja) * | 2018-03-22 | 2022-05-12 | 国立研究開発法人理化学研究所 | 干渉光学系ユニット,荷電粒子線干渉装置、及び荷電粒子線干渉像観察方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0381939A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-08 | Hitachi Ltd | 走査干渉電子顕微鏡 |
JPH04206132A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-28 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡及び走査電子顕微方法 |
JPH06333529A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Hitachi Ltd | 走査干渉電子顕微鏡 |
JPH0926471A (ja) * | 1995-07-11 | 1997-01-28 | Hitachi Ltd | 磁気計測方法及び装置 |
JPH11260689A (ja) * | 1998-03-11 | 1999-09-24 | Toshiba Corp | 均一光学系、パターン検査装置及びパターン検査方法 |
JP2000056002A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Hitachi Ltd | 走査干渉電子顕微鏡 |
JP2002117800A (ja) * | 2000-10-05 | 2002-04-19 | Jeol Ltd | 電子線バイプリズム装置を備えた電子顕微鏡 |
JP2002289130A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-04 | Ebara Corp | パターン検査装置、パターン検査方法及びデバイス製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2563134B2 (ja) * | 1989-01-25 | 1996-12-11 | 日本電子株式会社 | 走査透過型位相差電子顕微鏡 |
JPH0845465A (ja) | 1994-08-03 | 1996-02-16 | Hitachi Ltd | 走査型干渉電子顕微鏡 |
JPH08186727A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Canon Inc | 画像処理装置及び方法 |
JPH09134697A (ja) | 1995-11-10 | 1997-05-20 | Hitachi Ltd | 透過型干渉電子顕微鏡及びこれに用いる検出器 |
-
2004
- 2004-12-10 JP JP2004357539A patent/JP2006164861A/ja active Pending
-
2005
- 2005-12-06 US US11/294,470 patent/US7417227B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0381939A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-08 | Hitachi Ltd | 走査干渉電子顕微鏡 |
JPH04206132A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-28 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡及び走査電子顕微方法 |
JPH06333529A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-12-02 | Hitachi Ltd | 走査干渉電子顕微鏡 |
JPH0926471A (ja) * | 1995-07-11 | 1997-01-28 | Hitachi Ltd | 磁気計測方法及び装置 |
JPH11260689A (ja) * | 1998-03-11 | 1999-09-24 | Toshiba Corp | 均一光学系、パターン検査装置及びパターン検査方法 |
JP2000056002A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Hitachi Ltd | 走査干渉電子顕微鏡 |
JP2002117800A (ja) * | 2000-10-05 | 2002-04-19 | Jeol Ltd | 電子線バイプリズム装置を備えた電子顕微鏡 |
JP2002289130A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-04 | Ebara Corp | パターン検査装置、パターン検査方法及びデバイス製造方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010133739A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 観察試料作製方法及び観察試料作製装置 |
JP2010153315A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Hitachi Ltd | 電子線装置および電子線装置における浮遊磁場測定方法 |
JP2010160909A (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-22 | Hitachi Ltd | 電子線バイプリズムを用いた電子線装置および電子線バイプリズムを用いた電子線装置における浮遊磁場測定方法 |
WO2011149001A1 (ja) | 2010-05-28 | 2011-12-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 透過型干渉顕微鏡 |
JP2011249191A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 透過型干渉顕微鏡 |
US8772715B2 (en) | 2012-04-26 | 2014-07-08 | Hitachi, Ltd. | Electron beam device including a first electron biprism to split an electron beam into two beams and a second electron biprism in the image forming lens system to superpose the two beams |
EP2667400A2 (en) | 2012-05-24 | 2013-11-27 | Riken | Interference electron microscope |
JP2013246911A (ja) * | 2012-05-24 | 2013-12-09 | Institute Of Physical & Chemical Research | 干渉電子顕微鏡 |
US8785851B2 (en) | 2012-05-24 | 2014-07-22 | Hitachi, Ltd. | Interference electron microscope |
WO2017170554A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 | 位相差走査透過電子顕微鏡装置 |
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Publication number | Publication date |
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