JP2004271270A

JP2004271270A - パターン検査方法及びパターン検査装置

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Publication number: JP2004271270A
Application number: JP2003059979A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Inoue; 雅裕井上; Hideo Wakamori; 英郎若森; Masaya Kato; 雅也加藤
Original assignee: Topcon Corp
Current assignee: Topcon Corp
Priority date: 2003-03-06
Filing date: 2003-03-06
Publication date: 2004-09-30

Abstract

【課題】大領域の試料のパターンの欠陥検査を行う場合であっても、簡便、迅速、確実に欠陥検査を行うことができるパターン検査方法を提供する。
【解決手段】本発明のパターン検査方法は、試料１１に電子線をスキャンさせながら照射することにより試料１１から発生する荷電粒子に基づき試料像４０’を形成し、得られた試料像４０’に基づき試料１１のパターンを検査するパターン検査方法において、電子線のスキャンにスキューが与えられてスキャン領域が試料１１のパターンの輪郭ライン４０ａの延びる方向に相対回転されてずらされた第１方向Ｄ１に試料像を試料に対して長方形状を除く平行四辺形状にスキャンさせて第１試料像４０’を取得し、予め記憶された参照画像４２と第１試料像４０’とを比較して、試料の欠陥検査を行う
【選択図】図９

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体素子などの試料の検査、測長を行う走査型電子顕微鏡や測長ＳＥＭ等に用いられるパターン検査方法及びパターン検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、走査型電子顕微鏡や測長ＳＥＭ等を用いて、試料のパターンの検査が行われ、半導体素子等の検査を行う技術分野では、試料の欠陥を検査するために各種のパターン検査方法、検査装置が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
例えば、従来から、試料のパターンの輪郭（エッジ）に沿って限定された微小走査領域について２次元的に走査するいわゆるベクタ走査を行い、パターンを検査するパターン検査方法が知られている。
【０００４】
また、電子顕微鏡の偏向コイルを制御して、電子線（電子ビーム）の走査方向を配線パターンのラインの延びる方向に対して斜めにして被測定半導体デバイスに電子線を走査し、配線パターンの画像を取得するようにしたパターン検査方法及びパターン検査装置も知られている（例えば、特許文献３、特許文献４参照）。
【０００５】
更に、半導体デバイスのパターン画像と、そのパターンの設計ＣＡＤ画像とを重ね合わせて表示するようにしたパターン検査方法及びパターン検査装置も知られている（例えば、特許文献５参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開昭６３−２１０６０６号公報（図３、図４）
【特許文献２】
特開平９−３１２３１８号公報（段落番号００１７、図３）
【特許文献３】
特開平９−２６５９３１号公報
【特許文献４】
特開平１０−３８７６号公報
【特許文献５】
特開２００２−３５３２８０号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、走査型電子顕微鏡や測長ＳＥＭ等では、電子線の走査方向（スキャン方向）と平行なパターンの輪郭ラインが延びる方向については、解像度が低いことが知られている。
【０００８】
従来の測長ＳＥＭでは、スキャンの方向に対して垂直な線分に注目して測定を行っていたが、新しく取得した２次元画像データをＣＡＤデータと比較して欠陥検査を行う場合、スキャンと平行な輪郭ラインの延びる方向の解像度が低いので測定誤差の原因となっている。
【０００９】
ベクタ走査によるパターン検査方法は、そのスキャンと平行な輪郭ラインの延びる方向の解像度が低いという問題点を解決することはできるが、このベクタ走査によるパターン検査方法は、パターンの輪郭（エッジ）ラインに沿って微小領域を検査する方法であるので、非常に手間と時間とがかかり、大領域の試料のパターンを検査するパターン検査方法には不向きである。
【００１０】
また、試料のパターンの試料像データを単にＣＡＤデータと重ね合わせるパターン検査方法では、そのスキャンと平行な輪郭ラインの延びる方向の解像度の低下を克服できないので、パターンの欠陥を見落とすおそれがある。
【００１１】
更に、電子ビームの走査方向を配線パターンの輪郭ラインの延びる方向に対して斜めにして試料画像を取得するパターン検査方法では、パターンの輪郭ライン部分の欠陥を見落とす不都合がある。
【００１２】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的は、大領域の試料のパターンの欠陥検査を行う場合であっても、簡便、迅速、確実に欠陥検査を行うことができるパターン検査方法及びパターン検査装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のパターン検査方法は、試料に電子線をスキャンさせながら照射することにより前記試料から発生する荷電粒子に基づき試料像を形成し、得られた試料像に基づき試料のパターンを検査するパターン検査方法において、前記電子線のスキャンにスキューが与えられてスキャン領域が前記試料のパターンの輪郭ラインの延びる方向に相対回転されてずらされた第１方向に前記試料像を前記試料に対して長方形状を除く平行四辺形状にスキャンさせて第１試料像を取得し、予め記憶された参照画像と前記第１試料像とを比較して、前記試料の欠陥検査を行うことを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載のパターン検査方法は、前記電子線の前記試料のパターンの輪郭ライン方向に対してずらす角度を前記試料の設計データに基づき自動的に求めることを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載のパターン検査装置は、試料を載置する試料載置手段と、前記試料に電子線をスキャンさせながら照射する電子線照射手段と、前記電子線の照射により発生する荷電粒子に基づき試料像を形成する試料像形成手段と、前記試料の参照画像を予め記憶させた記憶手段と、得られた試料像のパターンと前記参照画像とを比較し、前記試料のパターンを検査するための演算制御手段とを有するパターン検査装置において、
前記演算制御手段は、前記電子線のスキャンにスキューが与えられてスキャン領域が前記試料のパターンの輪郭ラインの延びる方向に相対回転されてずらされた第１方向に前記電子線を前記試料に対して長方形状を除く平行四辺形状にスキャンさせるために前記電子線照射手段を制御し、得られた第１試料像と前記参照画像とを比較して前記試料のパターンを検査することを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載のパターン検査装置は、前記電子線の前記試料のパターンの輪郭ライン方向に対してずらす角度を前記試料の設計データに基づき自動的に求めることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
〈実施の形態１〉
図１は本発明に係わるパターン検査方法に用いるパターン検査装置の全体構成を示している。
【００１８】
その図１において、符号１０は半導体用のウェハ、チップ等の試料１１を載置する試料載置手段としての円盤状の移動台である。このパターン検査装置は、走査型電子顕微鏡１２、ホストコンピュータ（演算制御手段）１３、モニタ１４から大略構成されている。
【００１９】
走査型電子顕微鏡１２は、鏡筒１５の上部に設けられた電子銃１６、コンデンサレンズコイル１７、Ｘ方向偏向コイル１８、Ｙ方向偏向コイル１９、検出器（荷電粒子検出手段）２０、対物レンズコイル２１から大略構成されている。
【００２０】
電子レンズ１６、コンデンサレンズコイル１７、Ｘ方向偏向コイル１８、Ｙ方向偏向コイル１９、対物レンズコイル２１は電子線照射手段を構成し、電子銃１６から放射された電子ビーム１６ａは、コンデンサレンズコイル１７、対物レンズコイル２１を通って試料１１に照射される。また、電子ビーム１６ａはＸ方向スキャン制御回路１８Ａ、Ｙ方向スキャン制御回路１９Ａを介してＸ方向偏向コイル１８、Ｙ方向偏向コイル１９によって適宜偏向される。
【００２１】
そして、電子ビーム１６ａの照射により発生した試料１１からの２次電子ビーム等は検出器２０により検出される。その検出信号はホストコンピュータ１３に入力され、ホストコンピュータ１３はその検出信号を適宜画像処理して試料像を形成する試料像形成手段として機能し、その画像処理結果はモニタ１４に出力され、モニタ１４の画面１４Ａに試料像として表示される。
【００２２】
移動台１０は真空状態の試料室２２内に設置される。この移動台１０は互いに直交するＸ方向とＹ方向とに移動可能とされている。このＸ方向、Ｙ方向への移動は図２に示すようにＸ方向アクチュエータ２３、Ｘ方向送りネジ２４、Ｘ方向ガイドバー２５、Ｙ方向アクチュエータ２６、Ｙ方向送りネジ２７、Ｙ方向ガイドバー２８によって行われる。Ｘ方向アクチュエータ２３はＸ方向アクチュエータ制御回路２９によって制御され、Ｙ方向アクチュエータ２６はＹ方向アクチュエータ駆動制御回路３０によって制御される。
【００２３】
そのＸ方向アクチュエータ駆動制御回路２９にはＸ方向移動指令値設定器３１が接続され、Ｙ方向アクチュエータ駆動制御３０にはＹ方向移動指令値設定器３２が接続されている。Ｘ方向移動指令値設定器３１、Ｙ方向移動指令値設定器３２にはホストコンピュータ１３から制御信号が入力される。
【００２４】
移動台１０を試料の測定したい位置に移動させ、測定したい視野領域１１’への荷電粒子への照射、例えば１００００倍の視野領域１１’の照射により、その試料像１１ａがモニタ１４の画面１４Ａに表示される。
【００２５】
ホストコンピュータ１３には、キャドデータ格納装置１３ａが接続されている。このキャドデータ格納装置１３ａには例えば試料１１としてのウェハに形成すべきパターンを示す設計図面としてのＣＡＤデータが格納されている。
【００２６】
ここでは、ウェハに形成されるパターンは、図３に示すように、階段型パターン４０であり、このウェハには図４に示すようにこの階段型パターン４０が繰り返し形成されている。その階段型パターン４０は、試料１１に形成されているパターンの欠陥検査を行う際にキャドデータ格納装置１３ａから呼び出されて参照画像４２（図５（Ｆ）参照）として用いられる。
【００２７】
ホストコンピュータ１３は欠陥検査を行う際に、電子ビーム１６ａのスキャンの方向をＣＡＤデータに基づく試料１１のパターン４０の輪郭ライン４０ａの延びる方向から自動的に取得する。
【００２８】
ついで、ホストコンピュータ１３はＣＡＤデータから輪郭ライン４０ａの延びる方向に対するラスタスキャンの角度θを演算により自動的に求める。ホストコンピュータ１３は、この角度θを用いて偏向コイル１８、１９を制御する。
【００２９】
これにより、偏向コイル１８、１９の走査電源により発生した鋸歯状波電流ＳＸ、ＳＹがｓｉｎθ、ｃｏｓθの関数値に分割され、この電流信号を加算器で加算して、偏向コイル１８、１９に供給され、試料１１に対する電子ビーム１６ａの走査方向（ラスタスキャン方向）が輪郭ライン４０ａの延びる方向に対して角度θ回転される。
【００３０】
この関係式を以下に示す。
Ｘ＝ＳＸｓｉｎθ＋ＳＹｃｏｓθ
Ｙ＝−ＳＸｃｏｓθ＋ＳＹｓｉｎθ
これにより、電子ビーム１６ａは、図５（Ａ）に示すように、輪郭ライン４０ａの延びる方向に対して角度θとなる第１方向（第１領域）Ｄ１に設定して試料１１のパターン４０をラスタスキャンする。
【００３１】
その結果、図５（Ｂ）に示す第１試料像としてのパターン像４０’が得られる。その図５（Ｂ）において、符号４０ｂ’はパターン４０の欠陥部４０ｂに対応する欠陥部像を示している。
【００３２】
ついで、ホストコンピュータ１３は、その第１方向Ｄ１に対して９０度となる第２方向Ｄ２に電子ビーム１６ａのスキャン方向がなるように偏向コイル１８、１９を制御する。これにより、電子ビーム１６ａは、図５（Ｃ）に示すように、第１方向に対して直交する第２方向（第２領域）Ｄ２に設定して試料１１のパターン４０をラスタスキャンする。
【００３３】
その結果、図５（Ｄ）に示す第２試料像としてのパターン像４０”が得られる。その図５（Ｄ）において、符号４０ｂ”はパターン４０の欠陥部４０ｂに対応する欠陥部像を示している。
【００３４】
ホストコンピュータ１３は画像合成部として機能し、第１試料像としてのパターン像４０’と第２試料像としてのパターン像４０”とを重ね合わせて、図５（Ｅ）に示すように合成画像としてのパターン像４１を作成する。その図５（Ｅ）において、符号４１ｂはパターン４０の欠陥部４０ｂに対応する欠陥部像４１ｂを示している。
【００３５】
この第１試料像と第２試料像との合成により、パターン４０に欠陥部４０ｂがある場合、その欠陥部４０ｂに対応する欠陥部像４１ｂが明瞭化される。
【００３６】
ホストコンピュータ１３はついでそのパターン像４１を設計図面としての階段型のパターン４０としての参照画像４２と比較し、パターン４０に欠陥部４０ｂがあるか否かを判定する。
【００３７】
ホストコンピュータ１３は、一個の視野領域１１’についての欠陥検査が終わると、図４に示す矢印Ａ１ないし矢印Ａ４方向に移動台１０を制御し、順次次の視野領域１１’に移行して、同様の欠陥検査を実行する。
【００３８】
また、図６（Ａ’）に符号４０ｃで示す角部分、図６（Ｃ’）に符号４０ｄで示す角部分は、電子線によるスキャンにより、図６（Ｂ’）に符号４０ｃ’で示すように丸みを帯びた欠陥部像、図６（Ｄ’）に符号４０ｄ’のように見え、真の欠陥部像か否か判別がつかないことがある。
【００３９】
そこで、まず、電子線のスキャン領域を第１領域に設定して第１試料像としてのパターン像４０’を取得し、これと参照画像４２（図６（Ｅ’）参照）とを比較して試料欠陥画像を求め、次に、電子線のスキャン領域を第２領域に設定して第２試料像としてのパターン像４０”を取得し、これと参照画像４２（図６（Ｅ”）参照）とを比較して試料欠陥画像を求め、その後に、これらの試料欠陥画像を合成して、パターン像４１（図６（Ｆ’）参照）を求める。
【００４０】
これにより、欠陥部像４１ｂが明瞭化され試料１１のパターン４０に欠陥部４０ｂがあるか否かが明瞭化される。
【００４１】
ここでは、電子ビーム１６ａのラスタスキャンの方向をパターン４０の輪郭ライン４０ａの延びる方向に対して角度θだけ傾けることにしたが、図７（Ａ）に示すように、電子ビーム１６ａをパターン４０の輪郭ライン４０ａの延びる水平方向を第１方向Ｄ１としてラスタスキャンして第１試料像を取得し、ついで、図７（Ｂ）に示すように、この第１方向Ｄ１と直交する第２方向Ｄ２に電子ビーム１６ａのラスタスキャン方向を設定し、試料１１の同一の視野領域１１’をラスタスキャンして第２試料像を取得し、第１試料像と第２試料像とを合成して、図７（Ｃ）に示す合成画像としてのパターン像４１を取得し、このパターン像４１を図７（Ｄ）に示す参照画像４２と比較してパターンの欠陥検査を行ってもよい。
【００４２】
この発明の実施の形態１では、輪郭ライン４０ａの延びる第１方向Ｄ１とこれに直交する第２方向Ｄ２とを設定して、試料１１をスキャンして２枚の試料画像を取得し、この２枚の試料画像を合成して試料１１の欠陥を検査するようにしたが、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との為す角度は９０度以下であっても良い。
【００４３】
以上、発明の実施の形態１では、試料１１に対するラスタスキャンの角度をホストコンピュータ１３が偏向コイル１８、１９制御することにより設定することにしたが、試料台１０を機械的に回転させ、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とにラスタスキャンし、パターン像４０’、４０”を得て試料のパターン４０の欠陥の検査を行うこともできる。
【００４４】
【実施の形態２】
ここでは、視野領域１１’を直交する方向ではなく、スキャンにスキュー角度を与えて長方形を除く平行四辺形状にスキャンする。
【００４５】
スキュー角度が加えられたスキャンローテーションは、
Ｘ＝ＳＸｓｉｎ（θ＋φ）＋ＳＹｃｏｓθ
Ｙ＝−ＳＸｃｏｓ（θ＋φ）＋ＳＹｓｉｎθ
と表され、スキャン角度φの重ね合わせにより、電子ビーム１６ａのスキャンは試料１１に対して平行四辺形状となる。
【００４６】
これにより、試料１１の各視野領域１１’は図８に示すように平行四辺形状にスキャンされることになる。
【００４７】
例えば、スキュースキャンローテンションでは、視野領域１１’図９（Ａ）、（Ｃ）に示すようにスキャンされる。
【００４８】
ホストコンピュータ１３は、図９（Ａ）に示すように、輪郭ライン４０ａの延びる方向に対して角度φとなる第１方向Ｄ１に試料１１のパターン４０に対して電子ビーム１６ａをスキュースキャンさせる。
【００４９】
その結果、図９（Ｂ）に示す第１試料像としてのパターン像４０’が得られる。その図９（Ｂ）において、符号４０ｂ’はパターン４０の欠陥部４０ｂに対応する欠陥部像を示している。
【００５０】
ついで、ホストコンピュータ１３は、その第１方向Ｄ１に対して９０度となる第２方向Ｄ２に電子ビーム１６ａのスキャン方向がなるように偏向コイル１８、１９を制御する。これにより、電子ビーム１６ａは、図９（Ｃ）に示すように、第１方向に対して直交する第２方向Ｄ２に試料１１のパターン４０をスキュースキャンする。
【００５１】
その結果、図９（Ｄ）に示す第２試料像としてのパターン像４０”が得られる。その図９（Ｄ）において、符号４０Ｂ”はパターン４０の欠陥部４０ｂに対応する欠陥部像を示している。
【００５２】
図９（Ｂ）、図９（Ｄ）により得られたパターン像４０’、４０”は、観察者が設計上予期する画像とは異なる。そこで、ホストコンピュータ１３はそのメモリ上で回転変換、歪み変換を行って、図９（Ｅ）、図９（Ｆ）に示す整形画像４１’、４１”を画面１４Ａ上に表示させる。
【００５３】
ホストコンピュータ１３は画像合成部として機能し、第１試料像としての整形画像４１’と第２試料像としての整形画像４１”とを重ね合わせて、図９（Ｇ）に示すように合成画像としてのパターン像４１を作成する。その図９（Ｇ）において、符号４１ｂはパターン４０の欠陥部４０ｂに対応する欠陥部像４１ｂを示している。
【００５４】
この第１試料像と第２試料像との合成により、パターン４０に欠陥部４０ｂがある場合、その欠陥部４０ｂに対応する欠陥部像４１ｂが明瞭化される。
【００５５】
ホストコンピュータ１３はついでそのパターン像４１を設計図面としての階段型のパターン４０としての参照画像４２（図９（Ｈ）参照）と比較し、パターン４０に欠陥部４０ｂがあるか否かを判定する。
【００５６】
また、図１０（Ａ’）に符号４０ｃで示す角部分、図１０（Ｃ’）に符号４０ｄで示す角部分は、電子線によるスキャンにより、図１０（Ｂ’）に符号４０ｃ’で示すように丸みを帯びた欠陥部像、図１０（Ｄ’）に符号４０ｄ’のように見え、真の欠陥部像か否か判別がつかないことがある。
【００５７】
そこで、まず、電子線のスキャン領域を第１領域に設定して第１試料像としてのパターン像４０’を取得し、これを整形して整形画像４１’（図１０（Ｅ’）参照）を得た後、この整形画像４１’と参照画像４２（図１０（Ｇ’）参照）とを比較して試料欠陥画像を求め、次に、電子線のスキャン領域を第２領域に設定して第２試料像としてのパターン像４０”を取得し、これを整形して整形画像４１”（図１０（Ｆ’）参照）を得た後、この整形画像４１”と参照画像４２（図１０（Ｇ”）参照）とを比較して試料欠陥画像を求め、その後に、これらの試料欠陥画像を合成して、パターン像４１（図１０（Ｈ’）参照）を求める。
【００５８】
これにより、欠陥部像４１ｂが明瞭化され試料１１のパターン４０に欠陥部４０ｂがあるか否かが明瞭化される。
【００５９】
ホストコンピュータ１３は、一個の視野領域１１’についての欠陥検査が終わると、図４に示す矢印Ａ１ないし矢印Ａ４方向に移動台１０を制御し、順次次の視野領域１１’に移行して、同様の欠陥検査を実行する。
【００６０】
また、図１１に示すように、第１試料像としての整形画像４１’と設計図面としての階段型のパターンである参照画像４２とを比較し、パターン４０に欠陥部４０ｂがあるか否かを判定し、欠陥検査をすることもできる。
【００６１】
この発明の実施の形態２では、輪郭ライン４０ａの延びる第１方向Ｄ１とこれに直交する第２方向Ｄ２とを設定して、試料１１をスキュースキャンして２枚の試料画像を取得し、この２枚の試料画像を合成して試料１１の欠陥を検査するようにしたが、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との為す角度は９０度以下であっても良い。
【００６２】
この発明の実施の形態２によれば、水平ラインに対して角度をもってスキャンできるので、水平方向の輪郭ライン４０ａの解像度の劣化を防止できる。
【００６３】
また、試料台１０を移動させて試料の大領域の検査を行う場合でも、平行四辺形状の視野領域を重ね合わせてスキャンできるのでスキャンに無駄な領域が生じるのを防止できる。
【００６４】
なお、試料台１０を機械的に回転させ、パターン４０の輪郭線ライン４０ａの延びる方向に対してラスタスキャンが斜めとなるようにパターンとスキャンとを相対回転させてずらした後、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とにスキュースキャンし、パターン像４０’、４０”を得て試料のパターン４０の欠陥の検査を行うこともできる。
【００６５】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成したので、大領域の試料のパターンの欠陥検査を行う場合であっても、簡便、迅速、確実に欠陥検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わるパターン検査装置の概要図である。
【図２】図１に示す試料載置台の一例を示す図である。
【図３】試料に形成されるパターンの一例を示す図である。
【図４】試料に形成された繰り返しパターンと視野領域との関係を示す説明図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係わるパターン検査方法の一例を示す説明図であって、（Ａ）はパターンの輪郭ラインの延びる方向に対して斜め第１方向に試料をラスタスキャンしている状態を示し、（Ｂ）は（Ａ）に示すラスタスキャンにより得られた第１試料像を示し、（Ｃ）は第１方向と直交する第２方向に試料をラスタスキャンしている状態を示し、（Ｄ）は（Ｂ）に示すラスタスキャンにより得られた第２試料像を示し、（Ｅ）は第１試料像と第２試料像とを合成して得られた合成画像を示し、（Ｆ）は合成画像と比較すべき参照画像を示している。
【図６】本発明の実施の形態１に係わるパターン検査方法の他の例を示す説明図であって、（Ａ’）はパターンの輪郭ラインの延びる方向に対して斜め第１方向（第１領域）に試料をラスタスキャンしている状態を示し、（Ｂ’）は（Ａ’）に示すラスタスキャンにより得られた第１試料像を示し、（Ｃ’）は第１方向と直交する第２方向に試料をラスタスキャンしている状態を示し、（Ｄ’）は（Ｂ’）に示すラスタスキャンにより得られた第２試料像を示し、（Ｅ’）は第１試料像と第２試料像とを合成して得られた合成画像を示し、（Ｆ’）は合成画像と比較すべき参照画像を示している。
【図７】本発明の実施の形態１に係わるパターン検査方法の更に他の例を示す説明図であって、（Ａ）はパターンの輪郭ラインの延びる方向に対して斜め第１方向に試料をラスタスキャンしている状態を示し、（Ｂ）は第１方向と直交する第２方向に試料をラスタスキャンしている状態を示し、（Ｃ）は第１試料像と第２試料像とを合成して得られた合成画像を示し、（Ｄ）は合成画像と比較すべき参照画像を示している。
【図８】本発明の実施の形態２に係わるパターン検査方法の一例を示す図であって、視野領域を平行四辺形状にスキュースキャンしている状態を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係わるパターン検査方法の一例を示す説明図であって、（Ａ）はパターンの輪郭ラインの延びる方向に対して第１方向に試料をスキュースキャンしている状態を示し、（Ｂ）は（Ａ）に示すスキュースキャンにより得られた第１試料像を示し、（Ｃ）は第１方向と直交する第２方向に試料をスキュースキャンしている状態を示し、（Ｄ）は（Ｂ）に示すスキュースキャンにより得られた第２試料像を示し、（Ｅ）は第１試料像の整形画像を示し、（Ｆ）は第２試料像の整形画像を示し、（Ｇ）は第１試料像の整形画像と第２試料像の整形画像とを合成して得られた合成画像を示し、（Ｈ）は合成画像と比較すべき参照画像を示している。
【図１０】本発明の実施の形態２に係わるパターン検査方法の他の例を示す説明図であって、（Ａ’）はパターンの輪郭ラインの延びる方向に対して第１方向（第１領域）に試料をスキュースキャンしている状態を示し、（Ｂ’）は（Ａ’）に示すスキュースキャンにより得られた第１試料像を示し、（Ｃ’）は第１方向と直交する第２方向（第２領域）に試料をスキュースキャンしている状態を示し、（Ｄ’）は（Ｂ’）に示すスキュースキャンにより得られた第２試料像を示し、（Ｅ’）は第１試料像の整形画像を示し、（Ｆ’）は第２試料像の整形画像を示し、（Ｇ’）は第１試料像の整形画像と第２試料像の整形画像とを合成して得られた合成画像を示し、（Ｈ’）は合成画像と比較すべき参照画像を示している。
【図１１】本発明の実施の形態２に係わるパターン検査方法の他の例を示す説明図であって、（Ａ）はパターンの輪郭ラインの延びる方向に対して第１方向（第１領域）に試料をスキュースキャンしている状態を示し、（Ｂ）は（Ａ）に示すスキュースキャンにより得られた第１試料像を示し、（Ｃ）は第１試料像の整形画像を示し、（Ｄ）は第１試料像と比較すべき参照画像を示している。
【符号の説明】
１１…試料
１１’…視野領域
４０…パターン
４０ａ…輪郭ライン
４０’…パターン像（第１試料像）
４０”…パターン像（第２試料像）
４２…参照画像
Ｄ１…第１方向
Ｄ２…第２方向

Claims

試料に電子線をスキャンさせながら照射することにより前記試料から発生する荷電粒子に基づき試料像を形成し、得られた試料像に基づき試料のパターンを検査するパターン検査方法において、
前記電子線のスキャンにスキューが与えられてスキャン領域が前記試料のパターンの輪郭ラインの延びる方向に相対回転されてずらされた第１方向に前記試料像を前記試料に対して長方形状を除く平行四辺形状にスキャンさせて第１試料像を取得し、予め記憶された参照画像と前記第１試料像とを比較して、前記試料の欠陥検査を行うことを特徴とするパターン検査方法。
前記電子線の前記試料のパターンの輪郭ライン方向に対してずらす角度を前記試料の設計データに基づき自動的に求めることを特徴とする請求項１に記載のパターン検査方法。
試料を載置する試料載置手段と、前記試料に電子線をスキャンさせながら照射する電子線照射手段と、前記電子線の照射により発生する荷電粒子に基づき試料像を形成する試料像形成手段と、前記試料の参照画像を予め記憶させた記憶手段と、得られた試料像のパターンと前記参照画像とを比較し、前記試料のパターンを検査するための演算制御手段とを有するパターン検査装置において、
前記演算制御手段は、前記電子線のスキャンにスキューが与えられてスキャン領域が前記試料のパターンの輪郭ラインの延びる方向に相対回転されてずらされた第１方向に前記電子線を前記試料に対して長方形状を除く平行四辺形状にスキャンさせるために前記電子線照射手段を制御し、得られた第１試料像と前記参照画像とを比較して前記試料のパターンを検査することを特徴とするパターン検査装置。
前記電子線の前記試料のパターンの輪郭ライン方向に対してずらす角度を前記試料の設計データに基づき自動的に求めることを特徴とする請求項３に記載のパターン検査装置。