JP3970656B2 - 透過電子顕微鏡による試料観察方法 - Google Patents
透過電子顕微鏡による試料観察方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3970656B2 JP3970656B2 JP2002089578A JP2002089578A JP3970656B2 JP 3970656 B2 JP3970656 B2 JP 3970656B2 JP 2002089578 A JP2002089578 A JP 2002089578A JP 2002089578 A JP2002089578 A JP 2002089578A JP 3970656 B2 JP3970656 B2 JP 3970656B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- magnification
- sample
- transmission electron
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/21—Focus adjustment
- H01J2237/216—Automatic focusing methods
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は試料の拡大像観察方法に関し、特に透過形電子顕微鏡を用いた試料の拡大像観察方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
透過電子顕微鏡は、試料の内部を透過した透過電子線を結像するもので、試料の内部構造を観察することができる。透過電子顕微鏡によると、材料の格子欠陥や粒界の構造、析出物の大きさや分布、あるいは格子像を観察することができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
透過電子顕微鏡による試料の透過電子線像は、同じ座標位置であっても、低倍率での視野と高倍率での視野とが一致するとは限らない。これは、透過電子顕微鏡像はレンズ固有のヒステリシスや試料の熱ドリフト、倍率変化時に発生する軸ずれの影響を受けるため、観察倍率を変更したことによって視野位置が移動してしまうためである。
【0004】
本発明は、透過電子顕微鏡を用いた試料の拡大像観察におけるこのような問題点に鑑み、倍率を変更したとき生じる視野移動を自動的に補正することのできる試料観察方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成する本発明の透過電子顕微鏡による試料観察方法は、視野探しに用いる第1の倍率と記録に用いる第2の倍率を入力するステップと、透過電子顕微鏡の倍率を前記第1の倍率に設定するステップと、試料ステージに保持された試料の透過電子線像を撮像手段で撮像し、画像表示部に前記第1の倍率の試料の透過電子線像を表示するステップと、画像表示部に表示された試料の透過電子線像上で指定された記録対象の試料ステージ座標を計算し、記憶するステップと、第1の倍率の試料の透過電子線像から記録対象の画像を切り取り、第1の画像として記憶するステップと、透過電子顕微鏡の倍率を前記第2の倍率に設定するステップと、試料ステージを前記記憶した記録対象の試料ステージ座標に移動するステップと、第1の画像と同じ画素数で第2の倍率の透過電子線像を取り込み、第2の画像として記憶するステップと、第1の画像と第2の画像の相関強度から2つの画像間の移動量を計算するステップと、移動量がゼロになるように撮像手段に対する第2の倍率の透過電子線像の位置を補正するステップと、撮像手段によって撮像された第2の倍率の透過電子線像を記録するステップとを含むことを特徴とする。
【0006】
ここで、第2の倍率で記録される試料上の領域の第1の倍率の試料の透過電子線像上でのサイズを計算するステップと、計算されたサイズの領域を表すマークを第1の倍率の透過電子線像の対応する個所に重ねて表示するステップとを更に含むのが好ましい。
【0007】
本発明の透過電子顕微鏡による試料観察方法は、また、視野探しに用いる第1の倍率を入力するステップと、透過電子顕微鏡の倍率を前記第1の倍率に設定するステップと、試料ステージに保持された試料の透過電子線像を撮像手段で撮像し、画像表示部に第1の倍率の透過電子線像を表示するステップと、画像表示部に表示された試料の透過電子線像上で指定された記録領域に関する情報を取得するステップと、取得した情報から記録領域の試料ステージ座標と記録領域を視野いっぱいに収めることのできる第2の倍率を計算し、記憶するステップと、第1の倍率の試料の透過電子線像から記録領域の画像を切り取り、第1の画像として記憶するステップと、透過電子顕微鏡の倍率を前記第2の倍率に設定するステップと、試料ステージを記憶した記録領域の試料ステージ座標に移動するステップと、第1の画像と同じ画素数で第2の倍率の透過電子線像を取り込み、第2の画像として記憶するステップと、第1の画像と第2の画像の相関強度から2つの画像間の移動量を計算するステップと、移動量がゼロになるように撮像手段に対する第2の倍率の透過電子線像の位置を補正するステップと、撮像手段によって撮像された第2の倍率の透過電子線像を記録するステップとを含むことを特徴とする。
【0008】
画像表示部に表示された試料の透過電子線像上での記録領域の指定は、例えば矩形記録領域の対角線上の2点をマウスでクリックする、あるいは記録領域を表す矩形の枠をマウスでドラッグすること等により行うことができる。
【0009】
撮像手段に対する第2の倍率の透過電子線像の位置の補正は、試料ステージを移動することにより、あるいは試料を透過した電子線を試料イメージ移動用コイルで偏向することにより行うことができる。。
【0010】
試料に照射する電子線を所定の角度だけ傾斜させたときの像の移動量を求めるステップと、像の移動量に基づいて対物電流値を補正して対物レンズのフォーカス補正を行うステップを更に含むのが好ましい。
2つの画像間の移動量は、画像表示部に表示するようにしてもよい。
【0011】
本発明の試料観察方法は、以下のような特徴を有する。
1)低倍率で撮影した画像上に記録するオブジェの座標表示が行える。
2)低倍率で撮影した画像上に記録する領域のグラフィック表示が行える。
3)自動的に観察視野ずれを補正できる。
4)自動的に焦点補正が行える。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【0013】
図1は、本発明で用いる透過型電子顕微鏡の一例の概略機能ブロック図である。なお、偏向コイルの段数は問わないが、ここでは一般的な2段の偏向コイルを用いた透過電子顕微鏡について説明する。また、以下では、観察視野を探すための操作モードを観察モード、フォーカスあわせを行うための操作モードをフォーカスモード、試料像の撮影を行うための操作モードを記録モードという。
【0014】
電子銃1から放出されて加速された電子線は第1照射レンズ2及び第2照射レンズ3によって集束され、第1偏向コイル4及び第2偏向コイル5で偏向され、対物レンズ6で結像されて、試料ステージ60に保持された試料に照射される。試料を透過した電子線は、第1電磁式試料イメージ移動用コイル7及び第2電磁式試料イメージ移動用コイル8を通り、第1中間レンズ9及び第2中間レンズ10によって拡大された後、第1投射レンズ11及び第2投射レンズ12で更に拡大されて、シンチレータ48上に試料の透過像が形成される。シンチレータ48で光像に変換された試料の透過電子像は、TVカメラ(撮像装置)49によって撮像される。TVカメラ49からの映像信号はTVカメラ制御部47、画像取り込みインターフェース51を介してマイクロプロセッサ35に取り込まれ、処理された後、CRTコントローラ38で制御されるCRT39に表示される。マイクロプロセッサ35は、DAC24〜34を介して、電子顕微鏡の各レンズ2〜12に給電する励磁電源13〜23を制御する。また、マイクロプロセッサ35には、バスを介してハードディスク等の記憶装置36、演算装置37、倍率切替用ロータリーエンコーダ42、入力用ロータリーエンコーダ43、キーボード44、RAM46、ROM47、マウス50等が接続されている。ロータリーエンコーダ42,43はI/F40,41を介してバスに接続されている。
【0015】
図2は、試料を保持する試料ステージの概念図である。試料ステージ60はメッシュ状の試料面55を備え、試料は試料面55上に保持される。また、試料ステージ60は、マイクロプロセッサ35からの指令のもとに試料ステージコントローラ57によって駆動制御されるX方向駆動モータ58及びY方向駆動モータ59によってX方向及びY方向に駆動され、試料ステージ60に保持された試料を電子線光軸に対して所望の位置に移動して観察視野を選択する。
【0016】
図3は、電子式試料イメージ移動機構の概念図である。この電子式試料イメージ移動機構は、第1電磁式試料イメージ移動用コイル7及び第2電磁式試料イメージ移動用コイル8を備え、2つのコイルを用いて試料透過電子線を偏向することにより、電子線の軸を傾斜させることなく試料像をシフトさせることができる。
【0017】
試料ステージを移動することにより視野移動を行うと、移動量を大きくとることができるが、移動精度はそれほど高くできない。一方、電子式試料イメージ移動機構を用いると、移動量は小さいが微小な視野移動を高精度に行うことができる。視野移動にあたっては、場合に応じて試料ステージを用いてもよいし、電子式試料イメージ移動機構を用いてもよい。あるいは、両者を併用してもよい。
【0018】
以下に、本発明の透過電子顕微鏡を用いた試料観察方法において採用した要素技術について説明する。
【0019】
(1)2つの画像間の移動量補正
図4に示す画像相関の例を用いて、2つの画像間の移動量(ずれ量)補正について説明する。透過電子顕微鏡像1の一部を切り取った画像を透過像3としてM×Nの画素数で記憶装置36に登録画像f1(m,n)として記録する。次に、記録モード後に取込んだ透過電子顕微鏡像2をM×Nの画素数で記憶装置に参照画像f2(m,n)として記録する。但し、どちらも自然画像とし、m=0,1,2,…,M−1;n=0,1,2,…,N−1である。
【0020】
登録画像f1(m,n)及び参照画像f2(m,n)の離散フーリエ画像F1(u,v),F2(u,v)は、それぞれ次の式(1)、(2)で定義される。但し、u=0,1,2,…,M−1;v=0,1,2,…,N−1であり、A(u,v),B(u,v)は振幅スペクトル、θ(u,v),φ(u,v)は位相スペクトルである。
【数1】
【0021】
位相相関では、2つの画像間で画像の平行移動があった場合には相関のピークの位置が移動量だけずれる。以下に移動量の導出方法を説明する。まず、原画像f2(m,n)がm方向にr′だけ移動したとして、f4(m,n)=f2(m+r',n)とする。前記式(2)を式(3)のように変形する。
【数2】
【0022】
振幅スペクトルB(u,v)を定数とすることにより、画像のコントラストに依存しない位相画像となる。f4の位相画像F'4 (u,v)は、次の式(4)となる。
【数3】
【0023】
位相画像F'1(u,v)にF'2(u,v)の複素供役を乗ずることによって、次の式(5)で表される合成画像H14(u,v)が得られる。
【数4】
【0024】
相関強度画像G14(r,s)は、合成画像H14(u,v)を逆フーリエ変換することによって次の式(6)となる。
【数5】
【0025】
式(6)より、2つの画像間でm方向に位置ずれ量r′が存在する場合、相関強度画像のピークの位置は−r′だけずれる。また、位相成分で相関計算するため、2つの画像で明るさやコントラストに違いがあっても移動量の計算が行える。2つの画像間でm方向に位置ずれ量が存在する場合は、相関強度画像の中心よりΔG(pixel)の位置にピークが発生する。例えば、図4に示すように、2つの画像71,72間でm方向に2pixelのずれがあると、合成位相画像73は2周期の波になる。これを逆フーリエ変換すると相関強度画像74となり、中心から2pixelずれた位置にピーク75が発生する。このΔG(pixel)は検出器の受光面での移動量に相当し、ΔGを試料面上の移動量Δxに変換する。検出器の受光面の径をL、受光面上での透過電子顕微鏡の倍率をM、検出器の受光面の画素数をLmとすると、試料面上の移動量Δxは次式(7)で計算される。
Δx=ΔG(pixel)×L/Lm(pixel)/M …(7)
【0026】
Δxは2つ画像71,72間の試料面上での移動量となる。同様にY方向の移動量を計算して、図3に示す電子式試料イメージ移動機構もしくは図2に示す試料ステージを用いて2つの画像71,72間の移動量が0となるように補正を行う。
【0027】
(2)フォーカス補正
図5に示すレイダイヤグラムを用いて、フォーカス補正について説明する。図5は、対物レンズ6の焦点が試料面55にあっている場合と合っていない場合のレイダイヤグラムを示したものである。
【0028】
図5(a)は対物レンズ6の焦点が試料面55に合っている場合を表し、この場合には、照射電子線52を傾斜角ゼロで試料に照射したときと、傾斜角αで試料に照射したときとで、対物レンズ6によって像面56に形成される試料の透過電子線像は移動しない。しかし、対物レンズ6の焦点が試料面55に合っていない場合には、図5(b)に示すように、試料の透過電子線像は像面56から離れた仮想像面53に結像することになるため、試料に照射する電子線52を傾斜角ゼロの状態から傾斜角αに傾斜すると、像面56で観察される試料の透過電子線像はΔXtだけ移動する。この像の移動量ΔXtを測定すると、焦点位置54からのデフォーカス量Δfを計算することができる。
【0029】
具体的には、次のような操作によりフォーカス補正を行うことができる。透過像をM×Nの画素数で記憶装置36にf1(m,n)として記録する。次に、図6に示すように、照射電子線を傾斜角αで試料に照射した透過像をM×Nの画素数で記憶装置にf2(m,n)として記録する。上記に述べた手法と同様に2つの画像間の試料面上での移動量Δxを計算する。但し、この移動量Δxには球面収差による像の移動量δが入っており、デフォーカスによる移動量は、Δxからδを引いたものである。試料面上でのδは球面収差Csと偏向角αにより次の式(8)のように表される。
δ=Cs・α3 …(8)
【0030】
以上より、デフォーカスによる像の移動量ΔXtは次式(9)で表される。
ΔXt=Δx−δ …(9)
【0031】
移動量ΔXtからデフォーカスΔfは次式(10)で計算される。
Δf=ΔXt/α …(10)
【0032】
次に、デフォーカス量Δfを対物電流値補正値ΔIに変換する。ΔfとΔIの間には、Cを定数として次式(11)で表される関係がある。従って、式(11)の関係で求まる対物電流補正値ΔIを対物電流値に加算することで、試料に焦点を合わせることができる。
ΔI=√(C/Δf) …(11)
【0033】
(3)画像上の点に対応する試料面上の座標の計算
また、式(7)を用いて画像上の任意の点(M1,N1)に対応する試料面上の座標(X2,Y2)を計算することができる。図7に示すように、画像上の点(M1,N1)は、画像中心を原点とした画素(pixel)のずれ量によって表すことができる。画像中心の試料面上での座標を(X1,Y1)、検出器の受光面の径をL、受光面上での透過電子顕微鏡の倍率をM、検出器の受光面の画素数をLmとすると、画像上の任意の点(M1,N1)に対応する試料面上の座標(X2,Y2)は式(12)によって表される。
(X2,Y2)={X1+M1×L/Lm/M,Y1+N1×L/Lm} …(12)
【0034】
(4)透過像上における記録領域の表示
観察モードの倍率をM、フォーカスモードの倍率をMfとするとき、フォーカスモードにおいて観察領域を透過像1上に重ねて表示する方法について図7を用いて説明する。フォーカスモードにおける観察領域の大きさ{Lfx(pixel),Lfy(pixel)}は、次式(13)で表される。
{Lfx,Lfy}={Lm×M/Mf,Lm×M/Mf} …(13)
【0035】
同様に記録モード時での倍率をMrとすると、観察モードで取得した透過像画像上における記録領域の大きさ{Lrx(pixel),Lry(pixel)}は、次式(14)で表される。
{Lrx,Lry}={Lm×M/Mr,Lm×M/Mr} …(14)
【0036】
(5)2つの画像間の一致度
次に図8を用いて、2つの画像間の一致の精度について説明する。位相成分のみを用いた相関計算では、数学上、位相のみを使用しているため相関強度に現れるピークはδピークとなる。例えば2つの画像間で1.5画素ずれると、合成画像は1.5周期の波となる。これを逆フーリエ変換すると、相関強度画像の中心より1.5pixelずれた位置にδピークが立つが、1.5の画素は存在しないので、δピークの値は1pixel目と2pixel目に振り分けられる。ここで一致度が高い画素の重心を取って、この振り分けられた値から真のδピーク位置を計算すると1/10pixel程度の精度で計算結果が得られる。また、相関強度画像がδピークのため、2つの画像間における類似性の評価を相関強度画像のピークの高さによって行なう。画像の画素数をm×n、ピークの高さをPeak(pixel)とすると一致度(%)は次式(15)で表される。
一致度(%)=(Peak)/(m×n)×100 …(15)
例えば、処理画素数が128pixel×128pixelでPeakが16384(pixel)の場合は、
一致度=(16384)/(128×128)×100=100(%)となる。
【0037】
(6)観察モードで指定した記録領域の大きさから記録モードの倍率算出
次に図9を用いて、観察モードにおいて記録領域の指定条件として矩形領域の対角線上にある2つの頂点の座標が与えられたとき、それから記録領域の中心座標と記録モードにおける最適な倍率を算出する方法について説明する。
【0038】
画像上で指定された矩形領域の対角線上に位置する2つの頂点(M4,N4),(M5,N5)より矩形領域のX方向の画素数LsxとY方向の画素数Lsyは、次式(16)から計算される。
{Lsx,Lsy}={|M5-M4|,|N5-N4|} …(16)
【0039】
画素数{Lsx,Lsy}より記録領域の画像中心(M6,N6)を計算する。画像中心(M6,N6)は、M5−M4≧0,N5-N4≧0の場合には式(17)、M5−M4<0,N5-N4≧0の場合には式(18)、M5−M4≧0,N5-N4<0の場合には式(19)、M5−M4<0,N5-N4<0の場合には式(20)に示すようになる。
(M6,N6)=(M4+(Lsx/2),N4+(Lsy/2)) …(17)
(M6,N6)=(M4−(Lsx/2),N4+(Lsy/2)) …(18)
(M6,N6)=(M4+(Lsx/2),N4−(Lsy/2)) …(19)
(M6,N6)=(M4−(Lsx/2),N4−(Lsy/2)) …(20)
【0040】
記録領域の画像中心(M6,N6)に対応する試料面上の座標(X6,Y6)は、次式(21)により計算される。
(X6,Y7)={X1+M6×L/Lm/M,Y1+N6×L/Lm} …(21)
【0041】
次に、任意の点(M4,N4)、(M5,N5)で決定される領域より、その領域を観察できる倍率M2の計算を行う。なお、ここにはLsx=LsyとしてX方向のみ計算を行う場合を示す。検出器の受光面の画素数Lmとすると、倍率M2は式(22)で表される。
M2=Lm/Lsx …(22)
以下に、上記の要素技術を用いた試料観察方法の例について説明する。
【0042】
図10は、本発明による試料観察手順の一例を示すフローチャートである。
オペレータは、はじめに観察モードの倍率、フォーカスモードの倍率、記録モードの倍率を、それぞれキーボード44又は倍率変更用ロータリーエンコーダー42より設定する(S11)。設定された各モードの倍率はRAM45に記憶される。
【0043】
次に、オペレータは、キーボード44若しくは入力用エンコーダ43を用いてモード選択を行い、観察モードに移る(S12)。観察モードに移ると、マイクロプロセッサ35は、透過電子顕微鏡の倍率がRAM45に記憶された観察モードの倍率となるように、予めROM46に記憶してあるレンズデータから必要なデータをDAC24,25,28,31〜34に出力してアナログ信号に変換する。DAC24,25,28,31〜34は励磁電源13,14,17,20〜23にアナログ信号を出力し、各励磁電源はそれぞれのレンズ系2,3,6,9〜12のレンズコイルに電流を出力する。
【0044】
こうして設定された所望の観察倍率のもとで、シンチレータ48に投射された試料の拡大透過像は、TVカメラ制御部47による制御の下にTVカメラ49で撮像され、CRTコントローラ38を介してCRT39上に画像表示される。オペレータは、試料ステージ60を駆動して視野探しを行う。記録するオブジェを含む視野が見つかったなら、TVカメラ49で撮像しているその視野の画像を、画像取込みインターフェース51により取り込み、透過像1として記憶装置36に記憶する。次に、試料ステージの位置データを用いて、視野中心の座標を座標(X1,Y1)として記憶装置36に記憶する(S13)。このとき、CRT39上に表示されたナビゲーション・ウインドウには、図11に示すように、試料全体に対する観察視野の位置が表示される。
【0045】
オペレータは、図7に示すように、CRT39に表示された画像(透過像1)上で記録するオブジェをマウス50を用いてクリックし、記録を行う領域と座標位置を指定する。マウスでクリックした表示画像上の点(M1,N1)から、それに対応する試料面上での座標(X2,Y2)を、演算処理装置37を用いて上式(12)に従って計算する(S14)。
【0046】
次に、設定された記録倍率により記録領域{Lrx(pixel),Lry(pixel)}を上式(14)に従って計算し、その記録領域に相当する大きさの枠を透過像1の上に重ねてCRT39に表示する(S15)。ここで目的とするオブジェが記録モードにおける表示領域を超えてしまっている場合など、必要があれば再度、記録倍率をキーボード44もしくは倍率変更用ロータリーエンコーダー42を用いて入力し、変更した記録倍率に基づく記録領域の枠を透過像1の上に重ね合せて表示する(S16,17)。
【0047】
次に、図12に示すように、フォーカスを合せる透過像1上のオブジェをマウス50でクリックして座標位置を指定する(S18)。ステップ14と同様にして、この透過像1上で指定した点に対応する試料面上の座標(X3,Y3)を演算処理装置37を用いて計算する。計算された試料面上の座標(X3,Y3)は、RAM45に記憶される。次に、式(13)により観察領域{Lrx(pixel),Lry(pixel)}を計算して透過像1上に重ねて表示する(S19)。フォーカスモード倍率を変更する場合は、ステップ21に移って新しいフォーカスモード倍率を入力する。
【0048】
次に、オペレータは、キーボード44若しくは入力用エンコーダ43を用いてモード選択を行い、フォーカスモードに切り替える(S22)。フォーカスモードが選択されると、マイクロプロセッサ35は、RAM45に記憶された座標位置(X3,Y3)をもとに試料ステージコントローラ57に指令し、ステップ28で指定したフォーカス合わせ用のオブジェが視野中心に位置するように試料ステージ60を移動させる。マイクロプロセッサ35は、また、RAM45に記憶しているフォーカスモード時の倍率をCRT39上に表示させると共に、透過電子顕微鏡の倍率が設定されているフォーカスモード倍率となるように、ROM46に記憶してあるレンズデータを参照して必要なデータをDAC24,25,28,31〜34に出力する。DAC24,25,28,31〜34は励磁電源13,14,17,20〜23にアナログ信号を出力し、各励磁電源はそれぞれのレンズ系2,3,6,9〜12のレンズコイルに電流を出力する。
【0049】
次に、フォーカス合わせを行う(S23)。フォーカス合わせは、上述の手順によって行うことができる。すなわち、照射電子線を傾斜角ゼロで試料に照射した透過像をM×Nの画素数で記憶装置にf1(m,n)として記録すると共に、傾斜角αで試料に照射した透過像をM×Nの画素数で記憶装置にf2(m,n)として記録し、2つの画像f1(m,n),f2(m,n)間の試料面上での移動量(ずれ量)Δxを計算する。この移動量Δxをもとに、上式(8)〜(11)に従って対物電流補正値ΔIを求める。そして、求めた対物電流補正値ΔIを対物電流値に加算することで試料に焦点を合わせることができる。
【0050】
傾斜角αでの電子線照射は、図6に示すように、2段の偏向コイル4,5により電子線を傾斜して偏向角αとなる偏向データをROM46よりDAC26,27に出力し、DAC26,27から励磁電源15,16にアナログ信号を出力して偏向コイル4,5に電流を流すことにより行うことができる。また、対物電流補正値ΔIはDAC28に出力してレンズデータをアナログ信号に変換する。DAC28は、励磁電源17にアナログ信号を出力して対物レンズコイル6に電流を出力させる。
【0051】
次に、オペレータは、キーボード44若しくは入力用エンコーダ43を用いてモード選択を行い、記録モードに切り替える(S24)。記録モードが選択されると、マイクロプロセッサ35は、RAM45に記憶された試料面上の座標(X2,Y2)が視野中心に位置するように、試料ステージコントローラ57に指令して試料ステージ60を移動させる。マイクロプロセッサ35は、また、RAM45に記憶していた記録モード倍率をCRTコントローラ38を用いてCRT39上に表示させる。同時に、透過電子顕微鏡の倍率がその記録モード倍率となるように、ROM46に記憶してあるレンズデータから必要なデータをDAC24,25,28,31〜34に出力する。DAC24,25,28,31〜34は励磁電源13,14,17,20〜23にアナログ信号を出力し、各励磁電源はそれぞれのレンズ系2,3,6,9〜12のレンズコイルに電流を出力することによって設定した倍率を実現する。
【0052】
次のステップ25では、透過像1より、ステップ15で計算された記録領域の画像を切り出し、透過像3としてRAM45に記憶する。また、TVカメラ制御部47を用いてシンチレータ48に投射された高倍率透過像をTVカメラ49で取込み、画像取込みインターフェース51より透過像3と同じ画素数の透過像2として記憶装置36に記憶する。透過像2の画素数を透過像3の画素数と同じにするには、ビニング処理を行う。
【0053】
そして、演算装置37を用いて透過像2と透過像3の移動量を計算する(S26)。具体的には、透過像2と透過像3を前記式(1)から(7)によって説明した方法に従って比較し、透過像2と透過像3の位置ずれ(移動量)を計算する。移動量がゼロでない場合には、マイクロプロセッサ35は、移動量がゼロとなるように補正を行う(S27,S28)。具体的には、ステップ26で計算された移動量をもとに、透過像3の位置を画像中心に移動させるのに必要なデータをDAC29,30に送り、励磁電源18,19から電磁式試料イメージ移動用コイル7,8に通電して、シンチレータ48に投影される試料の拡大透過像を移動させる。あるいは、試料ステージコントローラ57に指令して、透過像3が画像中心に位置するように試料ステージ60を移動させる。
【0054】
ステップ27の判定において移動量がゼロであれば、ステップ24で指定した記録オブジェの拡大像が視野中心に一致しているため、次のステップ29に進んで透過像を記録する。このようにして、視野探しのための観察モードと試料の拡大透過像記録のための記録モードにおいて透過電子顕微鏡の倍率が異なっていても、観察モードで指定した記録オブジェを自動的に視野中心に位置づけて、その高倍率像を撮像し、記録することができる。なお、ステップ27においては、式(15)によって一致度も計算し、一致度によって移動量の値の信頼性を判定するようにしてもよい。例えば、移動量がゼロであっても一致度が非常に小さい場合には、透過像2と透過像3とが全く別の場所の像である可能性がある。従って、一致度に閾値を設定しておき、ステップ27で計算された一致度が設定された閾値より小さい場合には、通常の処理を中止し、警報の鳴らしたり警告を表示したりするようにしてもよい。後述する他の実施の形態においても、移動量がゼロかどうかの判定の際に、同時に一致度についても判定を行い、一致度が低い場合には同様の処置をとるようにすることができる。
【0055】
図13は、本発明による試料観察手順の他の例を示すフローチャートである。この試料観察手順は、記録モードの倍率を指定せず自動的に決定する点で、図10にて説明した手順と異なる。その他の点では図10と実質的に同じであり、ここでは図10と異なる個所だけを説明する。
【0056】
オペレータは、はじめに観察モードの倍率とフォーカスモードの倍率を、キーボード44又は倍率変更用ロータリーエンコーダー42を用いて設定する(S31)。設定された各モードの倍率はRAM45に記憶される。ステップ32とステップ33の処理は、図10のステップ12とステップ13に関して説明した処理と実質的に同じである。
【0057】
次に、オペレータは、マウス等を用いて透過像1の上で記録領域を指定する(S34)。記録領域の指定は、例えば図9に示すように、矩形状の記録領域の左上角と右下角、あるいは右上角と左下角というように、記録領域を囲む矩形の対角線位置にある2つの頂点を指定することによって行うことができる。次に、指定された記録領域の大きさから、その領域全体の拡大像をTVカメラ49で撮像するための最大倍率、すなわち記録モード倍率を計算する(S35)。この記録モード倍率の計算は、上式(16)から(22)を用いて説明した方法によって行うことができる。式(22)によって計算された記録モード倍率M2はRAM45に記憶される。
【0058】
続くステップ36からステップ41までで行われるフォーカス合わせの処理は、図10のステップ18からステップ23に関して説明した処理と実質的に同じである。フォーカス合わせが終了したあと、ステップ42からステップ46で行われる記録モードの処理及びステップ47で行われる透過像記録処理も、RAM45に記憶されている記録モード倍率がオペレータが設定した倍率(図10の場合)であるか、装置によって自動的に設定・記憶されたものであるか(図13の場合)の違いを除けば、図10のステップ24からステップ29に関して説明した処理と実質的に同じである。
【0059】
このようにして、記録モードの倍率を指定しない図13に示した試料観察手順によっても、視野探しのための観察モードと試料の拡大透過像記録のための記録モードで透過電子顕微鏡の倍率が異なっていても、観察モードで指定した記録オブジェを自動的に視野中心に位置づけて、その高倍率像を撮像し、記録することができる。
【0060】
図14は、本発明による試料観察手順の更に他の例を示すフローチャートである。これまで図10あるいは図13によって説明した試料観察手順は、最初にフォーカス合わせを行い、その後、透過電子顕微鏡の倍率を記録モード倍率に設定し、記録領域の高倍率像が視野中心に位置するように試料像の視野中心からの移動量を補正していた。それに対して、ここで説明する試料観察手順は、透過電子顕微鏡の倍率を記録モード倍率に設定し、最初に記録領域の高倍率像が視野中心に位置するように試料像の視野中心からの移動量を補正し、その後、記録モード倍率のままフォーカス合わせを行う例である。
【0061】
オペレータは、はじめに観察モードの倍率及び記録モードの倍率をキーボード44もしくは倍率変更用ロータリーエンコーダー42より設定する(S51)。設定された各モードの倍率はRAM45に記憶される。
【0062】
次に、オペレータは、キーボード44若しくは入力用エンコーダ43を用いてモード選択を行い、観察モードに移る(S52)。観察モードに移ると、マイクロプロセッサ35は、透過電子顕微鏡の倍率がRAM45に記憶された観察モードの倍率となるように、予めROM46に記憶してあるレンズデータから必要なデータをDAC24,25,28,31〜34に出力してアナログ信号に変換する。DAC24,25,28,31〜34は励磁電源13,14,17,20〜23にアナログ信号を出力し、各励磁電源はそれぞれのレンズ系2,3,6,9〜12のレンズコイルに電流を出力する。
【0063】
こうして設定された所望の観察倍率のもとで、シンチレータ48に投射された試料の拡大透過像は、TVカメラ制御部47による制御の下にTVカメラ49で撮像され、CRTコントローラ38を介してCRT39上に画像表示される。オペレータは、試料ステージ60を駆動して視野探しを行う。記録するオブジェを含む視野が見つかったなら、TVカメラ49で撮像しているその視野の画像を、画像取込みインターフェース51により取り込み、透過像1として記憶装置36に記憶する。次に、試料ステージの位置データを用いて、視野中心の座標を座標(X1,Y1)として記憶装置36に記憶する(S53)。
【0064】
オペレータは、図7に示すように、CRT39に表示された画像(透過像1)上で記録するオブジェをマウス50を用いてクリックし、記録を行う領域と座標位置を指定する。マウスでクリックした表示画像上の点(M1,N1)から、それに対応する試料面上での座標(X2,Y2)を、演算処理装置37を用いて上式(12)に従って計算する(S54)。
【0065】
次に、設定された記録倍率により記録領域{Lrx(pixel),Lry(pixel)}を上式(14)に従って計算し、その記録領域に相当する大きさの枠を透過像1の上に重ねてCRT39に表示する(S55)。ここで目的とするオブジェが記録モードにおける表示領域を超えてしまっているなどにより必要な場合には再度、記録倍率をキーボード44もしくは倍率変更用ロータリーエンコーダー42を用いて入力し、変更した記録倍率に基づく記録領域の枠を透過像1の上に重ね合せて表示する(S56,57)。
【0066】
次に、オペレータは、キーボード44若しくは入力用エンコーダ43を用いてモード選択を行い、記録モードに切り替える(S58)。記録モードが選択されると、マイクロプロセッサ35は、RAM45に記憶された試料面上の座標(X2,Y2)が視野中心に位置するように、試料ステージコントローラ57に指令して試料ステージ60を移動させる。マイクロプロセッサ35は、また、RAM45に記憶していた記録モード倍率をCRTコントローラ38を用いてCRT39上に表示させる。同時に、透過電子顕微鏡の倍率が先に設定した記録モード倍率となるように、ROM46に記憶してあるレンズデータから必要なデータをDAC24,25,28,31〜34に出力する。DAC24,25,28,31〜34は励磁電源13,14,17,20〜23にアナログ信号を出力し、各励磁電源はそれぞれのレンズ系2,3,6,9〜12のレンズコイルに電流を出力することによって設定した倍率を実現する。
【0067】
次のステップ59では、透過像1より、ステップ55で計算された記録領域の画像を切り出し、透過像3としてRAM45に記憶する。また、TVカメラ制御部47を用いてシンチレータ48に投射された高倍率透過像をTVカメラ49で取込み、画像取込みインターフェース46より透過像3と同じ画素数の透過像2として記憶装置36に記憶する。透過像2の画素数を透過像3の画素数と同じにするには、ビニング処理を行う。
【0068】
そして、演算装置35を用いて透過像2と透過像3の移動量を計算する(S60)。具体的には、透過像2と透過像3を前記式(1)から(7)によって説明した方法に従って比較し、透過像2と透過像3の位置ずれ(移動量)を計算する。2つの画像間のずれ量(移動量)を計算するに当たっては、フォーカスが完全合っていることを必ずしも必要としない。移動量がゼロでない場合には、マイクロプロセッサ35は、移動量がゼロとなるように補正を行う(S61,S62)。具体的には、ステップ60で計算された移動量をもとに、透過像3の位置を画像中心に移動させるのに必要なデータをDAC29,30に送り、励磁電源18,19から電磁式試料イメージ移動用コイル7,8に通電して、シンチレータ48に投影される試料の拡大透過像を移動させる。あるいは、試料ステージコントローラ57に指令して、透過像3が画像中心にくるように試料ステージ60を移動させる。
【0069】
ステップ61の判定において移動量がゼロであれば、ステップ54で指定した記録オブジェの拡大像の位置が視野中心に一致しているため、次のステップ63に進んでフォーカス合わせを行う。フォーカス合わせは手動で行ってもよいが、前述の方法で自動的に行ってもよい。すなわち、照射電子線を傾斜角ゼロで試料に照射した透過像をM×Nの画素数で記憶装置にf1(m,n)として記録すると共に、傾斜角αで試料に照射した透過像をM×Nの画素数で記憶装置にf2(m,n)として記録し、2つの画像f1(m,n),f2(m,n)間の試料面上の移動量Δxを計算する。この移動量Δxをもとに、上式(8)〜(11)に従って対物電流補正値ΔIを求める。そして、求めた対物電流補正値ΔIを対物電流値に加算することで試料に焦点を合わせることができる。
【0070】
最後にステップ64において、透過像を記録する。このようにして、視野探しのための観察モードと試料の拡大透過像記録のための記録モードにおいて透過電子顕微鏡の倍率が異なっても、観察モードで指定した記録オブジェを自動的に視野中心に位置づけて、その高倍率像を撮像し、記録することができる。
【0071】
図15は、本発明による試料観察手順の他の例を示すフローチャートである。この試料観察手順は、記録モードの倍率を指定せず自動的に決定する点で、図14にて説明した手順と異なる。その他の大部分の点は図14と実質的に同じであり、ここでは図14で説明した処理と同じ処理はそれを引用することによって重複する説明を省略する。
【0072】
オペレータは、はじめに観察モードの倍率を、キーボード44又は倍率変更用ロータリーエンコーダー42を用いて設定する(S71)。設定された倍率はRAM45に記憶される。ステップ72とステップ73の処理は、図14のステップ52とステップ53に関して説明した処理と実質的に同じである。
【0073】
次に、オペレータは、透過像1上で記録領域を指定する(S74)。記録領域の指定は、例えば図9に示すように、矩形状の記録領域の左上角と右下角、あるいは右上角と左下角のように、記録領域を囲む矩形の対角線位置にある2つの頂点を指定することによって行うことができる。次に、指定された記録領域の大きさから、その領域全体の拡大像をTVカメラ49で撮像するための最大倍率、すなわち記録モード倍率を計算する(S75)。この記録モード倍率の計算は、上式(16)から(22)を用いて説明した方法によって行うことができる。式(22)によって計算された記録モード倍率M2はRAM45に記憶される。
【0074】
続くステップ76の処理からステップ80で行われる記録モードの処理は、RAM45に記憶されている記録モード倍率がオペレータが設定した倍率(図14の場合)であるか、装置によって自動的に設定・記憶されたものであるか(図15の場合)の違いを除けば、図10のステップ24からステップ29に関して説明した処理と実質的に同じである。また、ステップ81で行われるフォーカス合わせの処理は、図14のステップ63に関して説明した処理と実質的に同じである。最後に、ステップ82で試料の記録領域の高倍率透過電子線像を記録する。
【0075】
このようにして、記録モードの倍率を指定しない図15に示した試料観察手順によっても、観察モードで指定した記録オブジェを自動的に視野中心に位置づけて、その高倍率像を撮像し、記録することができる。
【0076】
図16は、本発明による試料観察手順の他の例を示すフローチャートである。この試料観察手順は、フォーカス合わせの処理(ステップ96,97)を記録モードに切り替える処理(ステップ98)の前に行う点で図15にて説明した試料観察手順と異なる。その他の処理の内容は図15で説明した処理あるいは図10、図13、図14を用いてこれまで説明してきた処理と実質的に同じであるため、対応するステップ番号を引用することによって重複する説明を省略する。
【0077】
オペレータは、はじめに観察モードの倍率とフォーカスモードの倍率を、キーボード44又は倍率変更用ロータリーエンコーダー42を用いて設定する(S91)。設定された倍率はRAM45に記憶される。続くステップ92からステップ95までの処理は、図15のステップ72からステップ75に関して説明した処理と実質的に同じである。
【0078】
次に、オペレータは、キーボード44若しくは入力用エンコーダ43を用いてモード選択を行い、フォーカスモードに切り替え(S96)、フォーカス合わせを行う(S97)。ステップ96,97の処理内容は、例えば図10のステップ22,23に関して説明した処理内容と実質的に同じである。
【0079】
オペレータは、次に記録モードに切り替え(S98)、拡大像の移動補正に関する処理を行った後、透過像を記録する。ステップ98からステップ103の処理内容は、例えば図13のステップ42からステップ47に関して説明した処理内容と実質的に同じである。
【0080】
【発明の効果】
本発明によると、透過電子顕微鏡の高精度の試料位置合せが可能となり、透過電子顕微鏡を用いた試料観察が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明で用いる透過型電子顕微鏡の一例の概略機能ブロック図。
【図2】試料ステージの説明図。
【図3】電子式試料イメージ移動機構の概念図。
【図4】画像相関の説明図。
【図5】透過電子顕微鏡のレイダイアグラム。
【図6】偏向コイルの説明図。
【図7】記録領域の表示の説明図。
【図8】相関強度の説明図。
【図9】記録領域の指定方法の説明図。
【図10】本発明による試料観察手順の一例を示すフローチャート。
【図11】観察視野の表示の概念図。
【図12】フォーカス領域の表示の説明図。
【図13】本発明による試料観察手順の他の例を示すフローチャート。
【図14】本発明による試料観察手順の更に他の例を示すフローチャート。
【図15】本発明による試料観察手順の他の例を示すフローチャート。
【図16】本発明による試料観察手順の他の例を示すフローチャート。
【符号の説明】
1:電子銃、2:第1照射レンズ、3:第2照射レンズ、4:第1偏向コイル、5:第2偏向コイル、6:対物レンズコイル、7:第1電磁式試料イメージ移動用コイル、8:第2電磁式試料イメージ移動用コイル、9:第1中間レンズ、10:第2中間レンズ、11:第1投射レンズ、12:第2投射レンズ、13〜23:励磁電源、24〜34:DAC、35:マイクロプロッセサ、36:記憶装置、37:演算装置、38:CRTコントローラ、39:CRT、40,41:I/F、42:倍率切替用ロータリーエンコーダ、43:入力用ロータリーエンコーダ、44:キーボード、45:RAM、46:ROM、47:TVカメラ制御部、48:シンチレータ、49:TVカメラ、50:マウス、51:画像取込みインターフェース、53:仮想像面、54:焦点位置、55:試料面、56:像面、57:試料ステージコントローラ、58:X方向駆動モータ、59:Y方向駆動モータ、60:試料ステージ
Claims (7)
- 視野探しに用いる第1の倍率と記録に用いる第2の倍率を入力するステップと、
透過電子顕微鏡の倍率を前記第1の倍率に設定するステップと、
試料ステージに保持された試料の透過電子線像を撮像手段で撮像し、画像表示部に前記第1の倍率の試料の透過電子線像を表示するステップと、
前記画像表示部に表示された試料の透過電子線像上で指定された記録対象の試料ステージ座標を計算し、記憶するステップと、
前記第1の倍率の試料の透過電子線像から前記記録対象の画像を切り取り、第1の画像として記憶するステップと、
透過電子顕微鏡の倍率を前記第2の倍率に設定するステップと、
試料ステージを前記記憶した記録対象の試料ステージ座標に移動するステップと、
前記第2の倍率で撮像された透過電子線像の所定画素数の画素値を1画素の画素値として圧縮して読み出して、前記第1の画像と同じ画素数の第2の画像として記憶するステップと、
前記第1の画像と第2の画像の相関強度から2つの画像間の移動量を計算するステップと、
前記移動量がゼロになるように前記撮像手段に対する前記第2の倍率の透過電子線像の位置を補正するステップと、
前記撮像手段によって撮像された前記第2の倍率の透過電子線像を記録するステップと
を含むことを特徴とする透過電子顕微鏡による試料観察方法。 - 請求項1記載の試料観察方法において、
前記第2の倍率で記録される試料上の領域の前記第1の倍率の試料の透過電子線像上でのサイズを計算するステップと、
前記計算されたサイズの領域を表すマークを第1の倍率の透過電子線像の対応する個所に重ねて表示するステップと
を更に含むことを特徴とする試料観察方法。 - 視野探しに用いる第1の倍率を入力するステップと、
透過電子顕微鏡の倍率を前記第1の倍率に設定するステップと、
試料ステージに保持された試料の透過電子線像を撮像手段で撮像し、画像表示部に前記第1の倍率の透過電子線像を表示するステップと、
前記画像表示部に表示された試料の透過電子線像上で指定された記録領域に関する情報を取得するステップと、
前記取得した情報から前記記録領域の試料ステージ座標と前記記録領域を視野いっぱいに収めることのできる第2の倍率を計算し、記憶するステップと、
前記第1の倍率の試料の透過電子線像から前記記録領域の画像を切り取り、第1の画像として記憶するステップと、
透過電子顕微鏡の倍率を前記第2の倍率に設定するステップと、
試料ステージを前記記憶した記録領域の試料ステージ座標に移動するステップと、
前記第2の倍率で撮像された透過電子線像の所定画素数の画素値を1画素の画素値として圧縮して読み出して、前記第1の画像と同じ画素数の第2の画像として記憶するステップと、
前記第1の画像と第2の画像の相関強度から2つの画像間の移動量を計算するステップと、
前記移動量がゼロになるように前記撮像手段に対する前記第2の倍率の透過電子線像の位置を補正するステップと、
前記撮像手段によって撮像された前記第2の倍率の透過電子線像を記録するステップと
を含むことを特徴とする透過電子顕微鏡による試料観察方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項記載の試料観察方法において、前記撮像手段に対する前記第2の倍率の透過電子線像の位置の補正は、前記試料ステージを移動することにより、あるいは試料を透過した電子線を試料イメージ移動用コイルで偏向することにより行うことを特徴とする試料観察方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項記載の試料観察方法において、
試料に照射する電子線を所定の角度だけ傾斜させたときの像の移動量を求めるステップと、
前記像の移動量に基づいて対物電流値を補正して対物レンズのフォーカス補正を行うステップと
を更に含むことを特徴とする試料観察方法。 - 請求項1〜5のいずれか1項記載の試料観察方法において、前記2つの画像間の移動量を表示することを特徴とする試料観察方法。
- 電子線を放出するための電子源と、前記電子線を集束するための照射レンズと、前記電子線によって照射される試料を保持する試料ステージと、撮像手段と、試料を透過した電子線を前記撮像手段に投影する投射レンズと、前記撮像手段によって撮像された2つの画像間の移動量を計算する演算装置を備え、
前記演算装置は、第1の倍率で取得された第1の画像と、
前記第1の倍率より高倍率の第2の倍率で取得されると共に所定画素数の画素値を1画素の画素値として圧縮して前記第1の画像と同じ画素数とされた第2の画像との相関強度から前記移動量を計算することを特徴とする透過電子顕微鏡。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002089578A JP3970656B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 透過電子顕微鏡による試料観察方法 |
US10/353,039 US6777679B2 (en) | 2002-03-27 | 2003-01-29 | Method of observing a sample by a transmission electron microscope |
DE10313593A DE10313593B8 (de) | 2002-03-27 | 2003-03-26 | Verfahren zum Betrachten einer Probe mittels eines Transmissionselektronenmikroskops und entsprechendes Transmissionselektronenmikroskop |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002089578A JP3970656B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 透過電子顕微鏡による試料観察方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003287508A JP2003287508A (ja) | 2003-10-10 |
JP3970656B2 true JP3970656B2 (ja) | 2007-09-05 |
Family
ID=28449524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002089578A Expired - Fee Related JP3970656B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 透過電子顕微鏡による試料観察方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6777679B2 (ja) |
JP (1) | JP3970656B2 (ja) |
DE (1) | DE10313593B8 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4262184B2 (ja) * | 2004-10-12 | 2009-05-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 透過型電子顕微鏡およびそれを用いた像観察方法 |
US20070236489A1 (en) * | 2006-01-30 | 2007-10-11 | Jung Edward K | Positional display elements |
JP2007212288A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Toshiba Corp | パターン検査方法、パターン検査装置およびプログラム |
US8155391B1 (en) | 2006-05-02 | 2012-04-10 | Geoeye Solutions, Inc. | Semi-automatic extraction of linear features from image data |
US9600740B2 (en) * | 2006-05-02 | 2017-03-21 | Digitalglobe, Inc. | System and methods for semi-automated editing of ortho-mosaics built from remotely-sensed imagery |
JP4957152B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2012-06-20 | 富士通株式会社 | 測長方法 |
JP4538472B2 (ja) * | 2007-03-15 | 2010-09-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 画像形成方法、及び電子顕微鏡 |
JP4825734B2 (ja) | 2007-06-15 | 2011-11-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 異種計測装置間のキャリブレーション方法及びそのシステム |
JP5978075B2 (ja) * | 2012-09-05 | 2016-08-24 | 日本電子株式会社 | 試料観察方法および電子顕微鏡 |
WO2020144838A1 (ja) * | 2019-01-11 | 2020-07-16 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置及びその制御方法 |
US20200311886A1 (en) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Method for determining an image recording aberration |
CN111766694A (zh) * | 2020-07-20 | 2020-10-13 | 深圳市创能亿科科技开发有限公司 | 显微镜切片位置的采集方法和系统 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0782827B2 (ja) * | 1985-04-15 | 1995-09-06 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
JPH0654639B2 (ja) * | 1987-02-06 | 1994-07-20 | 株式会社日立製作所 | 透過形電子顕微鏡における電子線制御装置 |
JPH02152154A (ja) * | 1988-12-02 | 1990-06-12 | Jeol Ltd | 透過型電子顕微鏡 |
JPH03194839A (ja) * | 1989-12-25 | 1991-08-26 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡における焦点調整方法及び非点収差補正方法 |
US5300776A (en) * | 1992-09-16 | 1994-04-05 | Gatan, Inc. | Autoadjusting electron microscope |
EP0840940B1 (de) * | 1995-07-25 | 2000-06-14 | Nmi Naturwissenschaftliches Und Medizinisches Intitut An Der Universität Tübingen In Reutlingen | Verfahren und vorrichtung zur ionendünnung in einem hochauflösenden transmissionselektronenmikroskop |
JPH10172490A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-06-26 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JPH11135046A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-21 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
JPH11265674A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-09-28 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線照射装置 |
JP2000030652A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-28 | Hitachi Ltd | 試料の観察方法およびその装置 |
JP2000323081A (ja) * | 1999-05-11 | 2000-11-24 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
JP4069545B2 (ja) * | 1999-05-19 | 2008-04-02 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置 |
JP4095743B2 (ja) | 1999-10-19 | 2008-06-04 | 株式会社日立製作所 | 透過型電子顕微鏡 |
JP3813798B2 (ja) * | 2000-07-13 | 2006-08-23 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡 |
US6573502B2 (en) * | 2001-03-12 | 2003-06-03 | Jeol Ltd. | Combined electron microscope |
US6617580B2 (en) * | 2001-12-27 | 2003-09-09 | Ut-Battelle, L.L.C. | Electron holography microscope |
-
2002
- 2002-03-27 JP JP2002089578A patent/JP3970656B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-01-29 US US10/353,039 patent/US6777679B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-03-26 DE DE10313593A patent/DE10313593B8/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030183762A1 (en) | 2003-10-02 |
DE10313593B4 (de) | 2010-07-15 |
DE10313593B8 (de) | 2010-12-09 |
US6777679B2 (en) | 2004-08-17 |
JP2003287508A (ja) | 2003-10-10 |
DE10313593A1 (de) | 2003-10-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070023651A1 (en) | Methods for sample preparation and observation, charged particle apparatus | |
JP3970656B2 (ja) | 透過電子顕微鏡による試料観察方法 | |
JP4383950B2 (ja) | 荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JP2009110734A (ja) | 荷電粒子線顕微装置及び顕微方法 | |
JP5205306B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
US10867771B2 (en) | Electron microscope and specimen tilt angle adjustment method | |
JP5798099B2 (ja) | 画質調整方法、プログラムおよび電子顕微鏡 | |
JP2002270126A (ja) | 電子線装置、電子線装置用データ処理装置、電子線装置のステレオデータ作成方法 | |
JP4095743B2 (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
JP4538472B2 (ja) | 画像形成方法、及び電子顕微鏡 | |
JP2004271269A (ja) | パターン検査方法及びパターン検査装置 | |
JPH07302564A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
JPH11288679A (ja) | 透過型電子顕微鏡における自動試料傾斜装置 | |
JP7042361B2 (ja) | 撮像装置 | |
JP4397730B2 (ja) | 電子顕微鏡の絞り補正方法及び装置 | |
JP4011455B2 (ja) | 透過電子顕微鏡による試料観察方法 | |
JP4431624B2 (ja) | 荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JP2004271270A (ja) | パターン検査方法及びパターン検査装置 | |
JP4275786B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP4634324B2 (ja) | 透過電子顕微鏡 | |
US20140061456A1 (en) | Coordinate correcting method, defect image acquiring method and electron microscope | |
WO2021186637A1 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP4677109B2 (ja) | 基準テンプレートの製造方法及び当該方法によって製造された基準テンプレート | |
JP4841407B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP2006190693A (ja) | 荷電粒子線装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050621 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061024 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070522 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110615 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110615 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120615 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120615 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130615 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |