JP4397730B2 - 電子顕微鏡の絞り補正方法及び装置 - Google Patents
電子顕微鏡の絞り補正方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4397730B2 JP4397730B2 JP2004129440A JP2004129440A JP4397730B2 JP 4397730 B2 JP4397730 B2 JP 4397730B2 JP 2004129440 A JP2004129440 A JP 2004129440A JP 2004129440 A JP2004129440 A JP 2004129440A JP 4397730 B2 JP4397730 B2 JP 4397730B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aperture
- value
- image
- screen
- circular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 claims description 39
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 19
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 10
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
・ 集束レンズ絞りは、試料に照射する電子線量と電子線サイズを調整するものであり、
・ 対物レンズ絞りは、試料で散乱する電子線を遮断することで電子顕微鏡像のコントラスト調整、或いは暗視野像観察にも使用するものであり、
・ 中間レンズ絞りは、対物レンズで拡大された像が中間レンズ絞り上にできるので、中間レンズ絞りで視野を制限し、その制限した領域から発生する回折パターンを観察する時に使用するものである。
X5=(X2−X4)/2
Y5=(Y1−Y3)/2
により求め、求めた絞り像の中心値が予め決められている円形図形の中心と一致するようになるまで、絞り像を移動させ、前記円形図形と比較して絞り形状が同心円となるように非点収差補正を行なうことを特徴とする。
X5=(X2−X4)/2
Y5=(Y1−Y3)/2
により求め、求めたビーム形状の中心値が予め決められている円形図形の中心と一致するようになるまで、ビーム形状を移動させ、前記円形図形と比較してビーム形状が同心円となるように非点収差補正を行なうことを特徴とする。
X5=(X2−X4)/2
Y5=(Y1−Y3)/2
により求め、求めた絞り像の中心値が予め決められている円形図形の中心と一致するようになるまで、前記演算処理部が前記各絞りを制御して絞り像を移動させ、前記円形図形と比較して絞り形状が同心円となるように非点収差補正を行なうことを特徴とする。
X5=(X2−X4)/2
Y5=(Y1−Y3)/2
により求め、求めたビーム形状の中心値が予め決められている円形図形の中心と一致するようになるまで、前記演算処理部が前記各絞りを制御してビーム形状を移動させ、前記円形図形と比較してビーム形状が同心円となるように前記非点収差補正装置により非点収差補正を行なうことを特徴とする。
図2は本発明の動作概念図である。図において、30は所定数分類、例えば4分割されたメモリ上の画面である。絞り選択を行なうGUI(Graphical User Interface:グラフィカル・ユーザ・インタフェース)を選択し、CL Apt.のあるサイズの絞りを選択する。図において、(a)のAは倍率にリンクした絞りの口径に相当する円形図形である。次に、画面上にメモリに記憶した最終段集束レンズCL3値によって、(b)に示すように実際の絞り像Bが得られる。
1.画面上ある絞り選択を行なうGUIを選択し、CL Apt.のあるサイズの絞りを選択する。
2.同時に、CL3値が予めメモリ23に設定していた値に設定され、画面メモリ上に実際の絞りの像を展開させる。更に、倍率にリンクした絞りの口径に相当する円形画像が画面の中心に展開される。
3.画面上を、中心から縦横に4分割して、4分割画像の各画素の数の相互関係を計算しながら、絞りがどの位置にあるかをCPU20内で見い出す。当然、画素の数が高い部分に絞りが光軸より寄っていることになる。
4.縦横4分割像の画素の数が同じになるまでCPU制御により自動的に絞り駆動のモータを駆動する。モータ駆動信号は、コンピュータ200から各絞り(モータ駆動CL絞り、モータ駆動OL絞り、モータ駆動SA絞り)に与えられる。但し、一般的にレンズ径に非点があるので(円形図形と比較してビーム形が楕円になっている)、縦横4分割した対向した象限と同じ画素の数になった時点で、画像処理ソフト21はモータ電流作動を自動的に止める。
5.円形図形と比較して、絞り形状が同心円となるように、非点収差補正装置4で自動的に補正を行なう。
(a)この図において、1〜4の数字は“象限”を示している。Aは倍率にリンクした絞りの口径に相当する円形図形、Bは絞り画像である。絞りの像Bは、第1象限と第4象限にまたがっていて、第2象限と第3象限には画像は存在しない。画像処理ソフト21は、メモリ23上に展開しているこれら画像を基に画像処理を行なう。今、第1象限の画素の数と第4象限の画素の数を比較すると、第4象限が多いことが判る。
(b)次に、第1象限と第4象限の1信号量(画素の数)が同じになるためには、どの程度絞りを動かせばよいかをメモリ23に記憶しているので、CPU20はその値を絞りモータドライブを経由して絞りに与える。例えば、集束レンズCLの場合には、モータ駆動CL絞り3を駆動する。
(c)次に、第1象限と第3象限の1信号量(画素の数)が同じになるように、第2象限と第4象限の信号量(画素の数)が同じになるように、画像処理ソフト21で比較、監視しながらCPU20からモータドライブを経由して絞りのモータに電圧を与え、第1象限と第3象限、第2象限と第4象限の信号量(画素)の数が同じになった時点でモータを停止させる。
(d)次に、円形図形Aと絞り像Bとを比較して、円形図形Aから出ている1信号を各象限で画像処理ソフト21で比較する。同時に、円形図形Aの内側にある1信号を各象限で画像処理ソフト21で比較する。
X5=(X2−X4)/2
Y5=(Y1−Y3)/2
画面の中心の座標は既知(X6,Y6)であるため、円形図形Aの中心と絞り像Bの中心との距離は、X方向が(X6−X5)、Y方向が(Y6−Y5)となる。そこで、CPU20は、X方向及びY方向の距離に相当する分だけモータを動かせばよい。具体的には、CPU20の制御によりモータ駆動CL絞り3、モータ駆動OL絞り9、モータ駆動SA絞り11を動かすことになる。以上の操作が終了すると、今度は非点収差補正を行なう。
2 照射系レンズ
3 モータ駆動CL絞り
4 非点収差補正装置
4a EDS用絞り
5 試料
5a X線分光装置(EDS)
6 試料ホルダ
7 ゴニオメータ
8 対物レンズ
9 モータ駆動OL絞り
10 結像系レンズ
11 モータ駆動SA絞り
12 ビームストッパ
13 暗視野像検出器
14 ワイドアングルTV
15 明視野像検出器
16 スロースキャンCCD
17 高分解能TV
20 CPU
21 画像処理ソフトウェア
22 画像取り込みボード
23 メモリ
24 ディスプレイ
25 操作パネル
26 キーボード
100 電子顕微鏡本体
200 コンピュータ
Claims (6)
- 取り込んだ画像をメモリ上の画面に展開し、更に該画面上に倍率にリンクした絞りの口径に相当する円形図形を展開し、前記画面を分割して各分割画像の各画素の数の相互関係を求めて絞りがどの位置にあるかを見い出し、分割像のそれぞれの画素の数に基づいて、電子顕微鏡に備えられている絞りを制御するようにした絞り補正方法であって、
先ず、第1象限と第4象限の画素の数が同じになるように絞りを動かし、次に、第1象限と第3象限の画素の数が同じになり、第2象限と第4象限の画素の数が同じになるように絞りを動かし、前記円形図形と比較して絞り形状が同心円になるように非点収差補正を行なうことを特徴とする電子顕微鏡の絞り補正方法。 - 取り込んだ画像をメモリ上の画面に展開し、更に該画面上に倍率にリンクした絞りの口径に相当する円形図形を展開し、ディスプレイを分割して絞り像を1と0で規格化し、
絞り像において、X方向での最大値をX2、最小値をX4、Y方向での最大値をY1、最小値をY3、X座標の値がX1の場合のYの値をY1、X座標の値がX2の場合のYの値をY2、X座標のX3の時のYの値をY3、X座標の値がX4の時のYの値をY4として絞り像の中心アドレス(X5,Y5)を、
X5=(X2−X4)/2
Y5=(Y1−Y3)/2
により求め、求めた絞り像の中心値が予め決められている円形図形の中心と一致するようになるまで、絞り像を移動させ、前記円形図形と比較して絞り形状が同心円となるように非点収差補正を行なうことを特徴とする電子顕微鏡の絞り補正方法。 - 電子ビーム形状をメモリ上の画面に展開し、更に該画面上に倍率にリンクしたビーム形状の口径に相当する円形図形を展開し、前記画面を分割してビーム形状を1と0で規格化し、
ビーム形状において、X方向での最大値をX2、最小値をX4、Y方向での最大値をY1、最小値をY3、X座標の値がX1の場合のYの値をY1、X座標の値がX2の場合のYの値をY2、X座標のX3の時のYの値をY3、X座標の値がX4の時のYの値をY4としてビーム形状の中心アドレス(X5,Y5)を、
X5=(X2−X4)/2
Y5=(Y1−Y3)/2
により求め、求めたビーム形状の中心値が予め決められている円形図形の中心と一致するようになるまで、ビーム形状を移動させ、前記円形図形と比較してビーム形状が同心円となるように非点収差補正を行なうことを特徴とする電子顕微鏡の絞り補正方法。 - 電子顕微鏡とコンピュータとがインタフェースを介して接続されたシステムにおいて、
集束レンズ絞りと、対物レンズ絞りと、中間レンズ絞りと、
前記コンピュータに設けられた画像を表示するためのディスプレイと、
同じく前記コンピュータに設けられた取り込んだ絞り画像と、倍率にリンクした絞りの口径に相当する円形図形との相互演算を行なう演算処理部と、
画像の非点収差補正を行なう非点収差補正装置と、
を具備し、
メモリ上に画像を展開するための画面を設け、該画面を分割して各分割画像の各画素の数の相互関係を求めて絞りがどの位置にあるかを前記演算処理部で見い出し、分割画像のそれぞれの画素の数に基づいて、前記演算処理部が電子顕微鏡に備えられている絞りを制御するようにした絞り補正装置であって、
先ず、第1象限と第4象限の画素の数が同じになるように絞りを動かし、次に、第1象限と第3象限の画素の数が同じになり、第2象限と第4象限の画素の数が同じになるように絞りを動かし、前記非点収差補正装置が前記円形図形と比較して絞り形状が同心円になるように非点収差補正を行なうことを特徴とする電子顕微鏡の絞り補正装置。 - 電子顕微鏡とコンピュータとがインタフェースを介して接続されたシステムにおいて、
集束レンズ絞りと、対物レンズ絞りと、中間レンズ絞りと、
前記コンピュータに設けられた画像を表示するためのディスプレイと、
同じく前記コンピュータに設けられた取り込んだ絞り画像と、倍率にリンクした絞りの口径に相当する円形図形との相互演算を行なう演算処理部と、
画像の非点収差補正を行なう非点収差補正装置と、
を具備し、
メモリ上に画像を展開するための画面を設け、該画面を分割して絞り像を1と0で規格化し、
絞り像において、X方向での最大値をX2、最小値をX4、Y方向での最大値をY1、最小値をY3、X座標の値がX1の場合のYの値をY1、X座標の値がX2の場合のYの値をY2、X座標のX3の時のYの値をY3、X座標の値がX4の時のYの値をY4として絞り像の中心アドレス(X5,Y5)を、
X5=(X2−X4)/2
Y5=(Y1−Y3)/2
により求め、求めた絞り像の中心値が予め決められている円形図形の中心と一致するようになるまで、前記演算処理部が前記各絞りを制御して絞り像を移動させ、前記円形図形と比較して絞り形状が同心円となるように非点収差補正を行なうことを特徴とする電子顕微鏡の絞り補正装置。 - 電子顕微鏡とコンピュータとがインタフェースを介して接続されたシステムにおいて、
集束レンズ絞りと、対物レンズ絞りと、中間レンズ絞りと、
前記コンピュータに設けられた画像を表示するためのディスプレイと、
同じく前記コンピュータに設けられた取り込んだ絞り画像と、倍率にリンクしたビーム形状の口径に相当する円形図形との相互演算を行なう演算処理部と、
画像の非点収差補正を行なう非点収差補正装置と、
を具備し、
メモリ上に画像を展開するための画面を設け、該画面を分割してビーム形状を1と0で規格化し、
ビーム形状において、X方向での最大値をX2、最小値をX4、Y方向での最大値をY1、最小値をY3、X座標の値がX1の場合のYの値をY1、X座標の値がX2の場合のYの値をY2、X座標のX3の時のYの値をY3、X座標の値がX4の時のYの値をY4としてビーム形状の中心アドレス(X5,Y5)を、
X5=(X2−X4)/2
Y5=(Y1−Y3)/2
により求め、求めたビーム形状の中心値が予め決められている円形図形の中心と一致するようになるまで、前記演算処理部が前記各絞りを制御してビーム形状を移動させ、前記円形図形と比較してビーム形状が同心円となるように前記非点収差補正装置により非点収差補正を行なうことを特徴とする電子顕微鏡の絞り補正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004129440A JP4397730B2 (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | 電子顕微鏡の絞り補正方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004129440A JP4397730B2 (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | 電子顕微鏡の絞り補正方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005310699A JP2005310699A (ja) | 2005-11-04 |
JP4397730B2 true JP4397730B2 (ja) | 2010-01-13 |
Family
ID=35439203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004129440A Expired - Fee Related JP4397730B2 (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | 電子顕微鏡の絞り補正方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4397730B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8026491B2 (en) | 2006-03-08 | 2011-09-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus and method for charged particle beam adjustment |
US8581190B2 (en) | 2008-09-25 | 2013-11-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus and geometrical aberration measurement method therefor |
JP5572428B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2014-08-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査装置および検査方法 |
JP6995026B2 (ja) * | 2018-08-09 | 2022-01-14 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置および制御方法 |
JP7127087B2 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-08-29 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡および対物絞りの調整方法 |
-
2004
- 2004-04-26 JP JP2004129440A patent/JP4397730B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005310699A (ja) | 2005-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8363099B2 (en) | Microscope system and method of operation thereof | |
JP2877624B2 (ja) | 走査電子顕微鏡の対物レンズアライメント制御装置及び制御方法 | |
JPH02197050A (ja) | 走査透過型位相差電子顕微鏡 | |
JP5205306B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
US10867771B2 (en) | Electron microscope and specimen tilt angle adjustment method | |
JP4397730B2 (ja) | 電子顕微鏡の絞り補正方法及び装置 | |
JP3970656B2 (ja) | 透過電子顕微鏡による試料観察方法 | |
JP6312410B2 (ja) | アライメント装置、顕微鏡システム、アライメント方法、及びアライメントプログラム | |
JP2008251407A (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP4397683B2 (ja) | 走査電子顕微鏡及び走査電子顕微鏡の制御方法並びに電子ビームの軸調整方法 | |
US6573502B2 (en) | Combined electron microscope | |
JP2016065875A (ja) | 画像処理装置及び画像処理方法 | |
JP2002343294A (ja) | 複合電子顕微鏡 | |
WO2021250733A1 (ja) | 荷電粒子線装置、およびそのフォーカス調整方法 | |
JP4011455B2 (ja) | 透過電子顕微鏡による試料観察方法 | |
US20190066968A1 (en) | Aberration measurement method and electron microscope | |
JP2015210396A (ja) | アライメント装置、顕微鏡システム、アライメント方法、及びアライメントプログラム | |
JP7483994B2 (ja) | 情報処理装置、情報処理方法、およびプログラム | |
JP5373463B2 (ja) | 透過型電子顕微鏡の自動最適合焦点調整装置 | |
US5350918A (en) | Transmission electron microscope | |
JP3195708B2 (ja) | 透過電子顕微鏡用非点補正装置 | |
JP6824210B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP2017162606A (ja) | 軸合わせ方法および電子顕微鏡 | |
EP4120316A1 (en) | Electron microscope and image generation method | |
JP5502794B2 (ja) | 電子顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090630 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090828 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090828 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090929 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091021 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121030 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4397730 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121030 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131030 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131030 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |