JP6824210B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
収差補正装置を含む光学系と、
前記収差補正装置を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
導入される収差の種類の情報を受け付ける処理と、
収差の状態を表す収差図形上に、収差の方向を指定するための画像を重ねて表示部に表示させる処理と、
回転操作された後の前記画像から、収差の方向を特定する処理と、
特定された方向に収差が導入されるように前記収差補正装置を制御する処理と、
を行い、
前記画像を前記表示部に表示させる処理では、前記収差の種類の情報に基づいて、前記収差の種類に応じた形状を有する前記画像を前記表示部に表示させる。
本発明に係る電子顕微鏡の一態様は、
収差補正装置を含む光学系と、
前記収差補正装置を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
収差の状態を表す収差図形上に、収差の方向を指定するための画像を重ねて表示部に表示させる処理と、
回転操作された後の前記画像から、収差の方向を特定する処理と、
特定された方向に収差が導入されるように前記収差補正装置を制御する処理と、
を行い、
前記収差図形は、ロンチグラムである。
本発明に係る電子顕微鏡の一態様は、
収差補正装置を含む光学系と、
前記収差補正装置を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
収差の状態を表す収差図形上に、収差の方向を指定するための画像を重ねて表示部に表示させる処理と、
回転操作された後の前記画像から、収差の方向を特定する処理と、
特定された方向に収差が導入されるように前記収差補正装置を制御する処理と、
を行い、
前記収差図形は、ディフラクトグラムタブローである。
1.1. 電子顕微鏡の構成
まず、第1実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る電子顕微鏡100の構成を示す図である。
である。なお、第1多極子32aは、三回対称場を発生させることができれば、12極子に限定されない。
次に、電子顕微鏡100において、ユーザーが所望の収差を導入する際の操作について説明する。
次に、制御部40の処理について説明する。
電子顕微鏡100は、例えば、以下の特徴を有する。
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図9は、第2実施形態に係る電子顕微鏡200の構成を示す図である。以下、第2実施形態に係る電子顕微鏡200において、第1実施形態に係る電子顕微鏡100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
Claims (4)
- 収差補正装置を含む光学系と、
前記収差補正装置を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
導入される収差の種類の情報を受け付ける処理と、
収差の状態を表す収差図形上に、収差の方向を指定するための画像を重ねて表示部に表示させる処理と、
回転操作された後の前記画像から、収差の方向を特定する処理と、
特定された方向に収差が導入されるように前記収差補正装置を制御する処理と、
を行い、
前記画像を前記表示部に表示させる処理では、前記収差の種類の情報に基づいて、前記収差の種類に応じた形状を有する前記画像を前記表示部に表示させる、電子顕微鏡。 - 収差補正装置を含む光学系と、
前記収差補正装置を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
収差の状態を表す収差図形上に、収差の方向を指定するための画像を重ねて表示部に表示させる処理と、
回転操作された後の前記画像から、収差の方向を特定する処理と、
特定された方向に収差が導入されるように前記収差補正装置を制御する処理と、
を行い、
前記収差図形は、ロンチグラムである、電子顕微鏡。 - 収差補正装置を含む光学系と、
前記収差補正装置を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
収差の状態を表す収差図形上に、収差の方向を指定するための画像を重ねて表示部に表示させる処理と、
回転操作された後の前記画像から、収差の方向を特定する処理と、
特定された方向に収差が導入されるように前記収差補正装置を制御する処理と、
を行い、
前記収差図形は、ディフラクトグラムタブローである、電子顕微鏡。 - 請求項2または3において、
前記制御部は、導入される収差の種類の情報を受け付ける処理を行い、
前記画像を前記表示部に表示させる処理では、前記収差の種類の情報に基づいて、前記収差の種類に応じた形状を有する前記画像を前記表示部に表示させる、電子顕微鏡。
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