JPS58144753U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS58144753U JPS58144753U JP4175782U JP4175782U JPS58144753U JP S58144753 U JPS58144753 U JP S58144753U JP 4175782 U JP4175782 U JP 4175782U JP 4175782 U JP4175782 U JP 4175782U JP S58144753 U JPS58144753 U JP S58144753U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- scanning electron
- alignment mark
- microscope according
- astigmatism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示すブロック図、第２図お
よび第３図は本考案による非点変調像のマークの一実施
例説明図、第４図および第５図は本考案の他の一実施例
ブロック図を示す。 ３・・・非点補正コイル、４・・・偏向コイル、１５゜
１６・・・掃引波発生器、１７〜２２・・・増幅器、２
５・・・倍率設定器、２７．２８・・・コンパレータ。
よび第３図は本考案による非点変調像のマークの一実施
例説明図、第４図および第５図は本考案の他の一実施例
ブロック図を示す。 ３・・・非点補正コイル、４・・・偏向コイル、１５゜
１６・・・掃引波発生器、１７〜２２・・・増幅器、２
５・・・倍率設定器、２７．２８・・・コンパレータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試料照射電子線に対する非点補正器に二次元走査信
号を同期的に印加し、陰極線管に非点変調像と非点補正
用合せマークを表示する走査電子顕微鏡において、最終
的に非点変調像の少非点領域を侵害しない形状の合せマ
ークを表示することを特徴とする走査電子顕微鏡。 ２ 請求の範囲第１項において、合せマークは交点近傍
が表示されない形状の十字マークであることを特徴とす
る走査電子顕微鏡。 ３ 請求の範囲第１項において、合せマークは円形であ
ることを特徴とする走査電子顕微鏡。 ４ 請求の範囲第１項において、非点補正器に印加する
該二次元走査信号の大きさを倍率設定と連動することを
特徴とする走査電子顕微鏡。 ５ 請求の範囲第４項において、合せマークは最終的に
非点変調像の少非点領域を侵害しない形状の合せマーク
とすることを特徴とする走査電子顕微鏡。 ６ 請求の範囲第５項において、合せマークは交点近傍
が表示されない形状の十字マークであることを特徴とす
る走査電子顕微鏡。 ７ 請求の範囲第５項において、合せマークは円形であ
ることを特徴とする走査電子顕微鏡。 ８ 請求の範囲第５項において最終的に非点変調像の少
非点領域を侵害しない形状の合せマークを表示すると共
に該合せマークの侵害しない範囲の大きさを倍率設定と
連動することを特徴とする走査電子顕微鏡。 ９ 請求の範囲第８項において、合せマークは交点近傍
が表示されない形状の十字マークであることを特徴とす
る走査電子顕微鏡。 １０ 請求の範囲第８項において、合せマークは円形
であることを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4175782U JPS58144753U (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4175782U JPS58144753U (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58144753U true JPS58144753U (ja) | 1983-09-29 |
Family
ID=30052933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4175782U Pending JPS58144753U (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58144753U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019153488A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |
-
1982
- 1982-03-26 JP JP4175782U patent/JPS58144753U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019153488A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |
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