JPS60124853U - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JPS60124853U JPS60124853U JP1257684U JP1257684U JPS60124853U JP S60124853 U JPS60124853 U JP S60124853U JP 1257684 U JP1257684 U JP 1257684U JP 1257684 U JP1257684 U JP 1257684U JP S60124853 U JPS60124853 U JP S60124853U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- sample
- beam equipment
- converging lens
- converged
- Prior art date
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- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
添付図は本考案の一実施例を示した走査電子顕微鏡の概
略図である。 １：電子銃、・２：電子線、４−・・対物レンズ、４
−−ａ：上磁極、４ｂ：下磁極、６：試料、′７：マイ
クロチヤンネルプレート、Ｍ：メタルアノード、８ａ：
第１電圧源、８ｂ：第２電圧減、９：スイッチ。
略図である。 １：電子銃、・２：電子線、４−・・対物レンズ、４
−−ａ：上磁極、４ｂ：下磁極、６：試料、′７：マイ
クロチヤンネルプレート、Ｍ：メタルアノード、８ａ：
第１電圧源、８ｂ：第２電圧減、９：スイッチ。
Claims (1)
- 電子線発生手段からの電子線を収束レンズにより試料上
に収束し、偏向系ｉこより該収束した電子線で該試料上
を走査することによって発生する電子番検出し、画像表
示する様に成した装置におい て、前記収束レンズの
内封、物レンズの下磁極の電 子線通過孔内にマイク
ロチャンネルプレートを配２ 置した電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1257684U JPS60124853U (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1257684U JPS60124853U (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60124853U true JPS60124853U (ja) | 1985-08-22 |
| JPH024442Y2 JPH024442Y2 (ja) | 1990-02-01 |
Family
ID=30495770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1257684U Granted JPS60124853U (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60124853U (ja) |
-
1984
- 1984-02-01 JP JP1257684U patent/JPS60124853U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH024442Y2 (ja) | 1990-02-01 |
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