JPS6075954U - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

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Publication number
JPS6075954U
JPS6075954U JP16902583U JP16902583U JPS6075954U JP S6075954 U JPS6075954 U JP S6075954U JP 16902583 U JP16902583 U JP 16902583U JP 16902583 U JP16902583 U JP 16902583U JP S6075954 U JPS6075954 U JP S6075954U
Authority
JP
Japan
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objective lens
lens
electronic microscope
condenser objective
excitation intensity
Prior art date
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Application number
JP16902583U
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JPH0234750Y2 (ja
Inventor
植野　勝義
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示すための図、第２図は補
助レンズの働きを説明するための図である。 １：電子銃、２：電子線、３，４：集束レンズ、５：試
料、６：コンデンサーオブジェクティブレンズ、７：中
間レンズ、８：投影レンズ、９：蛍光スクリーン、１０
：補助レンズ、１１：コンデンサーオブジェクティブレ
ンズ電源、１２：補助レンズ電源、１３：制御信号発生
回路、１４：偏向器、１５：偏向電源。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料位置よりも前方に強い磁界を発生するコンデンサー
    オブジェクティブレンズを備えた電子顕微鏡において、
    該コンデンサーオブジェクティブレンズの電子線入射側
    磁極片の近傍に補助レンズを配置し、該補助レンズの励
    磁強度をコンデンサーオブジェクティブレンズの励磁強
    度の変化に連動させて変化させるように構成したことを
    特徴とする電子顕微鏡。
JP16902583U 1983-10-31 1983-10-31 電子顕微鏡 Granted JPS6075954U (ja)

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JP16902583U JPS6075954U (ja) 1983-10-31 1983-10-31 電子顕微鏡

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JP16902583U JPS6075954U (ja) 1983-10-31 1983-10-31 電子顕微鏡

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Publication Number Publication Date
JPS6075954U true JPS6075954U (ja) 1985-05-28
JPH0234750Y2 JPH0234750Y2 (ja) 1990-09-19

Family

ID=30369364

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JP16902583U Granted JPS6075954U (ja) 1983-10-31 1983-10-31 電子顕微鏡

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006344533A (ja) * 2005-06-09 2006-12-21 Kawasaki Heavy Ind Ltd Ｘ線用光電変換型イメージング管

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5757817A (en) * 1980-09-19 1982-04-07 Kawasaki Steel Corp Method for controlling bottom blowing gas in steel making by composite top and bottom blown converter

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5757817A (en) * 1980-09-19 1982-04-07 Kawasaki Steel Corp Method for controlling bottom blowing gas in steel making by composite top and bottom blown converter

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JP2006344533A (ja) * 2005-06-09 2006-12-21 Kawasaki Heavy Ind Ltd Ｘ線用光電変換型イメージング管

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Publication number Publication date
JPH0234750Y2 (ja) 1990-09-19

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