JPS6183246U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6183246U JPS6183246U JP16837084U JP16837084U JPS6183246U JP S6183246 U JPS6183246 U JP S6183246U JP 16837084 U JP16837084 U JP 16837084U JP 16837084 U JP16837084 U JP 16837084U JP S6183246 U JPS6183246 U JP S6183246U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- condenser
- focusing
- electron beam
- sample
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示すための図、第
２図は電子顕微鏡像を観察する際の光線図、第３
図は本発明の動作を説明するための集束電子線回
折像を観察する際の光線図を示す図、第４図は従
来の欠点を示すための光線図である。 ５：電子銃、６：第１集束レンズ、７：第２の
集束レンズ、４，２８：試料、８，９，１１，１
３，１６，１７：レンズ電源、１０：補助レンズ
、１２：コンデンサーオブジエクテイブレンプ、
１２ａ：前方磁界レンズ、１２ｂ：後方磁界レン
ズ、１４：中間レンズ、１５：投影レンズ、１８
：蛍光板、１９：ＣＰＵ、２０：励磁指定信号発
生器、２１：ＲＯＭ、２２，２４：レジスタ、２
３，２５：ＤＡ変換器、２６：加算回路、２７：
ポテンシヨメーター。
２図は電子顕微鏡像を観察する際の光線図、第３
図は本発明の動作を説明するための集束電子線回
折像を観察する際の光線図を示す図、第４図は従
来の欠点を示すための光線図である。 ５：電子銃、６：第１集束レンズ、７：第２の
集束レンズ、４，２８：試料、８，９，１１，１
３，１６，１７：レンズ電源、１０：補助レンズ
、１２：コンデンサーオブジエクテイブレンプ、
１２ａ：前方磁界レンズ、１２ｂ：後方磁界レン
ズ、１４：中間レンズ、１５：投影レンズ、１８
：蛍光板、１９：ＣＰＵ、２０：励磁指定信号発
生器、２１：ＲＯＭ、２２，２４：レジスタ、２
３，２５：ＤＡ変換器、２６：加算回路、２７：
ポテンシヨメーター。
Claims (1)
- 電子銃よりの電子線を集束するための集束レン
ズ系と、該集束レンズ系により集束された電子線
が入射するコンデンサーオブジエクテイブレンズ
と、該コンデンサーオブジエクテイブレンズのレ
ンズ中心に配置される試料と、該試料に照射され
る電子線の開き角を連続的に変化させるため該コ
ンデンサーオブジエクテイブレンズに近接してそ
の前段に配置された補強レンズと、該コンデンサ
ーオブジエクテイブレンズの後段に配置された結
像レンズ系とを備えた装置において、該補助レン
ズの励磁強度に関連して該コンデンサーオブジエ
クテイブレンズの励磁強度を制御する手段を備え
ていることを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16837084U JPS6183246U (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16837084U JPS6183246U (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6183246U true JPS6183246U (ja) | 1986-06-02 |
Family
ID=30726143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16837084U Pending JPS6183246U (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6183246U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5757817A (en) * | 1980-09-19 | 1982-04-07 | Kawasaki Steel Corp | Method for controlling bottom blowing gas in steel making by composite top and bottom blown converter |
-
1984
- 1984-11-06 JP JP16837084U patent/JPS6183246U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5757817A (en) * | 1980-09-19 | 1982-04-07 | Kawasaki Steel Corp | Method for controlling bottom blowing gas in steel making by composite top and bottom blown converter |
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