JPS6171952U - - Google Patents

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JPS6171952U
JPS6171952U JP15687284U JP15687284U JPS6171952U JP S6171952 U JPS6171952 U JP S6171952U JP 15687284 U JP15687284 U JP 15687284U JP 15687284 U JP15687284 U JP 15687284U JP S6171952 U JPS6171952 U JP S6171952U
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electron
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Description

【図面の簡単な説明】
図は、本考案の一実施例を示す構成図である。 １…電子銃、２…軸合せコイル、３，３′…電
子ビーム、４…集束レンズ、５…走査コイル、６
…対物レンズ、７…試料、８…試料台、９…２次
電子検出器、１０…鏡筒、１１…加速用電源、１
２…レンズ系電源、１３…検出器用電源、１４…
信号増幅器、１５…制御部、１６…操作表示部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 電子銃から出射された電子ビームを集束し
    て所定の方向に走査しながら試料に照射せしめ、
    発生乃至は透過した電子を検出処理して表示手段
    上に拡大画像を再生するように構成された電子顕
    微鏡において、観察時の各種動作条件を変更した
    時に、電子ビームを一時的に遮断する電子ビーム
    遮断機構を設けたことを特徴とする電子顕微鏡。 (2) 前記電子ビーム遮断機構として、軸合せコ
    イルに流す電流を制御して電子ビームを曲折せし
    める機構を用いたことを特徴とする実用新案登録
    請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡。 (3) 前記電子ビーム遮断機構として、走査コイ
    ルに流す電流を制御して電子ビームを曲折せしめ
    る機構を用いたことを特徴とする実用新案登録請
    求の範囲第１項記載の電子顕微鏡。
JP1984156872U 1984-10-16 1984-10-16 Expired JPH04522Y2 (ja)

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JP1984156872U JPH04522Y2 (ja) 1984-10-16 1984-10-16

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JP1984156872U JPH04522Y2 (ja) 1984-10-16 1984-10-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6171952U true JPS6171952U (ja) 1986-05-16
JPH04522Y2 JPH04522Y2 (ja) 1992-01-09

Family

ID=30714878

Family Applications (1)

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JP1984156872U Expired JPH04522Y2 (ja) 1984-10-16 1984-10-16

Country Status (1)

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JP (1) JPH04522Y2 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5577000A (en) * 1978-12-06 1980-06-10 Hitachi Ltd Electron beam radiation device
JPS5957849U (ja) * 1982-10-08 1984-04-16 日本電子株式会社 電子顕微鏡等の試料交換装置
JPS60115468A (ja) * 1983-11-28 1985-06-21 Fuji Xerox Co Ltd プリンタ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5577000A (en) * 1978-12-06 1980-06-10 Hitachi Ltd Electron beam radiation device
JPS5957849U (ja) * 1982-10-08 1984-04-16 日本電子株式会社 電子顕微鏡等の試料交換装置
JPS60115468A (ja) * 1983-11-28 1985-06-21 Fuji Xerox Co Ltd プリンタ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04522Y2 (ja) 1992-01-09

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