JP2541931B2 - 収束電子線回折装置 - Google Patents
収束電子線回折装置Info
- Publication number
- JP2541931B2 JP2541931B2 JP61112139A JP11213986A JP2541931B2 JP 2541931 B2 JP2541931 B2 JP 2541931B2 JP 61112139 A JP61112139 A JP 61112139A JP 11213986 A JP11213986 A JP 11213986A JP 2541931 B2 JP2541931 B2 JP 2541931B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- electron
- acceleration voltage
- focusing
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は試料の微小部分に収束された電子線を照射
し、試料を透過した電子線に基づいて収束電子線回折像
を表示する収束電子線回折装置に関する。
し、試料を透過した電子線に基づいて収束電子線回折像
を表示する収束電子線回折装置に関する。
［従来の技術］ 電子顕微鏡を用いて収束電子線回折像の観察が広く行
なわれるようになった。
なわれるようになった。
第４図はこのような収束電子線回折装置の電子線照射
系を示すもので、図中１は加速電源２により負の高圧電
圧が与えられている電子銃であり、電子銃１よりの電子
線３はアノード４により加速される。アノード４により
加速された電子線は第1,第2,第３の集束レンズ5,6,7及
び対物レンズ９の前方磁界レンズ9aにより集束されて開
き角２αで結晶性試料10に照射される。尚、簡単のた
め、開き角２αの半分であるαを単に開き角と呼ぶもの
とする。試料10の微小部分に照射され、試料10を透過し
た電子線は図示しない結像レンズ系に導かれ、蛍光板11
に試料10の収束電子線回折像として投影される。尚、Ｄ
は回折ディスク（あるいは回折スポット）を表わしてお
り、又８は絞りである。
系を示すもので、図中１は加速電源２により負の高圧電
圧が与えられている電子銃であり、電子銃１よりの電子
線３はアノード４により加速される。アノード４により
加速された電子線は第1,第2,第３の集束レンズ5,6,7及
び対物レンズ９の前方磁界レンズ9aにより集束されて開
き角２αで結晶性試料10に照射される。尚、簡単のた
め、開き角２αの半分であるαを単に開き角と呼ぶもの
とする。試料10の微小部分に照射され、試料10を透過し
た電子線は図示しない結像レンズ系に導かれ、蛍光板11
に試料10の収束電子線回折像として投影される。尚、Ｄ
は回折ディスク（あるいは回折スポット）を表わしてお
り、又８は絞りである。
このような構成の従来装置において、前記試料によっ
て決定される格子間隔をｄ、電子線３の波長をλとする
とき、回折ディスクＤ同志の間隔に対応した量である回
折角θはｄとλによって以下のように表わされる。
て決定される格子間隔をｄ、電子線３の波長をλとする
とき、回折ディスクＤ同志の間隔に対応した量である回
折角θはｄとλによって以下のように表わされる。
θ＝λ/d …（１） 一方、個々の回折ディスクＤの半径は照射角αに比例
することが知られている。
することが知られている。
従って、例えばα＝θ/2になるように第2,第３の集束
レンズ6,7の励磁電流をセットしたとすると、第５図
（ａ）に示すようにディスクが重ならない範囲でディス
クを最も大きく拡大でき、ディスク内部の微細構造等を
観察するのに好都合となる。
レンズ6,7の励磁電流をセットしたとすると、第５図
（ａ）に示すようにディスクが重ならない範囲でディス
クを最も大きく拡大でき、ディスク内部の微細構造等を
観察するのに好都合となる。
ところで、このようにして観察している最中に、電子
線の加速電圧を変えると、電子線の波長λがλ′に変化
することから、前記θが変化してしまう。しかしなが
ら、従来においては、電子線照射角αが電子線の加速電
圧の変更にかかわらず変化しないように照射レンズ系の
励磁電流が自動的にセットされるため、加速電圧を例え
ば増加させると、第５図（ｂ）に示すように、回折ディ
スクが重なってしまい、逆に加速電圧を減少させると、
第５図（ｃ）に示すように回折ディスクの拡大の余地を
残した像となってしまい、いずれにしても第５図（ａ）
に示すような最適な像でなくなってしまう。
線の加速電圧を変えると、電子線の波長λがλ′に変化
することから、前記θが変化してしまう。しかしなが
ら、従来においては、電子線照射角αが電子線の加速電
圧の変更にかかわらず変化しないように照射レンズ系の
励磁電流が自動的にセットされるため、加速電圧を例え
ば増加させると、第５図（ｂ）に示すように、回折ディ
スクが重なってしまい、逆に加速電圧を減少させると、
第５図（ｃ）に示すように回折ディスクの拡大の余地を
残した像となってしまい、いずれにしても第５図（ａ）
に示すような最適な像でなくなってしまう。
そのため従来においては、加速電圧の切換えに伴い照
射角αをその都度調節しなければならず、操作が面倒で
あった。
射角αをその都度調節しなければならず、操作が面倒で
あった。
本発明は、このような従来の欠点を解決し、電子線の
加速電圧の変更にかかわらず、回折ディスク間距離と回
折ディスク径の比率を自動的に保持することのできる収
束電子線回折装置を提供することを目的としている。
加速電圧の変更にかかわらず、回折ディスク間距離と回
折ディスク径の比率を自動的に保持することのできる収
束電子線回折装置を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］ そのため本発明は、電子銃と、該電子銃よりの電子線
を集束するための第1,第２の集束レンズと、該電子線の
加速電圧を切換えるための手段と、該第1,第２の集束レ
ンズにより集束された電子線を試料の微小部分に照射角
αで照射し、該試料を透過した電子線の収束電子線回折
像を結像レンズ系により検出面上に投影するようにした
収束電子線回折装置において、前記加速電圧の切換えに
応答して、前記照射角αと電子線の波長λとの比率が不
変に維持されるように前記照射角αを変えるべく前記第
1,第２の集束レンズの励磁強度を自動的に制御する制御
手段を備えたことを特徴としている。
を集束するための第1,第２の集束レンズと、該電子線の
加速電圧を切換えるための手段と、該第1,第２の集束レ
ンズにより集束された電子線を試料の微小部分に照射角
αで照射し、該試料を透過した電子線の収束電子線回折
像を結像レンズ系により検出面上に投影するようにした
収束電子線回折装置において、前記加速電圧の切換えに
応答して、前記照射角αと電子線の波長λとの比率が不
変に維持されるように前記照射角αを変えるべく前記第
1,第２の集束レンズの励磁強度を自動的に制御する制御
手段を備えたことを特徴としている。
［実施例］ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第１図は本発明の一実施例を示すための図であり、図
中第３図と同一の構成要素に対しては同一番号を付して
いる。
中第３図と同一の構成要素に対しては同一番号を付して
いる。
第１図において、12,13は第2,第３の集束レンズ6,7の
レンズ電源であり、14,15はDA変換器である。16はCPUで
あり、CPU16にはバスライン17及び図示しないが夫々のI
/Oポートを介して前記DA変換器14,15が接続されてい
る。又、バスライン17を介してCPU16には記憶装置18が
接続されていると共に、入力装置19も接続されている。
入力装置19には加速電圧を指定するための押しボタン19
aが備えられていると共に、前記照射角αを下式に従っ
てステップ状に切換えるための押しボタン19bが備えら
れている。
レンズ電源であり、14,15はDA変換器である。16はCPUで
あり、CPU16にはバスライン17及び図示しないが夫々のI
/Oポートを介して前記DA変換器14,15が接続されてい
る。又、バスライン17を介してCPU16には記憶装置18が
接続されていると共に、入力装置19も接続されている。
入力装置19には加速電圧を指定するための押しボタン19
aが備えられていると共に、前記照射角αを下式に従っ
てステップ状に切換えるための押しボタン19bが備えら
れている。
α＝Ki・λ（但しｉ＝1,2,…,t,u,v,…,z） …（２） 又、前記電子銃電源２にはDA変換器20が接続されてお
り、このDA変換器20もバスライン17を介して前記CPU16
に接続されている。
り、このDA変換器20もバスライン17を介して前記CPU16
に接続されている。
更に、前記記憶装置18には、前記（２）式の関係を満
たす照射角αを加速電圧の切換えにかかわらず維持する
ために必要な集束レンズ6,7の励磁電流指定データが記
憶されている。
たす照射角αを加速電圧の切換えにかかわらず維持する
ために必要な集束レンズ6,7の励磁電流指定データが記
憶されている。
即ち記憶装置18には、第２図に示すように、前記
（２）式で与えられるKiの各値毎に群を成して集束レン
ズ6,7の励磁電流指定データが格納されている。第２図
において、DAu（Vk）は加速電圧としてVkを選択した際
に、前記KiとしてKuなる値をとらせるために必要な集束
レンズ６の励磁電流指定データを表わしており、DBu（V
k）はこの条件を満たすために必要な集束レンズ７の励
磁電流指定データを表わしている。第２図における他の
データも上記と同様の対応関係を有している。
（２）式で与えられるKiの各値毎に群を成して集束レン
ズ6,7の励磁電流指定データが格納されている。第２図
において、DAu（Vk）は加速電圧としてVkを選択した際
に、前記KiとしてKuなる値をとらせるために必要な集束
レンズ６の励磁電流指定データを表わしており、DBu（V
k）はこの条件を満たすために必要な集束レンズ７の励
磁電流指定データを表わしている。第２図における他の
データも上記と同様の対応関係を有している。
このような構成において、観察すべき試料の格子間隔
がdsであるとし、加速電圧をVjに選択して収束電子線回
折像を観察しているものとする。この状態では電子線の
波長はVjに対応したλｊとなっており、そのため、前記
回折角θの値はλj/dsとなっている。この状態で入力装
置19の押しボタン19bを操作することにより、前記Kiの
値としてKuの値を選択した結果、第３図（ａ）に示すよ
うな収束電子線回折線が観察されたとする。そこで、更
に入力装置19の押しボタン19aを操作して加速電圧とし
てVkを指示したとすると、CPU16は入力装置19の指示信
号に基づいてDA変換器20を介して高圧電源２に制御信号
を送り、加速電圧をそれまでのVjからVkに変更する。そ
の結果、電子線の波長はVkに対応したλｋになり、従っ
て前記回折角θはλk/dsとなる。このとき、CPU16はこ
のような制御と並行して、記憶装置18に記憶されている
第2,第３の集束レンズ6,7の励磁電流指定データ群のう
ち、前記Kuに対応したデータ群の中から加速電圧Vkに対
応するアドレスのデータDAu（Vk）,DBu（Vk）を読み出
し、バスライン17を介して各々DA変換器14,15に送る。
その結果、電子線２は第１図の点線３′で示すように
（但し第１図においては、試料出射側の電子線の光学図
については省略している）、第２の集束レンズ６による
クロスオーバー位置が移動すると共に、第３の集束レン
ズ７の物点位置がこの移動したクロスオーバー位置に合
わせて移動する。その結果、電子線照射角αは前記
（２）式より与えられる値Ku・λｋに変更される。その
ため、θ／αの値は1/（dsKu）となり、加速電圧の変更
前の値に維持される。従って、蛍光板11に投影される回
折像は第３図（ｂ）に示すようになり、ディスク間隔と
ディスク径の比率を加速電圧の切換えにかかわらず不変
に保つことができ、照射角αを調整する必要はない。
がdsであるとし、加速電圧をVjに選択して収束電子線回
折像を観察しているものとする。この状態では電子線の
波長はVjに対応したλｊとなっており、そのため、前記
回折角θの値はλj/dsとなっている。この状態で入力装
置19の押しボタン19bを操作することにより、前記Kiの
値としてKuの値を選択した結果、第３図（ａ）に示すよ
うな収束電子線回折線が観察されたとする。そこで、更
に入力装置19の押しボタン19aを操作して加速電圧とし
てVkを指示したとすると、CPU16は入力装置19の指示信
号に基づいてDA変換器20を介して高圧電源２に制御信号
を送り、加速電圧をそれまでのVjからVkに変更する。そ
の結果、電子線の波長はVkに対応したλｋになり、従っ
て前記回折角θはλk/dsとなる。このとき、CPU16はこ
のような制御と並行して、記憶装置18に記憶されている
第2,第３の集束レンズ6,7の励磁電流指定データ群のう
ち、前記Kuに対応したデータ群の中から加速電圧Vkに対
応するアドレスのデータDAu（Vk）,DBu（Vk）を読み出
し、バスライン17を介して各々DA変換器14,15に送る。
その結果、電子線２は第１図の点線３′で示すように
（但し第１図においては、試料出射側の電子線の光学図
については省略している）、第２の集束レンズ６による
クロスオーバー位置が移動すると共に、第３の集束レン
ズ７の物点位置がこの移動したクロスオーバー位置に合
わせて移動する。その結果、電子線照射角αは前記
（２）式より与えられる値Ku・λｋに変更される。その
ため、θ／αの値は1/（dsKu）となり、加速電圧の変更
前の値に維持される。従って、蛍光板11に投影される回
折像は第３図（ｂ）に示すようになり、ディスク間隔と
ディスク径の比率を加速電圧の切換えにかかわらず不変
に保つことができ、照射角αを調整する必要はない。
上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、変形し
て実施することができる。
て実施することができる。
例えば、上述した実施例においては、記憶装置18に記
憶する第2,第３の集束レンズ6,7の励磁電流指定データ
を前記Kiの値毎にデータ群としてまとめて記憶させるよ
うにしたが、加速電圧値の各値毎に群を成すように記憶
させても良い。
憶する第2,第３の集束レンズ6,7の励磁電流指定データ
を前記Kiの値毎にデータ群としてまとめて記憶させるよ
うにしたが、加速電圧値の各値毎に群を成すように記憶
させても良い。
更に又、上述した実施例においては、第2,第３の集束
レンズの励磁強度を連動して変化させるようにしたが、
第1,第2,第３の集束レンズのうち、いずれか２個の集束
レンズの励磁強度をその総合倍率が一定になるように連
動して変化させるようにすれば、他のレンズを変化させ
るようにしても良い。
レンズの励磁強度を連動して変化させるようにしたが、
第1,第2,第３の集束レンズのうち、いずれか２個の集束
レンズの励磁強度をその総合倍率が一定になるように連
動して変化させるようにすれば、他のレンズを変化させ
るようにしても良い。
［発明の効果］ 上述した説明から明らかなように、本発明に基づく収
束電子線回折装置によれば、電子線の波長λと電子線照
射角αとの比率が電子線の加速電圧の切換えに応答して
所定値に維持されるように、加速電圧の切換えに連動し
て前記照射角αを制御するようにしているため、加速電
圧の切換えに応答して回折ディスク間隔と回折ディスク
径との比率を最初に設定した所望値に自動的に維持する
ことができるため、加速電圧の切換え毎の照射角の調整
を不要として操作性を向上できる。
束電子線回折装置によれば、電子線の波長λと電子線照
射角αとの比率が電子線の加速電圧の切換えに応答して
所定値に維持されるように、加速電圧の切換えに連動し
て前記照射角αを制御するようにしているため、加速電
圧の切換えに応答して回折ディスク間隔と回折ディスク
径との比率を最初に設定した所望値に自動的に維持する
ことができるため、加速電圧の切換え毎の照射角の調整
を不要として操作性を向上できる。
第１図は本発明の一実施例を示すための図、第２図は記
憶装置18の記憶内容を説明するための図、第３図は本発
明の効果を説明するために回折像を例示するための図、
第４図は従来装置を示すための図、第５図は従来装置の
欠点を説明するための図である。 1:電子銃、2:加速電源 3:電子線、5,6,7:集束レンズ 8:絞り、9:対物レンズ 10:試料、11:蛍光板 12,13:レンズ電源 14,15,20:DA変換器 D:回折ディスク、16:CPU 18:記憶装置、19:入力装置 19a:加速電圧指定用押しボタン 19b:照射角指定用押しボタン
憶装置18の記憶内容を説明するための図、第３図は本発
明の効果を説明するために回折像を例示するための図、
第４図は従来装置を示すための図、第５図は従来装置の
欠点を説明するための図である。 1:電子銃、2:加速電源 3:電子線、5,6,7:集束レンズ 8:絞り、9:対物レンズ 10:試料、11:蛍光板 12,13:レンズ電源 14,15,20:DA変換器 D:回折ディスク、16:CPU 18:記憶装置、19:入力装置 19a:加速電圧指定用押しボタン 19b:照射角指定用押しボタン
Claims (1)
- 【請求項１】電子銃と、該電子銃よりの電子線を集束す
るための第1,第２の集束レンズと、該電子線の加速電圧
を切換えるための手段と、該第1,第２の集束レンズによ
り集束された電子線を試料の微小部分に照射角αで照射
し、該試料を透過した電子線の収束電子線回折像を結像
レンズ系により検出面上に投影するようにした収束電子
線回折装置において、前記加速電圧の切換えに応答し
て、前記照射角αと電子線の波長λとの比率が不変に維
持されるように前記照射角αを変えるべく前記第1,第２
の集束レンズの励磁強度を自動的に制御する制御手段を
備えたことを特徴とする収束電子線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61112139A JP2541931B2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 収束電子線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61112139A JP2541931B2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 収束電子線回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62271338A JPS62271338A (ja) | 1987-11-25 |
| JP2541931B2 true JP2541931B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=14579186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61112139A Expired - Lifetime JP2541931B2 (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 収束電子線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2541931B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6119046A (ja) * | 1984-07-04 | 1986-01-27 | Hitachi Ltd | 収束電子線回折用電子顕微鏡 |
| JPS6180745A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-24 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡による結晶試料観察方法 |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP61112139A patent/JP2541931B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62271338A (ja) | 1987-11-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6173862B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP2002117800A (ja) | 電子線バイプリズム装置を備えた電子顕微鏡 | |
| JPH0279347A (ja) | 透過形電子顕微鏡における物体の照射方法及びそのための電子顕微鏡 | |
| JPH04242060A (ja) | 反射電子顕微鏡 | |
| JPH041459B2 (ja) | ||
| JP2541931B2 (ja) | 収束電子線回折装置 | |
| JP2685603B2 (ja) | 電子線装置 | |
| JPH0654639B2 (ja) | 透過形電子顕微鏡における電子線制御装置 | |
| JPS63298949A (ja) | 広狭領域が同時観察可能な分析電子顕微鏡 | |
| US4283627A (en) | Electron microscope | |
| JPH0793119B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH0729544A (ja) | 電子エネルギ損失同時計測装置 | |
| JPH11135052A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH08255589A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS5919408B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH04336B2 (ja) | ||
| JPS6314810B2 (ja) | ||
| JPS5858779B2 (ja) | 電子顕微鏡等用視野移動装置 | |
| JPS62110246A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP4727132B2 (ja) | 電子顕微鏡のフォーカス合わせ装置 | |
| JPH0233841A (ja) | 分析電子顕微鏡 | |
| JPS589545B2 (ja) | デンシケンビキヨウニオケルタイブツレンズノ ヒテンシユウサホセイホウホウ | |
| JPS61193349A (ja) | 電子顕微鏡における電子線照射方法 | |
| JPH0232738B2 (ja) | ||
| JPH0757680A (ja) | 電子線装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |