JPS589545B2 - デンシケンビキヨウニオケルタイブツレンズノ ヒテンシユウサホセイホウホウ - Google Patents
デンシケンビキヨウニオケルタイブツレンズノ ヒテンシユウサホセイホウホウInfo
- Publication number
- JPS589545B2 JPS589545B2 JP13600475A JP13600475A JPS589545B2 JP S589545 B2 JPS589545 B2 JP S589545B2 JP 13600475 A JP13600475 A JP 13600475A JP 13600475 A JP13600475 A JP 13600475A JP S589545 B2 JPS589545 B2 JP S589545B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- astigmatism
- objective lens
- correction
- focus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超高圧電子顕微鏡に利用して有効な対物レンズ
の非点収差補正方法に関するものである，一般に超高圧
電子顕微鏡においては、電子の透過能が高くなるため薄
い螢光板を使用したのでは充分な明るさ、コントラスト
が得られず、逆に螢光層を厚くした場合、必要な明るさ
及びコントラストは得られても像がぼけてしまい分解能
の低下は避けられない。
の非点収差補正方法に関するものである，一般に超高圧
電子顕微鏡においては、電子の透過能が高くなるため薄
い螢光板を使用したのでは充分な明るさ、コントラスト
が得られず、逆に螢光層を厚くした場合、必要な明るさ
及びコントラストは得られても像がぼけてしまい分解能
の低下は避けられない。
従って、螢光板上の像を観察しながら行う非点収差補正
操作には限度があり、実際には非点収差補正電流を徐々
に聳えたときの写真を複数枚撮影し、その写真を基に非
点収差の補正を進めていくやり方が行われている。
操作には限度があり、実際には非点収差補正電流を徐々
に聳えたときの写真を複数枚撮影し、その写真を基に非
点収差の補正を進めていくやり方が行われている。
この様に非点収差補正方法はＩＯＯＫＶ級の普及電子顕
微鏡に比べ、補正精度は悪く且つ補正に多犬の時間と労
力を費やす。
微鏡に比べ、補正精度は悪く且つ補正に多犬の時間と労
力を費やす。
更に、近時は超高圧電子顕微鏡でも対物レンズの強励磁
化が進み、それにより試料位置が対物レンズ中心に近ず
いている。
化が進み、それにより試料位置が対物レンズ中心に近ず
いている。
その結果試料のある一点で対物レンズの非点収差を補正
したとしても、試料傾斜を行った場合の如く試料位置が
光軸方向にずれると、対物レンズフォーカス電流値が変
化し、非点収差が変化するため、再度補正をやりなおす
必要があり、補正操作は益々厄介になる。
したとしても、試料傾斜を行った場合の如く試料位置が
光軸方向にずれると、対物レンズフォーカス電流値が変
化し、非点収差が変化するため、再度補正をやりなおす
必要があり、補正操作は益々厄介になる。
本発明は上記欠点を解決するもので以下図面に従って説
明する。
明する。
第１図は本発明の原理を説明するための図であり、対物
レンズのフォーカス電流と各フォーカス電流に対応する
非点収差補正コイルへの供給電流との関係を示すグラフ
である。
レンズのフォーカス電流と各フォーカス電流に対応する
非点収差補正コイルへの供給電流との関係を示すグラフ
である。
図中１は第１の４極レンズ、■は該第１の４極レンズと
４５度ずらして置かれた第２の４極レンズへの補正電流
を示す。
４５度ずらして置かれた第２の４極レンズへの補正電流
を示す。
このデータは５００ＫＶ電子顕微鏡を使用し、倍率１５
００００倍、対物レンズの可動絞り孔径７ｏμｍとした
状態で試料を３０度傾斜し、各試料位置におけるフォー
カス電流と非点収差補正電流とをプロットして得たもの
である。
００００倍、対物レンズの可動絞り孔径７ｏμｍとした
状態で試料を３０度傾斜し、各試料位置におけるフォー
カス電流と非点収差補正電流とをプロットして得たもの
である。
この図から明らかなように対物レンズフォーカス電流と
非点収差補正電流との間にはかなり直線性の高い特定の
関係がある。
非点収差補正電流との間にはかなり直線性の高い特定の
関係がある。
そこで本発明は先ず同図の如きフォーカス電流と非点収
差補正電流との関係を測定しておき、試訓傾斜や試刺交
換等により試料位置が変った場合、そのフォーカス合せ
を行いその電流値を検出し、前記第１図の曲線に従って
補正電流を非点収差補正装置に供給するようになしたこ
とに特徴がある。
差補正電流との関係を測定しておき、試訓傾斜や試刺交
換等により試料位置が変った場合、そのフォーカス合せ
を行いその電流値を検出し、前記第１図の曲線に従って
補正電流を非点収差補正装置に供給するようになしたこ
とに特徴がある。
実際の装置においては孔径の異なる複数個の対物レンズ
絞りが使用されるが、どの絞りについても第１図と似た
ような曲線になるので、各絞りについてフォーカス電流
一非点収差補正電流の関係を測定しておき使用する絞り
に応じて該実測曲線を使いわけるようにすれば良い。
絞りが使用されるが、どの絞りについても第１図と似た
ような曲線になるので、各絞りについてフォーカス電流
一非点収差補正電流の関係を測定しておき使用する絞り
に応じて該実測曲線を使いわけるようにすれば良い。
又、加速電圧や観察倍率を変えた場合、非点収差は変化
するが、ある条件に対して特定な関係をもつため計算に
より又は補正回路を通すことにより加速電圧や倍率変化
の影響を除くことができる。
するが、ある条件に対して特定な関係をもつため計算に
より又は補正回路を通すことにより加速電圧や倍率変化
の影響を除くことができる。
第２図は本発明方法を実施した装置の一例を示すもので
、１は電子銃、２及び３は集束レンズ、４は対物レンズ
、５は中間レンズ、６は投映レンズを示す。
、１は電子銃、２及び３は集束レンズ、４は対物レンズ
、５は中間レンズ、６は投映レンズを示す。
電子銃１より出た電子は集束レンズ２及び３で集束され
、平行束として試利７に投射される。
、平行束として試利７に投射される。
試料を透過した電子は対物レンズ４、中間レンズ６によ
り結像拡大され、螢光板８上に終像を結ぶ。
り結像拡大され、螢光板８上に終像を結ぶ。
９は対物レンズの非点補正装置で２個の４極レンズを互
いに４５度ずらして組合せたものが使用され、夫々の組
のコイルには非点収差補正電源１０ａ，１０ｂから電流
が供給される。
いに４５度ずらして組合せたものが使用され、夫々の組
のコイルには非点収差補正電源１０ａ，１０ｂから電流
が供給される。
１１は対物レンズの励磁電源でフォーカス合せの為可変
にされており、そのフォーカス電流は検出回路１２によ
り検出され、制御回路１３に送り込まれる。
にされており、そのフォーカス電流は検出回路１２によ
り検出され、制御回路１３に送り込まれる。
制御回路１３には第１図に示す様なフォーカス電流と非
点収差補正電流との関係が記憶されており、検出回路１
２からのフォーカス電流に応じて非点収差補正装置９の
各組４極レンズへの補正電流を制御するように電源１０
ａ，１０ｂに指令が送られる。
点収差補正電流との関係が記憶されており、検出回路１
２からのフォーカス電流に応じて非点収差補正装置９の
各組４極レンズへの補正電流を制御するように電源１０
ａ，１０ｂに指令が送られる。
尚１４は倍率可変電源である。この様な構成となせば試
料を傾斜し或いは交換した場合のフォーカス合せに対し
非点収差が自動的に補正されることになり、何等わずら
わしい補正操作を行う必要がないので電子顕微鏡による
検鏡作業は極めて能率的となる。
料を傾斜し或いは交換した場合のフォーカス合せに対し
非点収差が自動的に補正されることになり、何等わずら
わしい補正操作を行う必要がないので電子顕微鏡による
検鏡作業は極めて能率的となる。
第１図は本発明方法の原理を説明するための図、第２図
は本発明方法を実施した装置の一例を示す図である。 ′第２図において１は電子銃、２及び３は集束レンズ、
４は対物レンズ、５は中間レンズ、６は投映レンズ、７
は試料、８は螢光板、９は非点収差補正装置、１０ａ及
び１０ｂは補正電源、１１は対物レンズ励磁電源、１２
はフォーカス電流検出回路、１３は制御回路、１４は倍
率可変電源である。
は本発明方法を実施した装置の一例を示す図である。 ′第２図において１は電子銃、２及び３は集束レンズ、
４は対物レンズ、５は中間レンズ、６は投映レンズ、７
は試料、８は螢光板、９は非点収差補正装置、１０ａ及
び１０ｂは補正電源、１１は対物レンズ励磁電源、１２
はフォーカス電流検出回路、１３は制御回路、１４は倍
率可変電源である。
Claims (1)
- １ 予じめ対物レンズのフォーカス電流と非点収差補正
電流又は電圧の関係を測定しておき、試料位置の変化に
伴う対物レンズフォーカス電流値の変化を検出し、該検
出信号に基づき前記フォーカス電流と非点収差補正電流
又は電圧との関係から非点収差補正装置への供給電流又
は電圧を調整することを特徴とする電子顕微鏡における
対物レンズの非点収差補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13600475A JPS589545B2 (ja) | 1975-11-12 | 1975-11-12 | デンシケンビキヨウニオケルタイブツレンズノ ヒテンシユウサホセイホウホウ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13600475A JPS589545B2 (ja) | 1975-11-12 | 1975-11-12 | デンシケンビキヨウニオケルタイブツレンズノ ヒテンシユウサホセイホウホウ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5260058A JPS5260058A (en) | 1977-05-18 |
| JPS589545B2 true JPS589545B2 (ja) | 1983-02-21 |
Family
ID=15164930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13600475A Expired JPS589545B2 (ja) | 1975-11-12 | 1975-11-12 | デンシケンビキヨウニオケルタイブツレンズノ ヒテンシユウサホセイホウホウ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589545B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60159254U (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-23 | アイシン精機株式会社 | 無段変速機用ｖベルト |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3007580B2 (ja) * | 1996-12-20 | 2000-02-07 | 株式会社シマノ | 軸受の伸縮リテーナー |
| JP5241353B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2013-07-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査型電子顕微鏡の調整方法、及び走査電子顕微鏡 |
-
1975
- 1975-11-12 JP JP13600475A patent/JPS589545B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60159254U (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-23 | アイシン精機株式会社 | 無段変速機用ｖベルト |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5260058A (en) | 1977-05-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111354614B (zh) | 带电粒子束装置及其光轴调整方法 | |
| JP5307582B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP7040927B2 (ja) | 荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置における撮像条件調整方法 | |
| JP2001357811A (ja) | 走査形荷電粒子顕微鏡、並びに走査形荷電粒子顕微鏡の焦点合わせ方法及び非点収差補正方法 | |
| WO2012042738A1 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH10177952A (ja) | 電子線を用いた転写装置 | |
| JPS6134221B2 (ja) | ||
| JPH0982257A (ja) | 荷電粒子光学鏡筒における非点収差の補正及び焦点合わせ方法 | |
| JPS589545B2 (ja) | デンシケンビキヨウニオケルタイブツレンズノ ヒテンシユウサホセイホウホウ | |
| JPH08195345A (ja) | 電子ビーム描画装置 | |
| JPH0654639B2 (ja) | 透過形電子顕微鏡における電子線制御装置 | |
| JP3524776B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH053009A (ja) | 電子顕微鏡における軸上コマ補正方式 | |
| JPH01319237A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH0896738A (ja) | 自動焦点合わせ装置 | |
| JP4095218B2 (ja) | 荷電ビーム露光方法及び露光装置 | |
| JPS6029187B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP3110363B2 (ja) | 荷電ビーム描画装置の調整方法 | |
| JPH0314219A (ja) | 電子ビーム描画装置 | |
| JPS6231473B2 (ja) | ||
| JP3488075B2 (ja) | 薄膜試料作製方法及びシステム | |
| JPS62110241A (ja) | 電子顕微鏡のプロ−ブ電流制御方法及び装置 | |
| JP2004327118A (ja) | 走査型電子顕微鏡のヒステリシス補正方法、及び走査型電子顕微鏡 | |
| JPS583228A (ja) | 荷電ビ−ム光学鏡筒 | |
| JPH04116915A (ja) | 描画ビーム径調整方法 |