JPS6328518Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6328518Y2 JPS6328518Y2 JP1981198076U JP19807681U JPS6328518Y2 JP S6328518 Y2 JPS6328518 Y2 JP S6328518Y2 JP 1981198076 U JP1981198076 U JP 1981198076U JP 19807681 U JP19807681 U JP 19807681U JP S6328518 Y2 JPS6328518 Y2 JP S6328518Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- magnetic pole
- pole piece
- lens
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 15
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 claims description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は光軸に垂直な方向から試料を挿入する
機構を有する対物レンズを備え、試料の透過像と
走査像を観察することのできる電子顕微鏡に関す
る。
機構を有する対物レンズを備え、試料の透過像と
走査像を観察することのできる電子顕微鏡に関す
る。
光軸に垂直な方向から試料を挿入する機構を有
する対物レンズを備えた電子顕微鏡においては、
試料を上磁極片と下磁極片との間に挿入したまま
で対物レンズの励磁強度を変えることにより、試
料の透過像と走査像とを切換えて観察することが
行なわれている。即ち、走査像を得る場合には、
対物レンズの励磁強度を強めて試料の前方に張り
出した磁界によつて電子線を試料面上に細く絞る
ための集束レンズが形成されるようにし、一方透
過像を得る場合には対物レンズの励磁を弱めて比
較的太い電子線束で試料を照射すると共に試料の
後方の磁界によつて試料を透過した電子線に基づ
く像を次段のレンズの物面位置に結像するように
している。
する対物レンズを備えた電子顕微鏡においては、
試料を上磁極片と下磁極片との間に挿入したまま
で対物レンズの励磁強度を変えることにより、試
料の透過像と走査像とを切換えて観察することが
行なわれている。即ち、走査像を得る場合には、
対物レンズの励磁強度を強めて試料の前方に張り
出した磁界によつて電子線を試料面上に細く絞る
ための集束レンズが形成されるようにし、一方透
過像を得る場合には対物レンズの励磁を弱めて比
較的太い電子線束で試料を照射すると共に試料の
後方の磁界によつて試料を透過した電子線に基づ
く像を次段のレンズの物面位置に結像するように
している。
ところが、試料が鉄のような磁性材料である場
合には、試料を上磁極片と下磁極片との間に挿入
すると試料が磁化されてしまうため、レンズ磁界
を乱し、像そのものが観察できなくなる。そこで
従来においては磁性材料を観察する場合には、上
磁極片と下磁極片の中間部分と試料とを離して配
置することを前提とし、この前提に従つて得よう
とする像を走査像と透過像との間で切換えるにあ
たつて、磁極片の交換をしていた。即ち、上磁極
片と下磁極片とより成り試料に対する位置の異つ
た一対の磁極片を２通り用意しておき、走査像を
得る場合には試料の前方に下磁極が位置する方を
取り付け、透過像を得る場合には試料の後方に上
磁極が位置する方を取り付けるようにしており、
得ようとする像を切換えるのに煩雑な磁極片の交
替作業を要した。
合には、試料を上磁極片と下磁極片との間に挿入
すると試料が磁化されてしまうため、レンズ磁界
を乱し、像そのものが観察できなくなる。そこで
従来においては磁性材料を観察する場合には、上
磁極片と下磁極片の中間部分と試料とを離して配
置することを前提とし、この前提に従つて得よう
とする像を走査像と透過像との間で切換えるにあ
たつて、磁極片の交換をしていた。即ち、上磁極
片と下磁極片とより成り試料に対する位置の異つ
た一対の磁極片を２通り用意しておき、走査像を
得る場合には試料の前方に下磁極が位置する方を
取り付け、透過像を得る場合には試料の後方に上
磁極が位置する方を取り付けるようにしており、
得ようとする像を切換えるのに煩雑な磁極片の交
替作業を要した。
本考案はこのような従来の欠点を解決し、磁性
試料を観察する場合において観察像を透過像と走
査像の間で切換えるに際して磁極片の交換を不要
とする電子顕微鏡を提供するもので、対物レンズ
の上磁極片と下磁極片との間に中間磁極片を設け
ると共に、該中間磁極片に試料を光軸に対して垂
直な方向から挿入するための穴を設け、前記上磁
極片と中間磁極片との間に形成されるレンズ磁界
により前記穴に挿入された試料上に電子線を細く
絞るための励磁状態と前記中間磁極片と前記下磁
極片との間に形成されるレンズ磁界により試料の
電子顕微鏡像が中間レズの物面位置に形成される
励磁状態間で前記対物レンズの励磁を切換えるた
めの手段を備えたことを特徴としており、以下図
面に基づき本考案の一実施例を詳述する。
試料を観察する場合において観察像を透過像と走
査像の間で切換えるに際して磁極片の交換を不要
とする電子顕微鏡を提供するもので、対物レンズ
の上磁極片と下磁極片との間に中間磁極片を設け
ると共に、該中間磁極片に試料を光軸に対して垂
直な方向から挿入するための穴を設け、前記上磁
極片と中間磁極片との間に形成されるレンズ磁界
により前記穴に挿入された試料上に電子線を細く
絞るための励磁状態と前記中間磁極片と前記下磁
極片との間に形成されるレンズ磁界により試料の
電子顕微鏡像が中間レズの物面位置に形成される
励磁状態間で前記対物レンズの励磁を切換えるた
めの手段を備えたことを特徴としており、以下図
面に基づき本考案の一実施例を詳述する。
本考案の一実施例を示す第１図において、１は
電子銃、２，３は集束レンズ、４は電子線を２次
元的に走査するための偏向コイル、５は対物レン
ズである。６は対物レンズのヨークであり、７は
励磁コイルである。該ヨーク６の内側には磁性材
料より成る上磁極片８ａと下磁極片８ｂが取り付
けられており、更に両磁極片の間には中間磁極片
８ｃが取り付けられている。中間磁極片８ｃには
試料を光軸９に垂直な方向から挿入するための穴
１０が穿たれている。１１ａ，１１ｂ，１１ｃは
電子線を通過させるための孔であり、１２，１３
は非磁性材料で形成されたスペーサーである。
又、対物レンズ５の下段には中間レンズ１４、投
影レンズ１５及び螢光板１６が配置されている。
１７は二次電子検出器である。
電子銃、２，３は集束レンズ、４は電子線を２次
元的に走査するための偏向コイル、５は対物レン
ズである。６は対物レンズのヨークであり、７は
励磁コイルである。該ヨーク６の内側には磁性材
料より成る上磁極片８ａと下磁極片８ｂが取り付
けられており、更に両磁極片の間には中間磁極片
８ｃが取り付けられている。中間磁極片８ｃには
試料を光軸９に垂直な方向から挿入するための穴
１０が穿たれている。１１ａ，１１ｂ，１１ｃは
電子線を通過させるための孔であり、１２，１３
は非磁性材料で形成されたスペーサーである。
又、対物レンズ５の下段には中間レンズ１４、投
影レンズ１５及び螢光板１６が配置されている。
１７は二次電子検出器である。
このような構成において、非磁性材料で形成さ
れた試料保持手段（図示せず）によつて保持され
た試料Ｓを前記穴１０に挿入してセツトした後、
対物レンズ５の励磁コイル７に励磁電流を供給す
れば、光軸９にそつて第２図において実線Ｋで示
すような強度を有する磁界が発生する。但し同図
において、Ａ，Ｂ，Ｃは各々上磁極片、下磁極
片、中間磁極片の位置を表わしている。この図よ
り明らかなように発生する磁界は試料Ｓのセツト
された中間磁極片の位置で略零で、試料Ｓより前
方と後方において大きさが極大となるものであ
る。従つて試料Ｓは殆んど磁化されず、そのため
試料Ｓによつて周囲の磁界は乱されることはな
い。そこで、走査像を得ようとする場合には励磁
電流を調節して集束レンズ３を経た電子線が試料
Ｓの前方の磁界によつて試料Ｓ上に細く絞られる
ようにすると共に、偏向コイル４によつて電子線
を試料Ｓ上において２次元的に走査し、その際発
生した２次電子を検出器１７で検出して陰極線管
（図示せず）に導びけば、該陰極線管に走査像と
して例えば２次電子像を得ることができる。又透
過像を得ようとする場合には、励磁電流を調節し
て試料Ｓの後方の磁界によつて試料Ｓを透過した
電子線による像が次段の中間レンズ１４の物面位
置に形成されるようにすれば、該中間レンズ１４
及び投影レンズ１５によつて拡大投影された透過
像を螢光板１６上に得ることができる。
れた試料保持手段（図示せず）によつて保持され
た試料Ｓを前記穴１０に挿入してセツトした後、
対物レンズ５の励磁コイル７に励磁電流を供給す
れば、光軸９にそつて第２図において実線Ｋで示
すような強度を有する磁界が発生する。但し同図
において、Ａ，Ｂ，Ｃは各々上磁極片、下磁極
片、中間磁極片の位置を表わしている。この図よ
り明らかなように発生する磁界は試料Ｓのセツト
された中間磁極片の位置で略零で、試料Ｓより前
方と後方において大きさが極大となるものであ
る。従つて試料Ｓは殆んど磁化されず、そのため
試料Ｓによつて周囲の磁界は乱されることはな
い。そこで、走査像を得ようとする場合には励磁
電流を調節して集束レンズ３を経た電子線が試料
Ｓの前方の磁界によつて試料Ｓ上に細く絞られる
ようにすると共に、偏向コイル４によつて電子線
を試料Ｓ上において２次元的に走査し、その際発
生した２次電子を検出器１７で検出して陰極線管
（図示せず）に導びけば、該陰極線管に走査像と
して例えば２次電子像を得ることができる。又透
過像を得ようとする場合には、励磁電流を調節し
て試料Ｓの後方の磁界によつて試料Ｓを透過した
電子線による像が次段の中間レンズ１４の物面位
置に形成されるようにすれば、該中間レンズ１４
及び投影レンズ１５によつて拡大投影された透過
像を螢光板１６上に得ることができる。
上述したように、本考案によれば、磁性試料に
対物レンズの磁界が殆ど印加されない状態でこの
試料を対物レンズ中央に配置することができると
共に、対物レンズの励磁の切換えにより、上磁極
片と中間レンズとの間のレンズ磁界により電子線
を試料上に細く絞つたり、中間レンズと下磁極片
との間のレンズ磁界により試料像を中間レンズの
物面位置に結像させることができるため、磁性試
料を走査像と透過電子顕微鏡像との間で切換えて
観察する場合に、磁極片の交換という繁雑な作業
を不要にすることができる。
対物レンズの磁界が殆ど印加されない状態でこの
試料を対物レンズ中央に配置することができると
共に、対物レンズの励磁の切換えにより、上磁極
片と中間レンズとの間のレンズ磁界により電子線
を試料上に細く絞つたり、中間レンズと下磁極片
との間のレンズ磁界により試料像を中間レンズの
物面位置に結像させることができるため、磁性試
料を走査像と透過電子顕微鏡像との間で切換えて
観察する場合に、磁極片の交換という繁雑な作業
を不要にすることができる。
第１図は本考案の一実施例を示すための図、第
２図はこの一実施例装置の対物レンズの光軸に沿
う磁界分布を説明するための図である。 １……電子銃、２，３……集束レンズ、４……
偏向コイル、５……対物レンズ、６……ヨーク、
７……励磁コイル、８ａ，８ｂ，８ｃ……磁極
片、９……光軸、１０……穴、１１ａ，１１ｂ，
１１ｃ……孔、１２，１３……スペーサー、１４
……中間レンズ、１５……投影レンズ、１６……
螢光板、１７……二次電子検出器。
２図はこの一実施例装置の対物レンズの光軸に沿
う磁界分布を説明するための図である。 １……電子銃、２，３……集束レンズ、４……
偏向コイル、５……対物レンズ、６……ヨーク、
７……励磁コイル、８ａ，８ｂ，８ｃ……磁極
片、９……光軸、１０……穴、１１ａ，１１ｂ，
１１ｃ……孔、１２，１３……スペーサー、１４
……中間レンズ、１５……投影レンズ、１６……
螢光板、１７……二次電子検出器。
Claims (1)
- 対物レンズの上磁極片と下磁極片との間に中間
磁極片を設けると共に、該中間磁極片に試料を光
軸に対して垂直な方向から挿入するための穴を設
け、前記上磁極片と中間磁極片との間に形成され
るレンズ磁界により前記穴に挿入された試料上に
電子線を細く絞るための励磁状態と前記中間磁極
片と前記下磁極片との間に形成されるレンズ磁界
により試料の電子顕微鏡像が中間レンズの物面位
置に形成される励磁状態間で前記対物レンズの励
磁を切換えるための手段を備えたことを特徴とす
る電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19807681U JPS5899763U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19807681U JPS5899763U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5899763U JPS5899763U (ja) | 1983-07-07 |
| JPS6328518Y2 true JPS6328518Y2 (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=30111273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19807681U Granted JPS5899763U (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5899763U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4114983Y1 (ja) * | 1965-12-20 | 1966-07-13 | ||
| JPS4912508A (ja) * | 1972-05-19 | 1974-02-04 |
-
1981
- 1981-12-26 JP JP19807681U patent/JPS5899763U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4114983Y1 (ja) * | 1965-12-20 | 1966-07-13 | ||
| JPS4912508A (ja) * | 1972-05-19 | 1974-02-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5899763U (ja) | 1983-07-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1110781A (en) | Electron microscope (comprising an auxiliary lens) | |
| US4209702A (en) | Multiple electron lens | |
| JP2015069831A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| US4633085A (en) | Transmission-type electron microscope | |
| US3717761A (en) | Scanning electron microscope | |
| JPH036615B2 (ja) | ||
| JPS6328518Y2 (ja) | ||
| JP3351647B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP2005032588A (ja) | 電子顕微鏡用磁界型対物レンズ | |
| JPH02284340A (ja) | 可変焦点距離複合電磁レンズ | |
| JPH11135052A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS6340019B2 (ja) | ||
| JP2839683B2 (ja) | フーコー電子顕微鏡 | |
| JP2000048749A (ja) | 走査電子顕微鏡および電子ビームの軸合わせ方法 | |
| US4121100A (en) | Electron microscope | |
| US6624426B2 (en) | Split magnetic lens for controlling a charged particle beam | |
| JP2886168B2 (ja) | 電子線装置 | |
| JPH0689683A (ja) | 電磁型レンズ | |
| JPH0234418B2 (ja) | ||
| JPH0243089Y2 (ja) | ||
| JPH06150869A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH0261093B2 (ja) | ||
| JPH08138601A (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| JPS6314374Y2 (ja) | ||
| JPH03230464A (ja) | 走査型電子顕微鏡 |