JPH0181858U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0181858U JPH0181858U JP1987176487U JP17648787U JPH0181858U JP H0181858 U JPH0181858 U JP H0181858U JP 1987176487 U JP1987176487 U JP 1987176487U JP 17648787 U JP17648787 U JP 17648787U JP H0181858 U JPH0181858 U JP H0181858U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- electron
- signal
- sample
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本案の一実施例の構成図である。
１……電子源、２……加速電極、３……加速電
圧、４……集束レンズ、５……対物レンズ、６…
…偏向コイル、７……電子ビーム、８……二次電
子、９……シンチレータ、１０……ライトガイド
、１１……フオトマルチプライア、１２……フオ
トマル信号出力、１３……フオトマル電源、１４
……フオトマル電源制御リレーコイル、１５……
フオトマル電源制御リレー接点、１６……加熱電
源投入スイツチ（二連）、１７……加熱電源、１
８……フオトマル電源制御リレー用電源、１９…
…試料、２０……試料加熱用フイラメント。
圧、４……集束レンズ、５……対物レンズ、６…
…偏向コイル、７……電子ビーム、８……二次電
子、９……シンチレータ、１０……ライトガイド
、１１……フオトマルチプライア、１２……フオ
トマル信号出力、１３……フオトマル電源、１４
……フオトマル電源制御リレーコイル、１５……
フオトマル電源制御リレー接点、１６……加熱電
源投入スイツチ（二連）、１７……加熱電源、１
８……フオトマル電源制御リレー用電源、１９…
…試料、２０……試料加熱用フイラメント。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 電子銃から発生する電子線を集束し、試料に
照射するための電子レンズ系と、集束された電子
線を試料上で走査するための偏向器、及び試料か
ら発生した二次電子の検出器を具備する装置にお
いて、外部信号によつて二次電子検出器またはそ
の他の検出器の電源または信号を遮断または投入
できる手段を具備することを特徴とする走査電子
顕微鏡。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項において、試
料加熱に連動して試料加熱間のみ二次電子検出器
またはその他の検出器の電源または信号を遮断で
きる手段を具備することを特徴とする走査電子顕
微鏡。 ３ 実用新案登録請求の範囲第１項において、試
料から発生する光を検出する手段を具備し、該光
検出器の信号により、二次電子検出器またはその
他の検出器の電源または信号を遮断できる手段を
具備することを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987176487U JPH0181858U (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987176487U JPH0181858U (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0181858U true JPH0181858U (ja) | 1989-05-31 |
Family
ID=31468218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987176487U Pending JPH0181858U (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0181858U (ja) |
-
1987
- 1987-11-20 JP JP1987176487U patent/JPH0181858U/ja active Pending
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