JPH0429156U - - Google Patents

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JPH0429156U
JPH0429156U JP7098190U JP7098190U JPH0429156U JP H0429156 U JPH0429156 U JP H0429156U JP 7098190 U JP7098190 U JP 7098190U JP 7098190 U JP7098190 U JP 7098190U JP H0429156 U JPH0429156 U JP H0429156U
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による走査電子顕微鏡の一実施
例を説明するための装置構成図、第２図は動作を
説明するための図、第３図は従来例を説明するた
めの図、第４図は検出絞りの検出効率を説明する
ための図である。 １……エミツタ、２……引き出し電極、３……
加速電極、４……引き出し電源、５……加速電極
、６，７……集束レンズ、８……対物レンズ、９
……偏向器、１０……試料、１１……二次電子検
出器、１２……エミツシヨン電流検出絞り、１３
，１４……増幅器、１５……割算演算器、１６…
…増幅器、１７……陰極線管、１８……走査信号
源、２０……二次電子抑制電極、２１……電源。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電界放射形電子銃から放出された電子ビームの
    変動を検出するために電子ビーム通路中に電子ビ
    ーム検出絞りを設けると共に、該検出絞りの上部
    に電子ビーム通過孔を有すると共に該孔縁部から
    光軸に沿つて電子銃方向に伸びる立ち上がり部を
    有する二次電子抑制電極を設け、該二次電子抑制
    電極に前記検出絞りよりも低い電圧を印加するよ
    うにしたことを特徴とする電子顕微鏡等における
    電子ビーム検出器。
JP1990070981U 1990-07-03 1990-07-03 電子顕微鏡等における電子ビ―ム検出器 Expired - Lifetime JP2501075Y2 (ja)

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JP2501075Y2 JP2501075Y2 (ja) 1996-06-12

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5358769A (en) * 1976-11-08 1978-05-26 Fujitsu Ltd Ion injector
JPS5878356A (ja) * 1981-11-04 1983-05-11 Hitachi Ltd 走査形電子顕微鏡

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5358769A (en) * 1976-11-08 1978-05-26 Fujitsu Ltd Ion injector
JPS5878356A (ja) * 1981-11-04 1983-05-11 Hitachi Ltd 走査形電子顕微鏡

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JP2501075Y2 (ja) 1996-06-12

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