JPH08212962A - ２次電子検出器 - Google Patents
２次電子検出器Info
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- JPH08212962A JPH08212962A JP1662395A JP1662395A JPH08212962A JP H08212962 A JPH08212962 A JP H08212962A JP 1662395 A JP1662395 A JP 1662395A JP 1662395 A JP1662395 A JP 1662395A JP H08212962 A JPH08212962 A JP H08212962A
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- secondary electrons
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- electron
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 特定のエネルギの２次電子を選択的に検出す
ることができる２次電子検出器を実現する。 【構成】 ２次電子ｅの内、比較的エネルギの高い電子
ｅ２は−２００Ｖの電圧が印加されたメッシュ状の第３
の電極７を通過し、正の高電圧が印加された第４の電極
１１に入射して吸収される。一方、比較的エネルギの低
い電子ｅ１は、メッシュ状の第３の電極７の負の電界に
よって反射され、＋１００Ｖの電圧が印加された第２の
電極５を通過してシンチレータ１３に入射する。シンチ
レータ１３は入射した２次電子ｅ１の量に応じて発光す
る。このシンチレータ１３における発光は、ガラス部材
１２、光ファイバー１４を介して光電子増倍管１５の光
電変換面１６に入り、電気信号に変換される。
ることができる２次電子検出器を実現する。 【構成】 ２次電子ｅの内、比較的エネルギの高い電子
ｅ２は−２００Ｖの電圧が印加されたメッシュ状の第３
の電極７を通過し、正の高電圧が印加された第４の電極
１１に入射して吸収される。一方、比較的エネルギの低
い電子ｅ１は、メッシュ状の第３の電極７の負の電界に
よって反射され、＋１００Ｖの電圧が印加された第２の
電極５を通過してシンチレータ１３に入射する。シンチ
レータ１３は入射した２次電子ｅ１の量に応じて発光す
る。このシンチレータ１３における発光は、ガラス部材
１２、光ファイバー１４を介して光電子増倍管１５の光
電変換面１６に入り、電気信号に変換される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特定のエネルギの２次
電子を選択的に検出することができる走査電子顕微鏡な
どの２次電子検出器に関する。
電子を選択的に検出することができる走査電子顕微鏡な
どの２次電子検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡では、試料に一次電子ビ
ームを照射し、この電子ビームの照射によって試料から
発生した２次電子を検出している。検出された２次電子
は、一次電子ビームの走査に同期した陰極線管に供給さ
れ、この陰極線管に試料の２次電子像を表示するように
している。
ームを照射し、この電子ビームの照射によって試料から
発生した２次電子を検出している。検出された２次電子
は、一次電子ビームの走査に同期した陰極線管に供給さ
れ、この陰極線管に試料の２次電子像を表示するように
している。
【０００３】従来多く用いられている２次電子検出器
は、検出器の前面に＋１０ｋＶ程度の高電圧を印加して
試料から発生した２次電子を引き寄せ、シンチレータに
２次電子を衝突させてシンチレータを２次電子の強度に
応じて光らせている。シンチレータの光は、光電子増倍
管に供給され２次電子強度に応じた電気信号を得るよう
にしている。このような２次電子検出器は、エバハルト
ソーンリー検出器と呼ばれている。
は、検出器の前面に＋１０ｋＶ程度の高電圧を印加して
試料から発生した２次電子を引き寄せ、シンチレータに
２次電子を衝突させてシンチレータを２次電子の強度に
応じて光らせている。シンチレータの光は、光電子増倍
管に供給され２次電子強度に応じた電気信号を得るよう
にしている。このような２次電子検出器は、エバハルト
ソーンリー検出器と呼ばれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記したタイプの検出
器では、試料から発生したエネルギの高い２次電子から
エネルギの低い２次電子まで種々のエネルギの２次電子
を全て捕らえて検出している。このため、対物レンズの
アパーチャ板やその他の構成部材で散乱した電子も検出
器に入って検出される。散乱した電子に対応して検出さ
れた信号は、走査電子顕微鏡像のバックグランドノイズ
となり、像の質の低下や分解能の悪化につながる。
器では、試料から発生したエネルギの高い２次電子から
エネルギの低い２次電子まで種々のエネルギの２次電子
を全て捕らえて検出している。このため、対物レンズの
アパーチャ板やその他の構成部材で散乱した電子も検出
器に入って検出される。散乱した電子に対応して検出さ
れた信号は、走査電子顕微鏡像のバックグランドノイズ
となり、像の質の低下や分解能の悪化につながる。
【０００５】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、特定のエネルギの２次電子を選択
的に検出することができる２次電子検出器を実現するに
ある。
もので、その目的は、特定のエネルギの２次電子を選択
的に検出することができる２次電子検出器を実現するに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に基づく
２次電子検出器は、試料へ電子ビームを照射した結果試
料から発生した２次電子を引き込む第１の電極と、第１
の電極を通過した２次電子の内、第１のレベル以下のエ
ネルギの２次電子を反射させ、第１のレベル以上のエネ
ルギの２次電子を通過させる第２の電極と、第２の電極
によって反射された２次電子を引き寄せる第３の電極
と、第３の電極を通過した２次電子を検出する検出器と
を備えたことを特徴としている。
２次電子検出器は、試料へ電子ビームを照射した結果試
料から発生した２次電子を引き込む第１の電極と、第１
の電極を通過した２次電子の内、第１のレベル以下のエ
ネルギの２次電子を反射させ、第１のレベル以上のエネ
ルギの２次電子を通過させる第２の電極と、第２の電極
によって反射された２次電子を引き寄せる第３の電極
と、第３の電極を通過した２次電子を検出する検出器と
を備えたことを特徴としている。
【０００７】請求項２の発明に基づく２次電子検出器
は、試料へ電子ビームを照射した結果試料から発生した
２次電子を引き込む第１の電極と、第１の電極を通過し
た２次電子の内、第１のレベル以下のエネルギの２次電
子を反射させ、第１のレベル以上のエネルギの２次電子
を通過させる第２の電極と、第２の電極によって反射さ
れた２次電子を引き寄せる第３の電極と、第２の電極を
通過した２次電子を検出する検出器とを備えたことを特
徴としている。
は、試料へ電子ビームを照射した結果試料から発生した
２次電子を引き込む第１の電極と、第１の電極を通過し
た２次電子の内、第１のレベル以下のエネルギの２次電
子を反射させ、第１のレベル以上のエネルギの２次電子
を通過させる第２の電極と、第２の電極によって反射さ
れた２次電子を引き寄せる第３の電極と、第２の電極を
通過した２次電子を検出する検出器とを備えたことを特
徴としている。
【０００８】請求項３の発明に基づく２次電子検出器
は、試料へ電子ビームを照射した結果試料から発生した
２次電子を引き込む第１の電極と、第１の電極を通過し
た２次電子の内、第１のレベル以下のエネルギの２次電
子を反射させ、第１のレベル以上のエネルギの２次電子
を通過させる第２の電極と、第２の電極によって反射さ
れた２次電子を引き寄せる第３の電極と、第２の電極を
通過した２次電子を検出する第１の検出器と、第３の電
極を通過した２次電子を検出する第２の検出器とを備え
たことを特徴としている。
は、試料へ電子ビームを照射した結果試料から発生した
２次電子を引き込む第１の電極と、第１の電極を通過し
た２次電子の内、第１のレベル以下のエネルギの２次電
子を反射させ、第１のレベル以上のエネルギの２次電子
を通過させる第２の電極と、第２の電極によって反射さ
れた２次電子を引き寄せる第３の電極と、第２の電極を
通過した２次電子を検出する第１の検出器と、第３の電
極を通過した２次電子を検出する第２の検出器とを備え
たことを特徴としている。
【０００９】
【作用】請求項１の発明においては、特定エネルギ以下
の比較的低いエネルギの電子のみを選択的に検出する。
の比較的低いエネルギの電子のみを選択的に検出する。
【００１０】請求項２の発明においては、特定エネルギ
以上の比較的高いエネルギの電子のみを選択的に検出す
る。請求項３の発明においては、特定エネルギ以下の比
較的低いエネルギの電子と、特定エネルギ以上の比較的
高いエネルギの電子を選択的に切り換えて検出する。
以上の比較的高いエネルギの電子のみを選択的に検出す
る。請求項３の発明においては、特定エネルギ以下の比
較的低いエネルギの電子と、特定エネルギ以上の比較的
高いエネルギの電子を選択的に切り換えて検出する。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は本発明の一実施例である２次電子検
出器を備えた走査電子顕微鏡の要部を示しており、１は
図示していない電子銃から発生した電子ビームＥＢを試
料２上で２次元的に走査するための偏向コイルである。
図示していないが、電子ビームＥＢは集束レンズや対物
レンズによって試料２上に細く集束される。
に説明する。図１は本発明の一実施例である２次電子検
出器を備えた走査電子顕微鏡の要部を示しており、１は
図示していない電子銃から発生した電子ビームＥＢを試
料２上で２次元的に走査するための偏向コイルである。
図示していないが、電子ビームＥＢは集束レンズや対物
レンズによって試料２上に細く集束される。
【００１２】３は２次電子検出器の第１の電極であり、
試料２への電子ビームの照射によって発生した２次電子
ｅを引き寄せるため、この第１の電極３には、＋１００
Ｖ程度の電圧が電源４から印加されている。５は第２の
電極であり、この電極５は円筒状に形成されており、第
１の電極３の裏側に配置されている。第２の電極５には
電源６から＋１００Ｖ程度の電圧が印加されている。な
お、第１と第２の電極３，５は、２次電子を透過させる
ためにそれぞれメッシュ状に形成されている。
試料２への電子ビームの照射によって発生した２次電子
ｅを引き寄せるため、この第１の電極３には、＋１００
Ｖ程度の電圧が電源４から印加されている。５は第２の
電極であり、この電極５は円筒状に形成されており、第
１の電極３の裏側に配置されている。第２の電極５には
電源６から＋１００Ｖ程度の電圧が印加されている。な
お、第１と第２の電極３，５は、２次電子を透過させる
ためにそれぞれメッシュ状に形成されている。
【００１３】７はメッシュ状で円錐状の第３の電極であ
り、この電極７は第１の電極３の裏側で円筒状の第２の
電極５の端部近傍に配置されている。第３の電極７には
電源８から−２００Ｖ程度の電圧が印加されている。第
３の電極７は同電位の円筒電極９に固定されている。円
筒電極９の端部近傍には、電源１０から＋１０ｋＶ程度
の高電圧が印加された第４の電極１１が配置されてい
る。第１の電極３の外側には、リング状のガラス部材１
２が設けられており、このガラス部材の内側には入射し
た電子を光信号に変えるシンチレータ１３が設けられて
いる。シンチレータ１３の前面には、図示していない
が、＋１０ｋＶ程度の高い電圧が印加されている。
り、この電極７は第１の電極３の裏側で円筒状の第２の
電極５の端部近傍に配置されている。第３の電極７には
電源８から−２００Ｖ程度の電圧が印加されている。第
３の電極７は同電位の円筒電極９に固定されている。円
筒電極９の端部近傍には、電源１０から＋１０ｋＶ程度
の高電圧が印加された第４の電極１１が配置されてい
る。第１の電極３の外側には、リング状のガラス部材１
２が設けられており、このガラス部材の内側には入射し
た電子を光信号に変えるシンチレータ１３が設けられて
いる。シンチレータ１３の前面には、図示していない
が、＋１０ｋＶ程度の高い電圧が印加されている。
【００１４】リング状のガラス部材１２の外側には、光
ファイバー１４の一方の端部が取り付けられており、こ
の光ファイバー１４はシンチレータ１３によって発生
し、ガラス部材１２を通った光を伝送する。光ファイバ
ー１４の他方の端部は、光電子増倍管１５の前面の光電
変換面１６に接続されている。光電子増倍管１５の出力
信号は、増幅器１７によって増幅された後、偏向コイル
１に供給される走査信号と同期した走査信号が供給され
る陰極線管１８に供給される。このような構成の動作は
次の通りである。
ファイバー１４の一方の端部が取り付けられており、こ
の光ファイバー１４はシンチレータ１３によって発生
し、ガラス部材１２を通った光を伝送する。光ファイバ
ー１４の他方の端部は、光電子増倍管１５の前面の光電
変換面１６に接続されている。光電子増倍管１５の出力
信号は、増幅器１７によって増幅された後、偏向コイル
１に供給される走査信号と同期した走査信号が供給され
る陰極線管１８に供給される。このような構成の動作は
次の通りである。
【００１５】２次電子像を観察する場合、図示していな
い偏向制御回路から所定の走査信号が偏向コイル１に供
給され、試料２上の任意の２次元領域が電子ビームＥＢ
によってラスター走査される。試料２への電子ビームの
照射によって発生した２次電子ｅのエネルギを１０ｅＶ
とすると、２次電子ｅは、＋１００Ｖが印加されている
第１の電極３により引き寄せられ、メッシュ状の第１の
電極３を通り抜ける。
い偏向制御回路から所定の走査信号が偏向コイル１に供
給され、試料２上の任意の２次元領域が電子ビームＥＢ
によってラスター走査される。試料２への電子ビームの
照射によって発生した２次電子ｅのエネルギを１０ｅＶ
とすると、２次電子ｅは、＋１００Ｖが印加されている
第１の電極３により引き寄せられ、メッシュ状の第１の
電極３を通り抜ける。
【００１６】ここで、２次電子ｅの内、比較的エネルギ
の高い電子ｅ2は−２００Ｖの電圧が印加されたメッシ
ュ状の第３の電極７を通過し、正の高電圧が印加された
第４の電極１１に入射して吸収される。一方、２次電子
ｅの内、比較的エネルギの低い電子ｅ1は、メッシュ状
の第３の電極７の負の電界によって反射される。反射さ
れた電子ｅ1は、＋１００Ｖの電圧が印加された第２の
電極５によって引き寄せられ、メッシュ状の第２の電極
５を通過してシンチレータ１３に入射する。
の高い電子ｅ2は−２００Ｖの電圧が印加されたメッシ
ュ状の第３の電極７を通過し、正の高電圧が印加された
第４の電極１１に入射して吸収される。一方、２次電子
ｅの内、比較的エネルギの低い電子ｅ1は、メッシュ状
の第３の電極７の負の電界によって反射される。反射さ
れた電子ｅ1は、＋１００Ｖの電圧が印加された第２の
電極５によって引き寄せられ、メッシュ状の第２の電極
５を通過してシンチレータ１３に入射する。
【００１７】シンチレータ１３は入射した２次電子ｅ1
の量に応じて発光する。このシンチレータ１３における
発光は、ガラス部材１２、光ファイバー１４を介して光
電子増倍管１５の光電変換面１６に入り、電気信号に変
換される。光電子増倍管１５からの２次電子ｅ1に応じ
た強度の信号は、増幅器１７を介して陰極線管１８に供
給され、２次電子像が陰極線管１８に表示される。
の量に応じて発光する。このシンチレータ１３における
発光は、ガラス部材１２、光ファイバー１４を介して光
電子増倍管１５の光電変換面１６に入り、電気信号に変
換される。光電子増倍管１５からの２次電子ｅ1に応じ
た強度の信号は、増幅器１７を介して陰極線管１８に供
給され、２次電子像が陰極線管１８に表示される。
【００１８】この陰極線管１８に表示される像は、第３
の電極７によって反射される特定エネルギ以下のエネル
ギの２次電子に基づくものである。従って、対物レンズ
アパーチャ等から散乱される高エネルギの電子に基づく
信号は含まれておらず、得られた２次電子像はバックグ
ランドノイズが著しく減少したものとなる。なお、電源
８から第３の電極７に印加する電圧を調整可能とすれ
ば、所望のエネルギ範囲の２次電子を検出することがで
きる。
の電極７によって反射される特定エネルギ以下のエネル
ギの２次電子に基づくものである。従って、対物レンズ
アパーチャ等から散乱される高エネルギの電子に基づく
信号は含まれておらず、得られた２次電子像はバックグ
ランドノイズが著しく減少したものとなる。なお、電源
８から第３の電極７に印加する電圧を調整可能とすれ
ば、所望のエネルギ範囲の２次電子を検出することがで
きる。
【００１９】図２は本発明の第２の実施例を示している
が、この図において図１の実施例と同一ないしは類似構
成要素には同一番号を付し、その詳細な説明は省略す
る。この実施例では、図１の実施例と異なり、高いエネ
ルギの電子を検出するように構成されている。図２にお
いて、円筒電極９の端部近傍には、円柱状のガラス部材
２０が設けられており、このガラス部材２０の第３の電
極７に対向する面には入射した電子を光信号に変えるシ
ンチレータ２１が設けられている。シンチレータ２１の
前面には、図示していないが、＋１０ｋＶ程度の高い電
圧が印加されている。なお、第３の電極７には、電源８
から−１ｋＶ程度の負の電圧が印加される。
が、この図において図１の実施例と同一ないしは類似構
成要素には同一番号を付し、その詳細な説明は省略す
る。この実施例では、図１の実施例と異なり、高いエネ
ルギの電子を検出するように構成されている。図２にお
いて、円筒電極９の端部近傍には、円柱状のガラス部材
２０が設けられており、このガラス部材２０の第３の電
極７に対向する面には入射した電子を光信号に変えるシ
ンチレータ２１が設けられている。シンチレータ２１の
前面には、図示していないが、＋１０ｋＶ程度の高い電
圧が印加されている。なお、第３の電極７には、電源８
から−１ｋＶ程度の負の電圧が印加される。
【００２０】ガラス部材２０の他方の端部には光電子増
倍管２２が接続されている。光電子増倍管２２の出力信
号は、増幅器２３によって増幅された後、偏向コイル１
に供給される走査信号と同期した走査信号が供給される
陰極線管１８に供給される。円筒状の第２の電極５の外
側には、電源２４から＋１０ｋＶ程度の高電圧が印加さ
れるリング状の吸収電極２５が配置されている。このよ
うな構成の動作は次の通りである。
倍管２２が接続されている。光電子増倍管２２の出力信
号は、増幅器２３によって増幅された後、偏向コイル１
に供給される走査信号と同期した走査信号が供給される
陰極線管１８に供給される。円筒状の第２の電極５の外
側には、電源２４から＋１０ｋＶ程度の高電圧が印加さ
れるリング状の吸収電極２５が配置されている。このよ
うな構成の動作は次の通りである。
【００２１】試料２への電子ビームの照射によって発生
した２次電子ｅは、＋１００Ｖが印加されている第１の
電極３により引き寄せられ、メッシュ状の第１の電極３
を通り抜ける。ここで、２次電子ｅの内、比較的エネル
ギの高い電子ｅ2は−１ｋＶの電圧が印加されたメッシ
ュ状の第３の電極７を通過し、シンチレータ２１に入射
する。
した２次電子ｅは、＋１００Ｖが印加されている第１の
電極３により引き寄せられ、メッシュ状の第１の電極３
を通り抜ける。ここで、２次電子ｅの内、比較的エネル
ギの高い電子ｅ2は−１ｋＶの電圧が印加されたメッシ
ュ状の第３の電極７を通過し、シンチレータ２１に入射
する。
【００２２】シンチレータ２１は入射した２次電子ｅ2
の量に応じて発光する。このシンチレータ２１における
発光は、ガラス部材２０を介して光電子増倍管２２に入
り、電気信号に変換される。光電子増倍管２２からの２
次電子ｅ2に応じた強度の信号は、増幅器２３を介して
陰極線管１８に供給され、２次電子像が陰極線管１８に
表示される。
の量に応じて発光する。このシンチレータ２１における
発光は、ガラス部材２０を介して光電子増倍管２２に入
り、電気信号に変換される。光電子増倍管２２からの２
次電子ｅ2に応じた強度の信号は、増幅器２３を介して
陰極線管１８に供給され、２次電子像が陰極線管１８に
表示される。
【００２３】一方、１ｋｅＶ以下のエネルギの電子ｅ1
は、第３の電極７によって反射される。この反射された
電子ｅ1は、＋１００Ｖの電圧が印加された第２の電極
５によって引き寄せられ、メッシュ状の第２の電極５を
通過して吸収電極２５に入射し、吸収される。このよう
に、陰極線管１８に表示される像は、第３の電極７を通
過した特定エネルギ以上のエネルギの２次電子に基づく
ものである。なお、電源８から第３の電極７に印加する
電圧を調整可能とすれば、検出される２次電子の低い方
のエネルギレベルを変化させることができる。
は、第３の電極７によって反射される。この反射された
電子ｅ1は、＋１００Ｖの電圧が印加された第２の電極
５によって引き寄せられ、メッシュ状の第２の電極５を
通過して吸収電極２５に入射し、吸収される。このよう
に、陰極線管１８に表示される像は、第３の電極７を通
過した特定エネルギ以上のエネルギの２次電子に基づく
ものである。なお、電源８から第３の電極７に印加する
電圧を調整可能とすれば、検出される２次電子の低い方
のエネルギレベルを変化させることができる。
【００２４】この図２に示した実施例において、試料２
と第１の電極３との間に補助電極を設け、効率的に全て
の２次電子を引き摺り込むこともできる。また、この図
２の構成では、高いエネルギの電子を検出するように構
成しているので、反射電子の検出器としても使用するこ
とができる。
と第１の電極３との間に補助電極を設け、効率的に全て
の２次電子を引き摺り込むこともできる。また、この図
２の構成では、高いエネルギの電子を検出するように構
成しているので、反射電子の検出器としても使用するこ
とができる。
【００２５】図３は本発明の第３の実施例を示してお
り、図１と図２の実施例と同一ないしは類似構成要素に
は同一番号が付されている。この実施例では、第２の電
極５の外側にシンチレータ１３が配置され、また、第３
の電極７を透過した電子を検出するためにシンチレータ
２１が設けられている。シンチレータ１３からの光は光
電子増倍管１５によって電気信号に変換され、その信号
は増幅器１７を介してスイッチ２６に供給される。一
方、シンチレータ２１からの光は、光電子増倍菅２２に
よって電気信号に変換され、その信号は増幅器２３を介
してスイッチ２６に供給される。
り、図１と図２の実施例と同一ないしは類似構成要素に
は同一番号が付されている。この実施例では、第２の電
極５の外側にシンチレータ１３が配置され、また、第３
の電極７を透過した電子を検出するためにシンチレータ
２１が設けられている。シンチレータ１３からの光は光
電子増倍管１５によって電気信号に変換され、その信号
は増幅器１７を介してスイッチ２６に供給される。一
方、シンチレータ２１からの光は、光電子増倍菅２２に
よって電気信号に変換され、その信号は増幅器２３を介
してスイッチ２６に供給される。
【００２６】スイッチ２６は、光電子増倍管１５と２２
からの２種の信号を切り換えて陰極線管１８に供給す
る。この結果、スイッチ２６により光電子増倍管１５か
らの信号を陰極線管１８に供給すれば、陰極線管１８に
は第３の電極７に印加する電圧に応じた特定エネルギ以
下のエネルギを有した電子ｅ1に基づく像が表示され
る。また、スイッチ２６により光電子増倍管２２からの
信号を陰極線管１８に供給すれば、陰極線管１８には第
３の電極７に印加する電圧に応じた特定エネルギ以上の
エネルギを有した電子ｅ2に基づく像が表示される。
からの２種の信号を切り換えて陰極線管１８に供給す
る。この結果、スイッチ２６により光電子増倍管１５か
らの信号を陰極線管１８に供給すれば、陰極線管１８に
は第３の電極７に印加する電圧に応じた特定エネルギ以
下のエネルギを有した電子ｅ1に基づく像が表示され
る。また、スイッチ２６により光電子増倍管２２からの
信号を陰極線管１８に供給すれば、陰極線管１８には第
３の電極７に印加する電圧に応じた特定エネルギ以上の
エネルギを有した電子ｅ2に基づく像が表示される。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
おいては、第１の電極を通過した２次電子の内、第１の
レベル以下のエネルギの２次電子を反射させ、第１のレ
ベル以上のエネルギの２次電子を通過させる第２の電極
と、第２の電極によって反射された２次電子を引き寄せ
る第３の電極と、第３の電極を通過した２次電子を検出
する検出器とを備えるように構成したので、特定エネル
ギ以下の２次電子を選択的に検出することができる。そ
のため、検出信号に基づいて得られる２次電子像には、
対物レンズアパーチャ等から散乱された比較的高いエネ
ルギの電子に基づく信号が含まれていないことから、バ
ックグランドノイズが極めて少ないものとなる。
おいては、第１の電極を通過した２次電子の内、第１の
レベル以下のエネルギの２次電子を反射させ、第１のレ
ベル以上のエネルギの２次電子を通過させる第２の電極
と、第２の電極によって反射された２次電子を引き寄せ
る第３の電極と、第３の電極を通過した２次電子を検出
する検出器とを備えるように構成したので、特定エネル
ギ以下の２次電子を選択的に検出することができる。そ
のため、検出信号に基づいて得られる２次電子像には、
対物レンズアパーチャ等から散乱された比較的高いエネ
ルギの電子に基づく信号が含まれていないことから、バ
ックグランドノイズが極めて少ないものとなる。
【００２８】また、請求項２の発明においては、第１の
電極を通過した２次電子の内、第１のレベル以下のエネ
ルギの２次電子を反射させ、第１のレベル以上のエネル
ギの２次電子を通過させる第２の電極と、第２の電極に
よって反射された２次電子を引き寄せる第３の電極と、
第２の電極を通過した２次電子を検出する検出器とを備
えるように構成したので、任意のエネルギ以上の２次電
子だけを選択的に検出することができる。
電極を通過した２次電子の内、第１のレベル以下のエネ
ルギの２次電子を反射させ、第１のレベル以上のエネル
ギの２次電子を通過させる第２の電極と、第２の電極に
よって反射された２次電子を引き寄せる第３の電極と、
第２の電極を通過した２次電子を検出する検出器とを備
えるように構成したので、任意のエネルギ以上の２次電
子だけを選択的に検出することができる。
【００２９】更に、請求項３の発明においては、第１の
電極を通過した２次電子の内、第１のレベル以下のエネ
ルギの２次電子を反射させ、第１のレベル以上のエネル
ギの２次電子を通過させる第２の電極と、第２の電極に
よって反射された２次電子を引き寄せる第３の電極と、
第２の電極を通過した２次電子を検出する第１の検出器
と、第３の電極を通過した２次電子を検出する第２の検
出器とを備えるように構成したので、任意のエネルギ以
下の２次電子だけとこの任意のエネルギ以上の２次電子
だけを切り換えて選択的に検出することができる。
電極を通過した２次電子の内、第１のレベル以下のエネ
ルギの２次電子を反射させ、第１のレベル以上のエネル
ギの２次電子を通過させる第２の電極と、第２の電極に
よって反射された２次電子を引き寄せる第３の電極と、
第２の電極を通過した２次電子を検出する第１の検出器
と、第３の電極を通過した２次電子を検出する第２の検
出器とを備えるように構成したので、任意のエネルギ以
下の２次電子だけとこの任意のエネルギ以上の２次電子
だけを切り換えて選択的に検出することができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図３】本発明の第３の実施例を示す図である。
１ 偏向コイル ２ 試料 ３ 第１の電極 ５ 第２の電極 ７ 第３の電極 １３ シンチレータ １４ 光ファイバー １５ 光電子像倍管 １６ 光電変換面
Claims (3)
- 【請求項１】 試料へ電子ビームを照射した結果試料か
ら発生した２次電子を引き込む第１の電極と、第１の電
極を通過した２次電子の内、第１のレベル以下のエネル
ギの２次電子を反射させ、第１のレベル以上のエネルギ
の２次電子を通過させる第２の電極と、第２の電極によ
って反射された２次電子を引き寄せる第３の電極と、第
３の電極を通過した２次電子を検出する検出器とを備え
た２次電子検出器。 - 【請求項２】 試料へ電子ビームを照射した結果試料か
ら発生した２次電子を引き込む第１の電極と、第１の電
極を通過した２次電子の内、第１のレベル以下のエネル
ギの２次電子を反射させ、第１のレベル以上のエネルギ
の２次電子を通過させる第２の電極と、第２の電極によ
って反射された２次電子を引き寄せる第３の電極と、第
２の電極を通過した２次電子を検出する検出器とを備え
た２次電子検出器。 - 【請求項３】 試料へ電子ビームを照射した結果試料か
ら発生した２次電子を引き込む第１の電極と、第１の電
極を通過した２次電子の内、第１のレベル以下のエネル
ギの２次電子を反射させ、第１のレベル以上のエネルギ
の２次電子を通過させる第２の電極と、第２の電極によ
って反射された２次電子を引き寄せる第３の電極と、第
２の電極を通過した２次電子を検出する第１の検出器
と、第３の電極を通過した２次電子を検出する第２の検
出器とを備えた２次電子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1662395A JPH08212962A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | ２次電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1662395A JPH08212962A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | ２次電子検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08212962A true JPH08212962A (ja) | 1996-08-20 |
Family
ID=11921479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1662395A Withdrawn JPH08212962A (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | ２次電子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08212962A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002505794A (ja) * | 1997-06-13 | 2002-02-19 | ガタン・インコーポレーテッド | 電子顕微鏡の影像検出器の解像度を改良しノイズを低減する方法及び装置 |
| JP2008076099A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Ricoh Co Ltd | 表面電位分布の測定方法、表面電位の測定装置、感光体静電潜像の測定装置、潜像担持体及び画像形成装置 |
-
1995
- 1995-02-03 JP JP1662395A patent/JPH08212962A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002505794A (ja) * | 1997-06-13 | 2002-02-19 | ガタン・インコーポレーテッド | 電子顕微鏡の影像検出器の解像度を改良しノイズを低減する方法及び装置 |
| JP2008076099A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Ricoh Co Ltd | 表面電位分布の測定方法、表面電位の測定装置、感光体静電潜像の測定装置、潜像担持体及び画像形成装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020507 |