JPH0319166Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0319166Y2 JPH0319166Y2 JP18993584U JP18993584U JPH0319166Y2 JP H0319166 Y2 JPH0319166 Y2 JP H0319166Y2 JP 18993584 U JP18993584 U JP 18993584U JP 18993584 U JP18993584 U JP 18993584U JP H0319166 Y2 JPH0319166 Y2 JP H0319166Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- magnetic pole
- sample
- potential
- electron beam
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- Expired
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、走査電子顕微鏡等における２次電子
の検出効率を向上させた電子線装置に関する。
の検出効率を向上させた電子線装置に関する。
走査電子顕微鏡等において、試料から発生した
２次電子を集める方法として、対物レンズの上部
に２次電子検出器を配置し、該対物レンズの磁場
によつて２次電子を集め、該検出器に導く方法が
ある。
２次電子を集める方法として、対物レンズの上部
に２次電子検出器を配置し、該対物レンズの磁場
によつて２次電子を集め、該検出器に導く方法が
ある。
この場合、対物レンズの磁場を利用しているた
め、試料は対物レンズに極く近く、又は、対物レ
ンズ内部に配置しなければならず、焦点深度が深
い像を観察する目的、あるいは、歪が少ない低倍
像を観察する目的で試料を対物レンズから離れた
位置に配置すると、極端に２次電子の検出効率が
低下する。
め、試料は対物レンズに極く近く、又は、対物レ
ンズ内部に配置しなければならず、焦点深度が深
い像を観察する目的、あるいは、歪が少ない低倍
像を観察する目的で試料を対物レンズから離れた
位置に配置すると、極端に２次電子の検出効率が
低下する。
本考案は、上述した点に鑑みてなされたもの
で、試料と対物レンズとの間の距離が離れても、
２次電子の検出効率が良い電子線装置を提供する
ことを目的としている。
で、試料と対物レンズとの間の距離が離れても、
２次電子の検出効率が良い電子線装置を提供する
ことを目的としている。
本発明に基づく電子線装置は、電子線を試料上
に細く収束する磁界型対物レンズと、該対物レン
ズの上部に配置され、試料電位に対し、正の電位
が印加された２次電子捕集電極を有した２次電子
検出器とを備え、該試料への電子線の照射に基づ
いて発生した２次電子を該対物レンズの磁場によ
つて光軸に沿つて該対物レンズの上部に取り出
し、該検出器によつて検出するようにした装置に
おいて、該対物レンズの磁極に、該試料の電位と
該検出器の捕集電極の電位との中間の電位を加え
るように構成したことを特徴としている。
に細く収束する磁界型対物レンズと、該対物レン
ズの上部に配置され、試料電位に対し、正の電位
が印加された２次電子捕集電極を有した２次電子
検出器とを備え、該試料への電子線の照射に基づ
いて発生した２次電子を該対物レンズの磁場によ
つて光軸に沿つて該対物レンズの上部に取り出
し、該検出器によつて検出するようにした装置に
おいて、該対物レンズの磁極に、該試料の電位と
該検出器の捕集電極の電位との中間の電位を加え
るように構成したことを特徴としている。
対物レンズの上部に２次電子検出器が配置され
ており、試料への電子線の照射に基づいて発生し
た２次電子は、該対物レンズの磁場によつて集め
られ、該検出器の２次電子捕集電極によつて該検
出器に導かれ、検出される。該対物レンズの磁極
は他の部分から絶縁されて配置されており、該磁
極には、試料電位と該捕集電極の電位との中間の
電位が印加されている。その結果、試料を対物レ
ンズから離して配置しても、該試料から発生した
２次電子は、該磁極の電位によつて対物レンズ方
向に引張られ、該対物レンズの磁場によつて効率
良く集められるため、２次電子検出効率は極めて
高くなる。
ており、試料への電子線の照射に基づいて発生し
た２次電子は、該対物レンズの磁場によつて集め
られ、該検出器の２次電子捕集電極によつて該検
出器に導かれ、検出される。該対物レンズの磁極
は他の部分から絶縁されて配置されており、該磁
極には、試料電位と該捕集電極の電位との中間の
電位が印加されている。その結果、試料を対物レ
ンズから離して配置しても、該試料から発生した
２次電子は、該磁極の電位によつて対物レンズ方
向に引張られ、該対物レンズの磁場によつて効率
良く集められるため、２次電子検出効率は極めて
高くなる。
以下本考案の一実施例を添附図面に基づいて詳
述する。
述する。
図中１は走査電子顕微鏡等の対物レンズであ
り、上磁極２、下磁極３およびレンズコイル４か
ら構成されているが、該上磁極２、下磁極３は、
夫々他の部分から絶縁されて配置されている。５
は該対物レンズの上部に配置され、蛍光面とフオ
トマルチプライヤ等から成る２次電子検出器であ
り、該検出器の前部には、２次電子捕集電極６が
配置されている。又、該対物レンズ１の下部には
接地電位の試料７が配置されている。８は該捕集
電極６、上磁極２、下磁極３に電圧を印加するた
めの電源である。なお、図示していないが、該対
物レンズで１の上部には、電子線源、収束レン
ズ、偏向コイル等が設けられ、又、検出器５の出
力信号は該偏向コイルに供給される走査信号が送
られている陰極線管に輝度信号として供給され
る。
り、上磁極２、下磁極３およびレンズコイル４か
ら構成されているが、該上磁極２、下磁極３は、
夫々他の部分から絶縁されて配置されている。５
は該対物レンズの上部に配置され、蛍光面とフオ
トマルチプライヤ等から成る２次電子検出器であ
り、該検出器の前部には、２次電子捕集電極６が
配置されている。又、該対物レンズ１の下部には
接地電位の試料７が配置されている。８は該捕集
電極６、上磁極２、下磁極３に電圧を印加するた
めの電源である。なお、図示していないが、該対
物レンズで１の上部には、電子線源、収束レン
ズ、偏向コイル等が設けられ、又、検出器５の出
力信号は該偏向コイルに供給される走査信号が送
られている陰極線管に輝度信号として供給され
る。
上述した如き構成において、２次電子検出器５
の捕集電極６には、電源８から最も高い正の電圧
が印加され、対物レンズ１の上磁極２には該捕集
電極６より低い電圧が、又、下磁極３には上磁極
より低い電圧が印加される。この状態で、試料７
には、対物レンズ１によつて細く収束された電子
線が照射される。該試料への電子線の照射によつ
て発生した２次電子は、該磁極２，３の正電位に
よつて該対物レンズ方向に引張られ、該対物レン
ズ１に接近すると、該対物レンズの磁場によつて
光軸部分に集められ、光軸に沿つて該対物レンズ
上部に導かれ、該捕集電極６によつて検出器５に
導かれて検出される。
の捕集電極６には、電源８から最も高い正の電圧
が印加され、対物レンズ１の上磁極２には該捕集
電極６より低い電圧が、又、下磁極３には上磁極
より低い電圧が印加される。この状態で、試料７
には、対物レンズ１によつて細く収束された電子
線が照射される。該試料への電子線の照射によつ
て発生した２次電子は、該磁極２，３の正電位に
よつて該対物レンズ方向に引張られ、該対物レン
ズ１に接近すると、該対物レンズの磁場によつて
光軸部分に集められ、光軸に沿つて該対物レンズ
上部に導かれ、該捕集電極６によつて検出器５に
導かれて検出される。
このように、上述した実施例では、試料７から
発生した２次電子は、試料より高い正の電圧が印
加された対物レンズの磁極よつて引張られるた
め、試料７を対物レンズ１から離して配置して
も、効率良く２次電子を検出することができ、焦
点深度の深い２次電子像、あるいは、歪の少ない
低倍像を観察することができる。なお、本考案は
上述した実施例に限定されず幾多の変形が可能で
ある。例えば、上磁極と下磁極に異なつた電圧を
印加するようにしたが、両磁極に同一の電圧を印
加しても良い。又、上磁極のみに電圧を印加し、
下磁極は試料と同じ電位としても上記実施例と同
等に検出効率が向上することが考案者の実験によ
り確認されている。
発生した２次電子は、試料より高い正の電圧が印
加された対物レンズの磁極よつて引張られるた
め、試料７を対物レンズ１から離して配置して
も、効率良く２次電子を検出することができ、焦
点深度の深い２次電子像、あるいは、歪の少ない
低倍像を観察することができる。なお、本考案は
上述した実施例に限定されず幾多の変形が可能で
ある。例えば、上磁極と下磁極に異なつた電圧を
印加するようにしたが、両磁極に同一の電圧を印
加しても良い。又、上磁極のみに電圧を印加し、
下磁極は試料と同じ電位としても上記実施例と同
等に検出効率が向上することが考案者の実験によ
り確認されている。
以上詳述した如く、本考案によれば、対物レン
ズの磁極に電圧を印加する簡単な構成により、試
料を対物レンズから離して配置しても充分な量の
２次電子を検出することができる。
ズの磁極に電圧を印加する簡単な構成により、試
料を対物レンズから離して配置しても充分な量の
２次電子を検出することができる。
添附図面は本考案の一実施例を示す図である。
１……対物レンズ、２……上磁極、３……下磁
極、４……レンズコイル、５……検出器、６……
捕集電極、７……試料、８……電源。
極、４……レンズコイル、５……検出器、６……
捕集電極、７……試料、８……電源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 電子線を試料上に細く収束する磁界型対物レ
ンズと、該対物レンズの上部に配置され、試料
電位に対し、正の電位が印加された２次電子捕
集電極を有した２次電子検出器とを備え、該試
料への電子線の照射に基づいて発生した２次電
子を該対物レンズの磁場によつて光軸に沿つて
該対物レンズの上部に取り出し、該検出器によ
つて検出するようにした電子線装置において、
該対物レンズの磁極に、該試料の電位と該検出
器の捕集電極の電位との中間の電位を加えるよ
うに構成した電子線装置。 (2) 該対物レンズの上磁極と下磁極とを異なつた
電位とし、上磁極の電位を該下磁極の電位によ
り正に高い電位とした実用新案登録請求の範囲
第１項記載の電子線装置。 (3) 該対物レンズの下磁極は試料と同じ接地電位
とし、該対物レンズの上磁極に該捕集電極と試
料との中間の電位を印加するようにした実用新
案登録請求の範囲第１項記載の電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18993584U JPH0319166Y2 (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18993584U JPH0319166Y2 (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61104960U JPS61104960U (ja) | 1986-07-03 |
| JPH0319166Y2 true JPH0319166Y2 (ja) | 1991-04-23 |
Family
ID=30747383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18993584U Expired JPH0319166Y2 (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0319166Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4179390B2 (ja) * | 1995-10-19 | 2008-11-12 | 株式会社日立製作所 | 走査形電子顕微鏡 |
| JP3966350B2 (ja) * | 1995-10-19 | 2007-08-29 | 株式会社日立製作所 | 走査形電子顕微鏡 |
| JP4179369B2 (ja) * | 1995-10-19 | 2008-11-12 | 株式会社日立製作所 | 走査形電子顕微鏡 |
-
1984
- 1984-12-14 JP JP18993584U patent/JPH0319166Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61104960U (ja) | 1986-07-03 |
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