JPH0236208Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0236208Y2 JPH0236208Y2 JP1984187640U JP18764084U JPH0236208Y2 JP H0236208 Y2 JPH0236208 Y2 JP H0236208Y2 JP 1984187640 U JP1984187640 U JP 1984187640U JP 18764084 U JP18764084 U JP 18764084U JP H0236208 Y2 JPH0236208 Y2 JP H0236208Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- sample
- electron beam
- detector
- secondary electrons
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、２次電子による走査電子顕微鏡像を
得る電子線装置の改良に関する。
得る電子線装置の改良に関する。
近時、半導体ウエハー等の大型試料を観察する
ために、これらの大型試料を装着、移動できる大
型試料室を備えた走査電子顕微鏡が使用されてい
る。この様な装置の一例を第２図に示す。第２図
において、１は図示しない電子銃より光軸Ｃに沿
つて放射された電子線であり、該電子線１は対物
レンズを形成する磁極片２の下に配置された試料
３に図示しない偏向コイルにより２次元的に走査
されて照射される。試料３に電子線１が照射され
ると、該試料面より２次電子ｅが発生する。試料
３よりの２次電子ｅを検出するための２次電子検
出器は、シンチレーター４をその先端に取り付け
たライトガイド５と、その後端に配置された光電
子増倍管６等から構成される。前記ライトガイド
先端のシンチレーター４の前面には、導電性薄膜
が蒸着されている。この導電性薄膜と、２次電子
ｅを捕獲するためのリング状の電極８とには直流
電源（図示せず）によつて正の高電圧（例えば
10KV）が印加されている。又、ライトガイド５
の周囲には例えば＋100V（可変可能）程度の電位
のシールド筒７が設けられており、この様に構成
された２次電子検出器は、対物レンズの磁極片２
に沿つて光軸Ｃに対して傾斜して配置されてい
る。
ために、これらの大型試料を装着、移動できる大
型試料室を備えた走査電子顕微鏡が使用されてい
る。この様な装置の一例を第２図に示す。第２図
において、１は図示しない電子銃より光軸Ｃに沿
つて放射された電子線であり、該電子線１は対物
レンズを形成する磁極片２の下に配置された試料
３に図示しない偏向コイルにより２次元的に走査
されて照射される。試料３に電子線１が照射され
ると、該試料面より２次電子ｅが発生する。試料
３よりの２次電子ｅを検出するための２次電子検
出器は、シンチレーター４をその先端に取り付け
たライトガイド５と、その後端に配置された光電
子増倍管６等から構成される。前記ライトガイド
先端のシンチレーター４の前面には、導電性薄膜
が蒸着されている。この導電性薄膜と、２次電子
ｅを捕獲するためのリング状の電極８とには直流
電源（図示せず）によつて正の高電圧（例えば
10KV）が印加されている。又、ライトガイド５
の周囲には例えば＋100V（可変可能）程度の電位
のシールド筒７が設けられており、この様に構成
された２次電子検出器は、対物レンズの磁極片２
に沿つて光軸Ｃに対して傾斜して配置されてい
る。
このように構成された装置において、リング状
電極８の前方の空間の等電位面は、対物レンズ磁
極片２による接地電位壁が一方の側の近傍にのみ
存在するため、第２図中点線で示す如く２次電子
検出器の軸に対して傾斜している。そのため、試
料より発生した２次電子ｅのかなりの部分が、第
２図において実線イで示す如き軌道をとつて、シ
ールド筒７に衝突する等して検出効率が不充分で
あつた。
電極８の前方の空間の等電位面は、対物レンズ磁
極片２による接地電位壁が一方の側の近傍にのみ
存在するため、第２図中点線で示す如く２次電子
検出器の軸に対して傾斜している。そのため、試
料より発生した２次電子ｅのかなりの部分が、第
２図において実線イで示す如き軌道をとつて、シ
ールド筒７に衝突する等して検出効率が不充分で
あつた。
本考案は以上の問題点を解決して、２次電子検
出効率を向上できる電子線装置を提供することを
目的としている。
出効率を向上できる電子線装置を提供することを
目的としている。
本問題点を解決するための本考案の構成は、電
子線を対物レンズの下に配置された試料に照射
し、上記試料より発生する２次電子を高圧を印加
したシンチレータを有する２次電子検出器で捕獲
検出する装置において、前記対物レンズの光軸に
対して傾斜した側面に沿つて配置された２次電子
検出器と、該対物レンズの傾斜した側面に略平行
に配置され該検出器の試料側空間の等電位面を略
該検出器の軸に垂直にするため前記対物レンズ側
面と略同電位が与えられる補助電極とを具備し、
該試料から発生した２次電子が該対物レンズの側
面と該補助電極で挟まれた空間を介して該検出器
に入射するように構成したことを特徴としてい
る。
子線を対物レンズの下に配置された試料に照射
し、上記試料より発生する２次電子を高圧を印加
したシンチレータを有する２次電子検出器で捕獲
検出する装置において、前記対物レンズの光軸に
対して傾斜した側面に沿つて配置された２次電子
検出器と、該対物レンズの傾斜した側面に略平行
に配置され該検出器の試料側空間の等電位面を略
該検出器の軸に垂直にするため前記対物レンズ側
面と略同電位が与えられる補助電極とを具備し、
該試料から発生した２次電子が該対物レンズの側
面と該補助電極で挟まれた空間を介して該検出器
に入射するように構成したことを特徴としてい
る。
以下本考案の実施例を添付図面に基づき詳述す
る。
る。
第１図は本考案の実施例を示す概略図であり、
第１図において第２図と同一構成要素には同一番
号を付してその説明を省略する。第１図に示した
本考案に係る装置が第２図の従来装置と異なる点
は、該対物レンズの傾斜した側面に略平行に配置
され、２次電子検出器の試料側に接地電位に保た
れた補助電極９を配置した点にある。
第１図において第２図と同一構成要素には同一番
号を付してその説明を省略する。第１図に示した
本考案に係る装置が第２図の従来装置と異なる点
は、該対物レンズの傾斜した側面に略平行に配置
され、２次電子検出器の試料側に接地電位に保た
れた補助電極９を配置した点にある。
この様な構成においては、２次電子検出器の軸
Ｕに対して略対称に磁極片２と補助電極９が配置
され、しかもこれら両者の電位は等しいため、リ
ング状電極８の前方の空間における等電位面は、
第１図中点線で示すようい略軸Ｕに垂直になる。
そのため、試料より発生した２次電子ｅの大部分
は、第１図中実線口で示すような軌道をとつて、
シールド筒７に衝突することなく検出されるた
め、２次電子ｅの検出効率を向上させることがで
きる。
Ｕに対して略対称に磁極片２と補助電極９が配置
され、しかもこれら両者の電位は等しいため、リ
ング状電極８の前方の空間における等電位面は、
第１図中点線で示すようい略軸Ｕに垂直になる。
そのため、試料より発生した２次電子ｅの大部分
は、第１図中実線口で示すような軌道をとつて、
シールド筒７に衝突することなく検出されるた
め、２次電子ｅの検出効率を向上させることがで
きる。
尚、本実施例は例示であり、変形が可能であ
る。
る。
例えば、本実施例においては、補助電極の電位
を接地電位としたが、磁極片の電位と略等しいけ
れば良く、例えばシールド筒７と同電位でも良
い。又、補助電極の電位を変えられるように構成
しても良く、更に又、補助電極の角度を大気側よ
り可変とするように構成しても良い。
を接地電位としたが、磁極片の電位と略等しいけ
れば良く、例えばシールド筒７と同電位でも良
い。又、補助電極の電位を変えられるように構成
しても良く、更に又、補助電極の角度を大気側よ
り可変とするように構成しても良い。
以上の様に本考案によれば、電子線を対物レン
ズの下に配置された試料に照射し、上記試料より
発生する２次電子を高圧を印加したシンチレータ
を有する２次電子検出器で捕獲検出する装置にお
いて、前記対物レンズの光軸に対して傾斜した側
面に沿つて配置された２次電子検出器と、該対物
レンズの傾斜した側面に略平行に配置され該検出
器の試料側空間の等電位面を略該検出器の軸に垂
直にするため前記対物レンズ側面と略同電位が与
えられる補助電極とを具備し、該試料から発生し
た２次電子が該対物レンズの側面と該補助電極で
挟まれた空間を介して該検出器に入射するように
構成したことにより、従来装置に比して２次電子
の検出効率の良い電子線装置が提供される。
ズの下に配置された試料に照射し、上記試料より
発生する２次電子を高圧を印加したシンチレータ
を有する２次電子検出器で捕獲検出する装置にお
いて、前記対物レンズの光軸に対して傾斜した側
面に沿つて配置された２次電子検出器と、該対物
レンズの傾斜した側面に略平行に配置され該検出
器の試料側空間の等電位面を略該検出器の軸に垂
直にするため前記対物レンズ側面と略同電位が与
えられる補助電極とを具備し、該試料から発生し
た２次電子が該対物レンズの側面と該補助電極で
挟まれた空間を介して該検出器に入射するように
構成したことにより、従来装置に比して２次電子
の検出効率の良い電子線装置が提供される。
第１図は本考案の一実施例の概略図、第２図は
従来装置を説明するための図である。 １……電子線、２……磁極片、３……試料、４
……シンチレーター、５……ライトガイド、６…
…光電子増倍管、７……シールド筒、８……リン
グ状電極、９……補助電極。
従来装置を説明するための図である。 １……電子線、２……磁極片、３……試料、４
……シンチレーター、５……ライトガイド、６…
…光電子増倍管、７……シールド筒、８……リン
グ状電極、９……補助電極。
Claims (1)
- 電子線を対物レンズの下に配置された試料に照
射し、上記試料より発生する２次電子を高圧を印
加したシンチレータを有する２次電子検出器で捕
獲検出する装置において、前記対物レンズの光軸
に対して傾斜した側面に沿つて配置された２次電
子検出器と、該対物レンズの傾斜した側面に略平
行に配置され該検出器の試料側空間の等電位面を
略該検出器の軸に垂直にするため前記対物レンズ
側面と略同電位が与えられる補助電極とを具備
し、該試料から発生した２次電子が該対物レンズ
の側面と該補助電極で挟まれた空間を介して該検
出器に入射するように構成したことを特徴とする
電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984187640U JPH0236208Y2 (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984187640U JPH0236208Y2 (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61101956U JPS61101956U (ja) | 1986-06-28 |
| JPH0236208Y2 true JPH0236208Y2 (ja) | 1990-10-02 |
Family
ID=30745102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984187640U Expired JPH0236208Y2 (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0236208Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5141545A (ja) * | 1974-08-07 | 1976-04-07 | Rank Organisation Ltd |
-
1984
- 1984-12-11 JP JP1984187640U patent/JPH0236208Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5141545A (ja) * | 1974-08-07 | 1976-04-07 | Rank Organisation Ltd |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61101956U (ja) | 1986-06-28 |
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