JP3101141B2 - 電子ビーム装置 - Google Patents
電子ビーム装置Info
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- JP3101141B2 JP3101141B2 JP06014378A JP1437894A JP3101141B2 JP 3101141 B2 JP3101141 B2 JP 3101141B2 JP 06014378 A JP06014378 A JP 06014378A JP 1437894 A JP1437894 A JP 1437894A JP 3101141 B2 JP3101141 B2 JP 3101141B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料に電子ビームを照
射し、試料から発生した２次電子を検出するようにした
走査電子顕微鏡などの電子ビーム装置に関する。
射し、試料から発生した２次電子を検出するようにした
走査電子顕微鏡などの電子ビーム装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡において、内側の磁極と
外側の磁極の下端面より下方に単一のレンズ磁場を形成
する対物レンズが用いられている。この場合、試料はこ
のレンズ磁場の中に置くことにより、高分解能の２次電
子像の観察が可能となる。このような走査電子顕微鏡に
おいて、２次電子を検出する方式として２種類考えられ
ている。図１は第１の方式を示したもので、１は対物レ
ンズであり、内側磁極２、外側磁極３、コイル４より構
成されている。この対物レンズ１により磁極２，３の下
端面より下方にレンズ磁場が形成され、このレンズ磁場
の中に試料５が配置される。
外側の磁極の下端面より下方に単一のレンズ磁場を形成
する対物レンズが用いられている。この場合、試料はこ
のレンズ磁場の中に置くことにより、高分解能の２次電
子像の観察が可能となる。このような走査電子顕微鏡に
おいて、２次電子を検出する方式として２種類考えられ
ている。図１は第１の方式を示したもので、１は対物レ
ンズであり、内側磁極２、外側磁極３、コイル４より構
成されている。この対物レンズ１により磁極２，３の下
端面より下方にレンズ磁場が形成され、このレンズ磁場
の中に試料５が配置される。
【０００３】試料５には図示していない電子銃からの電
子ビームが対物レンズ１により細く集束され、照射され
る。試料５への電子ビームの照射によって発生した２次
電子は、対物レンズ１の上部に設けられた２次電子検出
器６、対物レンズ１の下部に設けられた一対の２次電子
検出器７，８によって検出される。２次電子検出器６は
試料５が対物レンズ１に接近して配置された場合に主と
して用いられるもので、試料５から発生した２次電子
は、対物レンズ１の磁場によって拘束され、対物レンズ
１の上部に取り出されて２次電子検出器６によって検出
される。
子ビームが対物レンズ１により細く集束され、照射され
る。試料５への電子ビームの照射によって発生した２次
電子は、対物レンズ１の上部に設けられた２次電子検出
器６、対物レンズ１の下部に設けられた一対の２次電子
検出器７，８によって検出される。２次電子検出器６は
試料５が対物レンズ１に接近して配置された場合に主と
して用いられるもので、試料５から発生した２次電子
は、対物レンズ１の磁場によって拘束され、対物レンズ
１の上部に取り出されて２次電子検出器６によって検出
される。
【０００４】なお、２次電子検出器６，７，８は、それ
ぞれシンチレータと光電子増倍管を組み合わせた構造を
有しており、また、シンチレータの前面のリング状の電
極に正の電圧が印加され、２次電子を引き寄せる電界が
その前面に形成されている。一対の検出器７，８は試料
５が対物レンズ１から離れて配置されたときに主として
用いられるもので、試料５から発生した２次電子は、検
出器７，８の前面に形成された電界により検出器に引き
寄せられ検出される。
ぞれシンチレータと光電子増倍管を組み合わせた構造を
有しており、また、シンチレータの前面のリング状の電
極に正の電圧が印加され、２次電子を引き寄せる電界が
その前面に形成されている。一対の検出器７，８は試料
５が対物レンズ１から離れて配置されたときに主として
用いられるもので、試料５から発生した２次電子は、検
出器７，８の前面に形成された電界により検出器に引き
寄せられ検出される。
【０００５】図２は第２の方式を示しており、図１と同
一部分には同一番号を付してある。この方式では、対物
レンズ１の内側磁極２に２次電子検出器９が取り付けら
れており、試料５から発生した２次電子は、対物レンズ
のレンズ磁場によって拘束されて上方に向かい、２次電
子検出器９の前面に形成された電界により検出器９に引
き寄せられて検出される。
一部分には同一番号を付してある。この方式では、対物
レンズ１の内側磁極２に２次電子検出器９が取り付けら
れており、試料５から発生した２次電子は、対物レンズ
のレンズ磁場によって拘束されて上方に向かい、２次電
子検出器９の前面に形成された電界により検出器９に引
き寄せられて検出される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図１に示した第１の方
式では、高分解能観察時には試料１と対物レンズ２（磁
極下端面）との間の距離すなわちワーキングディスタン
スを短くし、試料５を対物レンズ１の磁場の中に配置す
る。この場合、試料５から発生した２次電子の軌道は、
２次電子のエネルギーが小さい（数ｅＶ程度）ため、対
物レンズの磁力線に沿って動く。図３は対物レンズ１の
下部における磁力線Ｍと、対物レンズ１の軸上磁場分布
Ｂｚを示している。この図から明らかなように、試料か
ら発生した２次電子ＳＥは、磁力線Ｍに沿って磁極下端
面付近までは光軸に沿って上に動くため、試料より下方
の検出器７，８には僅かな２次電子しか入射せず、この
検出器よって検出された信号を陰極線管に供給しても、
良い画質の像を表示することはできない。
式では、高分解能観察時には試料１と対物レンズ２（磁
極下端面）との間の距離すなわちワーキングディスタン
スを短くし、試料５を対物レンズ１の磁場の中に配置す
る。この場合、試料５から発生した２次電子の軌道は、
２次電子のエネルギーが小さい（数ｅＶ程度）ため、対
物レンズの磁力線に沿って動く。図３は対物レンズ１の
下部における磁力線Ｍと、対物レンズ１の軸上磁場分布
Ｂｚを示している。この図から明らかなように、試料か
ら発生した２次電子ＳＥは、磁力線Ｍに沿って磁極下端
面付近までは光軸に沿って上に動くため、試料より下方
の検出器７，８には僅かな２次電子しか入射せず、この
検出器よって検出された信号を陰極線管に供給しても、
良い画質の像を表示することはできない。
【０００７】一方、対物レンズ１の上方に配置された２
次電子検出器６の電界は、磁極下端面付近では非常に弱
いため、磁極下端面より上では、２次電子ＳＥの一部は
磁力線に沿って対物レンズの内側磁極３方向に動き、最
終的には２次電子の一部は内側磁極３に衝突してしまう
ため、対物レンズ１の上方の検出器６によって検出され
た信号に基づいて２次電子像を表示しても、十分なる画
質の像を得ることはできない。
次電子検出器６の電界は、磁極下端面付近では非常に弱
いため、磁極下端面より上では、２次電子ＳＥの一部は
磁力線に沿って対物レンズの内側磁極３方向に動き、最
終的には２次電子の一部は内側磁極３に衝突してしまう
ため、対物レンズ１の上方の検出器６によって検出され
た信号に基づいて２次電子像を表示しても、十分なる画
質の像を得ることはできない。
【０００８】図２に示した第２の方式では、光軸付近に
おける検出器の電界強度が強いため、低加速電圧では一
次電子ビームがこの電界によって曲げられ、対物レンズ
１の光軸外を通るため、レンズの軸外収差で高分解能の
２次電子像を得ることができなくなる。図４はこの様子
を示しており、Ｅは検出器９のシンチレータ部分に印加
された正の電圧による等電位面、ＥＢは一次電子ビーム
である。
おける検出器の電界強度が強いため、低加速電圧では一
次電子ビームがこの電界によって曲げられ、対物レンズ
１の光軸外を通るため、レンズの軸外収差で高分解能の
２次電子像を得ることができなくなる。図４はこの様子
を示しており、Ｅは検出器９のシンチレータ部分に印加
された正の電圧による等電位面、ＥＢは一次電子ビーム
である。
【０００９】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、２次電子の検出効率を高め、高画
質の２次電子像を得ることができる電子ビーム装置を実
現するにある。
もので、その目的は、２次電子の検出効率を高め、高画
質の２次電子像を得ることができる電子ビーム装置を実
現するにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく電子ビー
ム装置は、内側磁極と外側磁極を有し、磁極の下端面よ
り下方に単一のレンズ磁場を形成する対物レンズを備
え、この対物レンズによって電子ビームを集束して試料
に照射すると共に、試料から発生した２次電子を検出す
るようにした電子ビーム装置において、内側磁極の下端
面より上の位置で該内側磁極に２次電子を通過させる開
口を設け、内側磁極の外側に該開口を通過した２次電子
を検出する検出器を設けるように構成したことを特徴と
している。
ム装置は、内側磁極と外側磁極を有し、磁極の下端面よ
り下方に単一のレンズ磁場を形成する対物レンズを備
え、この対物レンズによって電子ビームを集束して試料
に照射すると共に、試料から発生した２次電子を検出す
るようにした電子ビーム装置において、内側磁極の下端
面より上の位置で該内側磁極に２次電子を通過させる開
口を設け、内側磁極の外側に該開口を通過した２次電子
を検出する検出器を設けるように構成したことを特徴と
している。
【００１１】
【作用】本発明に基づく電子ビーム装置は、対物レンズ
の内側磁極の下端面より上に該内側磁極に２次電子を通
過させる開口を設け、その開口の外側に配置した２次電
子検出器により該開口を通過した２次電子を検出する。
の内側磁極の下端面より上に該内側磁極に２次電子を通
過させる開口を設け、その開口の外側に配置した２次電
子検出器により該開口を通過した２次電子を検出する。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図５は本発明の一実施例である走査電子顕
微鏡を示しており、１１は電子銃である。電子銃１１か
ら発生した電子ビームＥＢは、集束レンズ１２と対物レ
ンズ１３によって試料１４上に細く集束される。また、
電子ビームＥＢは、偏向コイル１５，１６によって偏向
され、試料１４上の電子ビームの照射位置は走査され
る。なお、図示していないが、偏向コイル１５，１６に
は走査信号発生回路から２次元走査信号が供給される。
に説明する。図５は本発明の一実施例である走査電子顕
微鏡を示しており、１１は電子銃である。電子銃１１か
ら発生した電子ビームＥＢは、集束レンズ１２と対物レ
ンズ１３によって試料１４上に細く集束される。また、
電子ビームＥＢは、偏向コイル１５，１６によって偏向
され、試料１４上の電子ビームの照射位置は走査され
る。なお、図示していないが、偏向コイル１５，１６に
は走査信号発生回路から２次元走査信号が供給される。
【００１３】対物レンズ１３は、ヨーク１７、内側磁極
１８、外側磁極１９、コイル２０より構成されており、
内側磁極１８の下端面に近い位置に開口２１が穿たれて
いる。内側磁極１８の開口２１部分の外側に、外側磁極
１９に２次電子検出器２２が取り付けられている。２次
電子検出器２２はシンチレータと光電子増倍管とを組み
合わせた構造を有しており、円形状のシンチレータの周
囲部分にはリング状の電極が設けられ、その電極には２
次電子を引き寄せる正の電圧が印加される。この電圧値
は数ｋＶから数１０ｋＶの範囲から選択される。２次電
子検出器２２の検出信号は、増幅器２３によって増幅さ
れた後、電子ビームＥＢの走査と同期した陰極線管２４
に供給される。このような構成の動作は次の通りであ
る。
１８、外側磁極１９、コイル２０より構成されており、
内側磁極１８の下端面に近い位置に開口２１が穿たれて
いる。内側磁極１８の開口２１部分の外側に、外側磁極
１９に２次電子検出器２２が取り付けられている。２次
電子検出器２２はシンチレータと光電子増倍管とを組み
合わせた構造を有しており、円形状のシンチレータの周
囲部分にはリング状の電極が設けられ、その電極には２
次電子を引き寄せる正の電圧が印加される。この電圧値
は数ｋＶから数１０ｋＶの範囲から選択される。２次電
子検出器２２の検出信号は、増幅器２３によって増幅さ
れた後、電子ビームＥＢの走査と同期した陰極線管２４
に供給される。このような構成の動作は次の通りであ
る。
【００１４】上記した構成で、２次電子像を観察する場
合、図示していない走査信号発生回路から所定の走査信
号が偏向コイル１５，１６に供給され、試料１４上の任
意の２次元領域が電子ビームＥＢによってラスター走査
される。ここで、対物レンズ１３は内側磁極１８と外側
磁極１９の下端面より下方に単一のレンズ磁場が形成さ
れるように構成されており、このレンズ磁場の中に試料
１４が配置されている。試料１４への電子ビームの照射
によって発生した２次電子は、レンズ磁場により拘束さ
れて上方に向かう。
合、図示していない走査信号発生回路から所定の走査信
号が偏向コイル１５，１６に供給され、試料１４上の任
意の２次元領域が電子ビームＥＢによってラスター走査
される。ここで、対物レンズ１３は内側磁極１８と外側
磁極１９の下端面より下方に単一のレンズ磁場が形成さ
れるように構成されており、このレンズ磁場の中に試料
１４が配置されている。試料１４への電子ビームの照射
によって発生した２次電子は、レンズ磁場により拘束さ
れて上方に向かう。
【００１５】ここで、内側磁極１８の開口２１付近に
は、検出器２２の前面に印加された電圧に基づく電界が
形成されている。この電界により試料１４から発生し対
物レンズ１３内を上方に向かってきた２次電子は、検出
器２２方向に曲げられ、そして、２次電子検出器２２に
入射して検出される。その検出信号は、増幅器２３を介
して偏向コイル１５への走査信号と同期した陰極線管２
４に供給され、陰極線管２４には試料の任意の領域の２
次電子像が表示される。
は、検出器２２の前面に印加された電圧に基づく電界が
形成されている。この電界により試料１４から発生し対
物レンズ１３内を上方に向かってきた２次電子は、検出
器２２方向に曲げられ、そして、２次電子検出器２２に
入射して検出される。その検出信号は、増幅器２３を介
して偏向コイル１５への走査信号と同期した陰極線管２
４に供給され、陰極線管２４には試料の任意の領域の２
次電子像が表示される。
【００１６】さて、２次電子が通過する開口２１と２次
電子検出器２２の位置が対物レンズ１３の下方にあるた
め、検出器が対物レンズ上方にある場合（例えば図１の
検出器６の配置）に比べ、内側磁極１８の下端面付近の
検出器２２による電界は強いため、２次電子は検出器２
２方向に効率良く曲げられ、より多くの２次電子が開口
を通って検出器２２によって捕獲でき、結果として高画
質の２次電子像を得ることができる。
電子検出器２２の位置が対物レンズ１３の下方にあるた
め、検出器が対物レンズ上方にある場合（例えば図１の
検出器６の配置）に比べ、内側磁極１８の下端面付近の
検出器２２による電界は強いため、２次電子は検出器２
２方向に効率良く曲げられ、より多くの２次電子が開口
を通って検出器２２によって捕獲でき、結果として高画
質の２次電子像を得ることができる。
【００１７】また、内側磁極１３に穿たれた開口２１付
近には磁界が形成され、この磁界は２次電子に対して集
束作用を有することになる。そのため、開口２１を通っ
て２次電子検出器２２に向かう２次電子は、集束されよ
り効率良く検出器に捕獲されることになる。なお、この
開口２１により形成される磁場により集束される２次電
子の軌道を計算すると、開口２１を通過して検出器に向
かう２次電子は曲線を辿り、開口２１部分または開口２
１部より内側で最も高い位置を通る。その結果、検出器
２２の中心位置を開口２１の中心位置より下方に配置す
ることにより、開口２１を通過した２次電子を全て検出
器２２に入射させることができる。
近には磁界が形成され、この磁界は２次電子に対して集
束作用を有することになる。そのため、開口２１を通っ
て２次電子検出器２２に向かう２次電子は、集束されよ
り効率良く検出器に捕獲されることになる。なお、この
開口２１により形成される磁場により集束される２次電
子の軌道を計算すると、開口２１を通過して検出器に向
かう２次電子は曲線を辿り、開口２１部分または開口２
１部より内側で最も高い位置を通る。その結果、検出器
２２の中心位置を開口２１の中心位置より下方に配置す
ることにより、開口２１を通過した２次電子を全て検出
器２２に入射させることができる。
【００１８】なお、２次電子検出器２２を光軸から遠ざ
けること、更に、内側磁極１８の開口２１により、２次
電子検出器２２からの電界を光軸付近で弱めることがで
きる。そのため、試料１４に照射される一次電子ビーム
ＥＢが検出器２２からの電界で曲げられる角度が小さく
なり、一次電子ビームＥＢが対物レンズ１３の中心付近
を通ることができる。従って、対物レンズ１３の軸外収
差が小さくなり、電子ビームの加速電圧を低くしても高
分解能の２次電子像を得ることが可能となる。
けること、更に、内側磁極１８の開口２１により、２次
電子検出器２２からの電界を光軸付近で弱めることがで
きる。そのため、試料１４に照射される一次電子ビーム
ＥＢが検出器２２からの電界で曲げられる角度が小さく
なり、一次電子ビームＥＢが対物レンズ１３の中心付近
を通ることができる。従って、対物レンズ１３の軸外収
差が小さくなり、電子ビームの加速電圧を低くしても高
分解能の２次電子像を得ることが可能となる。
【００１９】上記したように、試料１４からの２次電子
は、対物レンズ１３のレンズ磁場によって拘束され、対
物レンズ１３の内部を上方に向かう。そして、内側磁極
１８の下端面に近い位置に穿たれた開口２１による磁界
により集束され、更に、２次電子検出器２２の前面に形
成された電界により開口２１を通過して２次電子検出器
２２に入射する。しかしながらこの際、２次電子の一部
は開口２１の上部の内側磁極１８に衝突することが実験
的および計算上確認された。
は、対物レンズ１３のレンズ磁場によって拘束され、対
物レンズ１３の内部を上方に向かう。そして、内側磁極
１８の下端面に近い位置に穿たれた開口２１による磁界
により集束され、更に、２次電子検出器２２の前面に形
成された電界により開口２１を通過して２次電子検出器
２２に入射する。しかしながらこの際、２次電子の一部
は開口２１の上部の内側磁極１８に衝突することが実験
的および計算上確認された。
【００２０】図６はこの開口２１の上部の磁極に衝突す
る２次電子を検出器２２に導くための改良された実施例
を示している。この実施例では、内側磁極１８の内側の
開口２１の上部にドーナツ状の減速電極２５を配置し
た。この減速電極２５には、例えば、数Ｖから数１０Ｖ
の負の電圧が印加されており、開口２１の上部で内側磁
極１８に衝突していた２次電子は、この減速電極２５の
働きにより、開口２１を通って検出器２２に入射する。
る２次電子を検出器２２に導くための改良された実施例
を示している。この実施例では、内側磁極１８の内側の
開口２１の上部にドーナツ状の減速電極２５を配置し
た。この減速電極２５には、例えば、数Ｖから数１０Ｖ
の負の電圧が印加されており、開口２１の上部で内側磁
極１８に衝突していた２次電子は、この減速電極２５の
働きにより、開口２１を通って検出器２２に入射する。
【００２１】検出器２２からの電界の一次電子ビームＥ
Ｂに対する影響を小さくするためには、開口２１の径を
小さくすることが好ましい。しかしながら、開口２１の
径を小さくすると、２次電子の一部が開口２１の下部の
内側磁極１８に衝突する。図７の実施例は、この点を考
慮したもので、図６の実施例の構造にプラスして、開口
２１の下方に円筒状の加速電極２６を配置した。なお、
この実施例で、減速電極２５は円筒状に形成されている
が、加速電極２６、減速電極２５共に円筒状に限定され
るものではなく、ドーナツ状の平板状で形成しても良
い。ただし、いずれの場合でも、軸対称の構成であるこ
とが好ましい。加速電極２６には数１０Ｖの正の電圧が
印加される。またこれらの電極に電圧を印加するケーブ
ルを通すため開口２１とは別に内側磁極１８と外側磁極
１９に開口を設けても良い。このように構成することに
より、２次電子はほとんど内側磁極１８に衝突すること
なく開口２１を通過して検出器２２に入射する。
Ｂに対する影響を小さくするためには、開口２１の径を
小さくすることが好ましい。しかしながら、開口２１の
径を小さくすると、２次電子の一部が開口２１の下部の
内側磁極１８に衝突する。図７の実施例は、この点を考
慮したもので、図６の実施例の構造にプラスして、開口
２１の下方に円筒状の加速電極２６を配置した。なお、
この実施例で、減速電極２５は円筒状に形成されている
が、加速電極２６、減速電極２５共に円筒状に限定され
るものではなく、ドーナツ状の平板状で形成しても良
い。ただし、いずれの場合でも、軸対称の構成であるこ
とが好ましい。加速電極２６には数１０Ｖの正の電圧が
印加される。またこれらの電極に電圧を印加するケーブ
ルを通すため開口２１とは別に内側磁極１８と外側磁極
１９に開口を設けても良い。このように構成することに
より、２次電子はほとんど内側磁極１８に衝突すること
なく開口２１を通過して検出器２２に入射する。
【００２２】図８は本発明の他の実施例を示している。
この実施例では、内側磁極１８の下端面の位置に対し
て、外側磁極１９の下端面の位置が上部にある場合であ
り、２次電子検出器２２は外側磁極１９の下端面より下
方に配置されている。
この実施例では、内側磁極１８の下端面の位置に対し
て、外側磁極１９の下端面の位置が上部にある場合であ
り、２次電子検出器２２は外側磁極１９の下端面より下
方に配置されている。
【００２３】図９は本発明の他の実施例を示している。
この実施例では、一次電子ビームＥＢの軸対称に一対の
２次電子検出器２７，２８を配置している。従って、内
側磁極１８には軸対称に２つの開口２９，３０が穿たれ
ている。この実施例では、２次電子検出器２７，２８を
軸対称には位置しているので、２次電子検出器からの電
界による一次電子ビームＥＢの不正な偏向は相殺され
る。
この実施例では、一次電子ビームＥＢの軸対称に一対の
２次電子検出器２７，２８を配置している。従って、内
側磁極１８には軸対称に２つの開口２９，３０が穿たれ
ている。この実施例では、２次電子検出器２７，２８を
軸対称には位置しているので、２次電子検出器からの電
界による一次電子ビームＥＢの不正な偏向は相殺され
る。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく電
子ビーム装置は、対物レンズの内側磁極の下端面より上
に該内側磁極に２次電子を通過させる開口を設け、その
開口の外側に配置した２次電子検出器により該開口を通
過した２次電子を検出するように構成した。その結果、
試料からの２次電子を数多く検出器に導くことができる
と共に、２次電子検出器からの電界による一次電子ビー
ムの不正な偏向も極めて小さくすることができる。従っ
て、高分解能で高画質の走査電子顕微鏡像を観察するこ
とができる。
子ビーム装置は、対物レンズの内側磁極の下端面より上
に該内側磁極に２次電子を通過させる開口を設け、その
開口の外側に配置した２次電子検出器により該開口を通
過した２次電子を検出するように構成した。その結果、
試料からの２次電子を数多く検出器に導くことができる
と共に、２次電子検出器からの電界による一次電子ビー
ムの不正な偏向も極めて小さくすることができる。従っ
て、高分解能で高画質の走査電子顕微鏡像を観察するこ
とができる。
【図１】従来の走査電子顕微鏡における対物レンズ部分
と２次電子検出器とを示す図である。
と２次電子検出器とを示す図である。
【図２】従来の走査電子顕微鏡における対物レンズ部分
と２次電子検出器とを示す図である。
と２次電子検出器とを示す図である。
【図３】図１の構成における磁力線と対物レンズの軸上
磁場分布を示す図である。
磁場分布を示す図である。
【図４】図２の構成における一次電子ビームの不正な偏
向を示す図である。
向を示す図である。
【図５】本発明に基づく走査電子顕微鏡の一実施例を示
す図である。
す図である。
【図６】本発明の他の実施例の要部を示す図である。
【図７】本発明の他の実施例の要部を示す図である。
【図８】本発明の他の実施例の要部を示す図である。
【図９】本発明の他の実施例の要部を示す図である。
１１ 電子銃 １２ 集束レンズ １３ 対物レンズ １４ 試料 １５，１６ 偏向コイル １７ ヨーク １８ 内側磁極 １９ 外側磁極 ２０ コイル ２１ 開口 ２２ ２次電子検出器 ２３ 増幅器 ２４ 陰極線管
Claims (4)
- 【請求項１】 内側磁極と外側磁極を有し、磁極の下端
面より下方に単一のレンズ磁場を形成する対物レンズを
備え、この対物レンズによって電子ビームを集束して試
料に照射すると共に、試料から発生した２次電子を検出
するようにした電子ビーム装置において、内側磁極の下
端面より上の位置で該内側磁極に２次電子を通過させる
開口を設け、内側磁極の外側に該開口を通過した２次電
子を検出する検出器を設けるように構成した電子ビーム
装置。 - 【請求項２】 検出器の中心位置が、内側磁極に設けら
れた開口の中心位置より下側となるように該検出器を配
置した請求項１記載の電子ビーム装置。 - 【請求項３】 内側磁極の内側であって、内側磁極に設
けられた開口の上方に、減速電極を設け、減速電極に負
の電圧を印加した請求項１記載の電子ビーム装置。 - 【請求項４】 内側磁極の内側であって、内側磁極に設
けられた開口の下方に、加速電極を設け、加速電極に正
の電圧を印加した請求項１記載の電子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06014378A JP3101141B2 (ja) | 1994-02-08 | 1994-02-08 | 電子ビーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06014378A JP3101141B2 (ja) | 1994-02-08 | 1994-02-08 | 電子ビーム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07226180A JPH07226180A (ja) | 1995-08-22 |
| JP3101141B2 true JP3101141B2 (ja) | 2000-10-23 |
Family
ID=11859391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06014378A Expired - Fee Related JP3101141B2 (ja) | 1994-02-08 | 1994-02-08 | 電子ビーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3101141B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9082580B2 (en) * | 2013-09-23 | 2015-07-14 | Kla-Tencor Corporation | Notched magnetic lens for improved sample access in an SEM |
-
1994
- 1994-02-08 JP JP06014378A patent/JP3101141B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07226180A (ja) | 1995-08-22 |
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