JPH05347137A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05347137A JPH05347137A JP4180473A JP18047392A JPH05347137A JP H05347137 A JPH05347137 A JP H05347137A JP 4180473 A JP4180473 A JP 4180473A JP 18047392 A JP18047392 A JP 18047392A JP H05347137 A JPH05347137 A JP H05347137A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- objective lens
- pole piece
- cover
- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 歪みのない光電子像を得ることのできる光電
子放射顕微鏡を提供する。 【構成】 対物レンズ上磁極片１と下磁極片２との間に
試料４が配置され、試料４と下磁極片２との間に引出電
極５が配置されている。引出電極５と下磁極片２との間
に絞り板９が配置されている。絞り板９をカバーするよ
うにカバー電極１１が絞り板９と引出電極５との間に配
置されている。そのため、短冊状の絞り板９を挿入して
も、引出電極５と絞り板９との間の電界はカバー電極１
１によって常に一様になり、歪みのない像が観察でき
る。
子放射顕微鏡を提供する。 【構成】 対物レンズ上磁極片１と下磁極片２との間に
試料４が配置され、試料４と下磁極片２との間に引出電
極５が配置されている。引出電極５と下磁極片２との間
に絞り板９が配置されている。絞り板９をカバーするよ
うにカバー電極１１が絞り板９と引出電極５との間に配
置されている。そのため、短冊状の絞り板９を挿入して
も、引出電極５と絞り板９との間の電界はカバー電極１
１によって常に一様になり、歪みのない像が観察でき
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】第１の本発明は試料に紫外線等の
励起線を照射し、この照射によって試料より発生した光
電子に基づいて試料像を表示するようにした電子顕微鏡
に関する。
励起線を照射し、この照射によって試料より発生した光
電子に基づいて試料像を表示するようにした電子顕微鏡
に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料に紫外線等の励起線を照射し、この
照射によって試料より発生した光電子に基づいて試料像
を表示するようにした電子顕微鏡は光電子放射顕微鏡と
も言われている。この光電子放射顕微鏡においては、試
料に紫外線等の励起線を照射し、この照射によって試料
より発生した光電子に基づいて試料像を表示するように
している。このような光電子放射顕微鏡の要部を、以下
図１に基づいて説明する。 図１は電子顕微鏡の光学系
を利用した光電子放射顕微鏡の要部を例示するものであ
り、この要部として対物レンズ近傍のみが図示されてい
る。図中、１は対物レンズの上磁極片であり、２は下磁
極片である。両磁極片間には試料ホルダ３が挿入され
る。試料ホルダ３には試料４が取り付けられている。試
料４から光電子を引き出すため、試料４の前面には引出
電極５が配置されている。試料４から発生した光電子を
接地電位に保持された下磁極片２側に導くため、試料４
には負の高圧が印加されていると共に、引出電極５には
前記高圧より絶対値がやや小さい負の高圧が印加されて
いる。前記上磁極片１及び下磁極片２はヨーク６により
接続されている。ヨーク６には試料照射用紫外線７ａ，
７ｂを通過させるための孔８ａ，８ｂが穿たれている。
引出電極５と下磁極片２との間にはホルダ−１０に支持
された絞り板９が挿入されている。絞り板９には孔径の
異なる複数の絞り穴９ａ，９ｂ，９ｃが設けられてい
る。また、図示していないが、対物レンズの後段には中
間レンズや投影レンズ及び表示スクリーンとしての蛍光
板が配置されている。
照射によって試料より発生した光電子に基づいて試料像
を表示するようにした電子顕微鏡は光電子放射顕微鏡と
も言われている。この光電子放射顕微鏡においては、試
料に紫外線等の励起線を照射し、この照射によって試料
より発生した光電子に基づいて試料像を表示するように
している。このような光電子放射顕微鏡の要部を、以下
図１に基づいて説明する。 図１は電子顕微鏡の光学系
を利用した光電子放射顕微鏡の要部を例示するものであ
り、この要部として対物レンズ近傍のみが図示されてい
る。図中、１は対物レンズの上磁極片であり、２は下磁
極片である。両磁極片間には試料ホルダ３が挿入され
る。試料ホルダ３には試料４が取り付けられている。試
料４から光電子を引き出すため、試料４の前面には引出
電極５が配置されている。試料４から発生した光電子を
接地電位に保持された下磁極片２側に導くため、試料４
には負の高圧が印加されていると共に、引出電極５には
前記高圧より絶対値がやや小さい負の高圧が印加されて
いる。前記上磁極片１及び下磁極片２はヨーク６により
接続されている。ヨーク６には試料照射用紫外線７ａ，
７ｂを通過させるための孔８ａ，８ｂが穿たれている。
引出電極５と下磁極片２との間にはホルダ−１０に支持
された絞り板９が挿入されている。絞り板９には孔径の
異なる複数の絞り穴９ａ，９ｂ，９ｃが設けられてい
る。また、図示していないが、対物レンズの後段には中
間レンズや投影レンズ及び表示スクリーンとしての蛍光
板が配置されている。
【０００３】このような構成において、孔８ａ，８ｂを
通して紫外線７ａ，７ｂを試料４に照射すると、試料４
から光電子が発生する。これら光電子は引出電極４によ
って対物レンズの下磁極片２側に導かれる。また、この
光電子は対物レンズによって結像作用を受け、光電子に
基づく試料像が後段の中間レンズの物面に形成され、こ
の像に基づいて試料像が蛍光板に投影される。
通して紫外線７ａ，７ｂを試料４に照射すると、試料４
から光電子が発生する。これら光電子は引出電極４によ
って対物レンズの下磁極片２側に導かれる。また、この
光電子は対物レンズによって結像作用を受け、光電子に
基づく試料像が後段の中間レンズの物面に形成され、こ
の像に基づいて試料像が蛍光板に投影される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようにして試料像
を表示する際に、明るさとコントラストとの兼ね合いか
ら最適な孔径を有する絞り穴が操作者によって選択され
る必要がある。そのため、絞り板９は矢印Ａの方向に移
動できるように備えられている。この移動に好都合なよ
うに、絞り板９は短冊状に形成されている。その結果、
前記引出電界がこの絞り板によって乱されてしまい、蛍
光板に表示された像に歪みが生じていた。
を表示する際に、明るさとコントラストとの兼ね合いか
ら最適な孔径を有する絞り穴が操作者によって選択され
る必要がある。そのため、絞り板９は矢印Ａの方向に移
動できるように備えられている。この移動に好都合なよ
うに、絞り板９は短冊状に形成されている。その結果、
前記引出電界がこの絞り板によって乱されてしまい、蛍
光板に表示された像に歪みが生じていた。
【０００５】従って第１の本発明は、絞り板による前記
電界の乱れを防いで歪みのない像を得ることのできる電
子顕微鏡を提供することを目的としてい。
電界の乱れを防いで歪みのない像を得ることのできる電
子顕微鏡を提供することを目的としてい。
【０００６】また、試料を加熱すると、試料に含まれて
いた汚染物質が試料より飛び出して対物レンズの磁極片
に付着し、対物レンズの磁極片等を汚染する。この汚染
物質には散乱電子等がチャージアップするため、このよ
うな汚染が大きくなると、このチャージアップにより電
子線の飛行が乱され、像質が低下してしまう。従って、
汚染物質の付着が大きくなると、磁極片等を大気中に取
り出してクリーニングする必要があるが、磁極片を一旦
取り外してクリーニングした後に、磁極片を装着するた
めには、精密な精密な軸合わせ作業が必要となり、作業
は極めて繁雑なものとなる。
いた汚染物質が試料より飛び出して対物レンズの磁極片
に付着し、対物レンズの磁極片等を汚染する。この汚染
物質には散乱電子等がチャージアップするため、このよ
うな汚染が大きくなると、このチャージアップにより電
子線の飛行が乱され、像質が低下してしまう。従って、
汚染物質の付着が大きくなると、磁極片等を大気中に取
り出してクリーニングする必要があるが、磁極片を一旦
取り外してクリーニングした後に、磁極片を装着するた
めには、精密な精密な軸合わせ作業が必要となり、作業
は極めて繁雑なものとなる。
【０００７】従って、第２の本発明は、対物レンズ磁極
片への上記汚染物質の付着を防ぎ得る電子顕微鏡を提供
することを目的としている。
片への上記汚染物質の付着を防ぎ得る電子顕微鏡を提供
することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そのため第１の本発明
は、試料近傍に引出電界を生じせしめるための引出電極
と、試料に励起線を照射するための手段と、該励起線の
照射によって試料より発生した光電子に基づいて試料像
を形成するための対物レンズと、前記引出電極と対物レ
ンズとの間に配置された絞りとを備えた電子顕微鏡にお
いて、前記絞りと引出電極との間にカバー電極を配置
し、絞りを挿入することによる電界の乱れを防ぐように
した電子顕微鏡を特徴としている。
は、試料近傍に引出電界を生じせしめるための引出電極
と、試料に励起線を照射するための手段と、該励起線の
照射によって試料より発生した光電子に基づいて試料像
を形成するための対物レンズと、前記引出電極と対物レ
ンズとの間に配置された絞りとを備えた電子顕微鏡にお
いて、前記絞りと引出電極との間にカバー電極を配置
し、絞りを挿入することによる電界の乱れを防ぐように
した電子顕微鏡を特徴としている。
【０００９】また、第２の本発明は、対物レンズと、対
物レンズの磁極片の近傍に配置された試料と、該試料を
加熱するための手段と、該加熱によって試料より生じた
汚染物質の前記対物レンズへの付着を防ぐため対物レン
ズ磁極片を被覆するように設けられた非磁性材製カバー
を備える電子顕微鏡を特徴としている。
物レンズの磁極片の近傍に配置された試料と、該試料を
加熱するための手段と、該加熱によって試料より生じた
汚染物質の前記対物レンズへの付着を防ぐため対物レン
ズ磁極片を被覆するように設けられた非磁性材製カバー
を備える電子顕微鏡を特徴としている。
【００１０】
【作用】第１の本発明においては、前記絞りと引出電極
との間にカバー電極を配置するようにしたため、引出電
極とカバー電極との間に一様な電界が形成され、短冊状
の絞りを挿入しても引出電界に乱れが生じることはな
い。
との間にカバー電極を配置するようにしたため、引出電
極とカバー電極との間に一様な電界が形成され、短冊状
の絞りを挿入しても引出電界に乱れが生じることはな
い。
【００１１】第２の本発明においては、対物レンズ磁極
片を被覆して非磁性材製カバーを設けたため、試料加熱
に伴なって試料より発生した汚染物質は、このカバーに
付着し、対物レンズの磁極片の電子線通路の近傍には付
着することがない。カバーには汚染物質が付着するが、
付着が進行したら、カバーのみを取り外してクリーニン
グする。
片を被覆して非磁性材製カバーを設けたため、試料加熱
に伴なって試料より発生した汚染物質は、このカバーに
付着し、対物レンズの磁極片の電子線通路の近傍には付
着することがない。カバーには汚染物質が付着するが、
付着が進行したら、カバーのみを取り外してクリーニン
グする。
【００１２】
【実施例】以下、図２に基づき本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１３】図２においては、図１と同一の構成要素に
対しては同一符号を付している。従来と異なり、絞り板
９と引出電極５との間には、非磁性材より成るカバー電
極１１が配置されている。図３は図２のＡ−Ａ´矢視図
であり、図３から明らかなように、カバー電極１１の引
出電極５に対向する面は円盤状に形成されている。カバ
ー電極１１はチタンあるいは銅等の非磁性材料で形成さ
れており、ヨーク６によって支持されている。カバー電
極１１の中央には電子線通過孔１１ａが形成されてお
り、この電子線通過孔１１ａの孔径は絞り穴９ａ，９
ｂ，９ｃのいずれの孔径よりも小さくならないように設
定されている。カバー電極１１には絞り板９を挿入する
ための挿入孔１１ｂが備えられている。更に、上磁極片
１をカバーするように第２のカバー電極１２がヨーク６
に取り付けられている。１２は加熱電源であり、加熱電
源１２より試料４に加熱電流が供給できるようになって
いる。上記カバー電極１１，１２は容易に脱着が可能な
ように、前記ヨークにネジ等により取り付けられてい
る。
対しては同一符号を付している。従来と異なり、絞り板
９と引出電極５との間には、非磁性材より成るカバー電
極１１が配置されている。図３は図２のＡ−Ａ´矢視図
であり、図３から明らかなように、カバー電極１１の引
出電極５に対向する面は円盤状に形成されている。カバ
ー電極１１はチタンあるいは銅等の非磁性材料で形成さ
れており、ヨーク６によって支持されている。カバー電
極１１の中央には電子線通過孔１１ａが形成されてお
り、この電子線通過孔１１ａの孔径は絞り穴９ａ，９
ｂ，９ｃのいずれの孔径よりも小さくならないように設
定されている。カバー電極１１には絞り板９を挿入する
ための挿入孔１１ｂが備えられている。更に、上磁極片
１をカバーするように第２のカバー電極１２がヨーク６
に取り付けられている。１２は加熱電源であり、加熱電
源１２より試料４に加熱電流が供給できるようになって
いる。上記カバー電極１１，１２は容易に脱着が可能な
ように、前記ヨークにネジ等により取り付けられてい
る。
【００１４】このような構成と成せば、引出電極５と絞
り板９との間にカバー電極１１が配置されているため、
絞り板９を挿脱可能にしたまま、引出電極５と絞り板９
との間の電界を一様にすることができる。その結果、蛍
光板に形成される試料像の歪みを無くすことができる。
り板９との間にカバー電極１１が配置されているため、
絞り板９を挿脱可能にしたまま、引出電極５と絞り板９
との間の電界を一様にすることができる。その結果、蛍
光板に形成される試料像の歪みを無くすことができる。
【００１５】また、加熱電源１２より加熱電流を供給し
て試料４を加熱して観察する場合には、試料４より汚染
の原因になる物質が放出されるが、絞り板９及び対物レ
ンズ下磁極片２がカバー電極１１により、また、上磁極
片１がカバー電極１２により覆われているため、絞り穴
や磁極片の電子線通過孔の近傍の汚染を防ぐことができ
る。汚染物質はカバー電極１１，１２に付着するが、付
着が進行して象質に影響を与えるようになったら、カバ
ー電極１１及び１２をヨーク６より取り外してクリーニ
ングすれば良い。
て試料４を加熱して観察する場合には、試料４より汚染
の原因になる物質が放出されるが、絞り板９及び対物レ
ンズ下磁極片２がカバー電極１１により、また、上磁極
片１がカバー電極１２により覆われているため、絞り穴
や磁極片の電子線通過孔の近傍の汚染を防ぐことができ
る。汚染物質はカバー電極１１，１２に付着するが、付
着が進行して象質に影響を与えるようになったら、カバ
ー電極１１及び１２をヨーク６より取り外してクリーニ
ングすれば良い。
【００１６】上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎ
ず、変形して実施できる。
ず、変形して実施できる。
【００１７】例えば、上述した実施例においては、紫外
線の照射により発生した光電子のための対物レンズを汚
染物質の付着から保護するため、カバー電極１１，１２
を配置するようにしたが、通常の電子顕微鏡の対物レン
ズを汚染物質の付着から保護するために、カバーを設け
るようにしても良い。
線の照射により発生した光電子のための対物レンズを汚
染物質の付着から保護するため、カバー電極１１，１２
を配置するようにしたが、通常の電子顕微鏡の対物レン
ズを汚染物質の付着から保護するために、カバーを設け
るようにしても良い。
【００１８】更にまた、上述した実施例においては、試
料を照射するために紫外線を用いたが、Ｘ線等の他の励
起線を用いても良い。
料を照射するために紫外線を用いたが、Ｘ線等の他の励
起線を用いても良い。
【００１９】
【発明の効果】第１の本発明においては、試料近傍に引
出電界を生じせしめるための引出電極と、試料に励起線
を照射するための手段と、該励起線の照射によって試料
より発生した光電子に基づいて試料像を形成するための
対物レンズと、前記引出電極と対物レンズとの間に配置
された絞りとを備えた電子顕微鏡において、前記絞りと
引出電極との間にカバー電極を配置し、絞りを挿入する
ことによる電界の乱れを防ぐようにしたため、歪みのな
い光電子像を表示することが可能になる。
出電界を生じせしめるための引出電極と、試料に励起線
を照射するための手段と、該励起線の照射によって試料
より発生した光電子に基づいて試料像を形成するための
対物レンズと、前記引出電極と対物レンズとの間に配置
された絞りとを備えた電子顕微鏡において、前記絞りと
引出電極との間にカバー電極を配置し、絞りを挿入する
ことによる電界の乱れを防ぐようにしたため、歪みのな
い光電子像を表示することが可能になる。
【００２０】第２の本発明においては、対物レンズと、
対物レンズの磁極片の近傍に配置された試料と、該試料
を加熱するための手段と、該加熱によって試料より生じ
た汚染物質の前記対物レンズへの付着を防ぐため対物レ
ンズ磁極片を被覆するように設けられた非磁性材製カバ
ーを備えるようにしたため、対物レンズ磁極片の代わり
に脱着が容易なカバーに汚染物質を付着させることがで
き、汚染物質が付着した場合にも簡単にクリーニングで
きる。
対物レンズの磁極片の近傍に配置された試料と、該試料
を加熱するための手段と、該加熱によって試料より生じ
た汚染物質の前記対物レンズへの付着を防ぐため対物レ
ンズ磁極片を被覆するように設けられた非磁性材製カバ
ーを備えるようにしたため、対物レンズ磁極片の代わり
に脱着が容易なカバーに汚染物質を付着させることがで
き、汚染物質が付着した場合にも簡単にクリーニングで
きる。
【図１】従来の光電子放射顕微鏡を示すための図であ
る。
る。
【図２】本発明の一実施例を示すための図である。
【図３】図２のＡ−Ａ´矢視図である。
１ 対物レンズ上磁極片 ２ 対物レンズ下磁極片 ３ 試料ホルダ ４ 試料 ５ 引出電極 ６ ヨーク ７ａ，７ｂ 紫外線 ８ａ，８ｂ 紫外線通過孔 ９ 絞り板 ９ａ，９ｂ，９ｃ 絞り穴 １０ 絞りホルダー １１，１２ カバー電極 １１ａ 電子線通過孔 １１ｂ 絞り挿入孔 １２ 加熱電源
Claims (2)
- 【請求項１】 試料近傍に引出電界を生じせしめるため
の引出電極と、試料に励起線を照射するための手段と、
該励起線の照射によって試料より発生した光電子に基づ
いて試料像を形成するための対物レンズと、前記引出電
極と対物レンズとの間に配置された絞りとを備えた電子
顕微鏡において、前記絞りと引出電極との間にカバー電
極を配置し、絞りを挿入することによる電界の乱れを防
ぐようにしたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項２】 対物レンズと、対物レンズの磁極片の近
傍に配置された試料と、該試料を加熱するための手段
と、該加熱によって試料より生じた汚染物質の前記対物
レンズへの付着を防ぐため対物レンズ磁極片を被覆する
ように設けられた非磁性材製カバーを備える電子顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18047392A JP3160080B2 (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18047392A JP3160080B2 (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05347137A true JPH05347137A (ja) | 1993-12-27 |
| JP3160080B2 JP3160080B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=16083839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18047392A Expired - Fee Related JP3160080B2 (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3160080B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014212091A (ja) * | 2013-04-22 | 2014-11-13 | 株式会社荏原製作所 | 検査装置 |
| WO2017131132A1 (ja) * | 2016-01-28 | 2017-08-03 | 株式会社堀場製作所 | 試料分析装置及び試料分析装置用集光ミラーユニット |
| JP2020085873A (ja) * | 2018-11-16 | 2020-06-04 | 株式会社北海光電子 | 光電子顕微鏡 |
-
1992
- 1992-06-15 JP JP18047392A patent/JP3160080B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014212091A (ja) * | 2013-04-22 | 2014-11-13 | 株式会社荏原製作所 | 検査装置 |
| WO2017131132A1 (ja) * | 2016-01-28 | 2017-08-03 | 株式会社堀場製作所 | 試料分析装置及び試料分析装置用集光ミラーユニット |
| JPWO2017131132A1 (ja) * | 2016-01-28 | 2018-11-22 | 株式会社堀場製作所 | 試料分析装置及び試料分析装置用集光ミラーユニット |
| JP2020085873A (ja) * | 2018-11-16 | 2020-06-04 | 株式会社北海光電子 | 光電子顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3160080B2 (ja) | 2001-04-23 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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