JPS58110956U - 荷電粒子照射装置 - Google Patents

荷電粒子照射装置

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JPS58110956U
JPS58110956U JP1982006379U JP637982U JPS58110956U JP S58110956 U JPS58110956 U JP S58110956U JP 1982006379 U JP1982006379 U JP 1982006379U JP 637982 U JP637982 U JP 637982U JP S58110956 U JPS58110956 U JP S58110956U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
charged particle
lens
field lens
particle irradiation
irradiation device
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982006379U
Other languages
English (en)
Inventor
田村　一二三
石谷　享
朗 嶋瀬
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/10—Lenses
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、静電および磁場複合レンズ系を使用した本考
案装置の原理説明図、第２図は、本考案を走査型電子顕
微鏡−二次イオン質量分析法複合装置に適用した場合の
具体的実施例を示す図、第３図は、本考案を透過型電子
顕微鏡−二次イオン　−質量分析法複合装置に適用した
場合の具体的実施例を示す図、第４図は、第３図の装置
構成により得られたヒトの肝臓組織の二次イオン質量ス
ペクトルの一例を示す線図である。 １・・・荷電粒子源、２・・・電子−イオン混成ビーム
、３・・・静電レンズ、４・・・磁場レンズ、７・・・
絞り、８・・・静電レンズ、９・・・磁場レンズ、１０
・・・偏向電極、１１・・・試料、１２・・・検出器、
１３・・・増幅器、１４・・・走査電源、１５・・−Ｃ
Ｒ’ｒ、　１６・・・二次荷電粒子、１７・・・二次イ
オン、１８・・・質量分析計。 ７鼻−−−一１ 良 １−一−！−＝−＝−’ −−″ｆＪ： ｌ目−２２Ｌ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 負イオンと電子とを同−源より取り出せる荷電粒子源と
    荷電粒子プローブの集束系とより構成されている荷電粒
    子照射系において、レンズ系として磁場レンズと電場レ
    ンズとの複合組合せ方式を採用することにより電子ビー
    ムとイオンビームの縮小率を両者で独立に任意可変でき
    るように構成し、かつ磁場レンズをオフ状態にし、静電
    レンズのみを動作させ電子およびイオンビームを同一ス
    ポットに集束できるようにしたことを特徴とする荷電粒
    子照射装置。
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EP0084850B1 (en) 1989-01-25
DE3379088D1 (en) 1989-03-02
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