JPS59125058U - 荷電粒子線装置における二次電子検出装置 - Google Patents

荷電粒子線装置における二次電子検出装置

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JPS59125058U
JPS59125058U JP1873183U JP1873183U JPS59125058U JP S59125058 U JPS59125058 U JP S59125058U JP 1873183 U JP1873183 U JP 1873183U JP 1873183 U JP1873183 U JP 1873183U JP S59125058 U JPS59125058 U JP S59125058U
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JP
Japan
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secondary electron
charged particle
particle beam
detection device
electron detection
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Pending
Application number
JP1873183U
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English (en)
Inventor
大山　純一
Original Assignee
日本電子株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の装置を説明するための図、第２図は本考
案の一実施例を説明するための図、第３図は第２図に示
した実施例装置の光軸Ｃに垂直な断面を示すための図、
第４図は光軸Ｃに平行な方向から二次電子の軌跡を説明
するための図、第５図は本考案の他の実施例を説明する
ための図である。゛ １：下磁極片、２：試料、３：二次電子検出器、３ａ：
シンチレータ、３ｂニライトパイプ、３Ｃ：コレクター
、４ａ、　４ｂ、　４ｃ、　９ａ、　９ｂ、　・・・９
ｆ。 １０ａ、　　１０ｂ、−１０ｆ：軌跡、５：円筒電極、
６：反射電極、７．８＝電源、１１ａ、　　１　ｌｂ、
　　Ｉ　ＩＣ。 １１ｄ、　　１２ａ、　　１２ｂ：針金。 第１図 第４図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 集束レンズ系光軸と略垂直をなすように設けられた荷電
    粒子線の照射によって試料より発生した二次電子を加速
    するための電極を有する二次電子検出器を備えた装置に
    おいて、前記光軸を略中心軸として設けられたメツシュ
    状の筒状電極と、該筒状電極に正の電圧を印加するため
    の手段と、該筒状電極の外側に設けられ該筒状電極によ
    って前記光軸から離れる向きに加速された二次電子を前
    記二次電子検出器に導く加速電界を発生させるための電
    極とを具備することを特徴とする荷電粒子線装置におけ
    る二次電子検出装置。
JP1873183U 1983-02-10 1983-02-10 荷電粒子線装置における二次電子検出装置 Pending JPS59125058U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016126955A (ja) * 2015-01-07 2016-07-11 日本電子株式会社 電子検出装置および走査電子顕微鏡

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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