JPS6132954U - 荷電粒子線分析装置 - Google Patents

荷電粒子線分析装置

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JPS6132954U
JPS6132954U JP11818384U JP11818384U JPS6132954U JP S6132954 U JPS6132954 U JP S6132954U JP 11818384 U JP11818384 U JP 11818384U JP 11818384 U JP11818384 U JP 11818384U JP S6132954 U JPS6132954 U JP S6132954U
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JP
Japan
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charged particle
particle beam
analyzer
energy
electrons
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JP11818384U
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Inventor
明矩 最上
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日本電子株式会社
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の概略図、第２図及び第３図
は本考案を説明するための図である。 １：試料、２：電子線、３：オージエ電子、４：ＣＭＡ
、５：内円筒電極、６：外円筒電極、７：掃引電源、８
，９：開口、１０：電子線検出器、１１：アパーチャ板
、１２：開口可変機構、１３：開口可変回路、１４：増
幅器、１５：制御回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 同軸上に配置された内円筒電極及び外円筒電極より成り
    荷電粒子線の照射によって試料より発生する電子をエネ
    ルギー分析するためのエネルギー分析器と、該分析器に
    接続され所望の元素のエネルギー領域を任意の速度で掃
    引する掃引電源と、該分析器によって分析された電子を
    検出する検出器と、該検出器への電子の入射量を制限す
    るための入射制限手段と、該入射制限手段を前記エネル
    ギーの掃引に応じて制御する制御回路とを設けたことを
    特徴とする荷電粒子線分析装置。
JP11818384U 1984-07-31 1984-07-31 荷電粒子線分析装置 Pending JPS6132954U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04110204U (ja) * 1991-03-12 1992-09-24 エヌオーケー株式会社 流体圧シリンダ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH04110204U (ja) * 1991-03-12 1992-09-24 エヌオーケー株式会社 流体圧シリンダ

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