JPS5996759U - 分析装置 - Google Patents

分析装置

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JPS5996759U
JPS5996759U JP19368282U JP19368282U JPS5996759U JP S5996759 U JPS5996759 U JP S5996759U JP 19368282 U JP19368282 U JP 19368282U JP 19368282 U JP19368282 U JP 19368282U JP S5996759 U JPS5996759 U JP S5996759U
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JP
Japan
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scanning
analyzer
charged particle
particle beam
detection signals
Prior art date
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Application number
JP19368282U
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English (en)
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JPH0228611Y2 (ja
Inventor
一杉　昭夫
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
□第１図は従来のオージェ電子分光装置を示す略図、第
２図及び第３図は第１図の装置の動作を説明するための
略図、第４−図は本考案の一実雄側装　　′置を示す略
図、第５図は第４図の動作を隔間するための図である。 １：電子銃、２：電子線、３：試料、５：走査電源、６
：アナライザー、７：検出器、８：コンデンサー、９：
ロツクインアンフ、１０：■Ｆコンバータ、１１ニブラ
ンキング手段、２：ブランキ７７　信号−路、１３：ア
ナライザー掃引ロー、１４：掃引制御回路、１５：演算
手段、１６：計数回路、１７：切換回路、１８ニアツブ
ダウンカウンタ、１９：タイミング回路、２０：表示手
段。 第２図　− 第３図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 荷電粒子線を暉料表面上で走査偏向する手段と、荷電粒
    子線の照射によって試料から発生する特定種類の信号を
    その、エネルギーに応じて分離するアナライザーを備え
    た装置において、試料表面の同一走査線上を荷電粒子線
    によって繰り返し２回走査する繰り返し、走査手段、該
    繰り返し走査手段による１回目と２回目の走査時には夫
    々特定↓ネルギーＥ１及びＥ２の倍電が分離検出される
    よ・うに前記アナライザーを設定する手段、前記第１回
    目の走査時におけるアナライザーによる検出信号を前記
    同一走査線上の位置信号に対応させて記憶する記憶手段
    、前記２回目の走査時において順次得られるアナライザ
    ーの検出信号と前記記憶手段から順次読み出される検出
    信号に基づいて前記同一走査線上における所望の信号を
    演算する演算手段、及び該演算手段の出力を前記繰り返
    し走査手段の出力に対応させて表示する表示手段を設け
    たことを特徴とする分析装置。
JP19368282U 1982-12-21 1982-12-21 分析装置 Granted JPS5996759U (ja)

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JP19368282U JPS5996759U (ja) 1982-12-21 1982-12-21 分析装置

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JPS5996759U true JPS5996759U (ja) 1984-06-30
JPH0228611Y2 JPH0228611Y2 (ja) 1990-07-31

Family

ID=33307693

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02120650A (ja) * 1988-10-29 1990-05-08 Shimadzu Corp マッピング装置
WO2022092077A1 (ja) * 2020-10-28 2022-05-05 株式会社日立ハイテク 荷電粒子ビーム装置および試料観察方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51120170A (en) * 1975-04-14 1976-10-21 Hitachi Ltd Scanning type elestson microscope
JPS5244158A (en) * 1975-10-03 1977-04-06 Hitachi Ltd Scanning electronic microscope

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WO2022092077A1 (ja) * 2020-10-28 2022-05-05 株式会社日立ハイテク 荷電粒子ビーム装置および試料観察方法

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