JPS59129159U - 荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線装置Info
- Publication number
- JPS59129159U JPS59129159U JP2259183U JP2259183U JPS59129159U JP S59129159 U JPS59129159 U JP S59129159U JP 2259183 U JP2259183 U JP 2259183U JP 2259183 U JP2259183 U JP 2259183U JP S59129159 U JPS59129159 U JP S59129159U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- sample
- signal
- counter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例である電子ビーム露光装置を
示す図、第２図はフィールドと走査像を得る領域との関
係を示す図、第３図は第１図の実施例における各信号波
形を示す図である。 １・・・・・・電子銃、４・・・・・・対物レンズ、５
・・・・・・被露光材料、７・・・・・・偏向器、８・
・・・・・２次電子検出器、１０・・・・・・陰極線管
、１１・・・・・・制御装置、１２゜１３・・・・・・
レジスタ、１４．１９・・・・・・Ｄ−Ａ変換器、１６
・・・・・・比較回路、１７・・・・・・カウンタ、１
８・・・・・・パルス発生器、２０・・・・・・走査信
号発生回路。
示す図、第２図はフィールドと走査像を得る領域との関
係を示す図、第３図は第１図の実施例における各信号波
形を示す図である。 １・・・・・・電子銃、４・・・・・・対物レンズ、５
・・・・・・被露光材料、７・・・・・・偏向器、８・
・・・・・２次電子検出器、１０・・・・・・陰極線管
、１１・・・・・・制御装置、１２゜１３・・・・・・
レジスタ、１４．１９・・・・・・Ｄ−Ａ変換器、１６
・・・・・・比較回路、１７・・・・・・カウンタ、１
８・・・・・・パルス発生器、２０・・・・・・走査信
号発生回路。
Claims (1)
- 荷電粒子線発生手段と、該荷電粒子線発生手段、から発
生した荷電粒子線を試料上に集束するための集束手段と
、該荷電粒子線の該試料上の照射位置を可変するための
偏向手段と、該試料への荷電粒子線の照射に基づき該試
料から得られる情報信号を検出するための検出器と、該
偏向手段による荷電粒子線の偏向幅に対応した値がセッ
トされるレジスタと、パルス信号が供給されるカウンタ
と、該カウンタの値をＤ−Ａ変換して該偏向手段に供給
するためのＤ−Ａ変換器と、該レジスタと該カウンタと
の値が一致した時に一致信号を発生する比較回路と、該
カウンタのカウント開始時から該一致信号の発生時まで
連続して強度が変化する走査信号を発生する走査信号発
生回路と、該検出器からの検出信号と該走査信号発生回
路からの走査信号によって該試料の走査像を表示する陰
極線管 、とを備えた荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2259183U JPS59129159U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2259183U JPS59129159U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 荷電粒子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59129159U true JPS59129159U (ja) | 1984-08-30 |
Family
ID=30153684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2259183U Pending JPS59129159U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59129159U (ja) |
-
1983
- 1983-02-18 JP JP2259183U patent/JPS59129159U/ja active Pending
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