JPS616252U - 電子線装置 - Google Patents

電子線装置

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JPS616252U
JPS616252U JP9099984U JP9099984U JPS616252U JP S616252 U JPS616252 U JP S616252U JP 9099984 U JP9099984 U JP 9099984U JP 9099984 U JP9099984 U JP 9099984U JP S616252 U JPS616252 U JP S616252U
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JP9099984U
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義弘 平田
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日本電子株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示すための図、第２図は第
１図に示した一実施例装置の各回路よりの出力信号等を
示すための図、第３図は陰極線管の表示例を示すための
図である。 １・・・・・・電子銃、２・・・・・・電子線、３・・
・・・・集束レンズ、４・・・・・・対物レンズ、５・
・・・・・試料、６Ｘ，６ｙ・・・・］・偏向コイル、
７ Ｘ， ７ ｙｔ １ ３ ｘ，１ ３１６・・
・・・・切換回路、８・・二・・・倍率切換回路、９ｘ
，９ｙｔｉ５・・・・・・増幅器、１０ｘｔｌＯｙ・・
・・・・走査信号発生回路、１１Ｘ，１１ｙ・・・・・
・ポテンショメーター、１２・・・・・・陰極線管、１
４・・・・・・二次電子検出器、１７・・・・・・定輝
度信号発生器、１８ｘ，１８ｙ・・・・・一微分回路、
１９・・・・・・演算回路、２０・・・・・・フォーカ
ス制御回路、２１・・・・・・分光結晶、２２・・・五
Ｘ線検出器、２３・・・・・・信号処理回路、２４・・
・・・・表示装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子線を試料上において走査するための走査信号２発生
    する手段と、該電子線を該試料上における任意の一点に
    照射するための可変直流信号発生手段と、鵡走査信号又
    は可変直流信号に基づいて電子線を偏向するための偏向
    器と、該電子線の試料上における走査に伴って得られる
    検出信号の供給に基づいて試料像を表示するための陰極
    線管と、該可変直流信号によって指定された該陰極線管
    の画面上の点を他の画面部分より高輝度で表示するため
    の手段を具備した装置において、該可変直流信号発生手
    段の出力信号を微分するための微分回路と、−該微分回
    路の出力信号に基づいて該陰極線管の画面に照射される
    電子線のスポット径を増減させるための手段を具備して
    いることを特徴とする電子線装置。
JP9099984U 1984-06-19 1984-06-19 電子線装置 Granted JPS616252U (ja)

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JP9099984U JPS616252U (ja) 1984-06-19 1984-06-19 電子線装置

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JP9099984U JPS616252U (ja) 1984-06-19 1984-06-19 電子線装置

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JPS616252U true JPS616252U (ja) 1986-01-14
JPH0238368Y2 JPH0238368Y2 (ja) 1990-10-16

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54131992A (en) * 1978-04-05 1979-10-13 Hitachi Ltd Scanning type electron microscope

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54131992A (en) * 1978-04-05 1979-10-13 Hitachi Ltd Scanning type electron microscope

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JPH0238368Y2 (ja) 1990-10-16

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