JPS59166357U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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JPS59166357U
JPS59166357U JP6037683U JP6037683U JPS59166357U JP S59166357 U JPS59166357 U JP S59166357U JP 6037683 U JP6037683 U JP 6037683U JP 6037683 U JP6037683 U JP 6037683U JP S59166357 U JPS59166357 U JP S59166357U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron
electron beam
backscattered
detector
electron microscope
Prior art date
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Pending
Application number
JP6037683U
Other languages
English (en)
Inventor
勝重 津野
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来技術を説明するための図、第２図及び第
３図は従来の欠点を説明するための図、第４図は本考案
の一実施例を説明するための図、第５図ａ、　　ｂ及び
Ｃは更に他の実施例を説明するための図である。 １：試料、２：電子線、３．　ＤＩ　１．　ＤＩ　２゜
ＤＩ３．・・・、Ｄ２１．Ｄ２２．　・・・、Ｄ３１．
　・・・。 Ｄ３５：検出素子、４．４’、４″二反射電子、５：電
子銃、６：集束レンズ、７：対物レンズ、８：偏向コイ
ル、９：走査信号発生回路、１０：倍率切換回路、１１
．　１５．　２０：増幅器、１２：陰極線管、１３：取
り付は基板、１４：ケーブル、１６：ＡＤ変換器、１７
：演算回路、１８二制御装置、１９：ＤＡ変換器、２１
：入力装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子線の入射方向に対して傾斜して配置された試料上に
    おいて電子線を二次元的に走査する手段と、該電子線の
    照射によって試料より散乱する反射電子を検出するため
    の反射電子検出器と、前記電子線と同期走査され該反射
    電子検出器よりの検出信号に基ついて試料像を表示する
    手段とを備えた装置において、前記検出器は複数の反射
    電子検出素子よりなり、且つこれら反射電子検出素子の
    うちの任意の素子の出力信号を観察倍率に応じて選択的
    に前記表示手段に供給する手段を具備していることを特
    徴とする走査電子顕微鏡。
JP6037683U 1983-04-22 1983-04-22 走査電子顕微鏡 Pending JPS59166357U (ja)

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JPS59166357U true JPS59166357U (ja) 1984-11-07

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61225831A (ja) * 1985-03-29 1986-10-07 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション 集積回路の非接触全ライン動的テスト装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61225831A (ja) * 1985-03-29 1986-10-07 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション 集積回路の非接触全ライン動的テスト装置
JPH0428138B2 (ja) * 1985-03-29 1992-05-13 Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp

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