JPS58135860U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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JPS58135860U
JPS58135860U JP3375182U JP3375182U JPS58135860U JP S58135860 U JPS58135860 U JP S58135860U JP 3375182 U JP3375182 U JP 3375182U JP 3375182 U JP3375182 U JP 3375182U JP S58135860 U JPS58135860 U JP S58135860U
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JP
Japan
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scanning
electron microscope
detectors
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output
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Pending
Application number
JP3375182U
Other languages
English (en)
Inventor
後藤　俊徳
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
２、　　第１図は一般の走査電子顕微鏡め概略を示す図
１、　　第２図はそのコントラストのつき方を説明する
図、と　　第３図は本考案の一実施例の主要部を示す図
、第＝　　４図はそのコントラストのつき方を説明する
図、）　　第５図は本考案の他の実施例を示す図、第６
図は）　　そのコントラストのつき方を示す図である。 ｉ　　　　１：’Ｉ子Ｍ、２：集束レンズ、３：対物レ
ンズ、４：試料、５ａ、　　５ｂ：偏向コイル、６：走
査電源、７゜１　　７Ｘ、　　７Ｙ：２次電子検出器、
８．　８Ｘ、　８Ｙ：増幅ｉ　器、９：陰極線管、１０
：光源、１１：肉眼、１２：５　　試料像、１２Ｘ：Ｘ
方向領域、１２ｙ：Ｙ方向領域。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　試料上で集束荷電粒子線を走査し、該走査によって
    試料各部から発生する２次電子を検出しその出力を前記
    走査と同期した表示装置に導スして走査画像を得る装置
    において、２次電子杉出器を少（とも２個設け、それら
    は互いに直接する方向に設置し、且つ両方向は集束粒子
    線ＣＸ、　Ｙ走査方向と一致せしめ、夫々の検出器Ｃ出
    力信号に基づく画像を時間的又は空間的にり離して表示
    する手段を備えた走査電子顕微鏡。 ２　前記検出器は互いに直交して４個用い、対向する検
    出器を組となし、各組毎に面検出器の仕方信号を加算し
    、その出力を画像信号として包用する実用新案登録請求
    の範囲第１項記載のオ査電子顕微鏡。
JP3375182U 1982-03-10 1982-03-10 走査電子顕微鏡 Pending JPS58135860U (ja)

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JP3375182U JPS58135860U (ja) 1982-03-10 1982-03-10 走査電子顕微鏡

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JP3375182U JPS58135860U (ja) 1982-03-10 1982-03-10 走査電子顕微鏡

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JPS58135860U true JPS58135860U (ja) 1983-09-12

Family

ID=30045284

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JP3375182U Pending JPS58135860U (ja) 1982-03-10 1982-03-10 走査電子顕微鏡

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS506758U (ja) * 1973-05-18 1975-01-23
JPS5835854A (ja) * 1981-08-28 1983-03-02 Hitachi Ltd 二次電子検出装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS506758U (ja) * 1973-05-18 1975-01-23
JPS5835854A (ja) * 1981-08-28 1983-03-02 Hitachi Ltd 二次電子検出装置

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