SU1243046A1 - Электронный микроскоп - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к электро- зондовым устройствам дл  наблюдени  и регистрации изображени , в частности к электронным микроскопам просвечиваемого типа. Цель изобретени  - повьшение информативности исследований . Она. достигаетс  путем ускорени  цикла фоторегистрации электронного изображени , а также снижени  вли ни  искажений, обусловленных длительным облучением объекта электронным пучком высоких энергий. Электронный мик- содержит размещенные соосно источник 1 электронов, объективную линзу (л) 2, столик 3 объектов, промежуточную Л 4, проекционную Л 5 с магнитопроводом 6, отклон ющую систему 7, экран 8 фоторегистрации и экран 9 визуального наблюдени , наклон которого под углом оО обеспечивает нормальное попадание на него электронного пучка, несущего изображение объекта . Услови  выбора величины угла р6 привод тс  в описании изобретени . 1 ил. (Л ю 9 О)

Description

Изобретение относитс  к электрон- но- оптическому приборостроению, в частности к злектронно- зондовым уст- ройствам дл  наблюдени .и регистра ции изображени , например к электрон- нь}м микроскопам просвечивающего типа

Целью изобретени   вл етс  повЫ шение информативности исследований, проводимых с помощью электронного микроскопа, за счет ускорени  цикла фоторегистрации электронного изобра- жени  и снижени  вли ни  искажений, обусловленных длительным облучением объекта электронным пупком высокой энергии..

На чертеже изображен предлагаемый микроскоп.

Электронный микроскоп содержит размещенные соосно источник 1 электронов объективную линзу 2, столк 3 объек- тов, промежуточную линзу 4, проекци онную линзу 5 с магнитопроводом 6, отклон ющую систему 7 и экран 8 фото- регистрации. В непосредственной близости от экрана фоторегистрации под углом к нему установлен экран 9 визуального наблюдени , причем наклон экрана визуального наблюдени  обеспечивает нормальное попадание на него электронного пучка, несзгщего изображение объекта.

Устройство работает следующим образом .

Источник 1 электронов создает электронный пучок, который проходит через объективную линзу 2, формирую щую электронное изображение объекта, наход щегос  на столике 3 объектов, .промежуточную линзу 4, проекционную линзу 5 и отклон ющую систему 7, осу шествл ющие проецирование, увеличенного изображени  на экраны фоторе- гистрации 8 к визуального наблюдени  9. При этом при выборе участка объекта и фокусировке отклон юща  систе ма 7 находитс  во включенном состо НИИ .и обеспечивает отклонение электронного пучка от электронно-оптической оси шкpocкoпa на угол рС , необходимый дл  направлени  изображений . на экран 9 визуального наблюдени .

ВНИИПИ Заказ .3713/53 Тираж 643 Подписное Произв.-полигр,, пр-тие, г„ Ужгород, ул„ Проектна , 4

0

25

5

30

35 О 50

Угол наклона экрану визуального наблюдени  к плоскости экрана фоторе- гистрации определ етс  геометрическими размерами экрана фоторегистрации, отклон юш,ей системы и рассто нием от проекционной линзы до экрана. Наклон экрана обеспечивает нормальное падение и попадание электронного пучка на экран визуального наблюдени . Увеличение этого угла нежелательно, так как может привести к искажению наблюдаемого изображени  из-за аберраций отклон ющей системы, которые растут с ростом угла ос.

При фотосъемке отклон юща  система 7 находитс  в выключенном состо нии и электронно-микроскопическое изображение попадает на экран 8 фоторегистрации , расположенный соосно с источником электронов. Таким образом ,, осуществл етс  безынерционное пер ;ключение электронного изображени  с одного канапа регистрации на другой, что позвол ет значительно сократить цикл проведени  исследований на электронном микроскопе, повысить достоверность и информативность научных результатов за счет исключени  артефактов, св занных с удлинением цикла одного исследовани  и вибраци ми колонны электронного микроскопа.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Электронньш микроскоп, содержащий источник .электронов, последовательно, расположенные по ходу электронного пучка объективную, промежуточн ю и проекционную линзы, а также экраны фоторегистрации и визуального наблюдени , отлич ающийс.  тем, что, с целью повьппени  информативности исследовани , он снабжен отклон ющей системой, размещенной между проекционной линзой и экраном фоторегистрации, а экран визуального наблюдени  установлен перпендикул рно к оси электронного пучка при его наибольшем отклонении на одинаковом по отношению к экрану фоторегистра- ции рассто нии от центра отклонени  отклон ющей системы.