JPS59138162U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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Publication number
JPS59138162U
JPS59138162U JP3307883U JP3307883U JPS59138162U JP S59138162 U JPS59138162 U JP S59138162U JP 3307883 U JP3307883 U JP 3307883U JP 3307883 U JP3307883 U JP 3307883U JP S59138162 U JPS59138162 U JP S59138162U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scanning
sample
electron beam
electron microscope
frame
Prior art date
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Pending
Application number
JP3307883U
Other languages
English (en)
Inventor
健二 小原
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP3307883U priority Critical patent/JPS59138162U/ja
Publication of JPS59138162U publication Critical patent/JPS59138162U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置を説明するための図、第２図は本考案
の一実施例を説明するための図、第３図は第１の陰極線
管に表示される枠Ｗを説明するた゛めの図、第４図は入
力装置２２に付属する各種指示スイッチ及び嫡子を説明
するための図である。 １．６：試料、２，４：電子線、３：電子銃、５：集束
レンズ、７ｘ、　　７Ｙ：偏向コイル、８：走査信号発
生回路、９：走査幅切換回路、１０：制御部、１１Ｘ、
　　１１Ｙ、　　１４：増幅器、１２．　１７：陰極線
管、１３：二次電子検出器、１５：信号切換回路、１６
二画像信号記憶装置、１８：加算回路、１９：試料ステ
ージ、２０Ｘ、２０ＹＨ＋−タ、２１：駆動回路、２２
：入力装置、Ａ：広領域、Ｂ二狭領域、Ｗ：枠。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）試料に電子線を照射する手段と、該電子線で試料
    上を二次元的に走査する走査手段と、該走査手段による
    走査によって得られた検出信号を記憶するための手段と
    、該記憶手段から読み出された信号に基づいて試料像を
    表示する第１の表示手段と、該第１の表示手段に表示さ
    れた広領域のうち拡大して表示したい゛狭領域を該表示
    像中に枠表示する手段と、該枠を任意に移動させるため
    の手段と、前記電子線の走査領域を前記広領域から該枠
    内に対応した試料上の狭領域に切換えるための手段と、
    該狭領域における電子線の走査に同期して走査され該走
    査に伴なって得られる検出信号の供給に基づいて狭領域
    の像を表示するための第２の表示手段とを具備すること
    を特徴とする走査電子顕微鏡。。
  2. （２）前記第１、第２の表示手段は単一の表示手段によ
    り兼ねられていることを特徴とする実用新案登録請求の
    範囲第１項記載の走査電子顕微鏡。
JP3307883U 1983-03-08 1983-03-08 走査電子顕微鏡 Pending JPS59138162U (ja)

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JP3307883U JPS59138162U (ja) 1983-03-08 1983-03-08 走査電子顕微鏡

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JP3307883U JPS59138162U (ja) 1983-03-08 1983-03-08 走査電子顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59138162U true JPS59138162U (ja) 1984-09-14

Family

ID=30163881

Family Applications (1)

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JP3307883U Pending JPS59138162U (ja) 1983-03-08 1983-03-08 走査電子顕微鏡

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JP (1) JPS59138162U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6484555A (en) * 1987-09-26 1989-03-29 Nikon Corp Sample image indicator

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