JPS61101954U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61101954U JPS61101954U JP18763784U JP18763784U JPS61101954U JP S61101954 U JPS61101954 U JP S61101954U JP 18763784 U JP18763784 U JP 18763784U JP 18763784 U JP18763784 U JP 18763784U JP S61101954 U JPS61101954 U JP S61101954U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- sample
- switching
- detector
- display means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は
第１図の動作説明図で、第３図は他の一実施例に
おける偏向コイル１５Ｘへの入力信号を示すため
の図である。 １：電子銃、２：電子線、３，４：集束レンズ
、５：対物レンズ、６：試料、７：結像レンズ、
８：検出器、９Ｘ１，９Ｘ２：偏向コイル、１０
Ｘ，１０Ｙ：走査コイル、１１，１４，１６，２
０：駆動回路、１２：Ｆ／Ｆ回路、１３：走査信
号発生回路、１５Ｘ：偏向コイル、１７：増幅器
、１８：信号切換回路、１９：カラー表示装置、
２１：立体眼鏡、２２：緑色フイルター、２３：
赤色フイルター、２４：絞り。
第１図の動作説明図で、第３図は他の一実施例に
おける偏向コイル１５Ｘへの入力信号を示すため
の図である。 １：電子銃、２：電子線、３，４：集束レンズ
、５：対物レンズ、６：試料、７：結像レンズ、
８：検出器、９Ｘ１，９Ｘ２：偏向コイル、１０
Ｘ，１０Ｙ：走査コイル、１１，１４，１６，２
０：駆動回路、１２：Ｆ／Ｆ回路、１３：走査信
号発生回路、１５Ｘ：偏向コイル、１７：増幅器
、１８：信号切換回路、１９：カラー表示装置、
２１：立体眼鏡、２２：緑色フイルター、２３：
赤色フイルター、２４：絞り。
Claims (1)
- 試料に対する電子線の入射方向を交互に切換え
るための切換手段と、該電子線により試料を二次
元的に走査する手段と、試料を透過した電子線を
検出するための検出器と、該検出器よりの出力信
号に基づいて像を表示するための表示手段と、該
切換手段の切換えに連動して試料を透過した電子
線を偏向し、特定の次数の回折電子線を該検出器
に導びくための手段と、入射方向の切換えられた
電子線に基づく該表示手段に表示された２種の像
を左右の眼で弁別して観察するための手段とを具
備したことを特徴とする走査型透過電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18763784U JPS61101954U (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18763784U JPS61101954U (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61101954U true JPS61101954U (ja) | 1986-06-28 |
Family
ID=30745099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18763784U Pending JPS61101954U (ja) | 1984-12-11 | 1984-12-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61101954U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011040217A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Hitachi Ltd | 透過型電子顕微鏡およびそれを用いた試料像の観察方法 |
| JP2019053927A (ja) * | 2017-09-15 | 2019-04-04 | 日本電子株式会社 | 測定方法および電子顕微鏡 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5229163A (en) * | 1975-09-01 | 1977-03-04 | Akashi Seisakusho Co Ltd | Observing device of stereographic picture of transmitting type electro n microscope |
| JPS5339848A (en) * | 1976-09-23 | 1978-04-12 | Siemens Ag | Method of indicating diffractive picture in transmission scanning particle beam microscope |
| JPS5394865A (en) * | 1977-01-31 | 1978-08-19 | Jeol Ltd | Solid scanning electronic microscope |
-
1984
- 1984-12-11 JP JP18763784U patent/JPS61101954U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5229163A (en) * | 1975-09-01 | 1977-03-04 | Akashi Seisakusho Co Ltd | Observing device of stereographic picture of transmitting type electro n microscope |
| JPS5339848A (en) * | 1976-09-23 | 1978-04-12 | Siemens Ag | Method of indicating diffractive picture in transmission scanning particle beam microscope |
| JPS5394865A (en) * | 1977-01-31 | 1978-08-19 | Jeol Ltd | Solid scanning electronic microscope |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011040217A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Hitachi Ltd | 透過型電子顕微鏡およびそれを用いた試料像の観察方法 |
| JP2019053927A (ja) * | 2017-09-15 | 2019-04-04 | 日本電子株式会社 | 測定方法および電子顕微鏡 |
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