JPS6352427B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6352427B2 JPS6352427B2 JP8909782A JP8909782A JPS6352427B2 JP S6352427 B2 JPS6352427 B2 JP S6352427B2 JP 8909782 A JP8909782 A JP 8909782A JP 8909782 A JP8909782 A JP 8909782A JP S6352427 B2 JPS6352427 B2 JP S6352427B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- electron beam
- diffraction
- sample
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 16
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- 230000004660 morphological change Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は透過像と回折像の同時観察を可能とす
る電子顕微鏡を提供するものである。
る電子顕微鏡を提供するものである。
結晶性試料を傾斜して観察する場合、その傾斜
角は回折像を見ることによつて知ることができる
ので、透過像を観察する合間に回折像を見ながら
観察を進めることがある。従来の電子顕微鏡にお
いては、対物レンズの後焦点位置の近傍に対物絞
りが挿入されており、透過像を得る際には、回折
像スポツトのうちのいずれか１個のスポツトに対
応した電子線のみ絞りを選択通過させた後、後段
の中間及び投影レンズに導くようにしており、一
方回折像を得る場合には、対物レンズの後焦点位
置に形成される回折像よりの電子線を大部分カツ
トしてしまう前記絞りを取り外し、中間レンズの
物面位置を対物レンズの後焦点位置にシフトさせ
るようにしており、絞りの移動と中間レンズの励
磁強度を変化させるという手間のかかり面倒な作
業を伴う。
角は回折像を見ることによつて知ることができる
ので、透過像を観察する合間に回折像を見ながら
観察を進めることがある。従来の電子顕微鏡にお
いては、対物レンズの後焦点位置の近傍に対物絞
りが挿入されており、透過像を得る際には、回折
像スポツトのうちのいずれか１個のスポツトに対
応した電子線のみ絞りを選択通過させた後、後段
の中間及び投影レンズに導くようにしており、一
方回折像を得る場合には、対物レンズの後焦点位
置に形成される回折像よりの電子線を大部分カツ
トしてしまう前記絞りを取り外し、中間レンズの
物面位置を対物レンズの後焦点位置にシフトさせ
るようにしており、絞りの移動と中間レンズの励
磁強度を変化させるという手間のかかり面倒な作
業を伴う。
従つて、例えば試料が短い期間に熱変化あるい
は形態変化するような場合に、その変化を経時的
に追いながら透過像と回折像を観察するという様
なことも従来においては不可能であつた。
は形態変化するような場合に、その変化を経時的
に追いながら透過像と回折像を観察するという様
なことも従来においては不可能であつた。
本発明はこのような従来の電子顕微鏡の欠点を
解決すべくなされたもので、対物レンズの後方焦
点面近傍に配置されＯ次の回折電子線のみを通過
させる孔を有し該後方焦点面に形成される回折電
子線像を電気信号に変換するための撮像手段と、
この撮像手段よりの信号に基づいて回折像を表示
するための表示手段とを具備していることを特徴
としている。
解決すべくなされたもので、対物レンズの後方焦
点面近傍に配置されＯ次の回折電子線のみを通過
させる孔を有し該後方焦点面に形成される回折電
子線像を電気信号に変換するための撮像手段と、
この撮像手段よりの信号に基づいて回折像を表示
するための表示手段とを具備していることを特徴
としている。
以下本発明の一実施例を添付図面に基づき詳述
する。
する。
第１図は本発明の実施例の概略を示すもので、
図中１は試料であり、この試料１には図示外の収
束レンズによつて平行にされた電子線２が照射さ
れる。３は対物レンズ、４は中間レンズ、５は投
影レンズであり、６は螢光板である。対物レンズ
３の後焦点面の近傍にはその表面に螢光塗料を塗
布したガラス板７が配置されており、このガラス
板７に接触してその直下には固体イメージセンサ
ー８が配置されている。ガラス板７及び固体イメ
ージセンサー８にはその中央に極めて小さな電子
線通過孔９を有しており、ガラス板７は対物絞り
としての役割を有している。又、ガラス板は電子
線の照射によつてチヤージアツプしないように導
電性物質がコーテイングされている。１０は固体
イメージセンサー８を駆動するための駆動信号を
発生する駆動回路であり、この駆動回路１０より
の信号は陰極線管１１に供給されており、固体イ
メージセンサーの走査に同期して陰極線管１１が
走査される。固体イメージセンサー８よりの信号
は増幅器１２を介して陰極線管１１に輝度信号と
して供給されている。
図中１は試料であり、この試料１には図示外の収
束レンズによつて平行にされた電子線２が照射さ
れる。３は対物レンズ、４は中間レンズ、５は投
影レンズであり、６は螢光板である。対物レンズ
３の後焦点面の近傍にはその表面に螢光塗料を塗
布したガラス板７が配置されており、このガラス
板７に接触してその直下には固体イメージセンサ
ー８が配置されている。ガラス板７及び固体イメ
ージセンサー８にはその中央に極めて小さな電子
線通過孔９を有しており、ガラス板７は対物絞り
としての役割を有している。又、ガラス板は電子
線の照射によつてチヤージアツプしないように導
電性物質がコーテイングされている。１０は固体
イメージセンサー８を駆動するための駆動信号を
発生する駆動回路であり、この駆動回路１０より
の信号は陰極線管１１に供給されており、固体イ
メージセンサーの走査に同期して陰極線管１１が
走査される。固体イメージセンサー８よりの信号
は増幅器１２を介して陰極線管１１に輝度信号と
して供給されている。
このような構成において、試料１を透過したＯ
次の回折電子線はガラス板７の間孔９を通過し、
更に中間レンズ４、投影レンズ５を通過して螢光
板６に投影されるため、螢光板６上には試料像が
形成される。又、同時にガラス板７上には試料を
透過した電子線により回折像が形成され、ガラス
板７に塗布された螢光塗料が電子線によつて形成
される回折パターンを光学像に変換し、この螢光
塗料よりの光は固体イメージセンサー８によつて
検出される。固体イメージセンサー８と陰極線管
１１は駆動回路１０よりの信号によつて同期走査
されるため、固体イメージセンサー８からの検出
信号に基づいて陰極線管１１には第２図に示す如
き回折パターン像が表示される。
次の回折電子線はガラス板７の間孔９を通過し、
更に中間レンズ４、投影レンズ５を通過して螢光
板６に投影されるため、螢光板６上には試料像が
形成される。又、同時にガラス板７上には試料を
透過した電子線により回折像が形成され、ガラス
板７に塗布された螢光塗料が電子線によつて形成
される回折パターンを光学像に変換し、この螢光
塗料よりの光は固体イメージセンサー８によつて
検出される。固体イメージセンサー８と陰極線管
１１は駆動回路１０よりの信号によつて同期走査
されるため、固体イメージセンサー８からの検出
信号に基づいて陰極線管１１には第２図に示す如
き回折パターン像が表示される。
尚、上述した実施例においては電子線によつて
形成される回折像を光学像に変換して撮像するた
め、固体イメージセンサーを用いたが、Ｏ次の電
子線の通過開口を除いて取り付けられたグラスフ
アイバー束と、このグラスフアイバー束によつて
伝送された回折像を撮像する撮像管との組合わせ
を用いても良い。
形成される回折像を光学像に変換して撮像するた
め、固体イメージセンサーを用いたが、Ｏ次の電
子線の通過開口を除いて取り付けられたグラスフ
アイバー束と、このグラスフアイバー束によつて
伝送された回折像を撮像する撮像管との組合わせ
を用いても良い。
上述したように、本発明に基づく装置において
は、試料の透過像と回折像を常時同時に表示でき
る。従つて試料の傾斜角を変化させながら回折像
のパターンを観察して傾斜角を確認しながら透過
像を観察することができる。又、試料が短い期間
に熱変化あるいは形態変化する場合にも、その変
化を経時的に追いながら透過像と回折像を観察す
ることができる。
は、試料の透過像と回折像を常時同時に表示でき
る。従つて試料の傾斜角を変化させながら回折像
のパターンを観察して傾斜角を確認しながら透過
像を観察することができる。又、試料が短い期間
に熱変化あるいは形態変化する場合にも、その変
化を経時的に追いながら透過像と回折像を観察す
ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示すための図、第
２図は陰極線管に表示される回折像を例示するた
めの図である。 １：試料、２：電子線、３：対物レンズ、４：
中間レンズ、５：投影レンズ、６：螢光板、７：
ガラス板、８：固体イメージセンサー、９：電子
線、１０：駆動回路、１１：陰極線管、１２：増
幅器。
２図は陰極線管に表示される回折像を例示するた
めの図である。 １：試料、２：電子線、３：対物レンズ、４：
中間レンズ、５：投影レンズ、６：螢光板、７：
ガラス板、８：固体イメージセンサー、９：電子
線、１０：駆動回路、１１：陰極線管、１２：増
幅器。
Claims (1)
- １ 対物レンズの後方焦点面近傍に配置されＯ次
の回折電子線のみを通過させる孔を有し該後方焦
点面に形成される回折電子線像を電気信号に変換
するための撮像手段と、この撮像手段よりの信号
に基づいて回折像を表示するための表示手段とを
具備することを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8909782A JPS58206036A (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8909782A JPS58206036A (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58206036A JPS58206036A (ja) | 1983-12-01 |
| JPS6352427B2 true JPS6352427B2 (ja) | 1988-10-19 |
Family
ID=13961374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8909782A Granted JPS58206036A (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58206036A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4704776B2 (ja) * | 2005-03-07 | 2011-06-22 | 富士通株式会社 | 結晶材料の格子歪みの評価方法及びその評価装置 |
-
1982
- 1982-05-26 JP JP8909782A patent/JPS58206036A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58206036A (ja) | 1983-12-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0284136B1 (en) | Confocal laser scanning microscope | |
| EP0176358B1 (en) | Image pick-up apparatus | |
| US4990776A (en) | Electron microscope | |
| JPS58166244A (ja) | Ｘ線検査装置 | |
| US6124926A (en) | Defect detecting method and device | |
| GB2197499A (en) | High spatial and time resolution measuring apparatus | |
| JPS6352427B2 (ja) | ||
| JPH045363B2 (ja) | ||
| US6078046A (en) | Apparatus for measuring electron beam intensity and electron microscope comprising the same | |
| JPH01149354A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH09223478A (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
| JP2004177732A (ja) | 光学測定装置 | |
| JPH0918772A (ja) | 顕微鏡画像解析装置 | |
| JPH05325860A (ja) | 走査電子顕微鏡における像撮影方法 | |
| KR830002361B1 (ko) | 시료관찰방법 | |
| JP2913807B2 (ja) | 電子線照射型分析装置 | |
| JP3078645B2 (ja) | 走査型ｒｈｅｅｄ顕微鏡装置によるｒｈｅｅｄ像の観察方法 | |
| JPH0352179B2 (ja) | ||
| JPH0210381B2 (ja) | ||
| JPH037880Y2 (ja) | ||
| JPH06132187A (ja) | イオンビーム加工装置 | |
| JPS582856U (ja) | 透過走査像観察装置 | |
| JPS5914223B2 (ja) | 像表示装置 | |
| JP2713562B2 (ja) | 電子顕微鏡における焦点合わせ方法 | |
| JPH0630236B2 (ja) | 走査型反射電子回折顕微装置 |