JP3078645B2 - 走査型ｒｈｅｅｄ顕微鏡装置によるｒｈｅｅｄ像の観察方法 - Google Patents
走査型ｒｈｅｅｄ顕微鏡装置によるｒｈｅｅｄ像の観察方法Info
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- JP3078645B2 JP3078645B2 JP04125717A JP12571792A JP3078645B2 JP 3078645 B2 JP3078645 B2 JP 3078645B2 JP 04125717 A JP04125717 A JP 04125717A JP 12571792 A JP12571792 A JP 12571792A JP 3078645 B2 JP3078645 B2 JP 3078645B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は走査型ＲＨＥＥＤ（Ｒ
ｅｆｌｅｃｔｉｏｎ Ｈｉｇｈ Ｅｎｅｒｇｙ Ｅｌｅ
ｃｔｒｏｎ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）顕微鏡装置によ
るＲＨＥＥＤ（Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ Ｈｉｇｈ Ｅｎ
ｅｒｇｙ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏ
ｎ）像の観察方法に関するものである。
ｅｆｌｅｃｔｉｏｎ Ｈｉｇｈ Ｅｎｅｒｇｙ Ｅｌｅ
ｃｔｒｏｎ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）顕微鏡装置によ
るＲＨＥＥＤ（Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ Ｈｉｇｈ Ｅｎ
ｅｒｇｙ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏ
ｎ）像の観察方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の走査型ＲＨＥＥＤ顕微鏡装置によ
るＲＨＥＥＤ像の観察方法は、図２に基づいて説明す
る。真空槽１の壁には電子銃２が取り付けられ、この電
子銃２からの電子線はマニピュレータ３によって保持さ
れた真空槽１内の試料４の表面に鋭角的に照射され、そ
の表面上を走査する。走査する電子線は試料４の表面で
反射、回折され、このとき発生する回折模様が真空槽１
内の蛍光スクリーン５に投影される。しかし、試料４の
表面の結晶構造と幾何学構造とは試料４の表面の各位置
において異なっているうえ、電子線の照射位置が電子線
の走査により試料４の表面上において変化するため、蛍
光スクリーン５に投影される回折模様が電子線の走査に
よって変化するようになる。このようにして変化する回
折模様の一部分の蛍光を真空槽１の覗き窓６の外側にあ
るアパーチャ７と光学レンズ８とで光ファイバー９の一
端に入光し、そして、その後、光の強度が光ファイバー
９の他端に接続された光増倍管１０で電流値として測定
される。こうして測定された電流値は、その後、電流−
電圧変換器（図示せず）で電圧値に変換される。そし
て、最後に、変換された電圧値と電子線照射位置とを対
応させＲＨＥＥＤ像（反射高速電子回折像）がモニター
１１上に表示される。なお、図中、１２は電子銃２の電
源および制御装置である。
るＲＨＥＥＤ像の観察方法は、図２に基づいて説明す
る。真空槽１の壁には電子銃２が取り付けられ、この電
子銃２からの電子線はマニピュレータ３によって保持さ
れた真空槽１内の試料４の表面に鋭角的に照射され、そ
の表面上を走査する。走査する電子線は試料４の表面で
反射、回折され、このとき発生する回折模様が真空槽１
内の蛍光スクリーン５に投影される。しかし、試料４の
表面の結晶構造と幾何学構造とは試料４の表面の各位置
において異なっているうえ、電子線の照射位置が電子線
の走査により試料４の表面上において変化するため、蛍
光スクリーン５に投影される回折模様が電子線の走査に
よって変化するようになる。このようにして変化する回
折模様の一部分の蛍光を真空槽１の覗き窓６の外側にあ
るアパーチャ７と光学レンズ８とで光ファイバー９の一
端に入光し、そして、その後、光の強度が光ファイバー
９の他端に接続された光増倍管１０で電流値として測定
される。こうして測定された電流値は、その後、電流−
電圧変換器（図示せず）で電圧値に変換される。そし
て、最後に、変換された電圧値と電子線照射位置とを対
応させＲＨＥＥＤ像（反射高速電子回折像）がモニター
１１上に表示される。なお、図中、１２は電子銃２の電
源および制御装置である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の走査型ＲＨＥＥ
Ｄ顕微鏡装置によるＲＨＥＥＤ像の観察方法は、上記の
ように電子線を試料４の表面に走査させたときに発生す
る回折模様を蛍光スクリーン５に投影させ、その投影さ
れた回折模様の一部分の蛍光をアパーチャ７と光学レン
ズ８とで光ファイバー９の一端に入光させ、光の強度を
光増倍管１０で電流値として測定している。そのため、
電子線の走査による強度測定部分の移動に対して、正確
に追従しながら強度変化を測定することが出来ず、低倍
率での明瞭なＲＨＥＥＤ像を得ることが困難であった。
Ｄ顕微鏡装置によるＲＨＥＥＤ像の観察方法は、上記の
ように電子線を試料４の表面に走査させたときに発生す
る回折模様を蛍光スクリーン５に投影させ、その投影さ
れた回折模様の一部分の蛍光をアパーチャ７と光学レン
ズ８とで光ファイバー９の一端に入光させ、光の強度を
光増倍管１０で電流値として測定している。そのため、
電子線の走査による強度測定部分の移動に対して、正確
に追従しながら強度変化を測定することが出来ず、低倍
率での明瞭なＲＨＥＥＤ像を得ることが困難であった。
【０００４】この発明の目的は、従来の上記問題を解決
して、電子線の走査による強度測定部分の移動に対し
て、正確に追従しながら強度変化を測定することが出
来、かつ、低倍率から高倍率まで、明瞭なＲＨＥＥＤ像
を得ることが可能になる走査型ＲＨＥＥＤ顕微鏡装置に
よるＲＨＥＥＤ像の観察方法を提供することにある。
して、電子線の走査による強度測定部分の移動に対し
て、正確に追従しながら強度変化を測定することが出
来、かつ、低倍率から高倍率まで、明瞭なＲＨＥＥＤ像
を得ることが可能になる走査型ＲＨＥＥＤ顕微鏡装置に
よるＲＨＥＥＤ像の観察方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、真空槽内に配置された試料の表面上に
電子線を照射し、得られた回折模様を蛍光スクリーンに
投影させ、その投影された回折模様を真空槽外のテレビ
カメラで撮影し、その映像をコンピュータに取り込み、
電子線走査に伴う回折模様中の任意の部分の強度変化か
ら得られる試料のＲＨＥＥＤ像（反射高速電子回折像）
を観察する走査型ＲＨＥＥＤ顕微鏡装置によるＲＨＥＥ
Ｄ像の観察方法において、まず、予め、試料の表面上に
電子線を照射し、蛍光スクリーンに投影された回折模様
を真空槽外のテレビカメラで撮影し、その映像を表示し
たモニタ上の回折模様のなかから強度測定部分を指定
し、次に、試料の表面上に電子線を走査させ、その走査
位置と対応した蛍光スクリーン上での、前記指定された
強度測定部分に対応する位置の移動をコンピュータで記
憶し、その次に、再度、試料の表面上に電子線を走査さ
せ、蛍光スクリーンに投影された電子線の走査位置によ
って動く回折模様中の強度測定部分を真空槽外のテレビ
カメラで追跡撮影し、電子線の走査に伴って動く強度測
定部分の蛍光強度を正確に測定することを特徴とするも
のである。
に、この発明は、真空槽内に配置された試料の表面上に
電子線を照射し、得られた回折模様を蛍光スクリーンに
投影させ、その投影された回折模様を真空槽外のテレビ
カメラで撮影し、その映像をコンピュータに取り込み、
電子線走査に伴う回折模様中の任意の部分の強度変化か
ら得られる試料のＲＨＥＥＤ像（反射高速電子回折像）
を観察する走査型ＲＨＥＥＤ顕微鏡装置によるＲＨＥＥ
Ｄ像の観察方法において、まず、予め、試料の表面上に
電子線を照射し、蛍光スクリーンに投影された回折模様
を真空槽外のテレビカメラで撮影し、その映像を表示し
たモニタ上の回折模様のなかから強度測定部分を指定
し、次に、試料の表面上に電子線を走査させ、その走査
位置と対応した蛍光スクリーン上での、前記指定された
強度測定部分に対応する位置の移動をコンピュータで記
憶し、その次に、再度、試料の表面上に電子線を走査さ
せ、蛍光スクリーンに投影された電子線の走査位置によ
って動く回折模様中の強度測定部分を真空槽外のテレビ
カメラで追跡撮影し、電子線の走査に伴って動く強度測
定部分の蛍光強度を正確に測定することを特徴とするも
のである。
【０００６】
【作用】この発明においては、モニタ上に表示される試
料の回折模様のなかから強度測定部分を指定したうえ、
電子線の走査位置に対応した蛍光スクリーン上の、強度
測定部分の動く位置をコンピュータで記憶しているの
で、コンピュータの強度測定部分における蛍光強度を、
電子線の走査位置に対応してはずす事なく正確に測定す
ることが出来、明瞭なコントラストを持つＲＨＥＥＤ像
を得ることが出来るようになる。
料の回折模様のなかから強度測定部分を指定したうえ、
電子線の走査位置に対応した蛍光スクリーン上の、強度
測定部分の動く位置をコンピュータで記憶しているの
で、コンピュータの強度測定部分における蛍光強度を、
電子線の走査位置に対応してはずす事なく正確に測定す
ることが出来、明瞭なコントラストを持つＲＨＥＥＤ像
を得ることが出来るようになる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例に用いられる走査
型ＲＨＥＥＤ顕微鏡装置は、図１に示されており、同図
において、真空槽２１の壁には電子銃２２が取り付けら
れ、この電子銃２２らの電子線は真空槽２２内の試料２
３の表面に鋭角的に照射され、その表面上を走査する。
走査する電子線は試料２３の表面で反射、回折され、こ
のとき発生する回折模様が真空槽２１の壁に設けられた
蛍光スクリーン２４に投影される。蛍光スクリーン２４
上の回折模様は真空槽２１外のテレビカメラ２５で撮影
され、その映像がコンピュータ２６に表示され、その映
像上でコンピュータ２６を通して強度測定部分を指定し
た後、電子線を走査させ、その際の強度測定部分の電子
線走査に伴う強度の変化がＲＨＥＥＤ像（反射高速電子
回折像）として表示されている。なお、図中、２７は電
子銃２の電源および制御装置である。
しながら説明する。この発明の実施例に用いられる走査
型ＲＨＥＥＤ顕微鏡装置は、図１に示されており、同図
において、真空槽２１の壁には電子銃２２が取り付けら
れ、この電子銃２２らの電子線は真空槽２２内の試料２
３の表面に鋭角的に照射され、その表面上を走査する。
走査する電子線は試料２３の表面で反射、回折され、こ
のとき発生する回折模様が真空槽２１の壁に設けられた
蛍光スクリーン２４に投影される。蛍光スクリーン２４
上の回折模様は真空槽２１外のテレビカメラ２５で撮影
され、その映像がコンピュータ２６に表示され、その映
像上でコンピュータ２６を通して強度測定部分を指定し
た後、電子線を走査させ、その際の強度測定部分の電子
線走査に伴う強度の変化がＲＨＥＥＤ像（反射高速電子
回折像）として表示されている。なお、図中、２７は電
子銃２の電源および制御装置である。
【０００８】上記走査型ＲＨＥＥＤ顕微鏡装置を用いた
ＲＨＥＥＤ像の観察方法は、まず、予め、試料２３の表
面上に電子線を照射し、蛍光スクリーン２４に投影され
た回折模様を真空槽２１外のテレビカメラ２５で撮影
し、その映像を表示するモニター上の回折模様のなかか
ら強度測定部分を指定し、次に、試料２３の表面上に電
子線を走査させ、その走査位置と対応した蛍光スクリー
ン２４上での、前記指定された強度測定部分に対応する
位置の移動をコンピュータ２６で記憶し、その次に、再
度、試料２３の表面上に電子線を走査させ、蛍光スクリ
ーン２４に投影された電子線の走査位置により動く回折
模様中の強度測定部分を真空槽２１外のテレビカメラ２
５で追跡撮影し、電子線の走査に伴って動く強度測定部
分における蛍光強度を正確に測定するものである。
ＲＨＥＥＤ像の観察方法は、まず、予め、試料２３の表
面上に電子線を照射し、蛍光スクリーン２４に投影され
た回折模様を真空槽２１外のテレビカメラ２５で撮影
し、その映像を表示するモニター上の回折模様のなかか
ら強度測定部分を指定し、次に、試料２３の表面上に電
子線を走査させ、その走査位置と対応した蛍光スクリー
ン２４上での、前記指定された強度測定部分に対応する
位置の移動をコンピュータ２６で記憶し、その次に、再
度、試料２３の表面上に電子線を走査させ、蛍光スクリ
ーン２４に投影された電子線の走査位置により動く回折
模様中の強度測定部分を真空槽２１外のテレビカメラ２
５で追跡撮影し、電子線の走査に伴って動く強度測定部
分における蛍光強度を正確に測定するものである。
【０００９】このようにして観察することにより、コン
ピュータ２６の強度測定部分における蛍光強度を、電子
線の走査位置に対応して正確に測定することが出来、明
瞭なコントラストを持つＲＨＥＥＤ像を得ることが出来
るようになる。
ピュータ２６の強度測定部分における蛍光強度を、電子
線の走査位置に対応して正確に測定することが出来、明
瞭なコントラストを持つＲＨＥＥＤ像を得ることが出来
るようになる。
【００１０】
【発明の効果】この発明は、上記のようにモニタ上に表
示される試料の回折模様のなかから強度測定部分を指定
したうえ、電子線の走査位置に対応した蛍光スクリーン
上の、強度測定部分の動く位置をコンピュータで記憶し
ているので、電子線の走査による強度測定部分の移動に
対して、正確に追従しながら強度変化を測定することが
出来、かつ、低倍率から高倍率まで、明瞭なＲＨＥＥＤ
像を得ることが可能になる。
示される試料の回折模様のなかから強度測定部分を指定
したうえ、電子線の走査位置に対応した蛍光スクリーン
上の、強度測定部分の動く位置をコンピュータで記憶し
ているので、電子線の走査による強度測定部分の移動に
対して、正確に追従しながら強度変化を測定することが
出来、かつ、低倍率から高倍率まで、明瞭なＲＨＥＥＤ
像を得ることが可能になる。
【図１】この発明の実施例に用いられる走査型ＲＨＥＥ
Ｄ顕微鏡装置を示す説明図
Ｄ顕微鏡装置を示す説明図
【図２】従来の走査型ＲＨＥＥＤ顕微鏡装置によるＲＨ
ＥＥＤ像の観察方法を示す説明図
ＥＥＤ像の観察方法を示す説明図
２１・・・・・真空槽 ２２・・・・・電子銃 ２３・・・・・試料 ２４・・・・・蛍光スクリーン ２５・・・・・テレビカメラ ２６・・・・・コンピュータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 三郎 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空 技術株式会社内 (72)発明者 山室 和弘 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空 技術株式会社内 (72)発明者 重富 潤一 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空 技術株式会社内 (72)発明者 山川 洋幸 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地日本真空 技術株式会社内 審査官 杉浦 淳 (56)参考文献 特開 平３−272555（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 37/22 H01J 37/295
Claims (1)
- 【請求項１】真空槽内に配置された試料の表面上に電子
線を照射し、得られた回折模様を蛍光スクリーンに投影
させ、その投影された回折模様を真空槽外のテレビカメ
ラで撮影し、その映像をコンピュータに取り込み、電子
線走査に伴う回折模様中の任意の部分の強度変化から得
られる試料のＲＨＥＥＤ像（反射高速電子回折像）を観
察する走査型ＲＨＥＥＤ顕微鏡装置によるＲＨＥＥＤ像
の観察方法において、まず、予め、試料の表面上に電子
線を照射し、蛍光スクリーンに投影された回折模様を真
空槽外のテレビカメラで撮影し、その映像を表示したモ
ニタ上の回折模様のなかから強度測定部分を指定し、次
に、試料の表面上に電子線を走査させ、その走査位置と
対応した蛍光スクリーン上での、前記指定された強度測
定部分に対応する位置の移動をコンピュータで記憶し、
その次に、再度、試料の表面上に電子線を走査させ、蛍
光スクリーンに投影された電子線の走査位置によって動
く回折模様中の強度測定部分を真空槽外のテレビカメラ
で追跡撮影し、電子線の走査に伴って動く強度測定部分
の蛍光強度を正確に測定することを特徴とする走査型Ｒ
ＨＥＥＤ顕微鏡装置によるＲＨＥＥＤ像の観察方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04125717A JP3078645B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 走査型ｒｈｅｅｄ顕微鏡装置によるｒｈｅｅｄ像の観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04125717A JP3078645B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 走査型ｒｈｅｅｄ顕微鏡装置によるｒｈｅｅｄ像の観察方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06176730A JPH06176730A (ja) | 1994-06-24 |
| JP3078645B2 true JP3078645B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=14917013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04125717A Expired - Lifetime JP3078645B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 走査型ｒｈｅｅｄ顕微鏡装置によるｒｈｅｅｄ像の観察方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3078645B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106680665B (zh) * | 2016-11-29 | 2019-05-21 | 国网辽宁省电力有限公司沈阳供电公司 | 一种反射式高能电子衍射对高压电缆的检测装置 |
-
1992
- 1992-04-17 JP JP04125717A patent/JP3078645B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06176730A (ja) | 1994-06-24 |
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