JPH01313742A

JPH01313742A - 周期性パターンの検査方法

Info

Publication number: JPH01313742A
Application number: JP14661888A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Watanabe; 一生渡辺
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1988-06-13
Filing date: 1988-06-13
Publication date: 1989-12-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、カラニテレビ用ブラウン管に用いられるシャ
ドウマスク、カラー撮像装置用色分解フィルタ、液晶表
示パネル用カラーフィルタ、電子管に用いられるメツシ
ュ状電極、ＶＤＴフィルタ、濾過装置用メツシュ用フィ
ルタ、ロータリーエンコーダ、リニアエンコーダ、■Ｃ
用フォトマスク、フレネルレンズ、レンチキュラーレン
ズなど一定の光学的性質、形状をもつ単位（以下単位パ
ターン）が１次元方向、或いは２次元方向に規則的に繰
り返し配列されている工業製品、特にシャドウマスクの
ように周期開口を持つ工業製品の欠陥、ムラ、透過率等
を検査する周期性パターンの検査方法に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

従来、単位パターンが周期的に繰り返し配列されている
工業製品、例えばシャドウマスクの欠陥検査は、目視観
察するか、或いはテレビカメラにより撮影し、画像処理
することにより行っている。

次に、第９図〜１１図により周期性パターンをテレビカ
メラにより撮影し、画像処理する検査方法について説明
する。

第９図に示す検査装置においては、第１０図に示すよう
な周期的な開口を単位パターン５１として持つ被検査体
４６の開口面積の異常を検知するため、直流電源４９で
点灯される白熱ランプ４８と拡散板４７で構成される透
過照明部により被検査体４６を照明し、ＴＶカメラ４１
で検査領域を撮影する。画像処理装置４２はＴＶカメラ
の出力信号をＡ／Ｄ変換してデジタル画像データとし、
フレームメモリ、及び演算器により画面の加算、減算を
含む各種の画像処理を高速で行う。制御袋Ｗ４３は画像
処理装置４２、及びＸＹステージ５０と駆動機構４５で
構成されるパターン移動機構を制御してパターンの移動
を行う。なお、第１０図において５２．５３は欠陥をも
った単位パターンである。

ＴＶカメラ４１によるビデオ信号の単位開口による変化
が無視できる撮影条件、例えば１画素に対応するパター
ン面積に単位開口１１が１０個程度入るようにし、パタ
ーンを移動変位させる方向がＴＶカメラ４１の走査線方
向で、パターンの変位距離が画素ピッチの整数倍となっ
ている場合について第１１図により説明する。

パターンの欠陥がある所を通る直線上の光透過重分布は
、例えば第１１図（ａ）に示すようになり、第１０図の
５３で示すような開口面積が正常なパターン５１よりも
大きい欠陥、即ち白欠陥による光透過率の変化５４や、
第１０図の５２で示すように開口面積が正常なパターン
５Ｌよりも小さい欠陥、即ち黒欠陥による光透過率の変
化５５が検出される。また、第１１図（ａ）の場合と同
じ線上を走査したビデオ信号を示すと第、１１図（ｂ）
のようになり、パターンの照明ムラ、撮像面の感度ムラ
等による緩やかな信号変化（シェーディング）とビデオ
信号処理装置で発生するランダムノイズ、及び光学系に
付着したゴミなどによる信号の局部的な変化５６が現れ
る。

このようなビデオ信号を複数フレームを加算することに
より、加算回数をＮとしたときランダムノイズ成分の比
率を１／パにまで減少することができる（第１１図（Ｃ
））。次に、パターンを変位させて同様の画面加算処理
をした場合、第１１図（ｄ）に示すように、パターンの
移動と共にパターン上の欠陥による信号も移動している
が、撮像系のシェーディングや光学系のゴミ等による信
号５６の位置は変化していない。そこで、第１１図（Ｃ
）で示すデータから第１１図（ｄ）に示すデータを減算
すると、両データに含まれるシェーディングやゴミなど
による信号５６は消去され、パターンの光透過率変化に
よる信号と低減されたランダムノイズ成分だけが残り、
この結果、欠陥による信号はパターンの移動量に応じた
画素数離れた位置でその近傍の平均値に対する値の差が
ほぼ同じで、符号が反転して現れ、その反転する順序は
欠陥の種類（白欠陥、黒欠陥）によって逆転する。

以上のような処理をした画像データは欠陥部のみ明るさ
が局部的に変化しているため、モニタで観察すれば容易
に欠陥として認識することができ、また欠陥部での周囲
に対する明暗の反転の順序で欠陥の種類を識別すること
もできる。

次に、パターンの移動方法について第１２図により説明
する。

第１２図に示すように、被検査体位置Ｐ。−Ｐ、があり
、前述の移動はこの図のＰｏとＰ、に相当する。この場
合、２箇所から得られる画像デー夕のみで処理を行った
場合、同図のＨ方向に開口率が変化することによって生
じた斑は検出されるが、他の方向、例えばＶ方向に変化
が大きく、Ｈ方向に変化が小さい斑は検出されないとい
う検出感度の異方性を生ずる欠点があるが、例えば同図
のＰｏ、Ｐ、、Ｐ、　、Ｐ、　、Ｐ、で撮像して得た画
像データをもとに、ＰｏとＰＩＳＰｏとＰ２、ＰｏとＰ
３、ＰＧとＰ４の組み合わせで各々について所定の処理
を行って異方性を解消することができる。また、図のＰ
ＩからＰ８のように円周上に配列した各位置での画像デ
ータの合計を中心位置Ｐ６の画像データから減算して得
られる画像データに基づいて検出を行っても同様に異方
性を回避することができ、しかも視覚的に反応し易い明
るさ分布の曲率を近似した値が得られ、目視検査に近い
検査結果となる。そして、各位置で撮像して得られる画
像データには前記したランダムノイズ成分とシェーディ
ング成分、さらに固定ノイズ成分などが含まれており、
ランダムノイズ成分は、各移動位置において複数フレー
ム分を加算することで抑圧することができ、またシェー
ディング成分や固定ノイズ成分は画像データのフレーム
数の総和が「０」となるように画像データの演算をごな
うことによって消去できる。例えば、第１２図のＰｏの
位置で３２フレ一ム分、Ｐｌで８フレ一ム分の加算を行
い、Ｐ、での画像データを４倍した画像データからＰｏ
での画像データを減算すれば両画像データの総和はｒ□
、となり、シェーディング成分や固定ノイズ成分が消去
される。また、Ｐ、からＰ８の各位置において、それぞ
れ４フレ一ム分の画面加算を行った場合、ＰｌからＰｇ
の画像データの加算結果は３２フレ一ム分の画像データ
の加算結果に相当するからＰｏの位置で３２フレ一ム分
の画像データを加算した結果から減算すれば、同様にシ
ェーディング成分や固定ノイズ成分が消去されると共に
、明るさ分布の２次元微分値が得られる。さらに、以上
のような処理によリシ主−ディング成分や固定ノイズ成
分の低減された画像データに対して平滑処理を加えると
、ランダムノイズ成分がさらに減少し、極めて軽微なム
ラ成分の検出が可能になり、また微小欠陥や周期の短い
ムラによる画像データの変化を抑制することもできる。

以上のような画像処理が施された画像データをもとに製
品の良・不良の判定を自動的に行う方法も提案されてい
る。

第１３図は第１１図と同様な条件で測定した例を示し、
第１３図（ａ）〜（ｅ）は第１１図と同様であり、Ａは
開口率の変化が緩やかな部分、Ｂは開口率が周期的に変
化している部分、Ｃは開口率の変化が太き（、しかも孤
立している部分、Ｄは光学系の汚れなどによるビデオ信
号の局部的な変化成分（固定ノイズ成分）である。第１
３図（ｅ）には被検査体の開口率の変化による成分が抽
出されていることが分かる。この場合、被検査体の移動
量は、検出しようとするムラの状態により異なるが、ム
ラの変化する周期の増大に伴って被検査体の移動量も増
大し、フレームメモリの画素数に換算して２画素から２
０画素程度に設定する。次に、第１３図（ｅ）の画像デ
ータに対して、十分広い領域の画像データの平均値を減
算すると第１３図（ｆ）に示すようになり、また第１３
図（ｅ）の画像データを微分する上第１３図（ｇ）に示
すようになり、検出しようとするムラの性質に応じて所
定の閾値Ｓ、、Ｓ、を設定することにより自動的にムラ
を検出することができる。第１３図（ｈ）は第１３図（
ｇ）の画像データに対して閾値ｓ、、Ｓ２を設定し、閾
値を越えた場合を「１」、越えない場合を「０」として
示した２値化データである。そして、第１３図（ａ）の
Ｃに示すような孤立したムラを検出し、製品不良とする
場合は、第１３図（ｆ）または（ｇ）の画像データに対
してＳＩのような閾値を設定すればよい。

また、第１３図（ａ）のＢに示すような周期的に変化す
るムラを検出して製品不良とする場合は、第１３図（ｆ
）または（ｇ）の画像データに対してＳ２のような閾値
を設定し、第１３図（ｈ）に示すような２値化データに
変換した後、近傍画素を加算して第１３図（ｉ）に示す
ような所定の領域内のムラの数、即ち密度データに変換
し、この密度データに対して所定の閾値Ｓ、を設定して
比較することにより周期的に変化しているムラのみを検
出し、その結果から製品の良・不良を判定することがで
きる。

〔発明が解決すべき課題〕

しかしながら、目視観察により検査する場合は、周期性
パターンが強（見えてしまうため、その中にある微小な
欠陥や軽微な透過率変化をもつムラ等のＰ！識が極めて
困難である。また、例えば第１４図に示すようにシャド
ウマスク８１を斜光で観察するのは、専用の光学系の設
計が難しく、少し角度を変えて観察するようなことが簡
単にはできない。また、第１５図に示すようなシャドウ
マスク８１に対して角度を持って入射するビーム方向か
らの観察は困難である。またテレビカメラによる観察で
は、第１６図に示すように光源８３による斜光でシャド
ウマスク８１を照明し、その透過光をテレビカメラ８２
で撮像するのは焦点合わせが困難で、そのための専用の
光学系を設計するのは非常に困難である。また第１７図
に示すような垂直方向での撮像においては、理論的には
撮像距離を無限大にしなければ、垂直方向の撮像はでき
ない。また、テレビの走査ビーム方向に撮像を行おうと
すると、第１８図に示すように巨大な短焦点の集光レン
ズ８４、例えば直径１ｍ程度のレンズが必要となってし
まい、さらにモアレによるノイズが生ずる等の問題があ
った。

本発明は上記問題点を解決するためのもので、目視検査
あるいはテレビカメラを用いた検査においても、任意の
方向からの光による観察が可能な周期性パターンの検査
方法を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

そのために本発明は、周期性パターンを有する試料に光
を照射して試料像をスクリーンに投影し、投影された試
料像を観察することにより周期性パターンを検査するこ
と、周期性パターンの投影像をぼかすこと、周期性パタ
ーンを有する試料に光を照射して試料像をスクリーンに
投影し、投影された試料像を撮像してフレーム単位の画
素データを得るようにした周期性パターンの検査方法で
あって、周期性パターンを所定の方向へ所定の距離だけ
変位させ、変位前後の画像データに基づいて周期性パタ
ーンの検査を行うこと、周期性パターンを有する試料に
光を照射して試料像をスクリーンに投影し、投影された
試料像を撮像してフレーム単位の画素データを得るよう
にした周期性パターンの検査方法であって、試料像の撮
像を冷却型ＣＣＤカメラにより行うこと、試料に平行光
を垂直に照射してスクリーンに試料像を投影し、撮像す
るようにしたことを特徴とする。

〔作用〕

本発明は照明用光源により周期性パターンを照明し、そ
の像をスクリーンに投影して写し出し、スクリーン上の
投影像を観察することにより、色々の方向での検査が可
能となる。

〔実施例〕

以下、実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す図で、１１゜１２．１
３はランプ、１４．１５はレンズ、１６はシャドウマス
ク、１７はスクリーンである。

図において、ランプ１１〜１３によりシャドウマスクエ
６を照明し、その像をスクリーン１７に投影して観察す
る。いま、ランプ１１または１３で照明すると、斜光に
より生じた像がスクリーン１７に投影され、また、ラン
プ１２で照明する場合にはほぼビーム方向に通過した照
明光による投影像がスクリーンに写しだされる。このス
クリーンに写しだされた像を観察することによ・リパタ
ーンの検査を行う。そしてランプを順次切り替えれば、
照明装置で設定した方向での検査がスクリーンを正面か
ら観察するだけで行うことができる。

次に、シャドウマスク１６の周期性パターンがスクリー
ン１７に写らないようにする実施例について第２図によ
り説明する。

第２図はストライプ状パターンをスクリーン面に投影す
る場合の例を示す図で、同図（イ）は斜視図、同図（ロ
）は断面図である。

本実施例においてはストライブパターン２３に対して直
交する方向に長い光ファイバ２２で照明し、その投影像
をスクリーン１７に投影する。第２図（ロ）に示すよう
にストライプパターン２３は直交する方向にボケが大き
くなり、その程度はパターンとスクリーンの距離によっ
て変化する。

その結果パターンが観察されなくなって欠陥やムラ等の
僅かな明るさの変化を認識することが可能となる。この
ように投射光の性質や試料とスクリーンの距離の設定に
より、周期性パターンを観察されないようにすることが
可能となる。

第３図はテレビカメラを用いた検査方法を示す図で、図
中３１はテレビカメラ、３２はスクリーン、３３はシャ
ドウマスク、３４はランプである。

ランプ３４によりシャドウマスク３３を照明し、その像
をスクリーン３２に写し出してテレビカメラ３１で撮像
する。シャドウマスク３３に対して所定の角度方向の光
を撮像することができるので、第３図（ロ）に示すよう
なシャドウマスク３３に対するビーム３６の方向に合わ
せた撮像を行うことができる。その結果第１８図に示す
ような集光レンズを用いる必要がなくなる。

また、透過光を垂直方向とする場合は、第４図に示すよ
うに光源３４からの光をフレネルレンズ３７により平行
光にしてシャドウマスク３３を照明し、スクリーン３２
に写し出して撮像するようにすれば、任意の距離での撮
像で垂直方向の検査が可能となる。

第５図は、第９図に示した検査装置に本発明を適用した
場合の実施例を示す図で、第９図と同一番号は同一内容
を示している。

本実施例においては、スクリーン３２に移動前後の被検
査体のパターンを写しだし、これをテレビカメラで撮影
して画像処理装置４２により画像処理することにより、
任意方向における撮像において透過率の微小な変化から
微小欠陥を検出することができる。

第６図は撮像装置として冷却型ＣＣＤカメラを使用した
本発明の他の実施例を示す図で、図中、６１は冷却型Ｃ
ＣＤカメラ、６２は画像処理装置、６４はシャッタ、６
５はシャッタ駆動装置、６６は試料、６７は照明装置、
６日は電源、６９はスクリーンである。

冷却型ＣＣＤカメラ６１は、電子冷却方式等により冷却
して暗電流やノイズを無視できる程度まで大幅に減少さ
せ、暗い領域での長時間露光が可能なＣＣＤカメラで、
積算光量に対する映像信号の直線性が良好であることが
特徴であり、従来の高感度テレビカメラでも映し出せな
かった暗い領域を高画質で鮮明に写し出すことができ、
１画素・１秒間当たり数個オーダーの光子まで検出する
ことが可能である。

このようなＣＣＤカメラ６１を使用し、電源６日で駆動
される照明装置６７により試料６６を照射し、その像を
スクリーン６９に投５影してＣＣＤカメラで撮像してい
る。この場合、周期性パターンと撮像装置の画素との間
でモアレが発生しないような条件、例えば１画素に対応
するパターン面積に複数の単位パターンが入るようにす
る。

このとき、試料なしで撮像した画像データを■３、試料
を入れて撮像した画像データを■、シャッター４を閉じ
て撮像した画像データを■。とすると、試料上の点の透
過率Ｔは、１、−１゜として計算できる。ここでＬ　　１．、■１は対応する
位置の画像データであり、シャッター閉（光量＝０）の
ときの画像データが無視できれば、Ｔ＝Ｉ／Ｉ。

として透過率が得られる。この演算は画像処理装置２に
より各画像データをフレームメモリに記憶した後、画面
間演算で行うことができる。そして、冷却型ＣＣＤカメ
ラの画素数が５１２Ｘ５１２とすれば、この演算で約２
５万点の透過率データが得られることになる。こうして
得られた画像データにはシェーディングや撮像系のゴミ
等の成分は含まれていないため、この画像に対して前述
したような各検査項目に応じた画像処理を行うことによ
り１度の測定で検査を行うことが可能である。

また、光源が安定していれば画像データ！、をメモリに
記憶させておき、これを使用するようにすれば試料毎に
測定を行う必要がなく、測定時間を短縮することができ
る。

通常の固体撮像素子や撮像管では、光量と映像信号の直
線性が十分でなく、また熱電子の影響が大きく高精度の
測定は困難であり、イメージディセクタ管をフォトンカ
ウト法で用いる場合には、空間分解能や直線性、Ｓ／Ｎ
は良好であるが、撮像時間が長いという問題があった（
１画素当たりＩｍｓ程度、２５万画素として約４分）が
、本発明においては冷却型ＣＣＤカメラ１を使用するこ
とにより、数ＳｅＣ以内で撮像でき直線性も良好となる
。

また、欠陥検出は画像データに対して、微分処理を行う
ことにより、試料移動を行うことなく、従来の撮像（フ
レーム積分）→試料移動→撮像（フレーム積分）を行っ
た結果に相当する画像データが得られその後、同様な画
像処理を行えば欠陥検出を行うことができる。この場合
、例えば第７図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のような微分処
理の空間フィルタを使用することにより特徴抽出を行え
ばよい。第７図（ａ）、（ｂ）の空間フィルタを使用す
れば１次元のエツジ抽出を行うことができ、第７図（Ｃ
）の空間フィルタを使用すれば２次元のエツジ強調を行
うことができる。そして、画像データのバラツキ、解像
特性、検出すべき欠陥の性質などに応じて空間フィルタ
を選択すれば良く、また白／黒欠陥の識別は第７図（Ｃ
）の空間フィルタを使用して着目画素の大きさを判別し
、周囲画素に対する着目画素の大きさにより識別するこ
とができる。

また、ムラの検出判定も第７図（Ｃ）の空間フィルタを
使用することにより、第１３図で説明したような一連の
撮像動作を行ったのと同じ結果が得られ、第１３図の場
合と同様、画面加算処理、闇値の設定を行うことにより
検出・判定まで行うことができる。

ところで、第６図の透過率測定方法では、−画素毎のデ
ータのバラツキがそのままデータに影響を与えるため高
精度の測定を行うためには測定点を中心とする小領域の
画像データ、例えば５×５ｐｉｘ〜１０Ｘ１０ｐｉｘな
どの平均値を演算する必要がある。測定点が限られてい
る場合には、ＣＰＵによる処理でも演算に要する時間は
少なくてすむが、測定点が多くなるとＣＰＵによる処理
では多くの時間を要するので、その場合には透過率デー
タが得られたフレームメモリに画像処理の１種である平
滑フィルタ処理を行った後、所定の画像データを読み出
すようにすれば高速化することが可能となる。

前述したように、冷却型ＣＣＤは積算光量に対する映像
信号の直線性が良好であることが特徴であるが、透過率
の低い試料を測定する場合には、試料なしで撮像した画
像データＩｔをｍａｙに近い値に設定しても試料を入れ
て撮像した画像データＩの値が小さくなり直線性の僅か
な誤差や暗電流などが透過率値に影響する。

このため、■及び■１を撮像するときに、これらの二つ
の画像データレベルがほぼ等しく、十分な大きさを持つ
ように撮像した方が精度の高い結果が得られ、その場合
画像処理には、補正演算が必要となる。

そのための一つの方法としてＩ、撮像時の露光時間が、
■の時の１／Ｔとなる様にシャッタを動作させて■と■
１をほぼ同じ値とすることが可能である。

しかし、メカシャッタには、動作時間のバラツキがある
ため、特にシャツタ開時間が短い場合には誤差が大きく
なる欠点があり、この誤差が無視できない場合には、シ
ャツタ開時間を測定し、その値によりデータを補正すれ
ば良い。

第８図はこれを実現するための本発明の他の実施例を示
す図であり、第１図と同一番号は同一内容を示している
。なお、図中、７０はハーフミラ−１７１は光センサ、
７２は測定装置である。

本実施例では、ハーフミラ−７０により撮像時の光の一
部をセンサ７１で検出し、検出信号が得られている時間
を測定装置７２で測定することにより露光時間を求める
。こうして求めた露光時間によりデータを補正し、Ｉと
１．の二つの画像データレベルをほぼ等しくすることが
できる。

また、冷却型ＣＣＤの蓄積時間を変化させ、例えば試料
を入れて撮像した画像データ■の方を長くしてＩと１．
のレベルを等しくしてもよい。この場合、時間の設定は
十分な精度で行えるが、光透過率が低い場合、■１を撮
像する時間がＩの時の１／Ｔ倍であるため、例えば透過
率が０．１％程度のききには１０００倍の時間を必要と
することになる。

またＩと■１の撮像時に光源の明るさを変えても同様な
結果を得ることができる。

このように、本実施例では透過率データが高分解能の画
像データとして得られるため、この画像データを処理し
て試料の位置や回転などを自動的に認識して、所定位置
のデータを得ることができ容易に自動測定化が可能であ
る。また測定対称品種の変更も、メカ調整なしでプログ
ラムの変更だけで対応できる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、斜光、ビーム方向、垂直
方向等任意方向での検査が可能であると共にモアレを生
ずることもなく、微小な欠陥やムラ等の僅かな明るさの
変化を認識することができ、精度のよい検査が可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図はストライ
プ状パターンをスクリーン面に投影する場合の例を示す
図、第３図はテレビカメラを用いた検査方法を示す図、
第４図は垂直方向での撮像を行う場合の実施例を示す図
、第５図は透過率の変化から欠陥検出を行う場合の実施
例を°示す図、第６図は冷却型ＣＣＤカメラにより撮像
する場合の実施例を示す図、第７図は空間フィルタを示
す図、第８図は露光時間を測定するようにした本発明の
他の実施例を示す図、第９図は従来の周期性パターンの
検査方法を説明するための図、第１０図は周期性パター
ンとその欠陥を説明するための図、第１１図は従来の検
出方法を説明するための図、第１２図はパターン移動方
法を説明するための図、第１３図はムラ検出の方法を説
明するための図、第１４図は斜光による観察を説明する
ための図、第１５図はビーム方向の観察を説明するため
の図、第１６図は斜光による撮像を説明するための図、
第１７図は垂直方向における撮像を説明するための図、
第１８図はビーム方向での撮像を説明するための図であ
る。１１．１２．１３・・・ランプ、１４．１５・・・レン
ズ、１６・・・シャドウマスク、１７・・・スクリーン
、２２・・・光ファイバ、２３・・・ストライプパター
ン、３１・・・テレビカメラ、３２・・・スクリーン、
３３・・・シャドウマスク、３４・・・ランプ、３７・
・・フレネルレンズ。出　　願　　人　　大日本印刷株式会社代理人　弁理士
　　蛭　川　昌　信（外４名）第１図第２図（イ）　　　　　　　　　　　　　　　（ロ）第３図（イ）　　　　　　　　　　　　　　　　（ロ）第４図第５図Ｎ６図６８ｉし６７Ｗ”ＡＨ６第７図（ａ）　　　　　　（ｂ）　　　　　　　　　（ｃ）第
８図第Ｓ図第１０図：：：：：ｓ１ −　　〇０００〇、ｚ− 一一一一〇σＯ○〇− 第１１図第１２図区派２５６一

Claims

【特許請求の範囲】

（１）周期性パターンを有する試料に光を照射して試料
像をスクリーンに投影し、投影された試料像を観察する
ことにより周期性パターンを検査することを特徴とする
周期性パターンの検査方法。
（２）周期性パターンの投影像をぼかすようにした請求
項１記載の周期性パターンの検査方法。
（３）周期性パターンを有する試料に光を照射して試料
像をスクリーンに投影し、投影された試料像を撮像して
フレーム単位の画素データを得るようにした周期性パタ
ーンの検査方法であって、周期性パターンを所定の方向
へ所定の距離だけ変位させ、変位前後の画像データに基
づいて周期性パターンの検査を行うことを特徴とする周
期性パターンの検査方法。
（４）周期性パターンの欠陥検出を行う請求項３記載の
周期性パターンの検査方法。
（５）周期性パターンの均一性を検査する請求項３記載
の周期性パターンの検査方法。
（６）周期性パターンを有する試料に光を照射して試料
像をスクリーンに投影し、投影された試料像を撮像して
フレーム単位の画素データを得るようにした周期性パタ
ーンの検査方法であって、試料像の撮像を冷却型ＣＣＤ
カメラにより行うことを特徴とする周期性パターンの検
査方法。
（７）試料に平行光を垂直に照射してスクリーンに試料
像を投影するようにした請求項３ないし６のうち何れか
１項記載の周期性パターンの検査方法。