JPH06265476A - 検査補助装置 - Google Patents
検査補助装置Info
- Publication number
- JPH06265476A JPH06265476A JP7851193A JP7851193A JPH06265476A JP H06265476 A JPH06265476 A JP H06265476A JP 7851193 A JP7851193 A JP 7851193A JP 7851193 A JP7851193 A JP 7851193A JP H06265476 A JPH06265476 A JP H06265476A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image data
- inspection
- image
- inspection object
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】人間が検査することに起因する検査基準の不安
定さを排除して検査対象のムラ検査、品質管理を行うこ
とができるように、人間の目視検査を補助するための安
価な検査補助装置を提供する。 【構成】検査対象保持台１、照明手段９、撮像手段５、
画像処理手段６、モニターディスプレイ８、から構成さ
れた検査補助装置において、画像処理手段は画像データ
記憶手段を有しており、照明手段の照明分布である照明
画像データを画像データ記憶手段に予め記憶しておき、
照明画像データ及び検査対象画像データから、対応する
位置の画素データを取り出し、検査対象画像データの画
素データを照明画像データの画素データで割り算して割
り算画像データを得て、更に画像処理手段の濃度変換処
理により割り算画像データの明暗を強調処理して強調処
理画像データを得て、モニターディスプレイに表示す
る。 【効果】熟練度の低い人間であっても、検査が行える。
定さを排除して検査対象のムラ検査、品質管理を行うこ
とができるように、人間の目視検査を補助するための安
価な検査補助装置を提供する。 【構成】検査対象保持台１、照明手段９、撮像手段５、
画像処理手段６、モニターディスプレイ８、から構成さ
れた検査補助装置において、画像処理手段は画像データ
記憶手段を有しており、照明手段の照明分布である照明
画像データを画像データ記憶手段に予め記憶しておき、
照明画像データ及び検査対象画像データから、対応する
位置の画素データを取り出し、検査対象画像データの画
素データを照明画像データの画素データで割り算して割
り算画像データを得て、更に画像処理手段の濃度変換処
理により割り算画像データの明暗を強調処理して強調処
理画像データを得て、モニターディスプレイに表示す
る。 【効果】熟練度の低い人間であっても、検査が行える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーテレビ用ブラウ
ン管に用いられるシャドウマスク、カラー撮像装置用色
分解フィルタ、液晶表示パネル用カラーフィルタ、電子
管に用いられるメッシュ状電極、ＶＤＴフィルタ、フォ
トマスク、フレネルレンズ、レンチキラーレンズ、コー
ティングシート、カラーシート、偏光シート、等一定の
光学的性質、形状を有する単位（以下単位パターンとい
う）が１次元方向、或いは２次元方向に規則的に繰り返
し配列されている工業製品、或いは単位パターンがその
光学的性質、形状及び１次元方向、２次元方向の配列ピ
ッチが徐々に変化しながら繰り返し配列されている工業
製品、或いは無地か無地に近い濃淡の差が小さい均等な
光学的性質を有するか、または徐々に変化する光学的性
質を有する工業製品の均一性の乱れ（以下ムラという）
を人間が目視検査するのを補助して、検査の能率と正確
さを向上させるための検査補助装置に関する。
ン管に用いられるシャドウマスク、カラー撮像装置用色
分解フィルタ、液晶表示パネル用カラーフィルタ、電子
管に用いられるメッシュ状電極、ＶＤＴフィルタ、フォ
トマスク、フレネルレンズ、レンチキラーレンズ、コー
ティングシート、カラーシート、偏光シート、等一定の
光学的性質、形状を有する単位（以下単位パターンとい
う）が１次元方向、或いは２次元方向に規則的に繰り返
し配列されている工業製品、或いは単位パターンがその
光学的性質、形状及び１次元方向、２次元方向の配列ピ
ッチが徐々に変化しながら繰り返し配列されている工業
製品、或いは無地か無地に近い濃淡の差が小さい均等な
光学的性質を有するか、または徐々に変化する光学的性
質を有する工業製品の均一性の乱れ（以下ムラという）
を人間が目視検査するのを補助して、検査の能率と正確
さを向上させるための検査補助装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、単位パターンが繰り返し配列され
ている工業製品の欠陥検査については、配列単位及び欠
陥の形状を解像できる顕微鏡撮像装置によって得たビデ
オ信号に基づき、パターン認識処理によって欠陥を検出
する方法、欠陥のない基準パターンを同様に撮像して得
られた信号と比較することによって欠陥を検出する方法
等が知られている。また、周期的開口を有する製品につ
いてはコヒーレント光を照射した時の周期性パターンに
よる光の回折現象を利用する光学的フーリエ変換、空間
フィルタリング法により欠陥を検出する方法等が提案さ
れているが、工業製品のムラの程度については機械的な
検査が困難なであるため、多くの場合人間が目視で判断
しているのが実情である。この工業製品のムラの程度に
ついて画像処理で透過率の不均一さを数値化して、自動
で良否を識別する技術は存在するが、形状、方向性等の
様々なモードの不良に対応し必要なタクトタイムで検査
するには、画像処理のコストがかかり、採算がとれない
場合がある。
ている工業製品の欠陥検査については、配列単位及び欠
陥の形状を解像できる顕微鏡撮像装置によって得たビデ
オ信号に基づき、パターン認識処理によって欠陥を検出
する方法、欠陥のない基準パターンを同様に撮像して得
られた信号と比較することによって欠陥を検出する方法
等が知られている。また、周期的開口を有する製品につ
いてはコヒーレント光を照射した時の周期性パターンに
よる光の回折現象を利用する光学的フーリエ変換、空間
フィルタリング法により欠陥を検出する方法等が提案さ
れているが、工業製品のムラの程度については機械的な
検査が困難なであるため、多くの場合人間が目視で判断
しているのが実情である。この工業製品のムラの程度に
ついて画像処理で透過率の不均一さを数値化して、自動
で良否を識別する技術は存在するが、形状、方向性等の
様々なモードの不良に対応し必要なタクトタイムで検査
するには、画像処理のコストがかかり、採算がとれない
場合がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、目視に
よる判断では、人間の優れたパターン認識能力を活かせ
る反面、定量的な把握ができないと共に、多大な人手を
必要とし、更に熟練度、検査員の主観の違い等により個
人差が生じ、また同一検査員でも疲労の程度、体調や心
理状態によって判定がばらつくため、検査レベルが一定
しないという問題がある。
よる判断では、人間の優れたパターン認識能力を活かせ
る反面、定量的な把握ができないと共に、多大な人手を
必要とし、更に熟練度、検査員の主観の違い等により個
人差が生じ、また同一検査員でも疲労の程度、体調や心
理状態によって判定がばらつくため、検査レベルが一定
しないという問題がある。
【０００４】本発明は上記問題を解決することを目的と
し、人間が検査することに起因する検査基準の不安定さ
を排除して検査対象のムラ検査、品質管理を行うことが
できるように、人間の目視検査を補助するための安価な
検査補助装置を提供することである。さらに本発明の検
査補助装置を使用することにより、熟練度の低い人間で
あっても、検査を行えるようにすることを目的としてい
る。
し、人間が検査することに起因する検査基準の不安定さ
を排除して検査対象のムラ検査、品質管理を行うことが
できるように、人間の目視検査を補助するための安価な
検査補助装置を提供することである。さらに本発明の検
査補助装置を使用することにより、熟練度の低い人間で
あっても、検査を行えるようにすることを目的としてい
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明者らは種々研究した結果、少なくと
も、検査対象を保持する検査対象保持手段、その検査対
象保持手段に保持された検査対象に光りを照射する照明
手段、その検査対象を透過した光りを電気信号に変換す
る撮影手段、その電気信号を検査対象画像データに変換
し、画像処理を行って、処理後の処理画像データを出力
電気信号に変換する画像処理手段、その出力電気信号を
可視画像として表示するモニターディスプレイ手段、か
ら構成された検査補助装置により上記目的を達成した。
また、上記検査補助装置において、画像処理手段は画像
データ記憶手段を有しており、照明手段の照明分布であ
る照明画像データを画像データ記憶手段に予め記憶して
おき、照明画像データ及び検査対象画像データから、対
応する位置の画素データを取り出し、検査対象画像デー
タの画素データを照明画像データの画素データで割り算
して割り算画像データを得て、更に画像処理手段の濃度
変換処理により割り算画像データの明暗を強調処理して
強調処理画像データを得て、モニターディスプレイ手段
に表示することにより上記目的を達成した。
るために、本発明者らは種々研究した結果、少なくと
も、検査対象を保持する検査対象保持手段、その検査対
象保持手段に保持された検査対象に光りを照射する照明
手段、その検査対象を透過した光りを電気信号に変換す
る撮影手段、その電気信号を検査対象画像データに変換
し、画像処理を行って、処理後の処理画像データを出力
電気信号に変換する画像処理手段、その出力電気信号を
可視画像として表示するモニターディスプレイ手段、か
ら構成された検査補助装置により上記目的を達成した。
また、上記検査補助装置において、画像処理手段は画像
データ記憶手段を有しており、照明手段の照明分布であ
る照明画像データを画像データ記憶手段に予め記憶して
おき、照明画像データ及び検査対象画像データから、対
応する位置の画素データを取り出し、検査対象画像デー
タの画素データを照明画像データの画素データで割り算
して割り算画像データを得て、更に画像処理手段の濃度
変換処理により割り算画像データの明暗を強調処理して
強調処理画像データを得て、モニターディスプレイ手段
に表示することにより上記目的を達成した。
【０００６】
【作用】本発明は、撮像装置で検査対象の透過光像を撮
像して得た画像データに対して、同じくその撮像装置で
照明手段の照明分布を撮像して得た照明画像データによ
って対応する位置の画素毎に割り算を行う。そうするこ
とにより、照明分布、及び撮像装置の感度分布に影響さ
れない検査対象自身に備わった光透過の属性が得られ
る。更に濃度変換処理によって明暗を強調処理した画像
データを得て、それをモニターディスプレイに表示する
から、目視検査の作業者とっては、検査対象のムラを容
易に見つけることができ、さらにムラの程度も把握する
ことができる。従って、品質検査を行う上で信頼性、精
度、能率等の向上を達成することができる。
像して得た画像データに対して、同じくその撮像装置で
照明手段の照明分布を撮像して得た照明画像データによ
って対応する位置の画素毎に割り算を行う。そうするこ
とにより、照明分布、及び撮像装置の感度分布に影響さ
れない検査対象自身に備わった光透過の属性が得られ
る。更に濃度変換処理によって明暗を強調処理した画像
データを得て、それをモニターディスプレイに表示する
から、目視検査の作業者とっては、検査対象のムラを容
易に見つけることができ、さらにムラの程度も把握する
ことができる。従って、品質検査を行う上で信頼性、精
度、能率等の向上を達成することができる。
【０００７】
【実施例】次に、図に基づいて本発明の好適な実施例に
ついて詳細な説明をする。図１は本発明の検査補助装置
の全体構成を示す図、図２は検査補助装置を構成する画
像処理手段の機能ブロック図、図３は画像データの明暗
を強調処理する濃度変換の入出力関数を示す図、図４は
画像データの処理を説明するための図、図５はフィルタ
のパターンを示す図である。
ついて詳細な説明をする。図１は本発明の検査補助装置
の全体構成を示す図、図２は検査補助装置を構成する画
像処理手段の機能ブロック図、図３は画像データの明暗
を強調処理する濃度変換の入出力関数を示す図、図４は
画像データの処理を説明するための図、図５はフィルタ
のパターンを示す図である。
【０００８】図１において、１は検査対象保持台、２は
蛍光灯、３は拡散板、４は検査対象、５は撮像手段、６
は画像処理手段、７はスイッチ、８はモニターディスプ
レイである。また９は蛍光灯２と拡散板３等で構成され
る照明手段である。このような構成において、検査作業
者は手作業で検査対象４を１枚づつ検査対象保持台１に
設置し、スイッチ７を操作することによって検査対象保
持台１上の透過光を撮像手段５で撮像し、撮像した検査
対象４の透過画像に対して画像処理手段６により照明手
段９の輝度の不均一を補正処理し、さらに透過画像の濃
度変換処理を行って、画像処理の結果画像をモニターデ
ィスプレイ８に表示する。検査作業員は、モニターディ
スプレイ８上に表示された画像をみて不良箇所を探し、
検査対象保持台１上の検査対象４と見比べて良否を判定
する。
蛍光灯、３は拡散板、４は検査対象、５は撮像手段、６
は画像処理手段、７はスイッチ、８はモニターディスプ
レイである。また９は蛍光灯２と拡散板３等で構成され
る照明手段である。このような構成において、検査作業
者は手作業で検査対象４を１枚づつ検査対象保持台１に
設置し、スイッチ７を操作することによって検査対象保
持台１上の透過光を撮像手段５で撮像し、撮像した検査
対象４の透過画像に対して画像処理手段６により照明手
段９の輝度の不均一を補正処理し、さらに透過画像の濃
度変換処理を行って、画像処理の結果画像をモニターデ
ィスプレイ８に表示する。検査作業員は、モニターディ
スプレイ８上に表示された画像をみて不良箇所を探し、
検査対象保持台１上の検査対象４と見比べて良否を判定
する。
【０００９】本実施例では撮像手段としてＣＣＤカメラ
を用いている。ＣＣＤカメラとしては冷却型ＣＣＤカメ
ラまたは普通のＣＣＤカメラを使用することができる。
冷却型ＣＣＤカメラの場合は、電子冷却方式等により冷
却して暗電流やノイズを無視できる程度にまで大幅に減
少させ、暗い領域での長時間露光が可能であり、積算光
量に対する映像信号の直線性が良好で、暗い領域を高画
質で鮮明に写し出すことが可能である。また、普通のＣ
ＣＤカメラを使用する場合には複数フレームの画像デー
タを加算してノイズを減少させるようにすると実質的な
性能が向上する。
を用いている。ＣＣＤカメラとしては冷却型ＣＣＤカメ
ラまたは普通のＣＣＤカメラを使用することができる。
冷却型ＣＣＤカメラの場合は、電子冷却方式等により冷
却して暗電流やノイズを無視できる程度にまで大幅に減
少させ、暗い領域での長時間露光が可能であり、積算光
量に対する映像信号の直線性が良好で、暗い領域を高画
質で鮮明に写し出すことが可能である。また、普通のＣ
ＣＤカメラを使用する場合には複数フレームの画像デー
タを加算してノイズを減少させるようにすると実質的な
性能が向上する。
【００１０】シャドウマスク等の周期性パターンを持つ
検査対象４は検査対象保持台１の上に保持され、下方よ
り直流安定化電源または高周波安定化電源で駆動される
蛍光灯２により拡散板３を通して照射され、その透過光
をＣＣＤカメラで撮像する。この場合、適宜図示しない
レンズ系を通してＣＣＤカメラに透過光像を結像させる
ようにすれば良い。その際に、検査対象が周期性パター
ンを有する場合はＣＣＤカメラ１の画素と周期性パター
ンとの間で生じるモアレを除去するためにレンズのフォ
ーカスをぼかすようにする。このように取り込んだ画像
データを画像処理手段６に取り込み、直接画像処理する
ことも可能であるが、以下のように透過率画像を用いれ
ば透過率測定を同時に行えるメリットがある。すなわ
ち、検査対象の無い状態で撮像した画像データをＩ1 、
検査対象を入れて撮像した画像データをＩ、ＣＣＤカメ
ラの暗電流を表す画像データをＩ0 とすると、検査対象
上の点の透過率ＴはＴ＝（Ｉ−Ｉ0 ）／（Ｉ−Ｉ1 ）と
して計算できる。ここで、Ｉ，Ｉ0 ，Ｉ1 は対応する位
置の画像データであり、これを各画素について行うこと
により光源のシェーディング、長時間の変動の影響を受
けない透過率画像データが得られる。
検査対象４は検査対象保持台１の上に保持され、下方よ
り直流安定化電源または高周波安定化電源で駆動される
蛍光灯２により拡散板３を通して照射され、その透過光
をＣＣＤカメラで撮像する。この場合、適宜図示しない
レンズ系を通してＣＣＤカメラに透過光像を結像させる
ようにすれば良い。その際に、検査対象が周期性パター
ンを有する場合はＣＣＤカメラ１の画素と周期性パター
ンとの間で生じるモアレを除去するためにレンズのフォ
ーカスをぼかすようにする。このように取り込んだ画像
データを画像処理手段６に取り込み、直接画像処理する
ことも可能であるが、以下のように透過率画像を用いれ
ば透過率測定を同時に行えるメリットがある。すなわ
ち、検査対象の無い状態で撮像した画像データをＩ1 、
検査対象を入れて撮像した画像データをＩ、ＣＣＤカメ
ラの暗電流を表す画像データをＩ0 とすると、検査対象
上の点の透過率ＴはＴ＝（Ｉ−Ｉ0 ）／（Ｉ−Ｉ1 ）と
して計算できる。ここで、Ｉ，Ｉ0 ，Ｉ1 は対応する位
置の画像データであり、これを各画素について行うこと
により光源のシェーディング、長時間の変動の影響を受
けない透過率画像データが得られる。
【００１１】なお、通常のＣＣＤカメラで透過率画像デ
ータを得る場合は電子シャッタ内蔵のＣＣＤカメラを用
いる。電子シャッタにより撮像条件設定方法としてはシ
ャッタ開放の状態で検査対象を撮像し、ＣＣＤカメラの
飽和露光量に近くなるように光源輝度を調節し、次に検
査対象を取り除き、光量がオーバーせず、しかも飽和露
光量に近くなるまでシャッタ時間を短くし、その時のシ
ャッタ時間をｔc 、開放時のシャッタ時間をｔ0 とする
と、前述の透過率の式にｔc ／ｔ0 を乗算し、 Ｔ＝（Ｉ−Ｉ0 ）／（Ｉ1 −Ｉ0 ）×（ｔc ／ｔ0 ） として透過率画像データを得ることができる。これらの
演算は画像処理手段６により各画像データをフレームメ
モリに記憶した後、画像間演算で行うことができる。
ータを得る場合は電子シャッタ内蔵のＣＣＤカメラを用
いる。電子シャッタにより撮像条件設定方法としてはシ
ャッタ開放の状態で検査対象を撮像し、ＣＣＤカメラの
飽和露光量に近くなるように光源輝度を調節し、次に検
査対象を取り除き、光量がオーバーせず、しかも飽和露
光量に近くなるまでシャッタ時間を短くし、その時のシ
ャッタ時間をｔc 、開放時のシャッタ時間をｔ0 とする
と、前述の透過率の式にｔc ／ｔ0 を乗算し、 Ｔ＝（Ｉ−Ｉ0 ）／（Ｉ1 −Ｉ0 ）×（ｔc ／ｔ0 ） として透過率画像データを得ることができる。これらの
演算は画像処理手段６により各画像データをフレームメ
モリに記憶した後、画像間演算で行うことができる。
【００１２】次に、図４により得られた画像データの処
理方法について説明する。図４（ａ）は冷却型ＣＣＤカ
メラによって撮影した検査対象の透過光像、またはそれ
を用いて作製した透過率像、あるいは通常のＣＣＤカメ
ラで撮像し、複数フレームの画像データを加算し作製し
た検査対象の透過光像、またはそれを用いて作製した透
過率像、あるいは電子シャッタ内蔵のＣＣＤカメラを用
い、前述したように露光時間を変えて得られた透過率像
等の画像データを示すものである。これに平滑化処理を
施し、微小変動を除去することにより図４（ｂ）の画像
データが得られる。さらに図４（ｂ）の画像に２次微分
処理を施し、さらに平滑化処理を行うことにより図４
（ｃ）の画像データを得られる。この時の微分に用いる
空間フィルターを適当に選ぶことによって様々な方向
性、周期性を持つムラを抽出することができる。例え
ば、図５（ｃ）は縦方向に方向性を持つムラを抽出する
空間フィルターのパターンであり、さらに各パターンの
要素間距離ｄを変えることによって抽出するムラの周期
を任意に選ぶこともできる。上記、図４に示される画像
データの処理は検査対象の光学的性質によっては全て、
或いは一部を省略することができる。例えば検査対象が
無地か無地に近い濃淡の差が小さい均等な光学的性質を
有するか、または徐々に変化する光学的性質を有する工
業製品である場合。或いはそれに近い性質を有する、単
位パターンが規則的に繰り返し配列されている工業製品
等の場合である。
理方法について説明する。図４（ａ）は冷却型ＣＣＤカ
メラによって撮影した検査対象の透過光像、またはそれ
を用いて作製した透過率像、あるいは通常のＣＣＤカメ
ラで撮像し、複数フレームの画像データを加算し作製し
た検査対象の透過光像、またはそれを用いて作製した透
過率像、あるいは電子シャッタ内蔵のＣＣＤカメラを用
い、前述したように露光時間を変えて得られた透過率像
等の画像データを示すものである。これに平滑化処理を
施し、微小変動を除去することにより図４（ｂ）の画像
データが得られる。さらに図４（ｂ）の画像に２次微分
処理を施し、さらに平滑化処理を行うことにより図４
（ｃ）の画像データを得られる。この時の微分に用いる
空間フィルターを適当に選ぶことによって様々な方向
性、周期性を持つムラを抽出することができる。例え
ば、図５（ｃ）は縦方向に方向性を持つムラを抽出する
空間フィルターのパターンであり、さらに各パターンの
要素間距離ｄを変えることによって抽出するムラの周期
を任意に選ぶこともできる。上記、図４に示される画像
データの処理は検査対象の光学的性質によっては全て、
或いは一部を省略することができる。例えば検査対象が
無地か無地に近い濃淡の差が小さい均等な光学的性質を
有するか、または徐々に変化する光学的性質を有する工
業製品である場合。或いはそれに近い性質を有する、単
位パターンが規則的に繰り返し配列されている工業製品
等の場合である。
【００１３】このようにして得られた前記図４（ｃ）の
画像データから、画像データの最大値ｍａｘと最小値ｍ
ｉｎを求めておく。この画像データは二次元に配列され
た画素のデータであるから各画素の位置座標を（ｘ，
ｙ）としてｆ（ｘ，ｙ）と表すことができる。図４の
（ｄ）は画像データを二次元の配列と一次元のデータと
して模式的に表したものである。この画像データｆ
（ｘ，ｙ）に対して、下記演算を行って０〜２５５の値
に正規化された新画像データｆ’（ｘ，ｙ）を得る。 ｆ’（ｘ，ｙ）＝２５５×（ｆ（ｘ，ｙ）−ｍｉｎ）／
（ｍａｘ−ｍｉｎ） この新画像データｆ’（ｘ，ｙ）は次に濃度変換処理が
行われる。
画像データから、画像データの最大値ｍａｘと最小値ｍ
ｉｎを求めておく。この画像データは二次元に配列され
た画素のデータであるから各画素の位置座標を（ｘ，
ｙ）としてｆ（ｘ，ｙ）と表すことができる。図４の
（ｄ）は画像データを二次元の配列と一次元のデータと
して模式的に表したものである。この画像データｆ
（ｘ，ｙ）に対して、下記演算を行って０〜２５５の値
に正規化された新画像データｆ’（ｘ，ｙ）を得る。 ｆ’（ｘ，ｙ）＝２５５×（ｆ（ｘ，ｙ）−ｍｉｎ）／
（ｍａｘ−ｍｉｎ） この新画像データｆ’（ｘ，ｙ）は次に濃度変換処理が
行われる。
【００１４】図３は濃度変換処理を行う際の濃度変換テ
ーブルを入出力関数で示した図である。画像データ長が
８ｂｉｔとすると。入力データは０〜２５５の値であ
り、出力データも同様に０〜２５５である。画像データ
長が８ｂｉｔ以外でＮｂｉｔの場合は、それに応じた数
値の範囲０〜（２N −１）の値をとる。画像データの明
暗を強調する濃度変換の場合、濃度変換テーブルの入出
力変換関数は一次の微分係数が常に正であるシグモイド
関数のような曲線とすることもできるが、特に必要性が
無い場合は直線が用いられる。図３は入出力変換関数に
直線を用いた例であり、図３に於いて、ｑは入出力変換
関数の値が中心値となる時の入力の値、ｐは入出力変換
関数の値が最小値となる時の入力の値、ｒは入出力変換
関数の値が最大値をとる時の入力の値を表している。そ
してｐ，ｑ，ｒの中から任意の二つを選択して値を与え
ることにより入出力変換関数が決定する。ｗ＝ｑ−ｐ＝
ｒ−ｑのようなｗを用いると、ｑによって明暗を強調し
たい画像データの濃度の中心値を決定でき、ｗによって
強調の度合い、あるいは範囲を決定することができ便利
である。
ーブルを入出力関数で示した図である。画像データ長が
８ｂｉｔとすると。入力データは０〜２５５の値であ
り、出力データも同様に０〜２５５である。画像データ
長が８ｂｉｔ以外でＮｂｉｔの場合は、それに応じた数
値の範囲０〜（２N −１）の値をとる。画像データの明
暗を強調する濃度変換の場合、濃度変換テーブルの入出
力変換関数は一次の微分係数が常に正であるシグモイド
関数のような曲線とすることもできるが、特に必要性が
無い場合は直線が用いられる。図３は入出力変換関数に
直線を用いた例であり、図３に於いて、ｑは入出力変換
関数の値が中心値となる時の入力の値、ｐは入出力変換
関数の値が最小値となる時の入力の値、ｒは入出力変換
関数の値が最大値をとる時の入力の値を表している。そ
してｐ，ｑ，ｒの中から任意の二つを選択して値を与え
ることにより入出力変換関数が決定する。ｗ＝ｑ−ｐ＝
ｒ−ｑのようなｗを用いると、ｑによって明暗を強調し
たい画像データの濃度の中心値を決定でき、ｗによって
強調の度合い、あるいは範囲を決定することができ便利
である。
【００１５】本実施例では、検査対象の光学特性に応じ
て最もムラの見やすい濃度変換処理を行わせるように、
ｑ，ｗを選定し、上記新画像データｆ’（ｘ，ｙ）に対
して上記濃度変換処理を実行することで、人間にとって
最もムラの見やすいように画像データの明暗を強調する
ことができる。上記本実施例の画像データ処理過程は検
査対象の特性や、利用方法に応じて処理の実施態様を変
形するか、一部を省略するか、あるいは公知の技術と組
み合わせることができ、そのような実施例についても本
発明に含まれることは言うまでもない。
て最もムラの見やすい濃度変換処理を行わせるように、
ｑ，ｗを選定し、上記新画像データｆ’（ｘ，ｙ）に対
して上記濃度変換処理を実行することで、人間にとって
最もムラの見やすいように画像データの明暗を強調する
ことができる。上記本実施例の画像データ処理過程は検
査対象の特性や、利用方法に応じて処理の実施態様を変
形するか、一部を省略するか、あるいは公知の技術と組
み合わせることができ、そのような実施例についても本
発明に含まれることは言うまでもない。
【００１６】
【発明の効果】本発明の検査補助装置によれば、画像処
理により明暗を強調するので、微妙な明暗差も見やすく
なり、熟練度の低い検査員でも的確に検査が行え、ま
た、熟練者にとっても見逃し防止、検査速度アップ等の
効果がある。また透過率画像を利用しているため、光源
の輝度分布に影響されない、検査対象透過率のムラを見
ることができる。また、処理が簡単なため、低コストで
実現できる。
理により明暗を強調するので、微妙な明暗差も見やすく
なり、熟練度の低い検査員でも的確に検査が行え、ま
た、熟練者にとっても見逃し防止、検査速度アップ等の
効果がある。また透過率画像を利用しているため、光源
の輝度分布に影響されない、検査対象透過率のムラを見
ることができる。また、処理が簡単なため、低コストで
実現できる。
【００１７】
【図１】本発明の検査補助装置の全体構成を示す図。
【図２】検査補助装置を構成する画像処理手段の機能ブ
ロック図。
ロック図。
【図３】画像データの明暗を強調処理する濃度変換の入
出力関数を示す図。
出力関数を示す図。
【図４】画像データの処理を説明するための図。 （ａ）ＣＣＤカメラによって撮影した検査対象の透過光
像。 （ｂ）（ａ）の画像に平滑化処理を施し、微小変動を除
去した画像データ。 （ｃ）（ｂ）の画像に２次微分処理を施し、さらに平滑
化処理を行った画像データ。 （ｄ）画像データを二次元の配列と一次元のデータとし
て模式的に表したもの。
像。 （ｂ）（ａ）の画像に平滑化処理を施し、微小変動を除
去した画像データ。 （ｃ）（ｂ）の画像に２次微分処理を施し、さらに平滑
化処理を行った画像データ。 （ｄ）画像データを二次元の配列と一次元のデータとし
て模式的に表したもの。
【図５】フィルタのパターンを示す図。
１検査対象保持台 ２蛍光灯 ３拡散板 ４検査対象 ５撮像手段 ６画像処理手段 ７スイッチ ８モニターディスプレイ ９照明手段 １０Ａ／Ｄ変換器 １１画像メモリー １２Ｄ／Ａ変換器 １３ＣＰＵ １４画像間演算器 １５濃度変換器
Claims (2)
- 【請求項１】少なくとも、検査対象を保持する検査対象
保持手段、その検査対象保持手段に保持された検査対象
に光りを照射する照明手段、その検査対象を透過した光
りを電気信号に変換する撮影手段、その電気信号を検査
対象画像データに変換し、画像処理を行って、処理後の
処理画像データを出力電気信号に変換する画像処理手
段、その出力電気信号を可視画像として表示するモニタ
ーディスプレイ手段、から構成されたことを特徴とする
検査補助装置。 - 【請求項２】画像処理手段は画像データ記憶手段を有し
ており、照明手段の照明分布である照明画像データを画
像データ記憶手段に予め記憶しておき、照明画像データ
及び検査対象画像データから、対応する位置の画素デー
タを取り出し、検査対象画像データの画素データを照明
画像データの画素データで割り算して割り算画像データ
を得て、更に画像処理手段の濃度変換処理により割り算
画像データの明暗を強調処理して強調処理画像を得て、
モニターディスプレイ手段に表示することを特徴とする
請求項１記載の検査補助装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07851193A JP3318845B2 (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 検査補助装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07851193A JP3318845B2 (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 検査補助装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06265476A true JPH06265476A (ja) | 1994-09-22 |
| JP3318845B2 JP3318845B2 (ja) | 2002-08-26 |
Family
ID=13663970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07851193A Expired - Fee Related JP3318845B2 (ja) | 1993-03-15 | 1993-03-15 | 検査補助装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3318845B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0922612A (ja) * | 1995-07-06 | 1997-01-21 | Com Syst:Kk | 照明装置 |
| WO2009139050A1 (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-19 | 日本コンピューター・システム株式会社 | 物質表面粗さ検出プログラム及びこれが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体、ならびに物質表面粗さ検出装置 |
| JP2012032217A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | 目視検査装置及び目視検査用映像の作成方法 |
-
1993
- 1993-03-15 JP JP07851193A patent/JP3318845B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0922612A (ja) * | 1995-07-06 | 1997-01-21 | Com Syst:Kk | 照明装置 |
| WO2009139050A1 (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-19 | 日本コンピューター・システム株式会社 | 物質表面粗さ検出プログラム及びこれが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体、ならびに物質表面粗さ検出装置 |
| JP4941593B2 (ja) * | 2008-05-14 | 2012-05-30 | 日本コンピューター・システム株式会社 | 物質表面粗さ検出プログラム及びこれが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体、ならびに物質表面粗さ検出装置 |
| JP2012032217A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | 目視検査装置及び目視検査用映像の作成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3318845B2 (ja) | 2002-08-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2009180583A (ja) | ディスプレイの輝度ムラ評価方法および装置 | |
| CN109856164A (zh) | 一种机器视觉采集大范围图像的优化装置及其检测方法 | |
| JP3366802B2 (ja) | ムラ検査方法および装置 | |
| JPH0713598B2 (ja) | 周期性パタ−ンの欠陥検査方法 | |
| JP2718510B2 (ja) | 着色周期性パターンの検査方法 | |
| JP3318845B2 (ja) | 検査補助装置 | |
| JP2007017400A (ja) | 視野角特性測定方法及び視野角特性測定装置 | |
| JP3224620B2 (ja) | 周期性パターンのムラ定量化方法 | |
| JP3770294B2 (ja) | フィルム評価方法およびフィルム評価装置 | |
| JP2792517B2 (ja) | 試料の検査方法 | |
| JP2009229391A (ja) | 防眩フィルムのムラ測定方法、防眩フィルムのムラ測定方法 | |
| JPH11257937A (ja) | 欠陥検査方法 | |
| JP3254288B2 (ja) | スジ検査方法 | |
| JPH11351830A (ja) | 塗布材料の膜厚ムラ検査方法 | |
| JPH05312542A (ja) | 周期性パターンのムラ定量化方法 | |
| KR100221697B1 (ko) | 투과구멍판의 검사방법 및 검사장치 | |
| JPH11175727A (ja) | 検査方法および装置 | |
| JPH0731131B2 (ja) | 周期性パタ−ンの斑検査方法 | |
| JP2683248B2 (ja) | 着色周期性パターンの検査方法 | |
| JPH08159984A (ja) | パタンムラ検査装置 | |
| JP2000111492A (ja) | 周期性パターンのムラ検査方法 | |
| JP5135899B2 (ja) | 周期性パターンのムラ検査方法及びムラ検査装置 | |
| JP2790284B2 (ja) | 周期性パターンの検査方法 | |
| JPH01313742A (ja) | 周期性パターンの検査方法 | |
| JP2660560B2 (ja) | 欠陥検査方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020430 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080621 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080621 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090621 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |