JPH0922612A - 照明装置 - Google Patents
照明装置Info
- Publication number
- JPH0922612A JPH0922612A JP7170728A JP17072895A JPH0922612A JP H0922612 A JPH0922612 A JP H0922612A JP 7170728 A JP7170728 A JP 7170728A JP 17072895 A JP17072895 A JP 17072895A JP H0922612 A JPH0922612 A JP H0922612A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- camera
- inspected
- image
- diffusion plate
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】カメラで被検査物の表面にある適度な範囲に含
まれる細かい凹凸や光沢の斑が均一化された画像を撮影
することのできる照明装置を提供する。 【解決手段】光源３はカメラ２で撮影される撮影領域を
全て照らすことのできる位置に設けられている。被検査
物１と光源の間には拡散板４を挿入している。この拡散
板４は被検査物の鉛直線上の領域（図中に示すＡの領
域）とカメラ入力線が被検査物１の表面で正反射する領
域（図中に示すＢの領域）を覆っている。また、拡散板
４の発光面がカメラ入力線に対して略平行な角度θ1 傾
けている。さらに、拡散板４とでＶ字型を構成し、光源
３を挟み込むように反射板５を設けている。
まれる細かい凹凸や光沢の斑が均一化された画像を撮影
することのできる照明装置を提供する。 【解決手段】光源３はカメラ２で撮影される撮影領域を
全て照らすことのできる位置に設けられている。被検査
物１と光源の間には拡散板４を挿入している。この拡散
板４は被検査物の鉛直線上の領域（図中に示すＡの領
域）とカメラ入力線が被検査物１の表面で正反射する領
域（図中に示すＢの領域）を覆っている。また、拡散板
４の発光面がカメラ入力線に対して略平行な角度θ1 傾
けている。さらに、拡散板４とでＶ字型を構成し、光源
３を挟み込むように反射板５を設けている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、カメラ等で撮影
した被検査物の画像と基準となる画像とを比較して外観
検査を行う場合に、被検査物として表面に細かい凹凸や
光沢のあるプリント配線基板等を撮影する時に用いる照
明装置に関する。
した被検査物の画像と基準となる画像とを比較して外観
検査を行う場合に、被検査物として表面に細かい凹凸や
光沢のあるプリント配線基板等を撮影する時に用いる照
明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、被検査物の画像をカメラで撮影
し、この画像と基準となる基準画像とを画像処理によっ
て比較する外観検査で、良品あるいは不良品を判定する
システムが提案されている。この外観検査における画像
処理では、色の違い（分光反射特性の違い）から良品と
不良品を判定する方法や、形状の違い（正反射による反
射率の違い）から良品と不良品を判定する方法等があ
り、外観検査の方法によって撮影すべき被検査物の画像
が異なるため、撮影の際に被検査物を照明する照明装置
が重要となる。
し、この画像と基準となる基準画像とを画像処理によっ
て比較する外観検査で、良品あるいは不良品を判定する
システムが提案されている。この外観検査における画像
処理では、色の違い（分光反射特性の違い）から良品と
不良品を判定する方法や、形状の違い（正反射による反
射率の違い）から良品と不良品を判定する方法等があ
り、外観検査の方法によって撮影すべき被検査物の画像
が異なるため、撮影の際に被検査物を照明する照明装置
が重要となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが従来の照明装
置では、プリント基板等の細かい凹凸や光沢のあるもの
が被検査物である場合、撮影した画像にこれらの凹凸や
光沢が顕著にあらわれてしまい、良品である被検査物同
士でも撮影された画像に大きな違いがあった。このた
め、この外観検査において被検査物が良品であるにもか
かわらず、不良品として判定されてしまう場合も多く、
実際にはこのような被検査物の外観検査が実用的に実施
できるものではなかった。
置では、プリント基板等の細かい凹凸や光沢のあるもの
が被検査物である場合、撮影した画像にこれらの凹凸や
光沢が顕著にあらわれてしまい、良品である被検査物同
士でも撮影された画像に大きな違いがあった。このた
め、この外観検査において被検査物が良品であるにもか
かわらず、不良品として判定されてしまう場合も多く、
実際にはこのような被検査物の外観検査が実用的に実施
できるものではなかった。
【０００４】特に、半田レベラー品等では半田の形状に
よっては一部分が明るく光ったり、または、一部分に影
ができてしまうとともに、良品であるもの同士において
もこの位置がまちまちであり、また、半田レベラー品は
良品と判定される半田の乗りかたに対する許容幅も大き
いため、この外観検査で不良品と判定されてしまう良品
の発生率が非常に高いものとなっていた。
よっては一部分が明るく光ったり、または、一部分に影
ができてしまうとともに、良品であるもの同士において
もこの位置がまちまちであり、また、半田レベラー品は
良品と判定される半田の乗りかたに対する許容幅も大き
いため、この外観検査で不良品と判定されてしまう良品
の発生率が非常に高いものとなっていた。
【０００５】この発明の目的は、カメラで被検査物の表
面にある適度な範囲に含まれる細かい凹凸や光沢の斑を
均一化した画像を撮影することのできる照明装置を提供
することにある。
面にある適度な範囲に含まれる細かい凹凸や光沢の斑を
均一化した画像を撮影することのできる照明装置を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、任意の平面
上に置かれた被検査物をカメラで撮影する際に、該被検
査物を照らす照明装置において、光源と被検査物との間
で拡散板の発光面が被検査物の鉛直線上および被検査物
に対するカメラの入力線が正反射する領域とを覆う範囲
に傾斜させて設けた。
上に置かれた被検査物をカメラで撮影する際に、該被検
査物を照らす照明装置において、光源と被検査物との間
で拡散板の発光面が被検査物の鉛直線上および被検査物
に対するカメラの入力線が正反射する領域とを覆う範囲
に傾斜させて設けた。
【０００７】また、被検査物を撮影するカメラの入力線
と略平行に前記拡散板の発光面を設けた。
と略平行に前記拡散板の発光面を設けた。
【０００８】さらに、被検査物の置かれた平面の鉛直方
向から１０°〜２０°の範囲で傾けて前記拡散板の発光
面を設けた。
向から１０°〜２０°の範囲で傾けて前記拡散板の発光
面を設けた。
【０００９】
【発明の実施の形態】この発明における照明装置の実施
の形態を図１に示す。検査面上に置かれた被検査物１は
カメラ２で撮影される。光源３はカメラ２で撮影される
撮影領域を全て照らすことのできる位置に設けられてい
る。被検査物１と光源の間には拡散板４を挿入してい
る。この拡散板４は被検査物の鉛直線上の領域（図中に
示すＡの領域）およびカメラ入力線が被検査物１の表面
で正反射する領域（図中に示すＢの領域）を覆ってい
る。また、拡散板４の発光面をカメラ入力線に対して略
平行な角度θ1 傾けている。さらに、拡散板４とでＶ字
型を構成し、光源３を挟み込むように反射板５を設けて
いる。
の形態を図１に示す。検査面上に置かれた被検査物１は
カメラ２で撮影される。光源３はカメラ２で撮影される
撮影領域を全て照らすことのできる位置に設けられてい
る。被検査物１と光源の間には拡散板４を挿入してい
る。この拡散板４は被検査物の鉛直線上の領域（図中に
示すＡの領域）およびカメラ入力線が被検査物１の表面
で正反射する領域（図中に示すＢの領域）を覆ってい
る。また、拡散板４の発光面をカメラ入力線に対して略
平行な角度θ1 傾けている。さらに、拡散板４とでＶ字
型を構成し、光源３を挟み込むように反射板５を設けて
いる。
【００１０】この実施の形態の照明装置では、直接また
は反射板５で反射された光源３からの光を傾斜させて設
けた拡散板４で拡散して被検査物１を照明し、拡散板４
と略平行にカメラ入力線を傾けたカメラ２で被検査物１
を撮影するようにしている。ここで、拡散板４とでＶ字
型を構成し、光源３を挟み込むようにしている反射板５
がないと、被検査物１に対して均一に照明することがで
きず（図中左側部分が暗くなる。）、撮影された画像に
シェーディングがあった。このため、反射板５を設ける
とともに、被検査物１上の照明が均一化されてシェーデ
ィングのない画像が撮影できる反射板５と拡散板４との
なす角度θ2 を実験により見つけた。実験によれば、拡
散板４と反射板５とがなす角度θ2 を３０°〜３５°の
範囲にしたときにシェーディングの無い良好な画像を撮
影することができた。
は反射板５で反射された光源３からの光を傾斜させて設
けた拡散板４で拡散して被検査物１を照明し、拡散板４
と略平行にカメラ入力線を傾けたカメラ２で被検査物１
を撮影するようにしている。ここで、拡散板４とでＶ字
型を構成し、光源３を挟み込むようにしている反射板５
がないと、被検査物１に対して均一に照明することがで
きず（図中左側部分が暗くなる。）、撮影された画像に
シェーディングがあった。このため、反射板５を設ける
とともに、被検査物１上の照明が均一化されてシェーデ
ィングのない画像が撮影できる反射板５と拡散板４との
なす角度θ2 を実験により見つけた。実験によれば、拡
散板４と反射板５とがなす角度θ2 を３０°〜３５°の
範囲にしたときにシェーディングの無い良好な画像を撮
影することができた。
【００１１】そして、拡散板４を設ける範囲によってど
のように撮影された画像が変化するかの確認も行った。
図中Ａの領域のみを覆う範囲に拡散板４を設けた場合と
図中Ａ、Ｂの領域を覆う範囲に拡散板４を設けた場合で
これを確認した。このとき、図中Ａの領域のみを覆う範
囲に拡散板４を設けた場合では良好な画像を得ることが
できなかったが、図中Ａ、Ｂの２つの領域を覆う範囲に
拡散板４を設けると良好な画像を得ることができた。
のように撮影された画像が変化するかの確認も行った。
図中Ａの領域のみを覆う範囲に拡散板４を設けた場合と
図中Ａ、Ｂの領域を覆う範囲に拡散板４を設けた場合で
これを確認した。このとき、図中Ａの領域のみを覆う範
囲に拡散板４を設けた場合では良好な画像を得ることが
できなかったが、図中Ａ、Ｂの２つの領域を覆う範囲に
拡散板４を設けると良好な画像を得ることができた。
【００１２】また、上記の図中Ａ、Ｂの２つの領域を覆
う範囲に拡散板４を設ける構成で拡散板４の傾斜とカメ
ラ２の入力線との関係によりどのように、撮影される画
像が変化するかの確認も行った。これは、被検査物１に
対するカメラ２の入力線の角度を変化させることで実験
を行った（このとき、拡散板４の傾斜は一定にしてい
る。）。この実験から、拡散板４の傾斜と被検査物１に
対するカメラ２の入力線が略平行となったときに、より
良好な画像が得られることを確認した。
う範囲に拡散板４を設ける構成で拡散板４の傾斜とカメ
ラ２の入力線との関係によりどのように、撮影される画
像が変化するかの確認も行った。これは、被検査物１に
対するカメラ２の入力線の角度を変化させることで実験
を行った（このとき、拡散板４の傾斜は一定にしてい
る。）。この実験から、拡散板４の傾斜と被検査物１に
対するカメラ２の入力線が略平行となったときに、より
良好な画像が得られることを確認した。
【００１３】さらに、図中Ａ、Ｂの２つの領域を覆う範
囲に拡散板４を設けるとともに拡散板４の傾斜と被検査
物１に対するカメラ２の入力線が略平行とした構成で拡
散板４と被検査物１が置かれている検査面とがなす角度
θ1 の変化によりどのように画像が変化するかを確認し
た。なお、カメラ入力線が拡散板４と略平行となるよう
にカメラ２も同時に傾斜させた実験を行った。ここで、
図中Ａ、Ｂの領域を覆うためには、この角度θ1 が小さ
くなるにつれて拡散板４を大きくする必要がある（図中
で示す縦方向に長くしなければならない。）。また、カ
メラ２をカメラ入力線が被検査物１の鉛直線に対して大
きな角度を有するように傾けると、撮影された画像が歪
んでしまうので、カメラ２を余り大きな角度で傾けて取
り付けることもできない。そこで、本願発明者は拡散板
４の大きさが適当で且つ撮影された画像に歪みがない角
度θ1 の範囲を実験により確認した。この実験では、被
検査物１の鉛直線に対してカメラ入力線の角度が１０°
〜２０°の範囲のときに、撮影された画像に大きな歪み
もなく、また、適度な範囲に含まれる細かい凹凸や光沢
の斑が均一化された画像を得ることができた。
囲に拡散板４を設けるとともに拡散板４の傾斜と被検査
物１に対するカメラ２の入力線が略平行とした構成で拡
散板４と被検査物１が置かれている検査面とがなす角度
θ1 の変化によりどのように画像が変化するかを確認し
た。なお、カメラ入力線が拡散板４と略平行となるよう
にカメラ２も同時に傾斜させた実験を行った。ここで、
図中Ａ、Ｂの領域を覆うためには、この角度θ1 が小さ
くなるにつれて拡散板４を大きくする必要がある（図中
で示す縦方向に長くしなければならない。）。また、カ
メラ２をカメラ入力線が被検査物１の鉛直線に対して大
きな角度を有するように傾けると、撮影された画像が歪
んでしまうので、カメラ２を余り大きな角度で傾けて取
り付けることもできない。そこで、本願発明者は拡散板
４の大きさが適当で且つ撮影された画像に歪みがない角
度θ1 の範囲を実験により確認した。この実験では、被
検査物１の鉛直線に対してカメラ入力線の角度が１０°
〜２０°の範囲のときに、撮影された画像に大きな歪み
もなく、また、適度な範囲に含まれる細かい凹凸や光沢
の斑が均一化された画像を得ることができた。
【００１４】以下、実験により得られたデータの一部を
示す。図２〜図４は被検査物１をカメラ２で撮影した時
の画像である。図２は拡散板４を設けていない従来の方
法により撮影した被検査物１の撮影画像であり、図３は
拡散板４およびカメラ２のカメラ入力線を被検査物１に
対して垂直にした時（拡散板４とカメラ２のカメラ入力
線を平行にしたとき）の撮影画像であり、図４はこの実
施の形態に示した照明装置を用いて撮影した被検査物１
の撮影画像である。なお、撮影対象は全て同じ被検査物
１であり、且つ、この被検査物１は良品として用いられ
るプリント配線基板である。なお、図２、図４ではカメ
ラ入力線の角度を１０°にしており、図４ではさらに拡
散板４の角度を１３°にして被検査物１を撮影してい
る。図２〜図４を比較してみると、従来の方法により撮
影した図２に示す画像には表面の細かい凹凸や光沢の斑
が表れている（特に、図中の左下側）。また、図３に示
す画像には、図２に示す画像よりも顕著に表面の細かい
凹凸や光沢の斑が表れており、拡散板４に対してカメラ
入力線を平行としたカメラ２で撮影するようにしても
（本願発明で言う、被検査物の鉛直線上および被検査物
に対するカメラ入力線が正反射する領域を拡散板４で覆
うという構成を備えていない照明装置の場合）、適度な
範囲に含まれる細かい凹凸や光沢の斑が均一化された画
像を撮影することはできない。すなわち、被検査物１と
光源３の間に拡散板４を設けると言う構成や、拡散板４
の発光面とカメラ２のカメラ入力線とを平行にするとい
う構成を備えるだけでは、適度な範囲に含まれる細かい
凹凸や光沢の斑が均一化された画像を撮影できない。
示す。図２〜図４は被検査物１をカメラ２で撮影した時
の画像である。図２は拡散板４を設けていない従来の方
法により撮影した被検査物１の撮影画像であり、図３は
拡散板４およびカメラ２のカメラ入力線を被検査物１に
対して垂直にした時（拡散板４とカメラ２のカメラ入力
線を平行にしたとき）の撮影画像であり、図４はこの実
施の形態に示した照明装置を用いて撮影した被検査物１
の撮影画像である。なお、撮影対象は全て同じ被検査物
１であり、且つ、この被検査物１は良品として用いられ
るプリント配線基板である。なお、図２、図４ではカメ
ラ入力線の角度を１０°にしており、図４ではさらに拡
散板４の角度を１３°にして被検査物１を撮影してい
る。図２〜図４を比較してみると、従来の方法により撮
影した図２に示す画像には表面の細かい凹凸や光沢の斑
が表れている（特に、図中の左下側）。また、図３に示
す画像には、図２に示す画像よりも顕著に表面の細かい
凹凸や光沢の斑が表れており、拡散板４に対してカメラ
入力線を平行としたカメラ２で撮影するようにしても
（本願発明で言う、被検査物の鉛直線上および被検査物
に対するカメラ入力線が正反射する領域を拡散板４で覆
うという構成を備えていない照明装置の場合）、適度な
範囲に含まれる細かい凹凸や光沢の斑が均一化された画
像を撮影することはできない。すなわち、被検査物１と
光源３の間に拡散板４を設けると言う構成や、拡散板４
の発光面とカメラ２のカメラ入力線とを平行にするとい
う構成を備えるだけでは、適度な範囲に含まれる細かい
凹凸や光沢の斑が均一化された画像を撮影できない。
【００１５】そして、被検査物の鉛直線上の領域および
被検査物に対するカメラ入力線が正反射する領域とを拡
散板４で覆うという本願発明による構成を備えた照明装
置を用いることで、適度な範囲に含まれる細かい凹凸や
光沢の斑が図４に示すように均一化された良好な画像を
初めて撮影することができた。
被検査物に対するカメラ入力線が正反射する領域とを拡
散板４で覆うという本願発明による構成を備えた照明装
置を用いることで、適度な範囲に含まれる細かい凹凸や
光沢の斑が図４に示すように均一化された良好な画像を
初めて撮影することができた。
【００１６】上記したように、この発明の照明装置を用
いることで適度な範囲に含まれる細かい凹凸や光沢の斑
を均一化した画像を撮影することができるため、細かい
凹凸や光沢のある被検査物１であっても、撮影した画像
と基準画像とを画像処理によって比較し、良品または不
良品を判定する外観検査が実用的に実施できるようにな
る。
いることで適度な範囲に含まれる細かい凹凸や光沢の斑
を均一化した画像を撮影することができるため、細かい
凹凸や光沢のある被検査物１であっても、撮影した画像
と基準画像とを画像処理によって比較し、良品または不
良品を判定する外観検査が実用的に実施できるようにな
る。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、この発明の照明装置によ
れば、カメラで被検査物の表面における適度な範囲に含
まれる細かい凹凸や光沢の斑を均一化した画像を撮影す
ることができる。このため、被検査物をプリント基板等
の細かい凹凸や光沢の斑を有するものであっても、この
照明装置を用いることで撮影した画像と基準画像とを画
像処理によって比較し、良品または不良品を判定する外
観検査が実用的に実施できる。
れば、カメラで被検査物の表面における適度な範囲に含
まれる細かい凹凸や光沢の斑を均一化した画像を撮影す
ることができる。このため、被検査物をプリント基板等
の細かい凹凸や光沢の斑を有するものであっても、この
照明装置を用いることで撮影した画像と基準画像とを画
像処理によって比較し、良品または不良品を判定する外
観検査が実用的に実施できる。
【図１】この発明の実施の形態である照明装置の構成を
示す図である。
示す図である。
【図２】拡散板を設けていない従来の方法による被検査
物の撮影画像である。
物の撮影画像である。
【図３】拡散板およびカメラのカメラ入力線を被検査物
に対して垂直にした時の撮影画像である。
に対して垂直にした時の撮影画像である。
【図４】この発明の実施の形態の照明装置を用いて撮影
した画像を示す図である。
した画像を示す図である。
１−被検査物 ２−カメラ ３−光源 ４−拡散板 ５−反射板
Claims (3)
- 【請求項１】 任意の平面上に置かれた被検査物をカメ
ラで撮影する際に、該被検査物を照らす照明装置におい
て、 光源と被検査物との間で且つ少なくとも被検査物の鉛直
線上の領域および被検査物に対するカメラの入力線が正
反射する領域とを覆う範囲に拡散板を傾斜させて設けた
ことを特徴とする照明装置。 - 【請求項２】 前記拡散板の発光面を被検査物に対する
カメラの入力線に対して略平行に設けたことを特徴する
請求項１記載の照明装置。 - 【請求項３】 前記拡散板の発光面を被検査物の置かれ
た平面に対して１０°〜２０°の範囲に傾けたことを特
徴とする請求項１または２記載の照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7170728A JPH0922612A (ja) | 1995-07-06 | 1995-07-06 | 照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7170728A JPH0922612A (ja) | 1995-07-06 | 1995-07-06 | 照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0922612A true JPH0922612A (ja) | 1997-01-21 |
Family
ID=15910297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7170728A Pending JPH0922612A (ja) | 1995-07-06 | 1995-07-06 | 照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0922612A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06258249A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Dainippon Printing Co Ltd | スジ検査方法 |
| JPH06265476A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査補助装置 |
| JPH06289461A (ja) * | 1993-04-01 | 1994-10-18 | Sekisui Chem Co Ltd | 撮影用照明装置 |
| JPH07110302A (ja) * | 1993-10-13 | 1995-04-25 | Hajime Sangyo Kk | 透明板の欠陥検出装置 |
-
1995
- 1995-07-06 JP JP7170728A patent/JPH0922612A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06258249A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Dainippon Printing Co Ltd | スジ検査方法 |
| JPH06265476A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査補助装置 |
| JPH06289461A (ja) * | 1993-04-01 | 1994-10-18 | Sekisui Chem Co Ltd | 撮影用照明装置 |
| JPH07110302A (ja) * | 1993-10-13 | 1995-04-25 | Hajime Sangyo Kk | 透明板の欠陥検出装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2738300B2 (ja) | 塊状青果物のカメラ選別機に用いる間接照明型多面撮影装置 | |
| TWI747365B (zh) | 外觀檢查裝置 | |
| JP2003517723A (ja) | 部品の検査装置 | |
| JPH0922612A (ja) | 照明装置 | |
| JPH0921760A (ja) | 照明装置 | |
| JPH10274515A (ja) | 曲面検査方法及び検査用カメラユニット | |
| JP2778682B2 (ja) | 半田付外観検査装置 | |
| JP2016118518A (ja) | 外観検査装置 | |
| JP3596182B2 (ja) | 画像処理システム | |
| JP3366211B2 (ja) | 鏡面対象物の撮像方式 | |
| JP3398754B2 (ja) | 集積回路チップ浮き上がり検査装置 | |
| KR20030024615A (ko) | 칩 부품의 외관검사방법 및 외관검사장치 | |
| JP3038718B2 (ja) | リード部品の半田ブリッジ検査方法およびその装置 | |
| JPH03181807A (ja) | 視覚装置 | |
| JPH0921699A (ja) | 照明装置 | |
| JP2818347B2 (ja) | 外観検査装置 | |
| JPH0814542B2 (ja) | 電子部品のリード検査装置 | |
| KR0176538B1 (ko) | 인쇄 회로 기판 검사 방법 및 장치 | |
| JP2000121574A (ja) | 鋼板の疵検査装置 | |
| JP2981510B2 (ja) | リード部品検査装置 | |
| TW466337B (en) | Via inspection in optical inspection system | |
| JPH0261505A (ja) | 部品検査方法 | |
| JP2003035681A (ja) | 半導体装置の外観検査装置 | |
| JP2001208693A (ja) | 板状ワークの検査方法及び装置 | |
| JPH05209733A (ja) | 表面状態検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040309 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041005 |