KR100221697B1 - 투과구멍판의 검사방법 및 검사장치 - Google Patents

Abstract

섀도우마스크 등의 투과구멍판의 투과구멍의 치수이상에 기인한 광튜과율의 불균일의 육안검사의 간략화와 검사정도의 향상을 도모한다.

섀도우마스크 검사장치(30)에서는, CCD 카메라(49)가 촬상한 생화상의 압축을 행하여 320×256×14비트의 계조데이터를 얻는다. 이 압축한 화상데이터를 리퍼런스 데이터로 제산하고 셰이딩 보정을 하여, 광원 등에 기인하는 잡음을 제거한다. 이어서, 셰이딩 보정이 끝난 계조데이터(생화상 농도 단면)를 31×31의 필터윈드를 가지는 메디안 필터에 의해 평활화처리하여 화상보정을 행하고, 평활화된 메디안 데이터 (M/F 화상농도단면)를 얻는다. 그후, 계조데이터를 메디안 필터로 제산하여 규격화 데이터를 구하고, 이 규격화 데이터에 의거하여 화상을 표기하며, 섀도우마스크(SM)의 그레이드가 제거되어 불균일이 강조된 화상을 표시한다.

Description

투과구멍판의 검사방법 및 검사장치

제1도는 실시예의 섀도우마스크 검사장치(30)의 외관 구성을 나타내는 정면도.

제2도는 이 섀도우마스크 검사장치(30)의 전기적 구성을 나타내는 블럭도.

제3도는 섀도우마스크 검사장치930)가 행하는 투과구멍의 불균일 검사처리의 전체를 나타낸 흐름도.

제4도는 이 불균일 검사처리에서 초기 설정처리의 상세한 내용을 나타낸 흐름도.

제5도는 이 초기설정처리에 의한 디스플레이(52)로의 화상표시의 모습을 모식적으로 나타낸 모식도.

제6도는 불균일 검사처리에서 입력, 가시화처리의 상세한 내용을 나타낸 흐름도.

제7도는 불균일 검사처리에 의해 디스플레이(52)에 화상 표시되는 각각의 불균일 화상의 표시상태를 나타낸 사진.

제8도는 섀도우마스크(SM)의 생화사에서 불균일 화상이 얻어질 때까지 행해지는 처리의 내용을 모식적으로 설명하는 설명도.

제9도는 제2 실시예의 섀도우마스크 검사장치(30)가 행하는 투과구멍의 불균일 검사처리의 전반 부분을 나타낸 흐름도.

제10도는 제9도의 후반부분을 나타낸 흐름도.

제11도는 이 불균일 검사처리에서 스텝(S200)의 처리내용을 설명하기 위한 설명도.

제12도는 이 불균일 검사처리에서 스텝(S204)의 처리내용을 설명하기 위한 설명도.

제13도는 이 불균일 검사처리에서 스텝(S206)∼(S224)까지의 처리내용을 설명하기 위한 설명도.

제14도는 이 불균일 검사처리에서 스텝(S218)∼(S224)까지의 처리내용을 설명하기 위한 설명도.

제15도는 메디안필터에 의한 평활화 처리로 바꾸는 이동평균법이나 4차식 근사법에 의한 평활화 처리의 개요를 설명하기 위한 설명도.

제16도는 섀도우마스트(SM)에서 종래의 불균일 검사의 모습을 설명하기 위한 설명도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

30 : 섀도우마스크의 검사장치 40 : 광학측정장치

41 : 정반(定盤) 43 : 유리판

44 : 광원 45 : 마스크판

45a : 개구 46 : 스탠드지지암

47 : 카메라유지보 49 : CCD 카메라

50 : 데이터처리장치 52 : 디스플레이

52a : 표시영역 54 : 화상처리장치

62 : 카메라제어장치 64 : 버스라인

66 : CPU 68 : 주기억장치

70 : 키보드 72 : 보조기억장치

74 : 프린터 77 : 렌즈부

SM : 섀도우마스크

본 발명은 다수의 투과구멍이 대개 주기적으로 배열된 투과구멍판에 대해서, 투과구멍의 치수 이상(異常)에 기인한 광투과율의 불균일을 검사하는 투과구멍판의 검사방법 및 검사장치에 관한 것으로서, 특히 컬러브라운관용의 섀도우마스크나 액정표시패널용 컬러 필터 등의 투과구멍판을 검사하는 검사방법 및 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 섀도우마스크는, 포토에칭법을 이용하여 금속박판에 다수의 투과구멍을 대개 주기적으로 배열시켜 형성하는 것에 의해 제조된다. 이 섀도우마스크의 제조방법은, 금속 박판의 주면에 내에칭성을 가지는 레지스트를 도포하여, 금속박판의 주면에 제지스트막을 형성하는 코팅공정과, 섀도우마스크의 전자빔 통과구멍 등에 대응하는 소정의 패턴을 가지는 패턴판을 통해서 레지스트막에 광을 조사하여 레지스트막에 소정의 패턴을 인화하는 인화공정과, 소정의 패턴이 인화된 레지스트막에 현상액을 공급하여 레지스트막의 소정부분을 용해 제거하고 레지스트막을 소정의 패턴으로 형성함과 동시에 금속박판의 에칭되어야할 주면을 노출시키는 현상공정과, 소정의 패턴으로 형성된 레지스트막을 가지는 금속박판에 에칭액을 공급하고, 레지스트막으로 덮여 있지 않은 금속박판의 노출된 주면을 에칭하여 전자빔 통과 구멍인 다수의 투과구멍을 형성하는 에칭공정으로 이루어진다.

상술한 코팅공정에 있어서 금속박판의 주면에 레지스트가 균일하게 도포되지 않고 주면에 형성된 레지스트막의 막 두께가 불균일한 경우나, 에칭공정에 있어서 금속박판이 가지는 레지스트막에 에칭액이 균일하게 공급되지 않는 경우, 금속박판에 형성된 다수의 투과구멍에 국소적인 치수이상이 발생한다.

이 국소적인 투과구멍의 치수이상을 검사하는 수단으로서, 투과구멍의 형상이나 구경 등의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 검사하는 수단이 사용되고 있다. 구체적으로 설명하면 제16도에 나타내는 바와 같이 우선, 섀도우마스크(SM)를 검사원이 손으로 들고, 이 섀도우마스크(SM)를 광원(도시생략)을 내장한 라이트테이블(202)의 투광성의 경사테이블면(204)의 앞에 배치한다. 그리고 광원의 광을 경사테이블면(204)을 거쳐 섀도우마스크(SM)에 조사하고, 섀도우마스크(SM)를 도면 중에 화살표로 나타내는 바와 같이 흔들면서 섀도우마스크(SM)를 눈으로 본다. 이때 섀도우 마스크 SM에 투과구멍의 형상이나 구경 등의 치수 이상이 국소적으로 생겼으면, 검사원에 의해 투과구멍을 통과하는 광투과율의 불균일로 인식되고, 이 불균일이 허용되는 범위인지 아닌지를 과거의 경험으로부터 판단하여 양품의 섀도우마스크와 불량품의 섀도우마스크가 선별된다. 투과구멍의 치수 이상에 기인한 광투과율의 불균일로서는 섀도우마스크(SM)의 전면에 걸쳐 광의 농담불균일이 산재하는 전체 불균일이나, 농단불균일이 부분적으로 산재하는 부분불균일, 종 혹은 횡방향으로 농단불균일이 선형태로 생기는 선불균일 등이 있다.

그러나, 상기한 검사에서는 검사원의 육안 판단에 의한 경우 이하와 같은 문제가 있었다.

양품의 섀도우마스크라도 허용되는 범위의 광투과율의 불균일은 존재하고 있다. 더욱이 검사원은 이 광학적인 불균일에다가, 투과구멍을 통과한 만큼의 광량 광 그 자체도 보는 것이 된다. 게다가 검사 시에, 양품의 섀도우마스크(SM)에 대해서 일어나는 불균일과 검사대상의 섀도우마스크에 대하여 일어나는 불균일을 항상 눈으로 검사하는 것이 아니라 경험적으로 인식하고 있는 양품의 섀도우마스크(SM)의 불균일과의 대비를 검사대상의 섀도우마스크(SM)의 불균일을 눈으로 보면서 행하고 있었다. 따라서 양품과 검사대상의 섀도우마스크(SM)의 불균일의 대비를 거친 양부(良否) 판단에 고도의 숙련과 상당한 경험이 필요하였다. 또한 숙련의 정도나 경험이 거의 동일하여도, 검사원의 개인차나 건강상태등에 의하여, 양부판단이 흐려질 때도 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진, 섀도우마스크 드으이 투과구멍판의 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율 불균일의 육안검사의 간략화와 검사정밀도의 향상을 꾀하는 것을 목적으로 한다.

이러한 목적을 달성하기 위해 이루어진 청구항 1기재의 투과구멍판의 검사방법에서 채용한 순서는, 다수의 투과구멍이 대개 주기적으로 배열된 투과구멍판에 대해서, 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 검사하는 투과구멍판의 검사방법에 있어서, 상기 투과 구멍판의 한쪽 주면측에서 광을 조사하는 조사공정과, 상기 투과구멍판을 다른 쪽 주면 측에서 촬상하고, 그 촬상화상의 계조 데이터를 구하는 촬상공정과, 상기 계조데이터를 소정의 필터에 의해 평활화 데이터에서 제산하고, 상기 촬상화상의 규격화 데이터를 산출하는 규격화 공정과, 상기 규격화 데이터에 기초해서, 검사대상인 상기 투과구멍판의 다른 쪽 주면을 표시하는 피검사 투과구멍판 표시공정을 포함하는 것을 그 요지로 한다.

청구항 2 기재의 투과구멍판의 검사방법에서는 상기 불균일의 정도가 허용되는 범위인 양품의 투과구멍판, 또는 상기 불균일의 정도가 허용되지 않는 범위인 불량품의 투과구멍판인 한도 견본에 대해서 상기 규격화 데이터를 준비하는 준비공정과, 상기 한도 견본의 규격화 데이터에 기초해서 한도 견본의 상기 다른 쪽 주면을 표시하는 한도 견본 표시공정을 더 포함한다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위해 이루어진 청구항 3기재의 투과구엄판 검사장치에서 채용한 수단은, 다수의 투과구멍이 대개주기적으로 배열된 투과구멍판에 대해서, 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 검사하는 투과구멍판의 검사방법에 있어서, 상기 투과구멍판을 지지하는 지지수단과, 상기 지지수단에 지지된 투과구멍판의 한쪽 주면 측에서 광을 조사하는 조사수단과, 상기 지지수단에 의해 지지된 투과구멍판을 다른 쪽 주면 측에서 촬상하고, 그 촬상화상의 계조 데이터를 구하는 촬상수단과, 상기 계조 데이터를 소정의 필터에 의해 평활화 처리하여 평활화 데이터를 구하는 평활화 수단과, 상기 계조데이터를 상기 평활화 데이터에서 제산하고, 상기 촬상화상의 규격화 데이터를 산출하는 규격화 수단과, 상기 규격화 데이터에 기초해서, 검사 대상인 상기 투과구멍판의 다른 쪽 주면을 표시하는 표시수단을 가지는 것을 그 요지로 한다.

청구항 4 기재의 투과구멍판의 검사장치에서는 상기 불균일의 정도가 허용되는 범위인 양품의 투과구멍판, 또는 상기 불균일의 정도가 허용되지 않는 범위인 불량품의 투과구멍판인 한도 견본에 대한 상기 규격화 데이터를 기억하는 기억수단을 더 가지며, 상기 표시수단이, 검사대상인 투과구멍판의 다른 쪽 주면을 표시함과 동시에 상기 한도 견본의 규격화 데이터에 기초해서, 한도 견본의 상기 다른 쪽 주면을 표시하는 수단이다.

청구항 5 기재의 투과구멍판의 검사장치에서는, 상기 평활화 수단이 평활화 처리할 때 상기 소정의 필터가, m행 n렬(m, n은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터이다.

청구항 6 기재의 투과구멍판의 검사장치에서는, 상기 평활화 수단이 m행 1렬(m은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 상기 계조데이터를 평활화 처리하여 제1평활화 데이터를 구하는 수단과, 1행 n렬(n은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 상기 제1평활화 데이터를 평활화 처리하여 상기 평활화 데이터를 구하는 수단을 가진다.

청구항 7 기재의 투과구멍판의 검사장치에서는, 상기 평활화 수단이, 1행 n렬(n은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 상기 계조데이터를 평활화 처리하여 제2평활화 데이터를 구하는 수단과, m행 1렬(m은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 상기 제2평활화 데이터를 평활화 처리하여 상기 평활화 데이터를 구하는 수단을 가진다.

청구항 8 내지 10기재의 투과구멍판의 검사장치에서는 상기 평활화 수단이, 투과구멍판의 투과구멍판이 형성된 범위인 투과구멍영역 주변의 계조 데이터이며 상기 메디안 필터의 필터를 만족하지 않는 데이터수의 계조데이터에 대해서 그 필터윈드를 만족하지 않는 데이터 수의 계조데이터를 그 크기의 순으로 배열하였을 때 중앙에 오는 데이터를 출력 데이터로 하는 메디안 필터를 이용하여 평활화 처리를 하는 것이다.

상기 구성을 가지는 청구항 1 기재의 투과구멍판의 검사방법에서는, 조사공정에서 투과구멍판의 한쪽 주면에서 광을 조사하여 광을 투과구멍에서 통과시킨다. 이것에 대해 투과구멍판의 투과구멍에서는 광이 투과하고, 투과구멍판의 다른 쪽 주면 측에서는, 투과구멍의 배치의 밀도에 따라 명암의 분포가 얻어진다. 이 명암의 분포는, 촬상공정에서 투과구멍판의 촬상을 거쳐 화소의 농도치인 계조데이터로써 받아들여진다. 이 명암의 분포는, 촬상공정에서 투과구멍판의 촬상을 거쳐 화소의 농도치인 계조데이터로써 받아들여진다. 이 계조데이터의 높은 공간 주파수인 잡음은, 평활화 공정에서 소정의 필터에 의한 평활화 처리를 거쳐 저감되어, 촬상 화상의 평활화 데이타가 구해진다. 따라서, 이 평활화 데이터에서는 투과구멍판의 구과구멍의 배치 밀도에 따른 명암의 분포는 데이터로써 반영되고 있지만, 투과구멍판의 불균일에 관해서는 잡음 혹은 작은 변동으로써 저감 또는 제거된다. 그리고, 규격화 공정에 의해 계조데이터는 평활화 데이터에서 제산되어 촬상화상의 규격화 데이터가 산출되고, 이 규격화 데이터에 의거하여 피검사 투과구멍판의 표시 공정에 의해 검사대상의 투과구멍판에서 다른 쪽 주면 측의 화상이 표시된다.

규격화 데이터는 평활화 데이터에서 계조데이터의 제산을 거치고 있으므로, 투과구멍판의 투과구멍의 배치 밀도에 따른 명암의 분포가 제거되고, 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 나타내는 데이터가 된다. 따라서, 이 규격화 데이터에 의거한 투과구멍판의 다른 쪽 주면 측의 화상표시에 의해, 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일이 강조되고 표시되어, 검사원에게 상기 불균일을 화상(불균일 화상)으로써 제공할 수 있다.

청구항 2 기재의 투과구멍판이 검사방법에서는, 한도 견본 표시공정에 의해 불균일의 정도가 허용되는 범위인 양품의 투과구멍판, 또는 불균일의 정도가 허용되지 않는 범위인 불량품의 투과구멍판인 한도 견본에 대한 규격화 데이터에 의거한 화상표시를 행한다. 따라서 검사원에게는 한도 견본의 투과구멍판 불균일 화상과 검사대상 투과구멍판 불균일 화상을 대비하여 제공할 수 있다.

청구항 3기재의 투과구멍판의 검사장치에서는, 지지수단에 의거 지지된 투과구멍판에 그 한쪽 주면에서 조사수단에 의해 광을 조사하고, 광을 투과구멍에서 통과시킨다. 이것에 의해, 투과구멍판의 투과구멍에서는 광이 투과하고, 투과구멍판의 다른 쪽 주면 측에서 투과구멍의 배치밀도에 따라 명암의 분포가 얻어진다. 이 명암의 분포는 촬상수단에 의해 투과구멍판이 촬상되고, 화소의 농도치인 계조 데이터로써 받아들여진다. 이 계조데이터의 높은 공간 주파수인 잡음은 평활화 수단이 가지는 소정의 필터에 의한 평활화 처리를 거쳐 저감되어, 촬상화상의 평활호 데이터가 얻어진다. 따라서, 이 평활화 데이터에서는 투과구멍판의 투과구멍의 배치 밀도에 따른 명암의 분포는 데이터로써 반영되고 있지만, 투과구멍판의 불균일에 관해서는 잡음, 혹은 작은 변동으로써 저감 또는 제거된다. 그리고, 규격화 수단에 의해 계조데이터는 평활화 데이터에서 제산되어 촬상화상의 규격화 데이터가 산출되고, 이 규격화 데이터에 의거하여 표시수단에 의해 검사대상의 투과구멍판에서 다른 쪽 주면 측의 화상이 표시된다.

규격화 데이터는 평활화 데이터에서 계조데이터의 제산을 거치고 있으므로, 투과구멍판의 투과구멍의 배치밀도에 따른 명함의 분포가 제거되고, 투과구멍의 치수 이상에 기인한 광투과율의 불균일을 나타내는 데이터가 된다. 따라서, 이 규격화 데이터에 의거한 투과구멍판의 다른 쪽 주면 측의 화상표시에 의해 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일이 강조되고 표시되어, 검사원에게 이 불균일을 화상(불균일 화상)으로써 제공할 수 있다.

청구항 4기재의 투과구멍판의 검사장치에서는, 불균일의 정도가 허용되는 범위인 양품의 투과구멍판, 또는 불균일의 정도가 허용되지 않는 범위인 불량품의 투과구멍판인 한도 견본에 대해서 규격화 데이터를 기억수단에 기억해두고, 이 기억한 규격화 데이터에 의거하여 표시수단에 의해 한도 견본의 다른 쪽 주면을 표시함과 동시에 검사대상 투과구멍판의 다른 쪽 주면을 표시한다. 따라서, 검사원에게는 한도 견본의 투과구멍판 불균일 화상과 검사대상의 투과구멍판 불균일 화상을 대비하여 제공할 수 있다.

청구항 5 기재의 투과구멍판의 검사장치에서는, 평활화 수단에서 평활화 처리를 m행 n렬(m,n은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 행한다. 따라서, 계조데이터에서는 효과적으로 잡음이 저감됨과 동시에 작은 변동이 평활화된 평활화 데이터가 얻어진다.

청구항 6 기재의 투과구멍판의 검사장치에서는, 평활화 수단에 의해 우선 m행 1렬(m은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 계조데이터를 평활화 처리하여 제1평활화 데이터를 구한다. 다음에 1행 n렬(n은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 제1평활화 데이털 평활화 처리하여 평활화 데이터를 구한다. 이 때문에 계조데이터에서는 효과적으로 잡음이 저감됨과 동시에 작은 변동이 평활화된 평활화 데이터가 얻어질 뿐만 아니라 평활화 처리를 2단계로 나누어 행한다.

청구항 7 기재의 투과구멍판의 검사장치에서는, 평활화 수단에 의해 우선 1행 n렬(n은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 계조 데이터를 평활화 처리하여 제2평활화 데이터를 구한다. 다음에 m행 1렬 (m은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 제2평활화 데이터를 평활화 처리하여 평활화 데이터를 구한다. 이 때문에 계조데이터에서는 효과적으로 잡음이 저감됨과 동시에 작은 변동이 평활화된 평활화 데이터가 얻어질 뿐만 아니라 평활화 처리를 2단계로 나누어 행한다.

청구항 8내지 10기재의 투과구멍판의 검사장치에서는, 평활화 수단에 의해 메디안 필터를 이용하여, 투과구멍판의 투과구멍이 형성된 범위인 투과구멍영역 주변의 계조데이터인 메디안필터의 필터윈드를 만족하지 않는 데이터수의 계조데이터와 데이터수의 정합과, 투과구멍영역 주변에서의 계조데이터의 평활화 처리를도모할 수 있다.

다음에, 본 발명에 관계되는 투과구멍판의 검사장치의 적합한 실시예에 대해서, 섀도우마스크의 검사장치를 예를 들어 설명한다. 제1도의 정면도에 나타내는 바와 같이, 섀도우마스크 검사장치(30)는 섀도우마스크(SM)를 촬상하여 화상데이터를 얻기 위한 광학측정장치(40)와, 화상데이터에 의거하여 각종데이터 처리를 행하는 데이터처리장치(50)로 구성되어 있다.

광학측정장치(40)는, 정반(41)을 구비하고, 이 정반(41)의 상면에는 조명광을 통과시키기 위한 개구가 거의 중앙에 형성되어 있다. 또한, 정반(41)의 상면에는, 광을 확산하여 투과하는 유리판(43)이 올려져 있고, 유리판(43)의 하방에는, 광원(44)이 배치되어 있다. 상기 광원으로서는 예를 들면 고주파점등형의 형광등이 사용된다. 또한, 유리판(43)의 상면에는 마스크판(45)(제2도 참조)이 올려지고, 이 마스크판(45)에 섀도우마스크(SM)가 점착 테이프등에 의해 밀착 고정되지만, 그 모양에 대해서는 후술한다.

정반(41)에서는 상방으로 뻗은 스탠드지지암(46)이 세워져 설치되어 있고, 스탠드지지암(46)에는 카메라 유지보(47)가 소위 편지(片持)되어 있다. 또한 카메라 유지보(47)는 스탠드 지지암(46)에 도시하지 않은 조정기구에 의해 조정 가능하게 설치되어 있으므로 카메라 유지보(47)와 CCD 카메라(49)는 카메라 유지보(47)로 조정가능하게 설치되어, CCD 카메라(49)를 좌우방향(도면중 X방향)으로 이동시킬 수 있다. 이 때문에, 각종 사이즈의 섀도우마스크의 촬상하여야하 영역과 CCD 카메라(49)의 촬상영역이 일치하도록 CCD 카메라(49)를 상하, 좌우로 이동시킬 수 있다.

CCD 카메라(49)는 CCD소자를 2차원 배치한 CCD 카메라이며, 화상의 농담을 농담렌즈로 10비트의 디지털 출력이 가능하다. 한편, CCD 카메라(49)에서는 1,534화소 X 1024화소의 화상을 취득할 수 있다.

데이터처리장치(50)는 후술하는 화상을 표시하는 디스플레이(52)와, 각종의 화상처리를 행하는 화상처리장치(54)와, CCD 카메라(49)의 이득(gain)및 셔터스피드를 제어하는 카메라 제어장치(62)를 구비하고 있다.

다음에 섀도우마스크 검사장치(30)의 전기적 구성에 대해서 제2도의 블력도를 이용하여 설명한다. 광원(44)에서 출사된 광은 유리판(43)과 섀도우마스크(SM)의 투과구멍을 순차 통과하여 CCD 카메라(49)로 입사한다. 이때, 마스크판에 섀도우 마스크(SM)가 밀착, 고정되고, 섀도우마스크(SM)의 투과구멍이 형성된 영역인 투과구멍영역(SMe)은 마스크판(45)의 개구 (45a)에서 노출하고, 투과구멍이 형성되지 않은 섀도우마스크(SM)의 주변영역은 마스크된다. 따라서, CCD 카메라(49)는 투과구멍영역(SMe)에 관하여 섀도우마스크(SM)를 촬상하고, 그 2차원으로 배열된 농담화상(다치화상)의 화상데이터(Di)로써 얻는다. 이 화상데이터(Di)는 카메라 제어장치(62)를 통하여 화상처리장치(54)에 들어가고, 후술하는 화상처리가 행하여진 후, 각종의 화상이 디스플레이에 표시된다.

화상처리장치(54)는 미리등록된 프로그램에 의해 여러 가지 처리를 행하는 범용형의 고속화상처리 장치이며, 각종의 화상처리 외에 미리 정해진 다른 처리를 행하는 CPU(66)와, 화상데이터(Di)등 데이터의 일시적인 기억을 행하는 RAM등의 주기억장치(68)와, 데이터의 입력을 위한 키보드(70)와, 화상데이터(Di)등의 데이터를 유지하는 보조기억장치(72), 예를 들면 플렉시블 디스크장치 등과, 검사결과 등의 출력용의 프린터(74)를 구비하고 있고, 이들은 서로 버스라인(64)을 통하여 접속되어 있다. 또한 이 화상처리장치(54)의 버스라인(64)에는 카메라제어장치(62)와 디스플레이(54)가 접속되어 있다.

다음에, 본 실시예의 섀도우마스크 검사장치(30)가 행하는 투과구멍의 불균일 검사처리에 대해서 제3도 이후의 흐름도 등을 이용하여 설명한다.

제3도의 흐름도는 본 실시예에서 행하는 섀도우마스크(SM)의 투과구멍 불균일 검사처리의 개요를 나타내고 있고, 그 처리가 개시되면 이후의 처리를 행하고 나서 필요한 초기화를 행한다.(스텝 S100). 예를 들면, 본 검사에서 불균일(투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일)의 양부판단의 기준이 되는 한도 견본의 섀도우마스크(SM)의 설정(초기설정)이나, 검사개시초기화면의 디스플레이(52)로의 표시. 후술의 처리에서 이용하는 메모리영역의 클리어 등을 행한다.

이 초기화를 행하면, 디스플레이(52)에는, 초기설정화면이 표시되고, 그 이후의 검사처리의 과정에서 필요로 하게 되는 각종의 항목(초기 설정항목)의 입력개소는, 이 초기설정화면에서는 데이터 미입력인 채이다. 또한, 한도 견본의 섀도우마스크(SM)의 초기설정을 받아 이들 한도 견본의 섀도우마스크(SM)의 불균일의 표시화상데이터가 초기 설정된 한도 견본의 섀도우마스크(SM) 마다 판독된다. 이 한도 견본의 섀도우마스크(SM)마다의 불균일화상은 후술의 초기설정으로 필요사항의 설정이 종료하면, 이 판독된 표시화상데이터에 의거하여 디스플레이(52)에 표시된다. 한편 각 한도 견본의 섀도우마스크(SM)에 대해서 불균일의 표시화상 데이터는 불균일의 정도가 섀도우마스크의 품질이 허용되는 범위이며 동시에 그 정도가 다른 복수의 섀도우마스크(SM)에 대해서, 또한 불균일의 정도가 섀도우마스크의 품질이 허용되지 않는 범위이며 동시에 그 정도가 다른 복수의 섀도우마스크(SM)에 대해서 후술하는 검사대상의 섀도우마스크(SM)와 같이 하여 미리 취득되어 있고, 한도 견본의 섀도우마스크(SM)마다 보조기억장치(72)에 기억되어 있다.

스텝(S100)에 이어서, 검사의 과정에서 필요하게 되는 각종 항목에 대해서 초기설정을 행한다(스텝 S110). 이 초기설정에서는, 초기화 처리에서 데이터 미입력인 채로 표시된 초기설정화면의 초기설정 항목에 순차 데이터를 입력한다. 즉, 초기설정처리의 상세처리를 나타낸 제4도의 흐름도에 나타낸 바와 같이, 검사결과의 출력파일명(스텝 S111), 검사대상의 섀도우마스크(SM)를 마스크하기 위하여 이용하는 마스크판(45)의 마스크타입(스텝 S112), 검사원명(스텝 S113)을 순차 입력한다. 이들은, 검사 종료 후에 표시 혹은 프린트아웃트하는 검사결과에 게재된다. 한편, 출력파일은 검사결과를 검사대상의 섀도우마스크(SM)마다 보존하기 위한 파일이며, 그 데이터 포맷은, 검사대상의 섀도우마스크(SM)의 샘플 ID(예를 들면, 제조 시리얼 번호), 검사원명, 검사일 등의 보존할 수 있도록 구축되어 있다.

이들 입력이 완료하면, 검사개시 스위치가 눌려질 때까지 대기(스텝 S114)하고, 검사가 개시되면 출력파일을 오픈하여(스텝 S115), 검사결과의 출력에 비한다. 그후는 입력된출력파일명 등의 초기 설정데이터를 출력하고(스텝 S116), 디스플레이(52)의 초기설정 화면중에 이들 초기설정 데이터를 표시하고, 결과 입력화면을 설정한다(스텝 S117). 이어서, 초기설정이 끝난 한도 견본의 섀도우마스크(SM)마다 불균일화상을 판독이 끝난 표시화상 데이터에 의거하여 디스플레이(52)에 표시한다(스텝 S118). 이 경우, 복수의 한도 견본이 설정되어 있으면, 그 복수의 한도 견본의 섀도우마스크(SM)의 불균일화상은 디스플레이(52)에 분할하여 동시에 표시된다. 이어서, 검사대상의 섀도우마스크(SM)의 양부판단의 결과등을 입력하기 위한 결과 입력화면을 복수의 한도 견본의 섀도우마스크(SM)의 불균일 화상과 함께 디스플레이(52)에 표시한다(스텝 S119).

상기 초기설정처리에 의한 디스플레이(52)로의 화상표시의 모습은, 제5도의 모식도와 같이 나타난다. 즉 초기 설정된 4개의 섀도우마스크(SM)에 대해서 개개의 불균일 화상(SMG1, SMG2, SMG3, SMG4)과, 결과 입력화면(RG)기 디스플레이(52)의 표시영역(52a)에 분할하여 동시에 표시된다. 이 불균일 화상 SMG1∼SMG4는 표시화상데이터에 의거한 것이므로, 화상처리장치(54)에서도시하지 않은 확대처리에 의해 개개의 불균일 화상을 개별로 확대 표시할 수 있다. 이 불균일화상(SMG1∼SMG4)은 검사대상 섀도우마스크(SM)의 불균일화상에 대해서 한도 견본의 불균일화상이 된다.

이렇게 하여 표시된 한도 견본의 불균일화상(SMG1∼SMG4)은 스텝(S100)에서 초기 설정된 한도 견본의 섀도우마스크(SM)의 불균일 화상이며 상기 초기설정에 따라 다르다. 예를 들면 초기설정에서 농담불균일이 점재하는 전체 불균일의 정도가 다른 4개의 섀도우마스크(SM)가 설정되면 전체 불균일의 정도가 단계적으로 다른 불균일 화상이 표시된다. 또한, 초기설정의 섀도우마스크(SM)가 전체 불균일이 양호한 섀도우마스크(SM)와, 부분불균일 양호한 섀도우마스크(SM)와, 종(縱) 불균일이 양호한 섀도우마스크(SM)과, 횡(橫) 불균일이 양호한 섀도우마스크(SM)이라면, 이들 다른 불균일에 대한 불균일 화상이 표시된다.

상기한 초기설정에 이어서는, 마스크판(45)이 올려진 유리판(43)으로 검사원에 의한 섀도우마스크(SM)의 셋트 완료를 기다리고, 셋트완료후에 스위치 조작되어 발하게 되는 입력개시 지시를 대기한다(스텝 S120). 여기에서 입력개시지시가 있으면, 섀도우마스크 SM의 화상의 입력, 가시화 처리를 행한다(스텝 130). 한편, 상기 입력 가시화 처리에 앞서, 혹은 그 처리와 동시에 광원(44)은 점등 제어된다.

이 입력 가시화 처리에서는, 검사대상의 섀도우마스크(SM)에 대한 투과화상을 받아들여 불균일화상표시를 위한 각종처리를 행한다. 즉, 그 상세처리를 나타낸 제6도의 흐름도에서 나타내는 바와 같이, 우선 CCD 카메라(49)에 의해 섀도우 마스크(SM)의 투과화상을 촬상할때 촬상조건에 합치하도록 CCD 카메라(49)를 설정한다(스텝 S131). 구체적으로 설명하면 미리 정해진 셔터 스피드, 이득, 포커스 등의 촬상조건과 검사대상의 섀도우마스크(SM) 투과구멍의 투과구멍영역(SMe)등에 의거하여 CCD 카메라(49)의 셔터 스피드설정, 이득설정, 포커스조정등과, CCD카메라(49)의 Z축 위치조정등이 행하여 진다. Z축 위치조정은 도시하지 않은 조정기구를 수동으로 조작하여, 스탠드 지지암(46)에 대해서 카메라 유지보(47)와 CCD카메라(49)를 일체로 상하방향으로 이동시켜 행하며, 셔터스피드설정, 이득조정등은, 카메라제어장치(62)에 의해 행해진다. 또한, 포커스 조정은 CCD 카메라(49)의 렌즈부(77)를 수동으로 조정하여 행한다. 이 경우 CCD카메라(49)의 포커스는, CCD 카메라(49)의 화소 배열및 섀도우 마스크(SM) 투과구멍의 주기적인 배열과의 사이에서 일어나는 모아레(Moire)를 제거하기 위하여 약간 흐리게 조정된다.

이렇게 하여 CCD 카메라(49)의 촬상조건이 설정되면, CCD 카메라(49)는 유리판(43)상의 섀도우마스크(SM)의 촬상을 개시하고, 광원(44)에서 조사되어 섀도우마스크(SM)의 투과구멍을 투과한 광의 투과화상(이하, 생화상이라고 한다)을 CCD 카메라(49)로 받아들인다(스텝 S132). CCD 카메라(49)는 섀도우마스크(SM)의 생화상을 1,534화소 × 1,024화소로 농담렌즈가 10비트인 디지털 출력으로 계조데이터로써 카메라제어장치(62) 및 버스라인(64)을 통하여 주기억장치(68)에 출력한다.

일반적으로 섀도우마스크(SM)에 형성된 다수의 투과구멍의 각각의 간격은, 섀도우마스크의 중앙부에서는 좁고, 그 주변방향을 향할수록 넓게 된다. 이것은 평탄한 섀도우마스크(SM)를 돔 형상으로 형성할 것을 고려하여 섀도우마스크(SM)의 투과구멍의 배치가 설계되어 있기 때문이다. 이것으로부터 섀도우마스크(SM)의 투과화상의 데이터인 상술의 계조데이터는 섀도우마스크(SM)의 투과구멍의 배치밀도에 따라 섀도우마스크 SM의 중앙부에서는 밝고, 주변방향으로 향할수록 어둡게 된는 명암패턴(이하, 이 패턴을 그레이드라고 한다)이 농담레인지로서 표시된 데이터이다. 더욱이 이 계조데이터에는 섀도우마스크(SM)의 불균일에 의거한 농담도 반영되어 있다.

그리고, 상기 생화상의 계조데이터는 카메라 제어장치(62)를 거쳐 화상처리장치(54)로 보내진다. 한편, 화상처리장치(54)로의 데이터출력과 함께 카메라 제어장치(62)는 생화상을 디스플레이(52)에 표시한다. 이거에 의해, CCD 카메라(49)의 촬상영역을 인식할 수 있다.

이와 같이 하여 화상처리장치(54)에 계조데이터가 보내어지면, 화상처리장치(54)에서는, 생화상의 4×4화소분을 한 묶음으로 하여 화상 압축을 행하고(스텝 S133), 생화상의 계조데이터(1,534화소 × 1,024화소 × 10비트 ; 데이터의 크기는 16비트=2바이트)를 320×256×14비트(데이터의 크기는 동일)의 데이터로 압축한다. 이 화상압축을 하는 것으로 후술의 메디안 필터에서 필터링할때 처리시간을 단축할 수 있다.

CCD 카메라(49)에 의해 얻은 생화상의 출력신호에는, 광원(44)이나 유리판(43)자체에서 일어나는 발광분포불균일이나 촬상계의 감도불균일등이 가져오는 신호가 중첩하고 있다. 따라서, 상기의 스텝(S133)에 이어서는, 압축한 화상데이터(계조데이터)를 그 데이터수가 동등하게된 리퍼런스데이터(계조데이터 ; 320×256×2바이트)로 제산하여, 셰이딩 보정한다(스텝 S134). 이 리퍼런스데이터는 유리판(43)에 섀도우마스크(SM)을 올리지 않고 마스크판(45)만을 올린 상태에서 미리 촬상한 화상의 계조데이터이며, 주기억장치(68)에 미리 기억되어 있다. 따라서, 이 리퍼런스데이터는 셰이딩 보정시에 판독된다.

이어서, 상기 셰이딩보정이 끝난 계조데이터를 31화소×31화소(이하, 단순히 31×31로 약칭한다)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터에 의해 평활화 처리하는 화상보정을 행하고(스텝 S135), 계조데이터가 평활화된 메디안 데이터를 얻는다. 이때의 평활화 처리는 31×31의 필터윈드의 각 데이터 윈드를 메우는 데이터(계조데이터)를 그 크기순으로 나열하여 데이터열을 작성하고, 그 데이터열의 중앙의 위치에 오는 데이터를 출력치로 하는 처리를 일처리단위로 한다. 그리고, 320×256으로 압축이 끝나고 또한 셰이딩 보정이 끝난 계조데이터에 대해서, 메디안 필터의 필터링 영역을 바꾸면서, 예를 들면 필터윈드를 소정의 방향으로 1화소씩 이동시켜 상기의 일처리단위의 처리를 상기 계조데이터의 데이터영역에 걸쳐 반복한다.

상기 메디안 필터에서의 평활화처리에 의해, 압축 또 셰이딩 보정이 끝난 계조데이터에서는 효과적으로 높은 공간 주파수인 잡음이 저감된다. 또한, 작은 변동이 평활화된 화상의 평활화 데이터가 얻어진다. 그리고, 이 평활화 데이터에서는, 섀도우마스크(SM)의 그레이드 및 큰 변동은 반영되어 있지만, 섀도우마스크(SM)의 불균일은 잡음 혹은 작은 변동으로써 저감 또는 제거된다.

그후는, 검사대상의 섀도우마스크(SM)의 불균일 만을 화상표시하기 위해, 이하의 데이터변환을 행한다(스텝 136). 즉, 스텝(S133, 134)에서 압축 또 셰이딩 보정이 끝난 계조데이터를 메디안 필터에서의 평활화 처리가 끝난 평활화 데이터에서 제산하고, 생화상에 대한 규격화 데이터를 구한다. 이 제산연산시에, 평활화 데이터의 값이 제로인 경우에는 해당하는 데이터로의 제산은 행하지 않고, 규격화 데이터의 해당데이터는 값제로로 설정된다. 이와 같이 하여 얻어진 규격화 데이터는 평활화 데이터에서의 계조데이터의 제산을 거치고 있으므로 평활화 데이터에 농담레인지로서 반영한 섀도우 마스크(SM)의 그레이드 및 큰 변동은 제거되고, 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 나타내는 데이터가 된다. 한편 이 제산에서 얻어진 규격화 데이터는 실수데이터이며 화상처리로 취급하기 어려우므로, 정수데이터로 변환하기 위해 소정의 정수, 예를 들면 4000을 승산하여 최종적인 규격화 데이터가 된다.

다음에, 상기 규격화 데이터에 의거한 화상, 즉 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 농담레인지 데이터의 가시화화상변환을 거쳐 얻어지는 불균일 화상을 디스플레이(52)에 표시한다(스텝 S137). 이 가시화 화상표시처리에 의해 얻어진 검사대상의 섀도우마스크(SM)의 불균일 호상(SMGO)은, 제7도에 나타내는 바와 같이 미리 표시가 끝난 한도 견본의 불균일화상(SMG1∼SMG4)과 결과입력화면(RG)의 표시가 끝난 디스플레이(52)의 화면에 표시된다. 즉, 불균일 화상(SMGO)과 한도 견본의 불균일화상(SMG1∼SMG4)은 디스플레이(52)에 분할하여 동시에 표시되고, 이들 불균일 대상은 대비하여 표시된다. 한편, 제7도에서의 불균일 화상(SMG1)은 전체 불균일에 대한 한도 견본(양품)의 불균일 화상이며, 불균일화상(SMG2)은 횡불균일에 대한 한도 견본(양품)의 불균일 화상이며, 불균일화상(SMG3)은 종불균일에 대한 한도 견본(양품)의 불균일 화상이며, 불균일화상(SMG4)은 부분불균일에 대한 한도 견본(양품)의 불균일 화상이다. 또한, 불균일 화상(SMG4)의 불균일 화상에서의 화살표는 마우스커서이다.

여기에서 섀도우마스크(SM)의 생화상에서 불균일화상이 얻어질 때까지 행해지는 처리의 내용을 모식적으로 설명한다. 제8도에 나타내는 바와 같이, CCD 카메라(49)로 촬상된 생화상 (G)은 스텝(S132∼S134)의 처리를 거쳐 압축 또 셰이딩보정이 끝난 계조데이터(GD)로 된다. 도면중의 그래프는, 생화상의 횡축을 따른 화상에서 계조데이터(GD)를 나타내고 있다. 그 한편으로 스텝(S135)의 처리에 의해 계조데이터(GD)를 메디안 필터에 의해 평활화 처리한 평활화 데이터(M/FD)는,도시하는 바와 같이, 섀도우마스크(SM)의 불균일을 잡음 혹은 작은 변동으로써 계조데이터(GD)에서 저감 또는 제거되고, 섀도우마스크(SM)의 그레이드만이 반영된 데이터가 된다.

이어서 스텝(S136)의 처리를 거치면, 계조데이터(GD)를 평활화 데이터(M/FD)에서 제산한 규격화 데이터(KD)가 얻어지고, 스텝(S137)의 처리에서 규격화 데이터(KD)에 의거하여 불균일화상(SMGO)이 표시된다. 도시하는 바와 같이, 이 불균일 화상(SMGO)은 검사대상의 섀도우마스크(SM)의 불균일만의 화상이며, 그레이드가 제거되어 있으므로 결과적으로 불균일이 강조된 화상이 된다.

상기한 일련의 처리로 이루어지는 스텝(S130)의 입력·가시화처리에 이어서는 제3도에 나타내는 바와 같이 평가결과 입력처리를 행한다(스텝 S140). 이 처리에서는 입력·가시화처리에 의해 표시된 검사대상의 섀도우마스크(SM)의 불균일 화상(SMGO)과 한도 견본의 불균일 화상(SMG1∼SMG4)을 검사원이 눈으로 비교하여 그 결과의 입력이 이루어진다. 입력항목은 검사대상의 섀도우마스크(SM)의 샘플 ID와 평가결과(고품질 양품, 중품질 양품, 불량품등과 구별)와 불균일 종별(불균일 없음, 전체불균일, 부분불균일, 횡불균일, 종불균일, 그외의 불균일의 구별)과, 불균일 발생위치(불균일 화상을 4×4로 분할하였을 때의 분할위치)의 3항목이다. 한편, 불균일 발생 위치에 대해서는 불균이 종별에서 불균일이 없는 경우는 입력이 스킵할 수 있도록 구성되어 있다.

그리고, 필요항목의 입력이 완료하여 데이터 보존의 스위치가 눌려지면, 이들 압력항목은, 해당하는 검사대상의 섀도우마스크(SM)에 대해서 스텝(S133)에서 압축한 계조데이터(320×256×2바이트)와 함께보조기억장치(72)에 기억된다. 따라서 이렇게 하여 검사가 끝난 섀도우마스크(SM)에 대해서 재차 불균일 화상을 표시하고 싶은 경우는, 이 데이터를 판독하여 상기한 스텝(S130)의 처리를 행하면 되게 된다. 또한, 데이터 보존이 완료하면, 다음회의 새도우마스크(SM)의 검사에 대비하여, 검사대상의 섀도우마스크(SM)의 불균일화상(SMGO)의 디스플레이(52)에서의 소거와, 이 불균일 화상의 표시(SMGO)의 표시를 위해 연산되어 일시적으로 기억되어 있던 화상데이터의 주기억장치(68)에서의 소거가 행해진다.

스텝(S140)에서의 평가 결과 입력처리에 이어서 다른 섀도우마스크(SM)에 대해서 상기한 검사를 계속할 필요가 있는지 없는지를 판단한다(스텝 S150). 그리고, 계속하여 검사하는 경우에는 상기한 스텝(S120∼)의 처리를 반복한다. 한편 이 검사계속은, 소정 스위치의 눌려지는 상황으로 판단된다.

이상 설명한 바와 같이 본 실시예의 섀도우마스크 검사장치(30)에서는 검사대상 섀도우마스크(SM)에서 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일만을 강조한 불균일화상과, 복수의 한도 견본의 섀도우마스크(SM)에 대해서 불균일을 강조한 불균일 화상을 디스플레이(52)에 동시에 대비하여 표시하고, 이들 불균일화상을 검사원에게 제공한다. 이 때문에 검사원은 불균일만에 대해서 복수의 한도 견본과 대비 관찰하여 섀도우마스크(SM)의 양부판단을 내릴 수 있으며, 고도의 숙련이나 상당한 경험을 필요로 하지 않는다. 따라서, 본 실시예의 섀도우마스크 검사장치(30)에 의하면, 섀도우마스크(SM)의 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일의 육안검사를 보다 간략화할 수 있음과 동시에 그 육안검사의 검사정밀도를 비약적으로 향상시킬 수 있다.

또한, 섀도우마스크 검사장치(30)에서는 31×31의 필터윈드를 가지는 메디안 필터에 의해 평활화 처리하여 평활화 데이터를 얻으므로, 잡음 혹은 작은 변동으로써 불균일을 계조데이터에서 효과적으로 저감 또는 제거한다. 이 때문에 섀도우마스크 검사장치(30)에 의하면 불균일 화상을 불균일이 보다 깨끗하게 강조된 화상으로 하므로, 육안검사의 검사정밀도를 더 향상시킬 수 있다.

또한, 섀도우마스크 검사장치(30)에서는 검사대상이 된 섀도우마스크(SM)에 대한 평가 결과와 압축이 끝난 계조데이터(320×256×2바이트)를 보조기억장치(72)에 기억한다. 따라서, 해당 섀도우마스크(SM)에 대한 품질에 추적조사등이 필요하게 되어도 용이하게 대처할 수 있다. 구체적으로 설명하면 이 섀도우마스크(SM)가 품질불량이라고 나중에 알게 되어도 검사시의 계조데이터를 이용하여 재차 불균일화상을 표시하면, 지적된 품질불량과 불균일화상을 대비할 수 있다. 이 때문에 평가의 타당성이나 품질불량의 원인규명을 행할 수 있다.

여기에서, 상기한 실시예의 섀도우마스크 검사장치(30)의 변형예에 대해서 설명한다. 상기의 섀도우마스크 검사장치(30)에서는, 이하의 이유로 메디안 필터의 필터윈드를 31×31로 고정하였다. 그러나, 이 필터윈드를 검사대상이 되는 섀도우마스크(SM)에 허용되는 불균일의 크기나 섀도우마스크(SM)의 종류, 촬상시 화상의 크기, 디스플레이(52)의 분해능 등에 의해 가변 설정하도록 변형할 수도 있다.

일반적으로, 메디안 필터와 같은 늪은 공간 주파수를 제거하는 로패스필터로 제거할 수 있는 변동(잡음, 본 발명에서는 불균일)은, 그 크기가 필터사이즈의 거의 절반정도인 것인 것이 잘 알려져 있다. 그 한편, 표시하고 싶은 불균일 화상에서는 섀도우마스크(SM)에 허용되는 최대사이즈의 크기를 넘는 완만한 변동에 대해서는 그레이드에 포함하여 표시하지 않고, 그 최대사이즈를 밑도는 사이즈의 변동을 불균일로서 표시하는 것이 바람직하다. 바꾸어 말하면, 로패스필터로 계조데이터를 평활화 할 때에는 로패스필터의 필터사이즈는 상기 완만한 변동만을 통과시키고, 이것보다 작은 변동을 차단하는 사이즈가 된다.

메디안 필터라도, 로패스필터와 같이 완만한 변동만을 통과시키고 이것보다 작은 변동을 차례하는 사이즈의 필터윈드를 필요로 한다. 본 실시예에서는 이 차단 변동의 변동사이즈(하한사이즈)가 14mm 정도이며, 디스플레이(52)에 표시하는 화상(320×256)의 1화소가 약 0.9mm라고 하면, 다음 식에 따라 필터윈드의 사이즈(FWS)를 결정한다.

① FWS/2 = (14/0.9)

② FWS = (14/0.9) × 2 =31

따라서, 화소의 크기나, 검사품질의 레벨을 좌우하는 차례변동의 하한사이즈등을 검사에 앞서 설정할 수 있도록, 예를 들면 텐키(ten-key) 등에 의해 입력할 수 있도록 구성하면, 다른 크기의 불균일에 대한 범용성을 높일 수 있다. 구체적으로는, 표시하는 화상의 1화소가 0.5mm이면, 상기 식 ①,②로부터 평활화처리에 이용하는 메디안 필터는 57×57의 필터윈드를 가지는 메디안 필터가 된다. 이 때문에, 상기의 실시예를 메디안필터의 필터윈드를 결정하는 처리를 구비하고, 결정한 사이즈(예를 들면 57×57)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터에서 상기의 스텝(S135)을 실행하도록 변형할 수 있다.

또한, 차례변동의 하한사이즈의 시야각까지도 고려하여, 메디안 필터의 필터윈드의 사이즈 (FWS)를 가변 설정하도록 변형하 수도 있다. 예를 들면, CCD 카메라(49)의 촬상거리가 60cm이고, 화상(320×256)의 1화소가 약 0.9mm, 차례변동의 하한사이즈의 시야각이 1.3degree 정도라면, 이 1.3degree 정도 이하의 사이즈를 차례할 수 있도록 다음 식에 따라 필터윈드의 사이즈 FWS를 결정한다.

③ FWS/2 = (tan(1.3/2) × 600 × 2)

④ FWS = (tan(1.3/2) × 600 × 2) × 2 = 31

CCD 카메라(49)의 촬상거리가 약 100cm라면, 다음 식에 따라 필터윈드의 사이즈(FWS)를 결정한다.

⑤ FWS/2 = (tan(1.3/2) × 1000 × 2)

⑥ FWS = (tan(1.3/2) × 1000 × 2) × 2 = 51

결국, 차례변동의 하한사이즈의 시약각이나 CCD 카메라(49)의 촬상거리등을, 예를 들면 텐키 등에 의해 검사에 앞서 입력하여 그것에 따라 메디안 필터의 필터윈드의 사이즈를 결정할 수 있도록 변형할 수도 있다.

다음에, 다른 실시예(제2실시예)에 대해서 설명한다. 이 제2실시예에서는, m행 n렬의 필터윈드(31×31)를 가지는 메디안 필터에 의한 평활화처리(스텝 S135)로 바꾸어, m행 1렬의 필터윈드(5×1)를 가지는 메디안 필터와 1행 n렬의 필터윈드(1×5)를 가지는 메디안 필터를 조합한 평활화 처리를 채용하였다. 따라서, 이하의 설명에 있어서는, 다른 구성(처리내용)에 대해서 제9도, 제10도의 흐름도를 이용하여 후술한다.

제2실시예에서의 투과구멍의 불균일 검사처리에서는 제9도의 흐름도에 나타내는 바와 같이, 메디안 필터에 의한 평활화 처리에 앞서, 평활화 처리하는 데이터 영역을 확정하고, 그 영역의 좌표원점(XO, YO)을 구한다(스텝 S200). 즉 제11도에 나타내는 바와 같이, CCD 카메라(49)에서 얻어진 화상데이터(계조데이터)에 의거하여 투과구멍의 투과구멍영역(SMe)(평활화 처리영역)에 대한 X축을 따른 농도 단면 그래프를 작도 또는 연산하고, X축에 따른 양단좌표 (Xa, Xb)를 각행에 걸쳐 구한다. 또한, Y축에 따른 농도 단면 그래프에서 Y축에 따른 양단좌표(Ya, Yb)를 각렬에 걸쳐 구한다. 그리고, 이 결과로부터 좌표원점(XO, YO)을 구한다.

이렇게 하여 데이터 영역의 확정, 좌표원점(XO, YO)의 산출 후에는, 상기 실시예에서의 스텝(S134)의 셰이딩 보정이 끝난 계조데이터(320×256)에 대해서, 메디안필터(M/F)에 의한 평활화 처리(스텝 S202∼252)를 행한다. 이 평활화 처리에서는, 우선 1×5의 필터윈드를 가지는 M/F에 의한 메디안처리(M/F 처리)의 대상이 되는 좌표(Xs, Ys)를 (Xi, Yj)로 결정한다(스텝 S202). 이것에 의해 M/F 처리는, 이 결정된 좌표(Xi, Yj)에서 개시된다.

그후는, 이 M/F 처리좌표(Xi, Yj)를 포함하는 Yj행의 투과구멍행에 대해서 셰이딩 보정이 끝난 계조데이터(320×256)에서 데이터를 빼낸다(스텝 S204). 이 경우, M/F 처리좌표(Xi, Yj)가 (XO, YO)이면, 스텝(204)의 처리에 의해, 제12도에 나타내는 바와 같이 Yj행(X축)의 투과구멍행의 계조데이터가(320×1) 빼내어진다. 한편, 이하의 설명에서는 설명의 편의상 최초의 M/F 처리좌표(Xi, Yj)를 좌표원점(XO, YO)으로 하여 설명한다.

계속하여, 상기 빼낸 1렬의 계조데이터에 대해서 (XO, YO)에서 M/F 처리를 행한다(스텝S206). 이 M/F 처리에서는, 제13도에 나타내는 바와 같이 M/F 처리좌표(XO, YO)의 데이터"3"이 필터윈드의 중앙에 오도록 1×5의 M/F의 필터윈드에 0,3,3,4,2의 5개의 데이터를 이와 같은 순으로 저장한다(제13도(a)). 다음에 이들 데이터를 그 크기의 순(0,2,3,3,4)으로 나열한 데이터열의 중앙의 위치에 오는 데이터 "3"을 출력치로 한다. 이 출력치 "3"은, 메디안 필터완료데이터(M/F 데이터)에서의 좌표(XO, YO)에 출력되어 축적된다.

이어서, i를 1만큼 인클리멘트하여 M/F 처리좌표(Xi, Yj)(=(XO,YO))를 1데이터분 우로 이동하고(스텝 S208), 이동후의 좌표(Xi+1, Yj)에 대해서 M/F 처리할 때에 저장하는 데이터수에 부족이 없는가, 구체적으로는 데이터수가 5미만인지 아닌지를 판단한다.(스텝 S210). 여기에서, 부정판단할 때까지 스텝(S206,208)을 반복한다. 즉 (XO, YO)에서 1데이터분 우로 이동한 M/F 처리좌표(X1,YO)에서는, 필터윈드에 저장한 3, 3, 4, 2, 5의 배열바꿈후에 데이터열(2, 3, 3, 4, 5)에서 얻은 출력치 "3"을 (제13도(b)), M/F 데이터에서 좌표(X1, YO)의 데이터로 한다. 그리고, 스텝(S210)에서 부정판단을 받아 필터윈드에 5개의 데이터가 과부족 없이 저장될 때까지 즉, 제13도(c)에 나타내는 바와 같이 데이터열의 우단에서 필터윈드에 5개의 데이터를 저장할 때 까지는 상기한 바와 같이 5개의 데이터에 대해서 M/F 처리가 반복되어 행하여 진다. 상기 제13도 (c)에 나타내는 출력치 "2"는, M/F의 필터윈드를 1×n(n은 자연수, 본 실시예에서는 n=5)으로 한 경우, 좌표(Xb-(n-1)/2, Yj) (본 실시예에는 (Xb-2, Yj)의 데이터가 된다.

또한, 스텝(S210)에서의 판단을 1×n(n은 홀수, 본 실시예에서는 n=5)의 M/F로 한 경우, 우 이동후의 좌표(Xi+1, Yj)가 (Xb-(n-4), Yj) (본실시예에서는 (Xb-1, Yj))인지 아닌 지의 판단으로 바꿀 수도 있다.

한편, 제13도 (c)에 나타내는 M/F 처리후의 스텝(S208)에서 M/F 처리좌표의 1데이터분 우로 이동한 경우에는 필터윈드으로의 저장데이터수가 4가 되므로 이어지는 스텝(S210)에서는 부정 판단된다. 따라서, 이 경우에는 이하에 나타내는 우단부 M/F 처리를 행한다(스텝S212).

상기 우단부 M/F 처리에서는, 필터윈드의 데이터 수보다 작은 홀수개의 데이터, 본 실시예에서는, 데이터수가 3개의 경우와 데이터수가 1개의 경우가 되도록 M/F 처리좌표(Xi, Yj)를 우로 이동하면서 3개 및 1개의 데이터에 대한 데이터를 받아들이고, 배열 바꿈 및 출력치의 취득을 행한다. 즉, 제13도 (d)에 나타내는 바와 같이, 2, 1, 2의 데이터를 필터윈드에 저장하고 그 배열 바꿈을 행하여 그 데이터열(1, 2, 2)의 중앙의 위치에 오는 데이터 "2" 를 출력치로 한다. 이 출력치 "2"를 M/F 데이터에서의 좌표(Xb-1, YO)의 데이터로 한다. 다음에 제13도(e)에 나타내는 바와 같이, 1개의 데이터 "2"를 중앙의 위치에 오는 데이터로서 출력치로 한다. 이 출력치 "2"를 M/F 데이터에서의 좌표(Xb, YO)의 데이터로 한다.

또한, 상술한 바와 같이 중앙에 위치하는 데이터를 용이하게 취득할 수 있으므로 홀수개의 데이터에 대해서 행하는 것이 바람직하다. 그러나, 홀수개의 데이터에 한정하는 것이 아니라, 짝수개의 데이터라도 물론 용이하다. 짝수개의 데이터에 대한 경우, 예를 들면 (1, 5, 9, 8, 7, 3)의 6개의 데이터의 경우에는, 이 6개의 데이터를 배열 바꿈을 하여(1, 3, 5, 7, 8, 9)로 하고, 그 중앙에 위치하는 데이터를 "5" 또는 "7"중 하나로 한다. 또는 양자의 평균치인 (5+7)/2=6을 중앙에 위치하는 데이터로 하면 중앙치에 위치하는 데이터를 취득할 수 있다.

상기한 스텝(S212)에 이어서 빼낸 Yj행의 투과구멍행의 데이터열의 좌측의 데이터에 대해서 M/F 처리를 행하기 위해 우선 M/F 처리 개시좌표(Xi, Yj)에 M/F의 필터윈드를 복귀시킨다(스텝 S214). 그후 i를 값 1만큼 디클리멘트하여 M/F 처리좌표(Xi, Yj) (=(XO, YO))를 1데이터분 좌로 이동한다(스텝 S216). 이 이동후의 좌표(Xi-1, Yj)(=(X-1, YO))가 데이터 열좌측에 대해서 M/F 처리할 때의 최초의 처리 좌표가 된다.

이어서, 이 이동후의 좌표(Xi-1, Yj)(=(X-1, YO))에서 상기한 바와 같이 하여 M/F 처리를 순차 행한다. 즉 스텝(S216)에 이어서는 (X-1, YO)에서의 M/F 처리(스텝 S218), M/F 처리좌표의 1데이터분의 좌이동(스텝 S220), 이동후의 좌표에서의 저장데이터수 판단(스텝 S222)과 스텝 (S218∼220)의 반복, 데이터수 부족시의 좌단부 M/F처리(스텝 S224)가 행해진다. 따라서, 제14도에 나타내는 바와 같이, 좌표(Xi-1, Yj)에서 좌표(Xa, Yj)까지에 걸쳐 M/F 데이터가 축적되고, 스텝(S202∼224)까지의 처리에 의해, 빼낸 Yj행의 투과구멍행과 같은 데이터수(320×1)의 M/F 데이터가 작성된다.

이러한 Yj행의 투공행에 대한 M/F 처리에 이어서, 제10도에 나타내는 바와 같이, Yj행 이외의 각행이 투과구멍판에 대해서도 이와 같은 처리, 즉 M/F 처리개시좌표의 결정, 데이터 빼내기, 개시좌표에서의 우측의이터에 대한 M/F 처리, 좌측의 데이터에 대한 M/F 처리 및 각행에 대한 이들 처리의 반복을 행한다. 이것에 의해 빼낸 각행의 투과구멍행에 대한 M/F 데이터가 작성된다. 따라서, 스텝(S224)에 이어서는 320×1의 M/F 데이터를 모든 행에 대해서 모으고, 320×256의 크기의 M/F 데이터를 구축한다(스텝 S226). 이하, 이 스텝(S228)으로 구축된 M/F 데이터를 1차 M/F 데이터로 부르기로 한다.

상기한 1차 M/F 데이터의 구축에 이어서, 5×1의 필터윈드를 가지는 M/F에 의한 메디안필터처리를, 상기 구축이 끝난 1차 M/F 데이터에 대해서 행하고(스텝 S228∼250), 스텝(S252)에서 2차 M/F 데이터가 구축된다. 이 5×1의 M/F에 의한 M/F 처리에서는, 그 처리의 대상이 되는 데이터가 1차 M/F 데이터인 점과, M/F의 필터윈드가 5×1인 점이 상기한 M/F 처리와 다르므로, 데이터의 빼냄은 X렬의 데이터에 대해 행하여지고, M/F 처리는 Y축을 따른 M/F의 이동과 함께 행해지는 점이 다른 것에 지나지 않는다. 따라서, 그 상세한 설명에 대해서는 생략한다.

이렇게 여 5×1의 M/F에 의한 처리를 거쳐 구축된 2차 M/F 데이터는 320×256의 크기의 데이터이며, 생화상의 계조데이터와 같은 크기가 된다. 그리고, 스텝(S252)에 이어서, 제6도의 스텝(S136, 137)의 처리를 행한다. 즉, 압축과 셰이딩보정이 난 계조데이터를 2차 M/F 데이터로 연산하여, 생화상에 대한 규격화 데이터를 구하고, 이 규격화데이터에 의거한 화상을 디스플레이(52)에 표시한다. 이때 표시모양은 이미 기술한 불균일화상(SMGO)과 동일하다(제7도 참조).

상기 제2실시예의 새도우 마스크 검사장치(30)에서는, M/F 처리를 1×5의 M/F와 5×1의 M/F로 2단계로 나누어 행한다. 따라서, 제2실시예의 새도우마스크 검사장치(30)에 의하면, M/F 처리시의 연산부하의 경감을 통하여 그 연산속도를 향상시키고, 불균일화상표시를 신속히 행하여 검사시간의 단축화를도모할 수 있다.

또한 제2실시예의 섀도우마스크 검사장치(30)에서는, 필터윈드의 데이터 수보다 적은 홀수개의 데이터에 대한 데이터의 받아들이기, 배열바굼 및 출력치의 취득을 행한다. 따라서, CCD 카메라(49)에서 촬상한 생호상의 데이터 수와 2차 M/F 데이터와의 데이터 수를 정합시키고, 섀도우마스크(SM)의 투과구멍의 투과구멍영역(SMe)의 에지 주변에서의 계조데이터를 그대로 이용하여 M/F 데이터를 얻을 수 있다. 이 결과 제2실시예의 섀도우마스크 검사장치(30)에 의하면 불균일 화상을 에지 주변의 생데이터의 반영을 통하여 한층 깨끗하게 표시하여 불균일을 현재화시킬 수 있으므로 비약적인 육안검사의 간략화와 검사정도의 향상을도모할 수 있다.

이상 본 발명의 실시예에 대해서 설명하였지만, 본 발명은 이와 같은 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 종류의 형태로 실시할 수 있는 것은 당연하다.

예를 들면, 메디안 필터에 의한 평활화처리를 대신하여, 이동평균치나 4차식 근사법에 의한 평활화처리를 채용할 수도 있다. 이들의 평활화처리에서는 제15도에 나타내는 바와 같이, 섀도우마스크(SM)에 윈드를 걸치고, 그 윈드내의 화상의농도(계조데이터)를 총합계하여 평균치(Rav)를 구한다. 그리고 농도 합계, 평균데이터의 이동평균 혹은 최소 2승법에 의한 4차원 근사를 거쳐, 평활화하여 그레이드를 구한다. 그후, 이 그레이드의 데이터로 농도합계 데이터를 제산하고 규격화하여 불균일 화상을 표시한다.

더욱이, 검사하는 불균일의 종류에 의해 1차의 필터윈드의 사이즈와 2차의 필터윈드의 사이즈를 바꾸어도 된다. 예를 들면, 주로 선불균일을 검사하는 경우, 1×5의 M/F와 7×1의 M/F를 이용한다. 또한, 요구되는 검사품질등에 다라 필터윈드의 사이즈를 그때마다 가변으로 설정하는 구성을 취할 수도 있다.

이상 상술한 바와 같이 청구항 1에 기재한 투과구멍판의 검사방법에서는, 투과구멍판에서 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 강조하고 표시하여 검사원에게 제공한다. 이 때문에, 검사원은 검사대상의 투과구멍판에 대해서 불균일이 강조된 화상을 육안으로 양부판단을 하면 되고, 고도의 숙련이나 상당한 경험을 필요로 하지 않는다. 따라서 투과구멍판의 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일의 육안검사를 간략화할 수 있음과 동시에, 그 육안검사의 검사정밀도를 향상시킬 수 있다.

청구항 2에 기재한 투과구멍판의 검사방법에서는, 검사원은 한도 견본의 투과구멍판과 검사대상의 투과구멍판에 대한 불균일화상을 대비하여 육안검사할 수 있다. 따라서, 육안검사를 보다 간략화 할 수 있으며, 검사정밀도를 보다 더 향상시킬 수 있다.

청구항 3에 기재한 투과구멍판의 검사장치에서는, 투과구멍판에서 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 강조하고 표시하여 검사원에게 제공한다. 이 때문에 검사원은 검사대상의 투과구멍판에 대해서 불균일이 강조된 화상을 육안으로 양부 판단하면 되고, 고도의 숙련이나 상당한 경험을 필요로 하지 않는다. 따라서, 투과구멍판의 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일의 육안검사를 간략화 할 수 있음과 동시에, 그 육안검사의 검사정밀도를 향상시킬 수 있다.

청구항 4에 기재한 투과구멍판의 검사장치에서는, 검사원은 한도 견본의 투과구멍판과 검사대상의 투과구멍판에 대한 불균일 화상을 대비하여 육안검사할 수 있다. 따라서, 육안검사를 보다 간략화 할 수 있으며, 검사정밀도를 보다 향상시킬 수 있다.

청구항 5에 기재한 투과구멍판의 검사장치에서는, m행 n렬의 필터윈드를 가지는 메디안필터에 의한 평활화 처리를 통하여, 계조데이터에서의 효과적인 잡음 저감, 작은 변동의 평활화를도모한다. 따라서, 광투과율의 불균일이 보다 강조된 화상이 얻어지므로 육안검사의 검사정밀도를 보다 향상시킬 수 있다.

청구항 6에 기재한 투과구멍판의 검사장치에서는, 메디안 필터에 의한 평활화 처리를 2단계로 나누어 행하여 평활화처리마다 연산부하를 저시킨다. 따라서 평활화 처리 속도를 향상하여 검사시간을 단축시킬 수 있다.

청구항 7에 기재한 투과구멍판의 검사장치에서는, 메디안 필터에 의한 평활한 처리를 2단계로 나누어 행하여 평활화 처리마다 연산부하를 저감시킨다. 따라서, 평활화 처리속도를 향상하여 검사시간을 단축시킬 수 있다.

청구항 8 내지 10에 기재한 투과구멍판의 검사장치에서는, 평활화 데이터와 계조데이터의 데이터수의 정합과, 투과구멍판이 투과구멍영역의 주변에서의 계조데이터의 평활화 처리를도모할 수 있다. 따라서, 계조데이터를 평활화 데이터에서 제산할 때, 투과구멍판에서의 계조데이터와 평활화 데이터의 위치맞춤을 행할 필요가 없으므로 제산처리속도를 단축시킬 수 있음과 동시에 투과구멍영역의 주변에서의 불균일 화상을 얻을 수 있다.

Claims (10)

1. 다수의 투과구멍이 대개 주기적으로 배열된 투과구멍판에 대해서 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 검사하는 투과구멍판의 검사방법에 있어서, 상기 투과구멍판의 한쪽의 주면 측에서 광을 조사하는 조사공정과, 상기 투과구멍판을 다른 쪽의 주면 측에서 촬상하여, 상기 촬상화상의 계조데이터를 구하는 촬상공정과, 상기 계조데이터를 소정의 필터에 의해 평활화처리하여 평활화 데이터를 구하는 평활화 공정과, 상기 계조데이터를 상기 평활화 데이터에서 제산하여, 상기 촬상화상의 규격화 데이터를 산출하는 규격화 공정과, 상기 규격화 데이터에 기초해서, 검사대상인 상기 투과구멍판의 다른 쪽의 주면을 표시하는 피검사투과구멍판 표시공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 불균일의 정도가 허용되는 범위인 양품의 투과구멍판, 또는 상기 불균일의 정도가 허용되지 않는 범위인 불량품의 투과구멍판인 한도(限度)견본에 대해서인 상기 규격화 데이터를 준비하는 준비공정과, 상기 한도견본의 규격화 데이터에 기초해서, 한도견본의 상기 다른 쪽의 주면을 표시하는 한도견본 표시공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사방법.
3. 다수의 투과구멍이 대개 주기적으로 배열된 투과구멍판에 대해서, 투과구멍의 치수이상에 기인한 광투과율의 불균일을 검사하는 투과구멍판의검사장치에 있어서, 상기 투과구멍판을 지지하는 지지수단과, 상기 지지수단에 지지된 투과구멍판의 한쪽의 주면측에서 광을 조사하는 조사수단과, 상기 지지수단에 의해 지지된 투과구멍판을 다른 쪽의 주면 측에서 촬상하여, 상기 촬상화상에 계조 데이터를 구하는 촬상수단과, 상기 계조데이터를 소정의 필터에 의해 평활화처리하여 평활화데이터를 구하는 평활화 수단과, 상기 계조데이터를 상기 평활화 데이터에서 제산하여, 상기 촬상화상의 규격화 데이터를 산출하는 규격화 수단과, 상기 규격화 데이터에 기초해서, 검사 대상인 상기 투과구멍판의 다른 쪽의 주면을 표시하는 표시수단을 가지는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
4. 제3 항에 있어서, 상기 불균일의 정도가 허용되는 범위인 양품의 투과구멍판, 또는 상기 불균일의 정도가 허용되지 않는 범위인 불량품의 투과구멍판인 한도견본에 대한 상기 규격화 데이터를 기억하는 기억수단을 더 가지고, 상기 표시수단이, 검사대상인 투과구멍판의 다른 쪽의 주면을 표시함과 동시에 상기 한도 견본의 규격화 데이터에 기초해서 한도견본의 상기 다른 쪽의주면을 표시하는 수단인 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 평활화 수단이 평활화처리할 때의 상기 소정의 필터가, m행 n렬(mn은 자연수)의 필터 윈드를 가지는 메디안 필터인 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
6. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 평활화 수단이, m행 1렬(m은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 상기 계조데이터를 평활화 처리하여 제1평활화 데이터를 구하는 수단과, 1행 n렬(n은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 상기 제1평활화 데이터를 평활화처리하여 상기 평활화 데이터를 구하는 수단과 구비하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
7. 제3 항 또는 제4 항에 있어서, 상기 평활화 수단이, 1행 n렬(n은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안필터로 상기 계조데이터를 평활화처리하여 제2평활화 데이터를 구하는 수단과, m행 1렬(m은 자연수)의 필터윈드를 가지는 메디안 필터로 상기 제2평활화 데이터를 평활화처리하여 상기 평활화 데이터를 구하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
8. 제5항에 있어서, 상기 평활화 수단이, 투과구멍판의 투과구멍이 형성된 범위인 투과구멍영역의 주변의 계조 데이터이며 상기 메디안 필터의 필터윈드를 만족하지 않는 데이터수의 계조데이터에 대해서 상기 필터윈드를 만족하지 않는 데이터수의 계조데이터를 그 크기의 순으로 배열하였을 때에 중앙에 오는 데이터를 출력 데이터로 하는 메디안 필터를 이용하여 평활화처리를 하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
9. 제6항에 있어서, 상기 평활화 수단이, 투과구멍판의 투과구멍이 형성된 범위인 투과구멍영역의 주변의 계조 데이터이며 상기 메디안 필터의 필터윈드를 만족하지 않는 데이터수의 계조데이터에 대해서, 상기 필터윈드를 만족하지 않는 데이터수의 계조데이터를 그 크기의 순으로 배열하였을 때에 중앙에 오는 데이터를 출력 데이터로 하는 메디안 필터를 이용하여 평활화처리를 하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.
10. 제7항에 있어서, 상기 평활화 수단이, 투과구멍판의 투과구멍이 형성된 범위인 투과구멍영역의 주변의 계조 데이터이며 상기 메디안 필터의 필터윈드를 만족하지 않는 데이터수의 계조데이터에 대해서, 상기 필터윈드를 만족하지 않는 데이터수의 계조데이터를 그 크기의 순으로 배열하였을 때에 중앙에 오는 데이터를 출력 데이터로 하는 메디안 필터를 이용하여 평활화 처리를 하는 것을 특징으로 하는 투과구멍판의 검사장치.