JPH10197453A - 光学的むら検査装置および光学的むら検査方法 - Google Patents
光学的むら検査装置および光学的むら検査方法Info
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- JPH10197453A JPH10197453A JP9005721A JP572197A JPH10197453A JP H10197453 A JPH10197453 A JP H10197453A JP 9005721 A JP9005721 A JP 9005721A JP 572197 A JP572197 A JP 572197A JP H10197453 A JPH10197453 A JP H10197453A
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- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
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- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 対象物の光学的むらを自動的にばらつきなく
検査することができる光学的むら検査装置および光学的
むら検査方法を提供することである。 【解決手段】 ＣＣＤカメラ１７により検査対象物１０
０を撮像し、検査対象物１００の画像に対応する画像デ
ータを出力する。画像データを規格化することにより規
格化画像データを得る。規格化画像データの画素の値の
平均値を基準として平均値よりも低い第１のしきい値お
よび平均値よりも高い第２のしきい値を１組以上設定す
る。各組の第１のしきい値よりも低い値を有する画素お
よび第２のしきい値よりも高い値を有する画素を各組ご
とに抽出する。抽出された画素の数を各組ごとにカウン
トする。各組ごとに得られたカウント値に基づいて光学
的むらの有無を判定する。
検査することができる光学的むら検査装置および光学的
むら検査方法を提供することである。 【解決手段】 ＣＣＤカメラ１７により検査対象物１０
０を撮像し、検査対象物１００の画像に対応する画像デ
ータを出力する。画像データを規格化することにより規
格化画像データを得る。規格化画像データの画素の値の
平均値を基準として平均値よりも低い第１のしきい値お
よび平均値よりも高い第２のしきい値を１組以上設定す
る。各組の第１のしきい値よりも低い値を有する画素お
よび第２のしきい値よりも高い値を有する画素を各組ご
とに抽出する。抽出された画素の数を各組ごとにカウン
トする。各組ごとに得られたカウント値に基づいて光学
的むらの有無を判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、対象物の濃度のむ
ら、光透過率のむら等の光学的むらの有無を検査する光
学的むら検査装置および光学的むら検査方法に関する。
ら、光透過率のむら等の光学的むらの有無を検査する光
学的むら検査装置および光学的むら検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラーブラウン管用のシャドウマスク、
ディスプレイパネル、フィルム、紙等のシート状物は、
均一またはほぼ均一な濃度または透過率を有するように
製造される。このようなシート状物の検査段階では、製
造されたシート状物に濃度や光透過率のむらがないかど
うかを判定する必要がある。
ディスプレイパネル、フィルム、紙等のシート状物は、
均一またはほぼ均一な濃度または透過率を有するように
製造される。このようなシート状物の検査段階では、製
造されたシート状物に濃度や光透過率のむらがないかど
うかを判定する必要がある。
【０００３】例えば、シャドウマスクは、フォトエッチ
ング法を用いて金属薄板に多数の透孔をほぼ周期的に形
成することにより製造される。上記の多数の透孔に局所
的な寸法異常があると、シャドウマスクに光透過率のむ
らが発生する。このようなシャドウマスクの光透過率の
むらの有無は、通常、検査員の目視により判定される。
ング法を用いて金属薄板に多数の透孔をほぼ周期的に形
成することにより製造される。上記の多数の透孔に局所
的な寸法異常があると、シャドウマスクに光透過率のむ
らが発生する。このようなシャドウマスクの光透過率の
むらの有無は、通常、検査員の目視により判定される。
【０００４】この場合、良品のシャドウマスクであって
も、許容される範囲の光学的むらが存在している。検査
員は、検査対象となるシャドウマスクを目視しながらそ
のシャドウマスクのむらを経験的に認識している良品の
シャドウマスクのむらと比べることにより検査対象とな
るシャドウマスクの良否を判定する。
も、許容される範囲の光学的むらが存在している。検査
員は、検査対象となるシャドウマスクを目視しながらそ
のシャドウマスクのむらを経験的に認識している良品の
シャドウマスクのむらと比べることにより検査対象とな
るシャドウマスクの良否を判定する。
【０００５】このような良否の判定には、高度の熟練お
よび相当な経験が必要である。また、熟練の程度や経験
がほぼ同一であっても、検査員の個人差や健康状態によ
り良否の判定結果がばらつくことがある。
よび相当な経験が必要である。また、熟練の程度や経験
がほぼ同一であっても、検査員の個人差や健康状態によ
り良否の判定結果がばらつくことがある。
【０００６】一方、特開平３−６１８０５号公報には、
二次元的なむらの検査装置が開示されている。この検査
装置では、試料面を二次元的に撮像し、その撮像データ
を、ある幅を有する中間レベルと、その中間レベルを上
に超過しているレベルと、その中間レベルを下に超過し
ているレベルとに変換し、３値で画像表示している。
二次元的なむらの検査装置が開示されている。この検査
装置では、試料面を二次元的に撮像し、その撮像データ
を、ある幅を有する中間レベルと、その中間レベルを上
に超過しているレベルと、その中間レベルを下に超過し
ているレベルとに変換し、３値で画像表示している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の検査装置
によれば、二次元的なむらが見やすくなるが、検査対象
物が良品であるか否かの最終的な判断は検査員に委ねら
れており、自動的にむらを検出することはできない。そ
のため、上記の検査装置を用いても良否判断に高度の熟
練と相当の経験が必要となり、また検査員の個人差や健
康状態により良否の判定結果がばらつくこともある。
によれば、二次元的なむらが見やすくなるが、検査対象
物が良品であるか否かの最終的な判断は検査員に委ねら
れており、自動的にむらを検出することはできない。そ
のため、上記の検査装置を用いても良否判断に高度の熟
練と相当の経験が必要となり、また検査員の個人差や健
康状態により良否の判定結果がばらつくこともある。
【０００８】本発明の目的は、対象物の光学的むらを自
動的にばらつきなく検査することができる光学的むら検
査装置および光学的むら検査方法を提供することであ
る。
動的にばらつきなく検査することができる光学的むら検
査装置および光学的むら検査方法を提供することであ
る。
【０００９】
（１）第１の発明 第１の発明に係る光学的むら検査装置は、対象物の光学
的むらを検査する光学的むら検査装置であって、規格化
手段、設定手段、抽出手段、計数手段および判定手段を
備える。
的むらを検査する光学的むら検査装置であって、規格化
手段、設定手段、抽出手段、計数手段および判定手段を
備える。
【００１０】規格化手段は、対象物の画像に対応する画
像データを規格化することにより規格化画像データを得
る。設定手段は、規格化手段により得られた規格化画像
データの画素の値の平均値を基準として平均値よりも低
い第１のしきい値および平均値よりも高い第２のしきい
値を１組以上設定する。抽出手段は、規格化手段により
得られた規格化画像データにおいて設定手段により設定
された各組の第１のしきい値よりも低い値を有する画素
および第２のしきい値よりも高い値を有する画素を各組
ごとに抽出する。計数手段は、抽出手段により抽出され
た画素の数を各組ごとに計数する。判定手段は、計数手
段により各組ごとに得られた計数値に基づいて光学的む
らの有無を判定する。
像データを規格化することにより規格化画像データを得
る。設定手段は、規格化手段により得られた規格化画像
データの画素の値の平均値を基準として平均値よりも低
い第１のしきい値および平均値よりも高い第２のしきい
値を１組以上設定する。抽出手段は、規格化手段により
得られた規格化画像データにおいて設定手段により設定
された各組の第１のしきい値よりも低い値を有する画素
および第２のしきい値よりも高い値を有する画素を各組
ごとに抽出する。計数手段は、抽出手段により抽出され
た画素の数を各組ごとに計数する。判定手段は、計数手
段により各組ごとに得られた計数値に基づいて光学的む
らの有無を判定する。
【００１１】第１の発明に係る光学的むら検査装置にお
いては、規格化画像データにおいて、第１のしきい値よ
りも低い値を有する画素および第２のしきい値よりも高
い値を有する画素が各組ごとに抽出され、抽出された画
素の数が各組ごとに計数され、その計数値に基づいて光
学的むらの有無が判定される。この場合、計数値は、第
１のしきい値と第２のしきい値との差よりも大きな変動
幅を有するむらの面積を示している。
いては、規格化画像データにおいて、第１のしきい値よ
りも低い値を有する画素および第２のしきい値よりも高
い値を有する画素が各組ごとに抽出され、抽出された画
素の数が各組ごとに計数され、その計数値に基づいて光
学的むらの有無が判定される。この場合、計数値は、第
１のしきい値と第２のしきい値との差よりも大きな変動
幅を有するむらの面積を示している。
【００１２】このように、第１および第２のしきい値で
定まる幅よりも大きい変動幅を有するむらの面積に基づ
いて光学的むらの有無が判定される。この場合、第１お
よび第２のしきい値を任意の値に設定することにより、
任意の変動幅を有するむらを検出することができる。し
たがって、一定の基準を超える光学的むらの有無を自動
的にかつ高い自由度でばらつきなく判定することが可能
となる。
定まる幅よりも大きい変動幅を有するむらの面積に基づ
いて光学的むらの有無が判定される。この場合、第１お
よび第２のしきい値を任意の値に設定することにより、
任意の変動幅を有するむらを検出することができる。し
たがって、一定の基準を超える光学的むらの有無を自動
的にかつ高い自由度でばらつきなく判定することが可能
となる。
【００１３】（２）第２の発明 第２の発明に係る光学的むら検査装置は、第１の発明に
係る光学的むら検査装置の構成において、設定手段が第
１および第２のしきい値を複数組設定し、判定手段が、
計数手段により各組ごとに得られた計数値の加重和を算
出し、加重和を判定基準値と比較することにより光学的
むらの有無を判定するものである。
係る光学的むら検査装置の構成において、設定手段が第
１および第２のしきい値を複数組設定し、判定手段が、
計数手段により各組ごとに得られた計数値の加重和を算
出し、加重和を判定基準値と比較することにより光学的
むらの有無を判定するものである。
【００１４】この場合、加重和の算出において各組の計
数値に与える重み係数および判定基準値をそれぞれ任意
の値に設定することにより、任意の変動幅および任意の
大きさを有する光学的むらを選択的に検出することが可
能となる。
数値に与える重み係数および判定基準値をそれぞれ任意
の値に設定することにより、任意の変動幅および任意の
大きさを有する光学的むらを選択的に検出することが可
能となる。
【００１５】（３）第３の発明 第３の発明に係る光学的むら検査装置は、第１または第
２の発明に係る光学的むら検査装置の構成において、対
象物を撮像して画像を取り込み、取り込んだ画像を画像
データとして規格化手段に与える画像入力手段をさらに
備えたものである。
２の発明に係る光学的むら検査装置の構成において、対
象物を撮像して画像を取り込み、取り込んだ画像を画像
データとして規格化手段に与える画像入力手段をさらに
備えたものである。
【００１６】この場合、対象物の画像に対応する画像デ
ータの取り込みから光学的むらの有無の判定までが自動
的に行われる。
ータの取り込みから光学的むらの有無の判定までが自動
的に行われる。
【００１７】（４）第４の発明 第４の発明に係る光学的むら検査装置は、第１、第２ま
たは第３の発明に係る光学的むら検査装置の構成におい
て、規格化手段が、画像データにおける低周波成分を除
去することにより規格化を行うものである。
たは第３の発明に係る光学的むら検査装置の構成におい
て、規格化手段が、画像データにおける低周波成分を除
去することにより規格化を行うものである。
【００１８】これにより、対象物の性質に起因する画像
データの低周波成分や光学系に起因する画像データの低
周波成分が除去されるので、光学的むらの有無の判定が
正確に行われる。
データの低周波成分や光学系に起因する画像データの低
周波成分が除去されるので、光学的むらの有無の判定が
正確に行われる。
【００１９】（５）第５の発明 第５の発明に係る光学的むら検査方法は、対象物の光学
的むらを検査する光学的むら検査方法であって、対象物
の画像に対応する画像データを規格化することにより規
格化画像データを算出し、算出された規格化画像データ
の画素の値の平均値を基準として平均値よりも低い第１
のしきい値および平均値よりも高い第２のしきい値を１
組以上設定し、算出された規格化画像データにおいて設
定された各組の第１のしきい値よりも低い値を有する画
素および第２のしきい値よりも高い値を有する画素を各
組ごとに抽出し、抽出された画素の数を各組ごとに計数
し、各組ごとに得られた計数値に基づいて光学的むらの
有無を判定するものである。
的むらを検査する光学的むら検査方法であって、対象物
の画像に対応する画像データを規格化することにより規
格化画像データを算出し、算出された規格化画像データ
の画素の値の平均値を基準として平均値よりも低い第１
のしきい値および平均値よりも高い第２のしきい値を１
組以上設定し、算出された規格化画像データにおいて設
定された各組の第１のしきい値よりも低い値を有する画
素および第２のしきい値よりも高い値を有する画素を各
組ごとに抽出し、抽出された画素の数を各組ごとに計数
し、各組ごとに得られた計数値に基づいて光学的むらの
有無を判定するものである。
【００２０】第５の発明に係る光学的むら検査方法にお
いては、規格化画像データにおいて、第１のしきい値よ
りも低い値を有する画素および第２のしきい値よりも高
い値を有する画素が各組ごとに抽出され、抽出された画
素の数が各組ごとに計数され、その計数値に基づいて光
学的むらの有無が判定される。この場合、計数値は、第
１のしきい値と第２のしきい値との差よりも大きな変動
幅を有するむらの面積を示している。
いては、規格化画像データにおいて、第１のしきい値よ
りも低い値を有する画素および第２のしきい値よりも高
い値を有する画素が各組ごとに抽出され、抽出された画
素の数が各組ごとに計数され、その計数値に基づいて光
学的むらの有無が判定される。この場合、計数値は、第
１のしきい値と第２のしきい値との差よりも大きな変動
幅を有するむらの面積を示している。
【００２１】このように、第１および第２のしきい値で
定まる幅よりも大きい変動幅を有するむらの面積に基づ
いて光学的むらの有無が判定される。この場合、第１お
よび第２のしきい値を任意の値に設定することにより、
任意の変動幅を有するむらを検出することができる。し
たがって、一定の基準を超える光学的むらの有無を自動
的にかつ高い自由度でばらつきなく判定することが可能
となる。
定まる幅よりも大きい変動幅を有するむらの面積に基づ
いて光学的むらの有無が判定される。この場合、第１お
よび第２のしきい値を任意の値に設定することにより、
任意の変動幅を有するむらを検出することができる。し
たがって、一定の基準を超える光学的むらの有無を自動
的にかつ高い自由度でばらつきなく判定することが可能
となる。
【００２２】（６）第６の発明 第６の発明に係る光学的むら検査方法は、第５の発明に
係る光学的むら検査方法において、第１および第２のし
きい値を複数組設定し、各組ごとに得られた計数値の加
重和を算出し、加重和を判定基準値と比較することによ
り光学的むらの有無を判定するものである。
係る光学的むら検査方法において、第１および第２のし
きい値を複数組設定し、各組ごとに得られた計数値の加
重和を算出し、加重和を判定基準値と比較することによ
り光学的むらの有無を判定するものである。
【００２３】この場合、加重和の算出において各組の計
数値に与える重み係数および判定基準値をそれぞれ任意
の値に設定することにより、任意の変動幅および任意の
大きさを有する光学的むらを選択的に検出することが可
能となる。
数値に与える重み係数および判定基準値をそれぞれ任意
の値に設定することにより、任意の変動幅および任意の
大きさを有する光学的むらを選択的に検出することが可
能となる。
【００２４】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例における
光学的むら検査装置の正面図、図２は図１の光学的むら
検査装置の電気的構成を示すブロック図である。
光学的むら検査装置の正面図、図２は図１の光学的むら
検査装置の電気的構成を示すブロック図である。
【００２５】図１の光学的むら検査装置は、検査対象物
を撮像して画像データを得るための光学測定装置１０お
よび画像データに基づいて種々のデータ処理を行うデー
タ処理装置２０により構成されている。
を撮像して画像データを得るための光学測定装置１０お
よび画像データに基づいて種々のデータ処理を行うデー
タ処理装置２０により構成されている。
【００２６】光学測定装置１０においては、定盤１１上
に光源１３が配置され、光源１３の上方にガラス等から
なる拡散板１２が設けられている。光源１３としては、
例えば高周波点灯型の蛍光灯が使用される。拡散板１２
上には、図２に示すように、開口部１４ａを有するマス
ク板１４が載置され、このマスク板１４上に検査対象物
１００が固定される。なお、以下の説明では、検査対象
物１００がシャドウマスクである場合を説明する。この
場合、検査対象物１００は中央部に透孔領域１００ａを
有する。
に光源１３が配置され、光源１３の上方にガラス等から
なる拡散板１２が設けられている。光源１３としては、
例えば高周波点灯型の蛍光灯が使用される。拡散板１２
上には、図２に示すように、開口部１４ａを有するマス
ク板１４が載置され、このマスク板１４上に検査対象物
１００が固定される。なお、以下の説明では、検査対象
物１００がシャドウマスクである場合を説明する。この
場合、検査対象物１００は中央部に透孔領域１００ａを
有する。
【００２７】定盤１１には、上方に延びる支持アーム１
５が立設されており、この支持アーム１５にカメラ保持
部材１６が上下方向に移動可能に取り付けられている。
また、カメラ保持部材１６には、ＣＣＤカメラ１７が水
平方向に移動可能に取り付けられている。これにより、
種々のサイズの検査対象物１００の検査領域とＣＣＤカ
メラ１７の撮像領域とが一致するように、ＣＣＤカメラ
１７を上下および左右に移動させることができる。
５が立設されており、この支持アーム１５にカメラ保持
部材１６が上下方向に移動可能に取り付けられている。
また、カメラ保持部材１６には、ＣＣＤカメラ１７が水
平方向に移動可能に取り付けられている。これにより、
種々のサイズの検査対象物１００の検査領域とＣＣＤカ
メラ１７の撮像領域とが一致するように、ＣＣＤカメラ
１７を上下および左右に移動させることができる。
【００２８】ＣＣＤカメラ１７は、二次元ＣＣＤ（電荷
結合素子）を有し、画像の濃淡を画像データとして出力
する。
結合素子）を有し、画像の濃淡を画像データとして出力
する。
【００２９】データ処理装置２０は、ＣＣＤカメラ１７
のゲインおよびシャッタ速度を制御するカメラ制御装置
２１、後述する画像処理を行う画像処理装置２２、およ
び画像を表示するディスプレイ２３を含む。
のゲインおよびシャッタ速度を制御するカメラ制御装置
２１、後述する画像処理を行う画像処理装置２２、およ
び画像を表示するディスプレイ２３を含む。
【００３０】図２に示すように、光源１３から出射され
た光は、拡散板１２および検査対象物１００の透孔を順
次通過してＣＣＤカメラ１７に入射する。この場合、検
査対象物１００の透孔領域１００ａはマスク板１４の開
口部１４ａに位置決めされている。したがって、検査対
象物１００の透孔領域１００ａの周囲の領域はマスク板
１４によりマスクされる。
た光は、拡散板１２および検査対象物１００の透孔を順
次通過してＣＣＤカメラ１７に入射する。この場合、検
査対象物１００の透孔領域１００ａはマスク板１４の開
口部１４ａに位置決めされている。したがって、検査対
象物１００の透孔領域１００ａの周囲の領域はマスク板
１４によりマスクされる。
【００３１】ＣＣＤカメラ１７は、検査対象物１００の
画像を多値の画像データとして出力する。この画像デー
タは、カメラ制御装置２１を介して画像処理装置２２に
取り込まれる。
画像を多値の画像データとして出力する。この画像デー
タは、カメラ制御装置２１を介して画像処理装置２２に
取り込まれる。
【００３２】画像処理装置２２は、予め記憶されたプロ
グラムに従って後述する判定処理を行うＣＰＵ（中央演
算処理装置）３１、画像データおよびその他のデータを
一時的に記憶するＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等
からなる主記憶装置３２、データおよび各種指令を入力
するためのキーボード３３、画像データおよびその他の
データを記憶する補助記憶装置３４、および検査結果を
出力するためのプリンタ３５を備え、これらは互いにバ
スライン３６を介して接続されている。また、このバス
ライン３６には、カメラ制御装置２１およびディスプレ
イ２３が接続されている。
グラムに従って後述する判定処理を行うＣＰＵ（中央演
算処理装置）３１、画像データおよびその他のデータを
一時的に記憶するＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等
からなる主記憶装置３２、データおよび各種指令を入力
するためのキーボード３３、画像データおよびその他の
データを記憶する補助記憶装置３４、および検査結果を
出力するためのプリンタ３５を備え、これらは互いにバ
スライン３６を介して接続されている。また、このバス
ライン３６には、カメラ制御装置２１およびディスプレ
イ２３が接続されている。
【００３３】本実施例では、ＣＰＵ３１が規格化手段、
設定手段、計数手段および判定手段を構成し、ＣＣＤカ
メラ１７が画像入力手段を構成する。
設定手段、計数手段および判定手段を構成し、ＣＣＤカ
メラ１７が画像入力手段を構成する。
【００３４】次に、図３、図４および図５を参照しなが
ら図１の光学的むら検査装置の動作を説明する。図３は
画像データの規格化処理の一例を示す波形図、図４は光
学的むらの判定処理を示すフローチャート、図５は光学
的むらの判定処理におけるデータ処理を示す波形図であ
る。
ら図１の光学的むら検査装置の動作を説明する。図３は
画像データの規格化処理の一例を示す波形図、図４は光
学的むらの判定処理を示すフローチャート、図５は光学
的むらの判定処理におけるデータ処理を示す波形図であ
る。
【００３５】まず、図１の拡散板１２上に設置された検
査対象物１００がＣＣＤカメラ１７により撮像され、検
査対象物１００の画像が取り込まれる。ＣＣＤカメラ１
７は、検査対象物１００の画像を画像データとして画像
処理装置２２に転送する。画像処理装置２２は、光源１
３の照明特性、ＣＣＤカメラ１７のレンズ系の光学特性
および検査対象物１００の性質に起因する画像データの
大きな変動（低周波成分）を除去するために規格化処理
を行う。
査対象物１００がＣＣＤカメラ１７により撮像され、検
査対象物１００の画像が取り込まれる。ＣＣＤカメラ１
７は、検査対象物１００の画像を画像データとして画像
処理装置２２に転送する。画像処理装置２２は、光源１
３の照明特性、ＣＣＤカメラ１７のレンズ系の光学特性
および検査対象物１００の性質に起因する画像データの
大きな変動（低周波成分）を除去するために規格化処理
を行う。
【００３６】図３（ａ）はＣＣＤカメラ１７から出力さ
れる画像データの波形を示し、図３（ｂ）はその画像デ
ータを平滑化することにより得られる平滑化データの波
形を示し、図３（ｃ）は規格化処理により得られた規格
化画像データの波形を示す。図３の各波形において、横
軸は画素位置に相当し、縦軸は画素値に相当する。
れる画像データの波形を示し、図３（ｂ）はその画像デ
ータを平滑化することにより得られる平滑化データの波
形を示し、図３（ｃ）は規格化処理により得られた規格
化画像データの波形を示す。図３の各波形において、横
軸は画素位置に相当し、縦軸は画素値に相当する。
【００３７】図３の規格化処理では、画像データＤ１を
平滑化データＤ２で除算することにより規格化画像デー
タＤ３が得られる。このようにして得られた規格化画像
データＤ３は、画像処理装置２２の主記憶装置３２およ
び補助記憶装置３４に記憶される。
平滑化データＤ２で除算することにより規格化画像デー
タＤ３が得られる。このようにして得られた規格化画像
データＤ３は、画像処理装置２２の主記憶装置３２およ
び補助記憶装置３４に記憶される。
【００３８】次に、ＣＰＵ３１はこの規格化画像データ
の画素値の平均値を算出し、その平均値を基準として上
下にそれぞれ１つ以上のしきい値を設定する。すなわ
ち、画素値の平均値よりも予め設定された値だけ高いレ
ベルに１つ以上のしきい値を設定するとともに、平均値
よりも予め設定された値だけ低いレベルに１つ以上のし
きい値を設定する。
の画素値の平均値を算出し、その平均値を基準として上
下にそれぞれ１つ以上のしきい値を設定する。すなわ
ち、画素値の平均値よりも予め設定された値だけ高いレ
ベルに１つ以上のしきい値を設定するとともに、平均値
よりも予め設定された値だけ低いレベルに１つ以上のし
きい値を設定する。
【００３９】本実施例では、図５（ａ）に示すように、
平均値よりも高いレベルに２つのしきい値ｔｈＨ１，ｔ
ｈＨ２を設定し、平均値よりも低いレベルに２つのしき
い値ｔｈＬ１，ｔｈＬ２を設定する。ここで、ｔｈＨ２
＞ｔｈＨ１であり、ｔｈＬ２＜ｔｈＬ１である。このよ
うにして設定されたしきい値ｔｈＨ１，ｔｈＨ２，ｔｈ
Ｌ１，ｔｈＬ２は、主記憶装置３２および補助記憶装置
３４に記憶される。
平均値よりも高いレベルに２つのしきい値ｔｈＨ１，ｔ
ｈＨ２を設定し、平均値よりも低いレベルに２つのしき
い値ｔｈＬ１，ｔｈＬ２を設定する。ここで、ｔｈＨ２
＞ｔｈＨ１であり、ｔｈＬ２＜ｔｈＬ１である。このよ
うにして設定されたしきい値ｔｈＨ１，ｔｈＨ２，ｔｈ
Ｌ１，ｔｈＬ２は、主記憶装置３２および補助記憶装置
３４に記憶される。
【００４０】以下、ＣＰＵ３１は、主記憶装置３２また
は補助記憶装置３４に記憶された規格化画像データおよ
びしきい値ｔｈＨ１，ｔｈＨ２，ｔｈＬ１，ｔｈＬ２に
基づいて図４のフローチャートに示す光学的むらの判定
処理を行う。
は補助記憶装置３４に記憶された規格化画像データおよ
びしきい値ｔｈＨ１，ｔｈＨ２，ｔｈＬ１，ｔｈＬ２に
基づいて図４のフローチャートに示す光学的むらの判定
処理を行う。
【００４１】まず、主記憶装置３２または補助記憶装置
３４に記憶された規格化画像データおよびしきい値ｔｈ
Ｈ１，ｔｈＨ２，ｔｈＬ１，ｔｈＬ２を読み込む（ステ
ップＳ１）。
３４に記憶された規格化画像データおよびしきい値ｔｈ
Ｈ１，ｔｈＨ２，ｔｈＬ１，ｔｈＬ２を読み込む（ステ
ップＳ１）。
【００４２】次に、規格化画像データにおいて、しきい
値ｔｈＬ１以下の値を有する画素およびしきい値ｔｈＨ
１以上の値を有する画素を抽出し、抽出した画素を第１
の領域Ｒａとする（ステップＳ２）。具体的には、図５
（ｂ）に示すように、しきい値ｔｈＬ１以下の値を有す
る画素およびしきい値ｔｈＨ１以上の値を有する画素の
値を“１”で置き換え、残りの画素の値を“０”で置き
換える。
値ｔｈＬ１以下の値を有する画素およびしきい値ｔｈＨ
１以上の値を有する画素を抽出し、抽出した画素を第１
の領域Ｒａとする（ステップＳ２）。具体的には、図５
（ｂ）に示すように、しきい値ｔｈＬ１以下の値を有す
る画素およびしきい値ｔｈＨ１以上の値を有する画素の
値を“１”で置き換え、残りの画素の値を“０”で置き
換える。
【００４３】このとき、必要に応じて所定のノイズ除去
処理を行ってもよい。ノイズ除去処理としては、２値画
像の収縮・膨張処理、閉領域へのラベリング（番号付
け）後に微小面積要素を除去する処理等の公知の手法が
用いられる。
処理を行ってもよい。ノイズ除去処理としては、２値画
像の収縮・膨張処理、閉領域へのラベリング（番号付
け）後に微小面積要素を除去する処理等の公知の手法が
用いられる。
【００４４】次いで、第１の領域Ｒａの画素（値が
“１”である画素）の数をカウントし、カウント値をＡ
とする（ステップＳ３）。
“１”である画素）の数をカウントし、カウント値をＡ
とする（ステップＳ３）。
【００４５】次に、規格化画像データにおいて、しきい
値ｔｈＬ２以下の値を有する画素およびしきい値ｔｈＨ
２以上の値を有する画素を抽出し、抽出した画素を第２
の領域Ｒｂとする（ステップＳ４）。具体的には、図５
（ｃ）に示すように、しきい値ｔｈＬ２以下の値を有す
る画素およびしきい値ｔｈＨ２以上の値を有する画素の
値を“１”で置き換え、残りの画素の値を“０”で置き
換える。このときにも、必要に応じて所定のノイズ除去
処理を行ってもよい。
値ｔｈＬ２以下の値を有する画素およびしきい値ｔｈＨ
２以上の値を有する画素を抽出し、抽出した画素を第２
の領域Ｒｂとする（ステップＳ４）。具体的には、図５
（ｃ）に示すように、しきい値ｔｈＬ２以下の値を有す
る画素およびしきい値ｔｈＨ２以上の値を有する画素の
値を“１”で置き換え、残りの画素の値を“０”で置き
換える。このときにも、必要に応じて所定のノイズ除去
処理を行ってもよい。
【００４６】次いで、第２の領域Ｒｂの画素（値が
“１”である画素）の数をカウントし、カウント値をＢ
とする（ステップＳ５）。
“１”である画素）の数をカウントし、カウント値をＢ
とする（ステップＳ５）。
【００４７】その後、カウント値Ａ，Ｂに基づいて光学
的むらの有無を判定する（ステップＳ６）。例えば、次
式に示すようにカウント値Ａ，Ｂの加重和Ｓを算出す
る。
的むらの有無を判定する（ステップＳ６）。例えば、次
式に示すようにカウント値Ａ，Ｂの加重和Ｓを算出す
る。
【００４８】Ｓ＝ｍＡ＋ｎＢ・・・（１） 上式（１）において、ｍおよびｎは０以上の任意の値を
有する重み係数である。この加重和Ｓを予め定められた
判定基準値と比較し、加重和Ｓが判定基準値以上の場合
には検査対象物１００を不良品と判定し、加重和Ｓが判
定基準値よりも小さい場合には検査対象物１００を良品
と判定する。
有する重み係数である。この加重和Ｓを予め定められた
判定基準値と比較し、加重和Ｓが判定基準値以上の場合
には検査対象物１００を不良品と判定し、加重和Ｓが判
定基準値よりも小さい場合には検査対象物１００を良品
と判定する。
【００４９】この場合、重み係数ｍを大きく設定する
と、面積の大きい光学的むらが選択的に検出され、重み
係数ｎを大きく設定すると、変動幅の大きい光学的むら
が選択的に検出される。
と、面積の大きい光学的むらが選択的に検出され、重み
係数ｎを大きく設定すると、変動幅の大きい光学的むら
が選択的に検出される。
【００５０】また、カウント値Ａおよびカウント値Ｂを
別個に予め定められた判定基準値と比較することにより
検査対象物１００の良否を判定してもよい。
別個に予め定められた判定基準値と比較することにより
検査対象物１００の良否を判定してもよい。
【００５１】最後に、良否の判定結果をディスプレイ２
３に表示するとともにプリンタ３５に出力する（ステッ
プＳ７）。
３に表示するとともにプリンタ３５に出力する（ステッ
プＳ７）。
【００５２】このようにして、本実施例の光学的むら検
査装置においては、一定の基準を超える光学的むらの有
無が自動的にばらつきなく判定される。
査装置においては、一定の基準を超える光学的むらの有
無が自動的にばらつきなく判定される。
【００５３】この光学的むら検査装置では、しきい値ｔ
ｈＨ１，ｔｈＨ２，ｔｈＬ１，ｔｈＬ２を任意の値に設
定するとともに、判定基準値を任意の値に設定すること
により、任意の変動幅および任意の大きさの光学的むら
を選択的に検出することが可能となる。
ｈＨ１，ｔｈＨ２，ｔｈＬ１，ｔｈＬ２を任意の値に設
定するとともに、判定基準値を任意の値に設定すること
により、任意の変動幅および任意の大きさの光学的むら
を選択的に検出することが可能となる。
【００５４】これにより、画素値の変動幅は小さいが面
積の大きな光学的むらや、面積は小さいが画素値の変動
幅の大きな光学的むらのように、性質の異なるむらを選
択的に検出することも可能となる。
積の大きな光学的むらや、面積は小さいが画素値の変動
幅の大きな光学的むらのように、性質の異なるむらを選
択的に検出することも可能となる。
【００５５】なお、上記実施例では、２組のしきい値を
用いているが、必要に応じて３組以上のしきい値を用い
てもよく、あるいは１組のしきい値のみを用いてもよ
い。また、検査対象となる光学的むらが明暗のどちらか
に偏って存在することが予想される場合には、画素値の
平均値の上下のいずれかの側の複数のしきい値に同じ値
を設定してもよい。さらに、平均値と上側のしきい値と
の差および平均値と下側のしきい値との差を異ならせて
もよい。
用いているが、必要に応じて３組以上のしきい値を用い
てもよく、あるいは１組のしきい値のみを用いてもよ
い。また、検査対象となる光学的むらが明暗のどちらか
に偏って存在することが予想される場合には、画素値の
平均値の上下のいずれかの側の複数のしきい値に同じ値
を設定してもよい。さらに、平均値と上側のしきい値と
の差および平均値と下側のしきい値との差を異ならせて
もよい。
【００５６】なお、本実施例のように、検査対象物１０
０の一部に検査対象領域（透孔領域１００ａ）が存在す
る場合には、規格化画像データに検査対象領域設定用の
しきい値を設定し、そのしきい値よりも大きい値を有す
る部分のみが検査対象となるようにマスク処理を行えば
よい。
０の一部に検査対象領域（透孔領域１００ａ）が存在す
る場合には、規格化画像データに検査対象領域設定用の
しきい値を設定し、そのしきい値よりも大きい値を有す
る部分のみが検査対象となるようにマスク処理を行えば
よい。
【００５７】上記実施例では、検査対象物がシャドウマ
スクである場合を説明したが、本発明の光学的むら検査
装置および光学的むら検査方法は、ディスプレイパネ
ル、フィルム、紙等のシート状物の濃度のむら、光透過
率のむら等の光学的むらの検査にも同様にして適用する
ことができ、さらにシート状物に限らず任意の対象物の
２次元的なむらの検査にも適用可能である。
スクである場合を説明したが、本発明の光学的むら検査
装置および光学的むら検査方法は、ディスプレイパネ
ル、フィルム、紙等のシート状物の濃度のむら、光透過
率のむら等の光学的むらの検査にも同様にして適用する
ことができ、さらにシート状物に限らず任意の対象物の
２次元的なむらの検査にも適用可能である。
【図１】本発明の一実施例における光学的むら検査装置
の正面図である。
の正面図である。
【図２】図１の光学的むら検査装置の電気的構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図３】画像データの規格化処理の一例を示す波形図で
ある。
ある。
【図４】図１の光学的むら検査装置における光学的むら
の判定処理を示すフローチャートである。
の判定処理を示すフローチャートである。
【図５】光学的むらの判定処理におけるデータ処理を示
す波形図である。
す波形図である。
１０ 光学測定装置 ２０ データ処理装置 １２ 拡散板 １３ 光源 １７ ＣＣＤカメラ ２２ 画像処理装置 １００ 検査対象物
Claims (6)
- 【請求項１】 対象物の光学的むらを検査する光学的む
ら検査装置であって、 前記対象物の画像に対応する画像データを規格化するこ
とにより規格化画像データを得る規格化手段と、 前記規格化手段により得られた規格化画像データの画素
の値の平均値を基準として前記平均値よりも低い第１の
しきい値および前記平均値よりも高い第２のしきい値を
１組以上設定する設定手段と、 前記規格化手段により得られた規格化画像データにおい
て前記設定手段により設定された各組の第１のしきい値
よりも低い値を有する画素および第２のしきい値よりも
高い値を有する画素を各組ごとに抽出する抽出手段と、 前記抽出手段により抽出された画素の数を各組ごとに計
数する計数手段と、 前記計数手段により各組ごとに得られた計数値に基づい
て光学的むらの有無を判定する判定手段とを備えたこと
を特徴とする光学的むら検査装置。 - 【請求項２】 前記設定手段は第１および第２のしきい
値を複数組設定し、前記判定手段は、前記計数手段によ
り各組ごとに得られた計数値の加重和を算出し、前記加
重和を判定基準値と比較することにより光学的むらの有
無を判定することを特徴とする請求項１記載の光学的む
ら検査装置。 - 【請求項３】 前記対象物を撮像して画像を取り込み、
取り込んだ画像を画像データとして前記規格化手段に与
える画像入力手段をさらに備えたことを特徴とする請求
項１または２記載の光学的むら検査装置。 - 【請求項４】 前記規格化手段は、前記画像データにお
ける低周波成分を除去することにより規格化を行うこと
を特徴とする請求項１、２または３記載の光学的むら検
査装置。 - 【請求項５】 対象物の光学的むらを検査する光学的む
ら検査方法であって、前記対象物の画像に対応する画像
データを規格化することにより規格化画像データを算出
し、前記算出された規格化画像データの画素の値の平均
値を基準として前記平均値よりも低い第１のしきい値お
よび前記平均値よりも高い第２のしきい値を１組以上設
定し、前記算出された規格化画像データにおいて前記設
定された各組の第１のしきい値よりも低い値を有する画
素および第２のしきい値よりも高い値を有する画素を各
組ごとに抽出し、前記抽出された画素の数を各組ごとに
計数し、各組ごとに得られた計数値に基づいて光学的む
らの有無を判定することを特徴とする光学的むら検査方
法。 - 【請求項６】 第１および第２のしきい値を複数組設定
し、各組ごとに得られた計数値の加重和を算出し、前記
加重和を判定基準値と比較することにより光学的むらの
有無を判定することを特徴とする請求項５記載の光学的
むら検査方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9005721A JPH10197453A (ja) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | 光学的むら検査装置および光学的むら検査方法 |
| KR1019970051455A KR100249597B1 (ko) | 1997-01-16 | 1997-10-07 | 광학적 불균일 검사장치 및 광학적 불균일 검사방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9005721A JPH10197453A (ja) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | 光学的むら検査装置および光学的むら検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10197453A true JPH10197453A (ja) | 1998-07-31 |
Family
ID=11618995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9005721A Pending JPH10197453A (ja) | 1997-01-16 | 1997-01-16 | 光学的むら検査装置および光学的むら検査方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10197453A (ja) |
| KR (1) | KR100249597B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100385200C (zh) * | 2004-10-08 | 2008-04-30 | 大日本网目版制造株式会社 | 不均检查装置及方法 |
| JP2012103110A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Olympus Corp | エッジ検出方法およびエッジ検出装置 |
| JP2015049095A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 株式会社トプコンテクノハウス | ムラ測定方法およびムラ測定装置 |
| JP2021161579A (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-11 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 色むら監視装置 |
-
1997
- 1997-01-16 JP JP9005721A patent/JPH10197453A/ja active Pending
- 1997-10-07 KR KR1019970051455A patent/KR100249597B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100385200C (zh) * | 2004-10-08 | 2008-04-30 | 大日本网目版制造株式会社 | 不均检查装置及方法 |
| JP2012103110A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Olympus Corp | エッジ検出方法およびエッジ検出装置 |
| JP2015049095A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 株式会社トプコンテクノハウス | ムラ測定方法およびムラ測定装置 |
| JP2021161579A (ja) * | 2020-04-02 | 2021-10-11 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 色むら監視装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19980069996A (ko) | 1998-10-26 |
| KR100249597B1 (ko) | 2000-04-01 |
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