JPH08145904A - 明欠陥／暗欠陥検査装置 - Google Patents
明欠陥／暗欠陥検査装置Info
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- JPH08145904A JPH08145904A JP6280965A JP28096594A JPH08145904A JP H08145904 A JPH08145904 A JP H08145904A JP 6280965 A JP6280965 A JP 6280965A JP 28096594 A JP28096594 A JP 28096594A JP H08145904 A JPH08145904 A JP H08145904A
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 24
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- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 検出される欠陥が明欠陥であるか暗欠陥であ
るかを正確に識別してその欠陥を検査する。 【構成】 デジタル画像データを縦横それぞれ所定数の
画素行列からなるメッシュに分割し、その各メッシュ内
の各画素の濃度情報を積分して各メッシュ毎の濃度加算
値を求めるメッシュ積分回路５と、求められた濃度加算
値を平均化する平均化フィルタ７と、平均化された濃度
加算値と平均化される前の濃度加算値との差分を求める
演算回路９と、求められた差分に基づいて明欠陥／暗欠
陥を判定する判定回路１１とを具備する。
るかを正確に識別してその欠陥を検査する。 【構成】 デジタル画像データを縦横それぞれ所定数の
画素行列からなるメッシュに分割し、その各メッシュ内
の各画素の濃度情報を積分して各メッシュ毎の濃度加算
値を求めるメッシュ積分回路５と、求められた濃度加算
値を平均化する平均化フィルタ７と、平均化された濃度
加算値と平均化される前の濃度加算値との差分を求める
演算回路９と、求められた差分に基づいて明欠陥／暗欠
陥を判定する判定回路１１とを具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、撮像された被検査物の
表面に明るい欠陥があるか、暗い欠陥があるかを検出す
る明欠陥／暗欠陥検査装置に関する。
表面に明るい欠陥があるか、暗い欠陥があるかを検出す
る明欠陥／暗欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、紙、フィルム、不織布、鋼板等
の主としてシート状物体の製造ラインにおいては、これ
らの製品に欠陥があるか否かを検査する必要がある。従
来より、これらの検査は、カメラにより検査対象を撮像
し、その画像データに対して画像処理を施し、その処理
欠陥に基づいて欠陥を判定する手法が採用されている。
この場合の画像処理では、カメラからの画像データ（濃
度データ）を所定のしきい値で二値化して良否の判定を
する二値化処理が一般的である。
の主としてシート状物体の製造ラインにおいては、これ
らの製品に欠陥があるか否かを検査する必要がある。従
来より、これらの検査は、カメラにより検査対象を撮像
し、その画像データに対して画像処理を施し、その処理
欠陥に基づいて欠陥を判定する手法が採用されている。
この場合の画像処理では、カメラからの画像データ（濃
度データ）を所定のしきい値で二値化して良否の判定を
する二値化処理が一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
欠陥検査装置では、欠陥が検出された場合にあってもそ
の欠陥が明るい欠陥であるのか、暗い欠陥であるのかを
正確に判定することはできなかった。
欠陥検査装置では、欠陥が検出された場合にあってもそ
の欠陥が明るい欠陥であるのか、暗い欠陥であるのかを
正確に判定することはできなかった。
【０００４】特に、製紙ラインでは、透し模様が入って
いる紙の汚れ等を検査しようとすると、透し模様は明る
いムラ（明欠陥）であり、汚れは暗いムラ（暗欠陥）で
あるため、暗欠陥のみを検出しなければならない。従来
より、明欠陥のみ、あるいは暗欠陥のみを明確に識別し
て検出する装置は存在しない。
いる紙の汚れ等を検査しようとすると、透し模様は明る
いムラ（明欠陥）であり、汚れは暗いムラ（暗欠陥）で
あるため、暗欠陥のみを検出しなければならない。従来
より、明欠陥のみ、あるいは暗欠陥のみを明確に識別し
て検出する装置は存在しない。
【０００５】本発明は上記事情に鑑みて成されたもので
あり、その目的は、検出される欠陥が明欠陥であるか暗
欠陥であるかを正確に識別してその欠陥を検査できる明
欠陥／暗欠陥検査装置を提供することにある。
あり、その目的は、検出される欠陥が明欠陥であるか暗
欠陥であるかを正確に識別してその欠陥を検査できる明
欠陥／暗欠陥検査装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載の明欠陥／暗欠陥検査装置は、被検
査物を撮像して得られた画素毎の濃度情報をデジタル画
像データに変換して取り込む画像データ入力手段と、前
記デジタル画像データを縦横それぞれ所定数の画素行列
からなるメッシュに分割し、その各メッシュ内の各画素
の濃度情報を積分して各メッシュ毎の濃度加算値を求め
るメッシュ積分手段と、このメッシュ積分手段で求めら
れた濃度加算値を平均化する平均化手段と、平均化され
た濃度加算値と平均化される前の濃度加算値との差分を
求める演算手段と、求められた差分に基づいて明欠陥／
暗欠陥を判定する判定手段とを具備することを特徴とし
ている。
めに、請求項１記載の明欠陥／暗欠陥検査装置は、被検
査物を撮像して得られた画素毎の濃度情報をデジタル画
像データに変換して取り込む画像データ入力手段と、前
記デジタル画像データを縦横それぞれ所定数の画素行列
からなるメッシュに分割し、その各メッシュ内の各画素
の濃度情報を積分して各メッシュ毎の濃度加算値を求め
るメッシュ積分手段と、このメッシュ積分手段で求めら
れた濃度加算値を平均化する平均化手段と、平均化され
た濃度加算値と平均化される前の濃度加算値との差分を
求める演算手段と、求められた差分に基づいて明欠陥／
暗欠陥を判定する判定手段とを具備することを特徴とし
ている。
【０００７】また、請求項２記載の明欠陥／暗欠陥検査
装置は、被検査物を撮像して得られた画素毎の濃度情報
をディジタル画像データに変換して取り込む画像データ
入力手段と、前記デジタル画像データを入力して平均化
する平均化手段と、平均化された画像データと平均化さ
れる前の画像データとの差分を求める演算手段と、求め
られた差分に基づいて明欠陥／暗欠陥を判定する判定手
段と、を具備することを特徴としている。
装置は、被検査物を撮像して得られた画素毎の濃度情報
をディジタル画像データに変換して取り込む画像データ
入力手段と、前記デジタル画像データを入力して平均化
する平均化手段と、平均化された画像データと平均化さ
れる前の画像データとの差分を求める演算手段と、求め
られた差分に基づいて明欠陥／暗欠陥を判定する判定手
段と、を具備することを特徴としている。
【０００８】
【作用】請求項１の構成によれば、被検査物を撮像して
得られた画素毎の濃度情報をデジタル画像データに変換
して取り込み、そのデジタル画像データを縦横それぞれ
所定数の画素行列からなるメッシュに分割し、その各メ
ッシュ内の各画素の濃度情報を積分して各メッシュ毎の
濃度加算値を求め、求められた濃度加算値を平均化し、
平均化された濃度加算値と平均化される前の濃度加算値
との差分を求め、この差分に基づいて明欠陥／暗欠陥を
判定するようにした。
得られた画素毎の濃度情報をデジタル画像データに変換
して取り込み、そのデジタル画像データを縦横それぞれ
所定数の画素行列からなるメッシュに分割し、その各メ
ッシュ内の各画素の濃度情報を積分して各メッシュ毎の
濃度加算値を求め、求められた濃度加算値を平均化し、
平均化された濃度加算値と平均化される前の濃度加算値
との差分を求め、この差分に基づいて明欠陥／暗欠陥を
判定するようにした。
【０００９】請求項２の構成によれば、被検査物を撮像
して得られた画素毎の濃度情報をディジタル画像データ
に変換して取り込み、このデジタル画像データを入力し
て平均化し、平均化された画像データと平均化される前
の画像データとの差分を求め、この差分に基づいて明欠
陥／暗欠陥を判定するようにした。
して得られた画素毎の濃度情報をディジタル画像データ
に変換して取り込み、このデジタル画像データを入力し
て平均化し、平均化された画像データと平均化される前
の画像データとの差分を求め、この差分に基づいて明欠
陥／暗欠陥を判定するようにした。
【００１０】
【実施例】以下、本発明に係る明欠陥／暗欠陥検査装置
の一実施例を図面を参照しつつ系統的に説明する。
の一実施例を図面を参照しつつ系統的に説明する。
【００１１】図１は、本発明に係る明欠陥／暗欠陥検査
装置の第１実施例の構成を示すブロック図である。な
お、本実施例の装置は、周囲と比較して一部分がぼんや
りと明るくなったり、暗くなったりするムラ欠陥の、特
に暗いムラを検出するためのものである。
装置の第１実施例の構成を示すブロック図である。な
お、本実施例の装置は、周囲と比較して一部分がぼんや
りと明るくなったり、暗くなったりするムラ欠陥の、特
に暗いムラを検出するためのものである。
【００１２】図に示すように、この明欠陥／暗欠陥検査
装置は、ＣＣＤラインセンサカメラ１と、カメラ１で撮
像された画像データをデジタル画像データに変換して取
り込むＡ／Ｄコンバータ３と、デジタル画像データを入
力して縦横それぞれ所定数の画素行列からなるメッシュ
に分割し、その各メッシュ内の各画素の濃度情報を積分
して各メッシュ毎の濃度加算値を求めるメッシュ積分回
路５と、メッシュ積分回路５から出力される濃度加算値
を平均化する平均値フィルタ回路７と、平均化された濃
度加算値と平均化される前の濃度加算値との差分を求
め、暗欠陥のみを検出するように構成された演算回路９
と、求められた差分に基づいて明欠陥／暗欠陥を判定す
る判定回路１１とを備えている。
装置は、ＣＣＤラインセンサカメラ１と、カメラ１で撮
像された画像データをデジタル画像データに変換して取
り込むＡ／Ｄコンバータ３と、デジタル画像データを入
力して縦横それぞれ所定数の画素行列からなるメッシュ
に分割し、その各メッシュ内の各画素の濃度情報を積分
して各メッシュ毎の濃度加算値を求めるメッシュ積分回
路５と、メッシュ積分回路５から出力される濃度加算値
を平均化する平均値フィルタ回路７と、平均化された濃
度加算値と平均化される前の濃度加算値との差分を求
め、暗欠陥のみを検出するように構成された演算回路９
と、求められた差分に基づいて明欠陥／暗欠陥を判定す
る判定回路１１とを備えている。
【００１３】次に本実施例の作用を説明する。なお、前
記の通り、本実施例の演算回路９は、暗欠陥のみを検出
するように構成されているものとする。
記の通り、本実施例の演算回路９は、暗欠陥のみを検出
するように構成されているものとする。
【００１４】ラインセンサカメラ１で撮像された画像デ
ータは、Ａ／Ｄコンバータ３により８ビットのデジタル
画像データに変換され、このデジタル画像データはメッ
シュ積分回路５に供給される。画素毎の濃度情報である
デジタル画像データが供給されるとメッシュ積分回路５
では、濃度情報を縦横複数の画素行列からなるメッシュ
に切り分け、その各メッシュ内の各画素の濃度情報を加
算してメッシュ毎の濃度加算値を求める。このように、
メッシュ積分をするのは、周囲と比較して一部分がぼん
やりと明るくなったり、暗くなったりするムラ欠陥を検
出するためにメッシュ内の濃度加算値が求められると、
平均値フィルタ回路７では、求められた濃度加算値を、
３行３列の９つの濃度加算値の平均値を中心画素の濃度
加算値の平均とする図２に示すフィルタを用いて平均化
し、それを平均濃度加算値Ｘとしてメッシュ毎に求め
る。求められた平均濃度加算値Ｘは演算回路９に出力さ
れる。
ータは、Ａ／Ｄコンバータ３により８ビットのデジタル
画像データに変換され、このデジタル画像データはメッ
シュ積分回路５に供給される。画素毎の濃度情報である
デジタル画像データが供給されるとメッシュ積分回路５
では、濃度情報を縦横複数の画素行列からなるメッシュ
に切り分け、その各メッシュ内の各画素の濃度情報を加
算してメッシュ毎の濃度加算値を求める。このように、
メッシュ積分をするのは、周囲と比較して一部分がぼん
やりと明るくなったり、暗くなったりするムラ欠陥を検
出するためにメッシュ内の濃度加算値が求められると、
平均値フィルタ回路７では、求められた濃度加算値を、
３行３列の９つの濃度加算値の平均値を中心画素の濃度
加算値の平均とする図２に示すフィルタを用いて平均化
し、それを平均濃度加算値Ｘとしてメッシュ毎に求め
る。求められた平均濃度加算値Ｘは演算回路９に出力さ
れる。
【００１５】演算回路９では、平均値フィルタ回路７か
ら供給された平均濃度加算値Ｘと、平均値フィルタ回路
７を経由せずにメッシュ積分回路５から直接供給される
濃度加算値Ｙとを入力してその差分を演算する。
ら供給された平均濃度加算値Ｘと、平均値フィルタ回路
７を経由せずにメッシュ積分回路５から直接供給される
濃度加算値Ｙとを入力してその差分を演算する。
【００１６】この場合、この演算回路９は、暗い欠陥の
みを検出するために、差分Ｘ−Ｙを演算するように設定
されている。すなわち、図４（Ａ）に示すように、平均
濃度加算値Ｘが１０、メッシュ積分回路５から直接供給
される濃度加算値Ｙが１００である“明欠陥”の場合
に、この演算回路９は、 Ｘ−Ｙ＝１０−１００＝０ と演算する。図４（Ｂ）に示すように、演算回路９から
の出力は、“０”である。
みを検出するために、差分Ｘ−Ｙを演算するように設定
されている。すなわち、図４（Ａ）に示すように、平均
濃度加算値Ｘが１０、メッシュ積分回路５から直接供給
される濃度加算値Ｙが１００である“明欠陥”の場合
に、この演算回路９は、 Ｘ−Ｙ＝１０−１００＝０ と演算する。図４（Ｂ）に示すように、演算回路９から
の出力は、“０”である。
【００１７】これに対して、図５（Ａ）に示すように、
平均濃度加算値Ｘが１０、メッシュ積分回路５から直接
供給される濃度加算値Ｙが１である“暗欠陥”の場合
に、この演算回路９は、 Ｘ−Ｙ＝１０−１＝９ と演算する。図５（Ｂ）に示すように、演算回路９から
の出力は、“９”である。
平均濃度加算値Ｘが１０、メッシュ積分回路５から直接
供給される濃度加算値Ｙが１である“暗欠陥”の場合
に、この演算回路９は、 Ｘ−Ｙ＝１０−１＝９ と演算する。図５（Ｂ）に示すように、演算回路９から
の出力は、“９”である。
【００１８】このようにして、暗欠陥のみが検出される
と、その検出結果が判定回路１１に供給され、この判定
回路１１において、所定の判定しきい値により、暗欠陥
の有無が判定される。
と、その検出結果が判定回路１１に供給され、この判定
回路１１において、所定の判定しきい値により、暗欠陥
の有無が判定される。
【００１９】このように本実施例によれば、メッシュ積
分回路５でメッシュ毎の濃度加算値を求めることにより
暗ムラを強調し、この積分出力から積分前の濃度加算値
を減算して暗ムラ成分を強調して判定するようにしたの
で、被検査物中の暗ムラを正確に検出することが可能と
なる。
分回路５でメッシュ毎の濃度加算値を求めることにより
暗ムラを強調し、この積分出力から積分前の濃度加算値
を減算して暗ムラ成分を強調して判定するようにしたの
で、被検査物中の暗ムラを正確に検出することが可能と
なる。
【００２０】なお、前記第１実施例では、暗ムラ成分の
みを検出するように構成したが、図６に示す第２実施例
では、被検査物中の暗ムラ、明ムラをともに検出できる
ように構成されている。この場合、演算回路９Ａは、暗
ムラ検出用であり、第１実施例同様に、Ｘ−Ｙを演算し
て出力する。これに対して、演算回路９Ｂは，明ムラ検
出用であり、Ｙ−Ｘを演算して出力する。
みを検出するように構成したが、図６に示す第２実施例
では、被検査物中の暗ムラ、明ムラをともに検出できる
ように構成されている。この場合、演算回路９Ａは、暗
ムラ検出用であり、第１実施例同様に、Ｘ−Ｙを演算し
て出力する。これに対して、演算回路９Ｂは，明ムラ検
出用であり、Ｙ−Ｘを演算して出力する。
【００２１】このように、この第２実施例では、暗ムラ
検出用、明ムラ検出用の２系統が並列に設けられている
ので、一度の検査で明欠陥／暗欠陥の双方の検査が可能
となる。
検出用、明ムラ検出用の２系統が並列に設けられている
ので、一度の検査で明欠陥／暗欠陥の双方の検査が可能
となる。
【００２２】図７は、本発明に係る明欠陥／暗欠陥検査
装置の第３実施例の構成を示すブロック図である。な
お、前記実施例と同一構成部分には同一符号を付してそ
の説明を省略する。
装置の第３実施例の構成を示すブロック図である。な
お、前記実施例と同一構成部分には同一符号を付してそ
の説明を省略する。
【００２３】前記各実施例では、ムラを強調するため
に、デジタル画像データをメッシュ加算した後に、平均
化するようにしたが、本実施例では、デジタル画像デー
タを画素単位で直接平均化フィルタ７により平均化し、
この平均化された画素データと平均化する前の画素デー
タとの差分を演算回路９で演算することにより、ピンホ
ールのような“微細な暗欠陥”を検出するようにしたも
のである。
に、デジタル画像データをメッシュ加算した後に、平均
化するようにしたが、本実施例では、デジタル画像デー
タを画素単位で直接平均化フィルタ７により平均化し、
この平均化された画素データと平均化する前の画素デー
タとの差分を演算回路９で演算することにより、ピンホ
ールのような“微細な暗欠陥”を検出するようにしたも
のである。
【００２４】図８に示す実施例では、図７の実施例が
“微細暗欠陥”を検出する構成であるのに対し、“微細
暗欠陥”と“微細明欠陥”の双方の欠陥を検出するよう
にしたことである。これは、図１に示す第１実施例と図
６に示す第２実施例との関係と同様である。
“微細暗欠陥”を検出する構成であるのに対し、“微細
暗欠陥”と“微細明欠陥”の双方の欠陥を検出するよう
にしたことである。これは、図１に示す第１実施例と図
６に示す第２実施例との関係と同様である。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
によれば、被検査物を撮像して得られた画素毎の濃度情
報をデジタル画像データに変換して取り込み、そのデジ
タル画像データを縦横それぞれ所定数の画素行列からな
るメッシュに分割し、その各メッシュ内の各画素の濃度
情報を積分して各メッシュ毎の濃度加算値を求め、求め
られた濃度加算値を平均化し、平均化された濃度加算値
と平均化される前の濃度加算値との差分を求め、この差
分に基づいて明欠陥／暗欠陥を判定するようにしたの
で、被検査物中の明ムラまたは暗ムラ、あるいは明ムラ
と暗ムラの双方を正確に検出することが可能となる。
によれば、被検査物を撮像して得られた画素毎の濃度情
報をデジタル画像データに変換して取り込み、そのデジ
タル画像データを縦横それぞれ所定数の画素行列からな
るメッシュに分割し、その各メッシュ内の各画素の濃度
情報を積分して各メッシュ毎の濃度加算値を求め、求め
られた濃度加算値を平均化し、平均化された濃度加算値
と平均化される前の濃度加算値との差分を求め、この差
分に基づいて明欠陥／暗欠陥を判定するようにしたの
で、被検査物中の明ムラまたは暗ムラ、あるいは明ムラ
と暗ムラの双方を正確に検出することが可能となる。
【００２６】請求項２記載の発明によれば、被検査物を
撮像して得られた画素毎の濃度情報をディジタル画像デ
ータに変換して取り込み、このデジタル画像データを入
力して平均化し、平均化された画像データと平均化され
る前の画像データとの差分を求め、この差分に基づいて
明欠陥／暗欠陥を判定するようにしたので、被検査物中
の微細な明欠陥または微細な暗欠陥、あるいは微細な明
欠陥と微細な暗欠陥の双方を正確に検出することが可能
となる。
撮像して得られた画素毎の濃度情報をディジタル画像デ
ータに変換して取り込み、このデジタル画像データを入
力して平均化し、平均化された画像データと平均化され
る前の画像データとの差分を求め、この差分に基づいて
明欠陥／暗欠陥を判定するようにしたので、被検査物中
の微細な明欠陥または微細な暗欠陥、あるいは微細な明
欠陥と微細な暗欠陥の双方を正確に検出することが可能
となる。
【図１】本発明に係る明欠陥／暗欠陥検査装置の第１実
施例の構成を示すブロック図である。
施例の構成を示すブロック図である。
【図２】平均値フィルタの構成を示す説明図である。
【図３】明欠陥、暗欠陥を示す説明図である。
【図４】演算装置で実行される明欠陥の処理を示す説明
図である。
図である。
【図５】演算装置で実行される暗欠陥の処理を示す説明
図である。
図である。
【図６】本発明に係る明欠陥／暗欠陥検査装置の第２実
施例の構成を示すブロック図である。
施例の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明に係る明欠陥／暗欠陥検査装置の第３実
施例の構成を示すブロック図である。
施例の構成を示すブロック図である。
【図８】本発明に係る明欠陥／暗欠陥検査装置の第４実
施例の構成を示すブロック図である。
施例の構成を示すブロック図である。
１ ＣＣＤラインセンサカメラ ３ Ａ／Ｄコンバータ ５ メッシュ積分回路 ７，７Ａ，７Ｂ 平均値フィルタ ９，９Ａ，９Ｂ 演算回路 １１，１１Ａ，１１Ｂ 判定回路
Claims (2)
- 【請求項１】 被検査物を撮像して得られた画素毎の濃
度情報をデジタル画像データに変換して取り込む画像デ
ータ入力手段と、 前記デジタル画像データを縦横それぞれ所定数の画素行
列からなるメッシュに分割し、その各メッシュ内の各画
素の濃度情報を積分して各メッシュ毎の濃度加算値を求
めるメッシュ積分手段と、 このメッシュ積分手段で求められた濃度加算値を平均化
する平均化手段と、 平均化された濃度加算値と平均化される前の濃度加算値
との差分を求める演算手段と、 求められた差分に基づいて明欠陥／暗欠陥を判定する判
定手段と、 を具備することを特徴とする明欠陥／暗欠陥検査装置。 - 【請求項２】 被検査物を撮像して得られた画素毎の濃
度情報をディジタル画像データに変換して取り込む画像
データ入力手段と、 前記デジタル画像データを入力して平均化する平均化手
段と、 平均化された画像データと平均化される前の画像データ
との差分を求める演算手段と、 求められた差分に基づいて明欠陥／暗欠陥を判定する判
定手段と、 を具備することを特徴とする明欠陥／暗欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6280965A JPH08145904A (ja) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | 明欠陥／暗欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6280965A JPH08145904A (ja) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | 明欠陥／暗欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08145904A true JPH08145904A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17632363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6280965A Pending JPH08145904A (ja) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | 明欠陥／暗欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08145904A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998011456A1 (en) * | 1996-09-12 | 1998-03-19 | Anritsu Corporation | Apparatus for detecting foreign matter with high selectivity and high sensitivity by image processing |
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1994
- 1994-11-15 JP JP6280965A patent/JPH08145904A/ja active Pending
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